JPH0316285A - レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 - Google Patents
レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置Info
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- JPH0316285A JPH0316285A JP15073589A JP15073589A JPH0316285A JP H0316285 A JPH0316285 A JP H0316285A JP 15073589 A JP15073589 A JP 15073589A JP 15073589 A JP15073589 A JP 15073589A JP H0316285 A JPH0316285 A JP H0316285A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は加工用ガスレーザ装置等のレーザガスを強制的
に循環させるレーザ用ターボブロア及びそれを用いたレ
ーザ発振装置に係り、特に軸受の長寿命化を実現させ、
信頼性、保守性を改良したレーザ用ターボブロア及びレ
ーザ発振装置に関する。
に循環させるレーザ用ターボブロア及びそれを用いたレ
ーザ発振装置に係り、特に軸受の長寿命化を実現させ、
信頼性、保守性を改良したレーザ用ターボブロア及びレ
ーザ発振装置に関する。
最近の炭酸（ＣＯ２）ガスＩ／−ザ発振装置は高出力が
得られ、レーザビームの質もよく、金属又は非金属材料
等の切断及び金属材料等の溶接等といったレーザ加工に
広く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ
（数値制御装置）と結合したＣＮＣレーザ加工機として
、複雉な形状を高速かつ高精度で切断する分野において
急速に発展しつつある。
得られ、レーザビームの質もよく、金属又は非金属材料
等の切断及び金属材料等の溶接等といったレーザ加工に
広く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ
（数値制御装置）と結合したＣＮＣレーザ加工機として
、複雉な形状を高速かつ高精度で切断する分野において
急速に発展しつつある。
以下図面を田いて従来の炭酸（Ｃ○２）ガス１／−ザ発
振装置を説明する。
振装置を説明する。
第６図は従来技術による炭酸（ＣＯ２）ガスレーザ装置
の全体構成を示す図である。放電管３ｌの両端には出力
結合鏡３２と全反射鏡３３とからなる光共振器が設置さ
れている。放電管３１の外周上には金属電極３４及び３
５が取り付けられている。金属電極３４は接地され、金
属電極３５は高周波電源３６に接続されている。金属電
極３４及び３５の間には高周波電源３６から高周波電圧
が印加される。これによって、放電管３１内に高周波グ
ロー放電が発生し、レーザ励起が行われる。
の全体構成を示す図である。放電管３ｌの両端には出力
結合鏡３２と全反射鏡３３とからなる光共振器が設置さ
れている。放電管３１の外周上には金属電極３４及び３
５が取り付けられている。金属電極３４は接地され、金
属電極３５は高周波電源３６に接続されている。金属電
極３４及び３５の間には高周波電源３６から高周波電圧
が印加される。これによって、放電管３１内に高周波グ
ロー放電が発生し、レーザ励起が行われる。
放電管３ｌ内のレーザビーム光軸を４３で、また出力結
合鏡３２から外部に取り出されるレーザビーム光軸を４
４でそれぞれ示す。
合鏡３２から外部に取り出されるレーザビーム光軸を４
４でそれぞれ示す。
このようなガスレーザ発振装置を起動する時にはまず最
初に真空ポンプ４２によって装置内部全体の気体が排気
される。ついでバルブ４ｌが開放になり所定流量のレー
ザガスがガスボンベ４０から導かれ装置内のガス圧は規
定値に達する。その後は真空ポンブ４２による排気とバ
ルブ４１による補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規
定値に保たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮
ガスに置換される。これによって装置内のガス汚染は防
止される。
初に真空ポンプ４２によって装置内部全体の気体が排気
される。ついでバルブ４ｌが開放になり所定流量のレー
ザガスがガスボンベ４０から導かれ装置内のガス圧は規
定値に達する。その後は真空ポンブ４２による排気とバ
ルブ４１による補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規
