JPH08335731A - ガスレーザ用送風機 - Google Patents
ガスレーザ用送風機Info
- Publication number
- JPH08335731A JPH08335731A JP7139515A JP13951595A JPH08335731A JP H08335731 A JPH08335731 A JP H08335731A JP 7139515 A JP7139515 A JP 7139515A JP 13951595 A JP13951595 A JP 13951595A JP H08335731 A JPH08335731 A JP H08335731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blower
- gas
- gas laser
- ring
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/72—Sealings
- F16C33/76—Sealings of ball or roller bearings
- F16C33/80—Labyrinth sealings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/10—Shaft sealings
- F04D29/102—Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/10—Shaft sealings
- F04D29/12—Shaft sealings using sealing-rings
- F04D29/122—Shaft sealings using sealing-rings especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C37/00—Cooling of bearings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 必要な信頼性と寿命を確保し、組立性に優れ
て安価でありながら、モータ側ケーシングから羽根車側
ケーシング内に流入するレーザ発振に有害な物質の量を
確実に低減することができるようにする。 【構成】 シャフト２に中間部材６６が挿入され、この
中間部材６６に２本の溝６５１，６５２が形成されてい
る。羽根車１、中間部材６６および軸受け５は、軸端ナ
ット７で共締めされて固定されている。リングホルダ６
３の内周には、リング部材６４として、２個のリング６
４１，６４２が挿入されている。リング６４１，６４２
は、それぞれ中間部材６６の溝６５１，６５２との軸方
向の隙間が０．３ｍｍ以下となるように溝６５１，６５
２に嵌合している。
て安価でありながら、モータ側ケーシングから羽根車側
ケーシング内に流入するレーザ発振に有害な物質の量を
確実に低減することができるようにする。 【構成】 シャフト２に中間部材６６が挿入され、この
中間部材６６に２本の溝６５１，６５２が形成されてい
る。羽根車１、中間部材６６および軸受け５は、軸端ナ
ット７で共締めされて固定されている。リングホルダ６
３の内周には、リング部材６４として、２個のリング６
４１，６４２が挿入されている。リング６４１，６４２
は、それぞれ中間部材６６の溝６５１，６５２との軸方
向の隙間が０．３ｍｍ以下となるように溝６５１，６５
２に嵌合している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガスレーザ装置のレーザ
ガスを強制的に循環させるガスレーザ用送風機に関し、
特に先端に羽根車が設けられたシャフトを軸受けにより
回転自在に支持し、羽根車を高速回転することによりレ
ーザガスを強制循環させるガスレーザ用送風機に関す
る。
ガスを強制的に循環させるガスレーザ用送風機に関し、
特に先端に羽根車が設けられたシャフトを軸受けにより
回転自在に支持し、羽根車を高速回転することによりレ
ーザガスを強制循環させるガスレーザ用送風機に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術を代表的なガスレーザ装置で
ある高速軸流型炭酸ガスレーザ装置を例にして説明す
る。
ある高速軸流型炭酸ガスレーザ装置を例にして説明す
る。
【０００３】最近の高速軸流型の炭酸ガスレーザ装置
（ＣＯ2 ガスレーザ発振装置）は、コンパクトで高出力
が得られ、レーザビームの品質もよく、金属材料や非金
属材料の切断、金属材料等の溶接といったレーザ加工に
広く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ
（数値制御装置）と結合したＣＮＣレーザ加工機とし
て、複雑な形状を高速かつ高精度で切断する分野におい
て急速に発展しつつある。
（ＣＯ2 ガスレーザ発振装置）は、コンパクトで高出力
が得られ、レーザビームの品質もよく、金属材料や非金
属材料の切断、金属材料等の溶接といったレーザ加工に
広く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ
（数値制御装置）と結合したＣＮＣレーザ加工機とし
て、複雑な形状を高速かつ高精度で切断する分野におい
て急速に発展しつつある。