定値に保たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮
ガスに置換される。これによって装置内のガス汚染は防
止される。
さらに第６図では送風機３９によってレーザガスを装置
内で循環している。この目的はレーザガスの冷却にある
。炭酸（Ｃｏ２）ガスレーザでは注入電気エネルギーの
約２０％がレーザ光に変換され、他はガス加熱に消費さ
れる。ところが理論によればレーザ発振利得は絶対温度
Ｔのー（３／２）乗に比例するので発振効率を上昇させ
るためにはレーザガスを強制的に冷却してやる必要があ
る。本装置ではレーザガスは約１００ｍ／ｓｅｃの流速
で放電管３１内を通過し矢印で示す方向に流れ、冷却器
３８に導かれる。冷却器３８は主として放電による加熱
エネルギーをレーザガスから除去する。そして、送風機
３９は冷却されたレーザガスを圧縮する。圧縮されたＩ
／−ザガスは冷却器３７を介して放電管３１に導かれる
。これは、送風機３９で発生した圧縮熱を放電管３１に
再度導かれる前に冷却器３７で除去するためである。
内で循環している。この目的はレーザガスの冷却にある
。炭酸（Ｃｏ２）ガスレーザでは注入電気エネルギーの
約２０％がレーザ光に変換され、他はガス加熱に消費さ
れる。ところが理論によればレーザ発振利得は絶対温度
Ｔのー（３／２）乗に比例するので発振効率を上昇させ
るためにはレーザガスを強制的に冷却してやる必要があ
る。本装置ではレーザガスは約１００ｍ／ｓｅｃの流速
で放電管３１内を通過し矢印で示す方向に流れ、冷却器
３８に導かれる。冷却器３８は主として放電による加熱
エネルギーをレーザガスから除去する。そして、送風機
３９は冷却されたレーザガスを圧縮する。圧縮されたＩ
／−ザガスは冷却器３７を介して放電管３１に導かれる
。これは、送風機３９で発生した圧縮熱を放電管３１に
再度導かれる前に冷却器３７で除去するためである。
これらの冷却器３７及び３８は周知であるので詳細な説
明は省略する。
明は省略する。
第７図に送風機３９として採用されるターボブロアの構
造を示す。ターボ翼１とシャフト２とは機械的に結合さ
れている。シャフト２にはロータ３が取り付けられてお
り、ロータ３とステータ４とでモーターを構成している
。ターボ翼１はこのモータによって、回転数約１０万Ｒ
ＰＭの高速で回転される。そのため低速回転のルーツブ
ロアに比較して回転数に逆比例して体積が小さくなって
いる。さらに、シャフト２の支持にころがり軸受５及び
６が使用されている。ころがり軸受５及び６の潤滑には
オイルを定期的に軸受に供給するオイル供給ユニットが
使用されている。第７図においては供給ユニット９はオ
イルを導管１０を介してターボブロア内部にオイルを供
給する。ターボブロア内部では通路１１及びｌ２を介し
てころがり軸受５及び６の内部にオイルが供給される。
造を示す。ターボ翼１とシャフト２とは機械的に結合さ
れている。シャフト２にはロータ３が取り付けられてお
り、ロータ３とステータ４とでモーターを構成している
。ターボ翼１はこのモータによって、回転数約１０万Ｒ
ＰＭの高速で回転される。そのため低速回転のルーツブ
ロアに比較して回転数に逆比例して体積が小さくなって
いる。さらに、シャフト２の支持にころがり軸受５及び
６が使用されている。ころがり軸受５及び６の潤滑には
オイルを定期的に軸受に供給するオイル供給ユニットが
使用されている。第７図においては供給ユニット９はオ
イルを導管１０を介してターボブロア内部にオイルを供
給する。ターボブロア内部では通路１１及びｌ２を介し
てころがり軸受５及び６の内部にオイルが供給される。
軸受５及び６を通過したオイルは導管１３を介して再び
供給ユニット９に戻される。
供給ユニット９に戻される。
供給ユニット９は図示していないが、オイルを送出する
ポンプと、オイルを貯蔵するタンクと、オイル内のゴミ
を取り除くフィルター等で構戊されている。
ポンプと、オイルを貯蔵するタンクと、オイル内のゴミ
を取り除くフィルター等で構戊されている。
このような構成によって、レーザガスは矢印８のように
冷却器３８からレーザ用ターボブロアへ吸入され、矢印
７のようにレーザ用ターボブロアから冷却器３７へ吐出
される。
冷却器３８からレーザ用ターボブロアへ吸入され、矢印
７のようにレーザ用ターボブロアから冷却器３７へ吐出
される。
第６図及び第７図に示す従来のレーザ発振装置では以下
のような課題がある。
のような課題がある。
即ち、従来のレーザ用ターボブロアのように高速回転（
例えばＤｍＮ値８０万以上）のものにおいては、供給ユ
ニット９から送出されたオイルはその送出圧力によって
軸受５及び６の内部に流入しようとする。しかし、軸受
５及び６の内輪、保持器及び転勤体の高速回転に伴う遠
心力によってオイルははじきとばされ、安定した供給が
できない。そのために、潤滑不足による焼き付けが生じ
たりする。逆に送出圧力を上げ過ぎ必要以上にオイルを
供給すると、オイル摩擦による温度上昇が生じる。
例えばＤｍＮ値８０万以上）のものにおいては、供給ユ
ニット９から送出されたオイルはその送出圧力によって
軸受５及び６の内部に流入しようとする。しかし、軸受
５及び６の内輪、保持器及び転勤体の高速回転に伴う遠
心力によってオイルははじきとばされ、安定した供給が
できない。そのために、潤滑不足による焼き付けが生じ
たりする。逆に送出圧力を上げ過ぎ必要以上にオイルを
供給すると、オイル摩擦による温度上昇が生じる。
また、オイルの供給が安定しないために、夕一ボブロア
が傾いただけでオイルがレーザガスの送風系に進入し、
レーザガスを汚染させてしまうといった問題もある。
が傾いただけでオイルがレーザガスの送風系に進入し、
レーザガスを汚染させてしまうといった問題もある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、安
定してオイルを供給することのできるレーザ用ターボブ
ロア及びそれを用いたレーザ発振装置を提供することを
目的とする。
定してオイルを供給することのできるレーザ用ターボブ
ロア及びそれを用いたレーザ発振装置を提供することを
目的とする。
ボブロアが、提供される。
さらに、本発明では上記レーザ用ターボブロアを用いた
レーザ発振装置が、提供される。
レーザ発振装置が、提供される。
本発明では上記課題を解決するために、先端にターボ翼
を有するシャフトと、前記シャフトを支持する一対の軸
受と、前記シャフトを回転させるためのモータとから構
成されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記軸受内部
にオイルを流入させるようなねじ溝を前記軸受両端の前
記シャフト上に設けたことを特徴とするレーザ用ターボ
ブロアが、提供される。
を有するシャフトと、前記シャフトを支持する一対の軸
受と、前記シャフトを回転させるためのモータとから構
成されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記軸受内部
にオイルを流入させるようなねじ溝を前記軸受両端の前
記シャフト上に設けたことを特徴とするレーザ用ターボ
ブロアが、提供される。
また、本発明では上記課題を解決するために、先端にタ
ーボ翼を有するシャフトと、前記シャフトを支持する一
対の軸受と、前記シャフトを回転させるためのモータと
から構成されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記軸
受内部にオイルを流入させるような円錐部を前記軸受両
端の前記シャフト上に設けたことを特徴とするレーザ用
ター〔作用〕 レーデ用ターボブロアの軸受の両側にねじ溝を設ける。
ーボ翼を有するシャフトと、前記シャフトを支持する一
対の軸受と、前記シャフトを回転させるためのモータと
から構成されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記軸
受内部にオイルを流入させるような円錐部を前記軸受両
端の前記シャフト上に設けたことを特徴とするレーザ用
ター〔作用〕 レーデ用ターボブロアの軸受の両側にねじ溝を設ける。
すると、シャフトの回転によってねじ溝はポンプ作用を
する。このポンプ作用によってオイルは軸受内部に安定
供給されるようになる。
する。このポンプ作用によってオイルは軸受内部に安定
供給されるようになる。
レーザ用ターボブロアの軸受の両側に円錐部を設ける。
すると、シャフトの回転によって生じる遠心力によって
オイルは円錐部の傾斜面を大径側に自動的に移動する。
オイルは円錐部の傾斜面を大径側に自動的に移動する。
この円錐部の働きによってオイルは軸受内部に安定供給
されるようになる。
されるようになる。
さらに、オイルはシャフトの回転によって軸受内部に流
入するようになり、送風系側に進入しなくなるので、レ
ーザガスの汚染を有効に防止することができる。
入するようになり、送風系側に進入しなくなるので、レ
ーザガスの汚染を有効に防止することができる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明のレーザ発振装置の第１の実施例の構成
を示す図である。第７図と同一の構成要素には同一の符
合が付してあるので、その説明は省略する。ここで、タ
ーボ翼１は遠心翼を示しているが斜流翼であっても軸流
翼であってもよい。
を示す図である。第７図と同一の構成要素には同一の符
合が付してあるので、その説明は省略する。ここで、タ
ーボ翼１は遠心翼を示しているが斜流翼であっても軸流
翼であってもよい。
本実施例が従来のものと本質的に異なる部分は、ころが
り軸受５及び６の外側のシャフト２の外周上にねじ溝を