【０００４】炭酸ガスレーザ装置では、注入電気エネル
ギの約２０％がレーザ光に変換され、他はレーザガスの
加熱に消費される。一方、レーザ発振利得は、レーザガ
スの温度が上昇するにつれて低下してしまう。したがっ
て、発振効率を上昇させるためには、レーザガスを強制
的に冷却し、レーザガス温度をできるだけ低くしてやる
必要がある。そこで、高速軸流型の炭酸ガスレーザ装置
では、レーザガスを装置内で強制的に循環させて冷却器
に送り込むべく、ガスレーザ用送風機が用いられる。
ギの約２０％がレーザ光に変換され、他はレーザガスの
加熱に消費される。一方、レーザ発振利得は、レーザガ
スの温度が上昇するにつれて低下してしまう。したがっ
て、発振効率を上昇させるためには、レーザガスを強制
的に冷却し、レーザガス温度をできるだけ低くしてやる
必要がある。そこで、高速軸流型の炭酸ガスレーザ装置
では、レーザガスを装置内で強制的に循環させて冷却器
に送り込むべく、ガスレーザ用送風機が用いられる。
【０００５】図６は従来のガスレーザ用送風機の構成を
示す図であり、ここでは、オイル潤滑方式の縦型ガスレ
ーザ用送風機の例を示す。図において、ガスレーザ用送
風機１００は垂直に設置され、レーザガスは図示されて
いない上流側の冷却器から循環路を介して矢印９のよう
に吸入され、矢印１０のように２方向に分かれて遠心方
向に吐出される。この２方向は、最終的に１つとなり図
示されていない下流側の冷却器に流入する。
示す図であり、ここでは、オイル潤滑方式の縦型ガスレ
ーザ用送風機の例を示す。図において、ガスレーザ用送
風機１００は垂直に設置され、レーザガスは図示されて
いない上流側の冷却器から循環路を介して矢印９のよう
に吸入され、矢印１０のように２方向に分かれて遠心方
向に吐出される。この２方向は、最終的に１つとなり図
示されていない下流側の冷却器に流入する。
【０００６】ガスレーザ用送風機１００を垂直に設置し
たことに伴い、シャフト２も垂直の状態となる。シャフ
ト２は、ハウジング（循環路側ケーシング）８の羽根車
１の回転を支持し、その両者は互いにナット７で機械的
に結合されている。シャフト２には、その外周に沿って
ロータ３が焼きばめによって固定されている。そのロー
タ３の外側には、ステータ４が設けられている。このス
テータ４は、ハウジング（モータ側ケーシング）１２に
固定され、ロータ３との間で高周波のモータ３０を構成
している。羽根車１は、この高周波モータ３０によっ
て、数万ＲＰＭの高速で回転させられる。
たことに伴い、シャフト２も垂直の状態となる。シャフ
ト２は、ハウジング（循環路側ケーシング）８の羽根車
１の回転を支持し、その両者は互いにナット７で機械的
に結合されている。シャフト２には、その外周に沿って
ロータ３が焼きばめによって固定されている。そのロー
タ３の外側には、ステータ４が設けられている。このス
テータ４は、ハウジング（モータ側ケーシング）１２に
固定され、ロータ３との間で高周波のモータ３０を構成
している。羽根車１は、この高周波モータ３０によっ
て、数万ＲＰＭの高速で回転させられる。
【０００７】また、シャフト２の支持のためにモータ３
０の両側に一対の軸受け５および６が設けられている。
軸受け５および軸受け６としては、高速回転に耐え得る
ように、通常はアンギュラー型の玉軸受けが使用され
る。軸受け５は、ハウジング１２とハウジング８との間
の隔壁１２１に形成された連通孔１２１ａに設けられて
いる。
０の両側に一対の軸受け５および６が設けられている。
軸受け５および軸受け６としては、高速回転に耐え得る
ように、通常はアンギュラー型の玉軸受けが使用され
る。軸受け５は、ハウジング１２とハウジング８との間
の隔壁１２１に形成された連通孔１２１ａに設けられて
いる。
【０００８】シャフト２の内部には、その軸方向に沿っ
てオイル通路１３が設けられている。シャフト２の軸受
け５の近傍には、オイル通路１３と外部とを連通する小
口径のオイル出口１３１が複数個設けられる。
てオイル通路１３が設けられている。シャフト２の軸受
け５の近傍には、オイル通路１３と外部とを連通する小
口径のオイル出口１３１が複数個設けられる。
【０００９】シャフト２の下端側には、オイル吸い上げ
ヘッド１７がシャフト２と一体に設けられている。この
オイル吸い上げヘッド１７にもオイル通路１３が貫通し
て設けられている。オイル吸い上げヘッド１７は、外周
がテーパ状に形成されて先端に行く程細くなっており、
その先端には、オイル通路１３のオイル入口１３０が形
成されている。
ヘッド１７がシャフト２と一体に設けられている。この
オイル吸い上げヘッド１７にもオイル通路１３が貫通し
て設けられている。オイル吸い上げヘッド１７は、外周
がテーパ状に形成されて先端に行く程細くなっており、
その先端には、オイル通路１３のオイル入口１３０が形
成されている。
【００１０】シャフト２の下端側でモータ３０の直下に
は、オイル溜まり１８が形成されている。また、シャフ
ト２の下端側およびオイル吸い上げヘッド１７の回りに
は、オイル溜まり１８と一体に円筒状のシャフト支持部
２０が形成されている。オイル溜まり１８の下部には、
オイル通路１８０が形成され、このオイル通路１８０は
シャフト支持部２０の底辺部中央に設けられた貫通口２
０１に連通している。オイル溜まり１８内のオイルは、