設けた点である。シャフト２の回転方向がターボ翼１側
からみて時計方向に回転する場合は、ねじ溝ｌ４は左ね
じ、ねじ溝１５は右ねじとなるように構成する。従って
、シャフト２が回転すると、通路１１及び１２を通過し
てきたオイルはねじ溝１４及び１５によってそれぞれ軸
受５及び６の内部に安定に供給される。さらに、本実施
例ではシャフト２の回転軸方向が地面に対して平行にな
るように設置してある。即ち、ターボブロアを横方向に
設置している。これによって、軸受５及び６を通過した
オイルは導管１３に効率よく溜まるようになる。
り軸受５及び６の外側のシャフト２の外周上にねじ溝を
設けた点である。シャフト２の回転方向がターボ翼１側
からみて時計方向に回転する場合は、ねじ溝ｌ４は左ね
じ、ねじ溝１５は右ねじとなるように構成する。従って
、シャフト２が回転すると、通路１１及び１２を通過し
てきたオイルはねじ溝１４及び１５によってそれぞれ軸
受５及び６の内部に安定に供給される。さらに、本実施
例ではシャフト２の回転軸方向が地面に対して平行にな
るように設置してある。即ち、ターボブロアを横方向に
設置している。これによって、軸受５及び６を通過した
オイルは導管１３に効率よく溜まるようになる。
第２図は本発明のレーザ発振装置の第２の実施例の構戊
を示す図である。本実施例が第１図のものと相異する点
は、ころがり軸受５及び６の外側のシャフト２の外周上
に円錐部ｌ６及びｌ７を設けた点である。円錐部ｌ６及
びｌ７は外側から軸受５及び６に向かって径が大きくな
るように構成されている。従って、シャフト２が回転す
ると、通路１１及びｌ２を通過してきたオイルはその遠
心力によって円錐部１６及び１７の傾斜面に沿ってそれ
ぞれ軸受５及び６の内部に安定供給される。
を示す図である。本実施例が第１図のものと相異する点
は、ころがり軸受５及び６の外側のシャフト２の外周上
に円錐部ｌ６及びｌ７を設けた点である。円錐部ｌ６及
びｌ７は外側から軸受５及び６に向かって径が大きくな
るように構成されている。従って、シャフト２が回転す
ると、通路１１及びｌ２を通過してきたオイルはその遠
心力によって円錐部１６及び１７の傾斜面に沿ってそれ
ぞれ軸受５及び６の内部に安定供給される。
第３図は本発明のレーザ発振装置の第３の実施例の構成
を示す図である。本実施例が第２図のものと相異する点
は、第２図の円錐部１６及び１７の傾斜面に沿って第１
図と同様のねじ溝を有する円錐ねじ溝ｌ８及び１９が設
けられている点である。即ち、本実施例は第１図及び第
２図の構成を組み合わせたものである。従って、シャフ
ト２が回転すると、通路１１及び１２通過してきたオイ
ルは円錐ねじ溝ｌ８及び１９の傾斜面に設けられたねじ
溝に沿ってそれぞれ軸受５及び６の内部に供給される。
を示す図である。本実施例が第２図のものと相異する点
は、第２図の円錐部１６及び１７の傾斜面に沿って第１
図と同様のねじ溝を有する円錐ねじ溝ｌ８及び１９が設
けられている点である。即ち、本実施例は第１図及び第
２図の構成を組み合わせたものである。従って、シャフ
ト２が回転すると、通路１１及び１２通過してきたオイ
ルは円錐ねじ溝ｌ８及び１９の傾斜面に設けられたねじ
溝に沿ってそれぞれ軸受５及び６の内部に供給される。
第４図は本発明のレーザ発振装置の第４の実施例の構成
を示す図である。本実施例はレーザ用ターボブロアの軸
受５及び６の周囲にオイルフィルムダンパーを取り付け
、軸受の振動を吸収したものである。オイルフィルムダ
ンパーはスリーブ２２と、Ｏリング２０及び２１と、ハ
ウジング２３とスリーブ２２との間に充填されたオイル
とによって構成される。ころがり軸受５及び６の内輪は
シャフト２に固定され、外輪はスリーブ２２に固定され
ている。ハウジング２３とスリーブ２２との間には，１
０〜１００μｍのすきまが設けられ、そこにグリース又
はオイルが充填される。０リング２０及び２１はすきま
に充填されたグリース又はオイルとレーザガスとを遮断
するためのものである。このような構成にすることによ
って、夕一ボ翼１及びシャフト２が高速で回転したとき
の振動はオイルフィルムダンバーの流体力学的な減衰効
果によって減衰する。本実施例ではオイルフイルムダン
パーを第１図のもに適用した場合について説明したが、
これは第２図及び第３図のものにも同様に適用できる。
を示す図である。本実施例はレーザ用ターボブロアの軸
受５及び６の周囲にオイルフィルムダンパーを取り付け
、軸受の振動を吸収したものである。オイルフィルムダ
ンパーはスリーブ２２と、Ｏリング２０及び２１と、ハ
ウジング２３とスリーブ２２との間に充填されたオイル
とによって構成される。ころがり軸受５及び６の内輪は
シャフト２に固定され、外輪はスリーブ２２に固定され
ている。ハウジング２３とスリーブ２２との間には，１
０〜１００μｍのすきまが設けられ、そこにグリース又
はオイルが充填される。０リング２０及び２１はすきま
に充填されたグリース又はオイルとレーザガスとを遮断
するためのものである。このような構成にすることによ
って、夕一ボ翼１及びシャフト２が高速で回転したとき
の振動はオイルフィルムダンバーの流体力学的な減衰効
果によって減衰する。本実施例ではオイルフイルムダン
パーを第１図のもに適用した場合について説明したが、
これは第２図及び第３図のものにも同様に適用できる。
第１図から第４図に示したターボブロアは出力ＩＫＷ程
度のレーザ発振装置に適用されるものであり、さらに高
出力化するためには大型のターボ翼を使用すればよい。
度のレーザ発振装置に適用されるものであり、さらに高
出力化するためには大型のターボ翼を使用すればよい。
しかし、コスト的には同一翼を使用することが望ましい
。第５図はレーザ出力２ＫＷ程度のターボブロアの構造
を示す図である。図においてターボブロアの軸受は第１
図と同じであるので省略してある。なお、図中の矢印８
ａ及び８ｂは冷却器３８からレーザ用ターボブロアへの
レーザガスの流れる方向を示す。シャフトの左右にター
ボ翼１ａ及び１ｂが２個取り付けられている。この構成
で軸受けと駆動モータが１セットでターボ翼２個を回転
できるのでコスト上有利である。ロータ３とステータ４
とでモーターを構成する。ここでは、ターボ翼を同一シ
ャフトに取り付けることにより、スラスト方向の荷重変
動を打ち消しあい、スラスト荷重が非常に小さくなり、
安定性が向上し、寿命も非常に長くなる。
。第５図はレーザ出力２ＫＷ程度のターボブロアの構造
を示す図である。図においてターボブロアの軸受は第１
図と同じであるので省略してある。なお、図中の矢印８
ａ及び８ｂは冷却器３８からレーザ用ターボブロアへの
レーザガスの流れる方向を示す。シャフトの左右にター
ボ翼１ａ及び１ｂが２個取り付けられている。この構成
で軸受けと駆動モータが１セットでターボ翼２個を回転
できるのでコスト上有利である。ロータ３とステータ４
とでモーターを構成する。ここでは、ターボ翼を同一シ
ャフトに取り付けることにより、スラスト方向の荷重変
動を打ち消しあい、スラスト荷重が非常に小さくなり、
安定性が向上し、寿命も非常に長くなる。
以上の実施例ではころがり軸受について説明したが、玉
軸受又はコロ軸受でもよい。さらに、軸受の材料として
セラミックを用いたセラミック軸受を用いてもよい。
軸受又はコロ軸受でもよい。さらに、軸受の材料として
セラミックを用いたセラミック軸受を用いてもよい。
以上説明したように本発明によれば、供給ユニットから
のオイルがシャフトの回転を利用して安定に軸受内部に
流入するようになり、潤滑不足による影響がなくなり、
ターボブロアを長時間運転することが可能となる。また
、オイルの安定供給によって、ターボブロア自身の信頼
性及び保守性の向上したレーザ用ターボブロアを実現す
ることが可能になる。
のオイルがシャフトの回転を利用して安定に軸受内部に
流入するようになり、潤滑不足による影響がなくなり、
ターボブロアを長時間運転することが可能となる。また
、オイルの安定供給によって、ターボブロア自身の信頼
性及び保守性の向上したレーザ用ターボブロアを実現す
ることが可能になる。
第１図は本発明の第１の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第２図は本発明の第２の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第３図は本発明の第３の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第４図は本発明の第４の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第５図は本発明の他の実施例であるレーザ出力２ＫＷ程
度のレーザ用ターボブロ了の構造を示す図、 第６図は従来の炭酸（ＣＯ２）ガスレーザ発振装置の全
体構成を示す図、 第７図は従来のレーザ用ターボブロアの構成を示す図で
ある。 １、 ｌａ，ｌｂ ターボ翼 ２ シャフト ３ ロータ ４ ステータ ５、６ 軸受 ９ 供給ユニット ０、 １３ １、１２ ４、１５ ６、 １７ ８、 １９ ３１ ３２ ３３ ３４、３５ ３６ ３７、３８ ３９ ４０ ４２ ４３ ４４ 導管 オイル通路 ねじ溝 円錐部 円雄ねじ溝 放電管 出力結合鏡 全反射鏡 電極 高周波電源 冷却器 送風機 ガスボンベ 真空ポンプ 共振器内レーザビーム光軸 共振器外レーザビーム光軸
ロアの構造を示す図、 第２図は本発明の第２の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第３図は本発明の第３の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第４図は本発明の第４の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第５図は本発明の他の実施例であるレーザ出力２ＫＷ程
度のレーザ用ターボブロ了の構造を示す図、 第６図は従来の炭酸（ＣＯ２）ガスレーザ発振装置の全
体構成を示す図、 第７図は従来のレーザ用ターボブロアの構成を示す図で
ある。 １、 ｌａ，ｌｂ ターボ翼 ２ シャフト ３ ロータ ４ ステータ ５、６ 軸受 ９ 供給ユニット ０、 １３ １、１２ ４、１５ ６、 １７ ８、 １９ ３１ ３２ ３３ ３４、３５ ３６ ３７、３８ ３９ ４０ ４２ ４３ ４４ 導管 オイル通路 ねじ溝 円錐部 円雄ねじ溝 放電管 出力結合鏡 全反射鏡 電極 高周波電源 冷却器 送風機 ガスボンベ 真空ポンプ 共振器内レーザビーム光軸 共振器外レーザビーム光軸
Claims (10)
- （１）先端にターボ翼を有するシャフトと、前記シャフ
トを支持する一対の軸受と、前記シャフトを回転させる
ためのモータとから構成されるレーザ用ターボブロアに
おいて、 前記軸受内部にオイルを流入させるようなねじ溝を前記
軸受両端の前記シャフト上に設けたことを特徴とするレ
ーザ用ターボブロア。 - （２）先端にターボ翼を有するシャフトと、前記シャフ
トを支持する一対の軸受と、前記シャフトを回転させる
ためのモータとから構成されるレーザ用ターボブロアに
おいて、 前記軸受内部にオイルを流入させるような円錐部を前記
軸受両端の前記シャフト上に設けたことを特徴とするレ
ーザ用ターボブロア。 - （３）前記円錐部の傾斜面に沿ってねじ溝を設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第２項記載のレーザ用ター
ボブロア。 - （４）前記軸受にオイルフィルムダンパーを設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項
記載のレーザ用ターボブロア。 - （５）前記シャフトに逆方向のスラスト荷重がかかるよ
うに２個のターボ翼を設けたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項記載のレーザ
用ターボブロア。 - （６）前記軸受が玉軸受であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項記載のレー
ザ用ターボブロア。 - （７）前記軸受がころ軸受であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項記載のレ
ーザ用ターボブロア。 - （８）前記軸受がセラミック軸受であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項記
載のレーザ用ターボブロア。 - （９）気体放電によってレーザ励起をする放電管と、レ
ーザ発振を行わせる光共振器と、送風機及び冷却器によ
ってレーザガスを強制冷却させるガス循環装置とから構
成されるレーザ発振装置において、 前記送風機が特許請求の範囲第１項から第８項までのい
ずれかに記載のレーザ用ターボブロアで構成されること
を特徴とするレーザ発振装置。 - （１０）レーザ励起が高周波気体放電によって行われる
ことを特徴とする特許請求の範囲第９項記載のレーザ発
振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15073589A JPH0316285A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15073589A JPH0316285A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316285A true JPH0316285A (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=15503270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15073589A Pending JPH0316285A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0316285A (ja) |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15073589A patent/JPH0316285A/ja active Pending
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