オイル通路１８０および貫通口２０１を経由してシャフ
ト支持部２０の円筒内側に入る。また、オイル入口１３
０からオイル通路１３に入る。その結果、静止時には、
オイル溜まり１８内のオイルとシャフト支持部２０内の
オイルとオイル通路１３内のオイルとは、同一の高さに
保持される。
は、オイル溜まり１８が形成されている。また、シャフ
ト２の下端側およびオイル吸い上げヘッド１７の回りに
は、オイル溜まり１８と一体に円筒状のシャフト支持部
２０が形成されている。オイル溜まり１８の下部には、
オイル通路１８０が形成され、このオイル通路１８０は
シャフト支持部２０の底辺部中央に設けられた貫通口２
０１に連通している。オイル溜まり１８内のオイルは、
オイル通路１８０および貫通口２０１を経由してシャフ
ト支持部２０の円筒内側に入る。また、オイル入口１３
０からオイル通路１３に入る。その結果、静止時には、
オイル溜まり１８内のオイルとシャフト支持部２０内の
オイルとオイル通路１３内のオイルとは、同一の高さに
保持される。
【００１１】シャフト支持部２０の内周面には、軸方向
に摺動可能なように軸受けスリーブ２１が設けられる。
軸受けスリーブ２１は突出部分２１０を有し、その突出
部分２１０の上端は軸受け６の外輪に接し、下端はスプ
リング１６に接している。スプリング１６は、ころがり
軸受５および６に予圧を与えるために設けられたもので
あり、シャフト支持部２０の底辺側に固定されて軸受ス
リーブ２１の突出部分２１０を押圧し、その押圧力は、
順に軸受け６の外輪、内輪、シャフト２、軸受け５の内
輪および外輪に伝わり、全体としてシャフト２をシャフ
ト支持部２０とハウジング１２の一部との間に支持す
る。
に摺動可能なように軸受けスリーブ２１が設けられる。
軸受けスリーブ２１は突出部分２１０を有し、その突出
部分２１０の上端は軸受け６の外輪に接し、下端はスプ
リング１６に接している。スプリング１６は、ころがり
軸受５および６に予圧を与えるために設けられたもので
あり、シャフト支持部２０の底辺側に固定されて軸受ス
リーブ２１の突出部分２１０を押圧し、その押圧力は、
順に軸受け６の外輪、内輪、シャフト２、軸受け５の内
輪および外輪に伝わり、全体としてシャフト２をシャフ
ト支持部２０とハウジング１２の一部との間に支持す
る。
【００１２】モータ３０を構成するステータ４の外回り
のハウジング１２には、そのステータ４の長手方向に沿
ってオイル戻り通路１５が設けられている。さらに、そ
の外回りのハウジング１２には、オイル戻り通路１５に
沿って冷却用水路１９が設けられている。
のハウジング１２には、そのステータ４の長手方向に沿
ってオイル戻り通路１５が設けられている。さらに、そ
の外回りのハウジング１２には、オイル戻り通路１５に
沿って冷却用水路１９が設けられている。
【００１３】上記構成のガスレーザ用送風機１００にお
いて、オイル吸い上げヘッド１７内部のオイル通路１３
に入っているオイルは、シャフト２の回転に伴う遠心力
によって、オイル通路１３の内壁面に押し当てられる。
このとき、オイルには、その内壁面に沿ってオイルを押
し上げようとする方向の分力が作用する。その結果、オ
イルは急速に吸い上げられて、シャフト２内部のオイル
通路１３を通過してオイル出口１３１から放出される。
その一部は、軸受け５に供給され、軸受け５の潤滑に使
用される。放出されたオイルは、オイル戻り通路１５を
通ってオイル溜まり１８に戻る。そして、オイル戻り通
路１５を通る際に冷却用水路１９の冷却水によって冷却
される。オイル溜まり１８に戻ったオイルは、オイル溜
まり１８の下部に設けられたオイル通路１８０および貫
通口２０１を経由して再度シャフト支持部２０の内部に
入る。このように、オイルは、シャフト２が回転してい
るときは、常に循環している。
いて、オイル吸い上げヘッド１７内部のオイル通路１３
に入っているオイルは、シャフト２の回転に伴う遠心力
によって、オイル通路１３の内壁面に押し当てられる。
このとき、オイルには、その内壁面に沿ってオイルを押
し上げようとする方向の分力が作用する。その結果、オ
イルは急速に吸い上げられて、シャフト２内部のオイル
通路１３を通過してオイル出口１３１から放出される。
その一部は、軸受け５に供給され、軸受け５の潤滑に使
用される。放出されたオイルは、オイル戻り通路１５を
通ってオイル溜まり１８に戻る。そして、オイル戻り通
路１５を通る際に冷却用水路１９の冷却水によって冷却
される。オイル溜まり１８に戻ったオイルは、オイル溜
まり１８の下部に設けられたオイル通路１８０および貫
通口２０１を経由して再度シャフト支持部２０の内部に
入る。このように、オイルは、シャフト２が回転してい
るときは、常に循環している。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ハウジング
１２内には、その構造上、軸受けの潤滑材や駆動用モー
タ３０が配置され、これらは大量の不純ガスを発生し
て、軸受け５から連通孔１２１ａを通してハウジング８
内に侵入する恐れがある。特に潤滑材は、高速回転する
軸受け５，６への潤滑性を最大限に考慮して選択しなけ
ればならないため、通常の真空装置の中で使用される蒸
気圧が低い潤滑材を使用することができない。これは、
一般に蒸気圧の低い潤滑材は、潤滑性が乏しいためであ
る。
１２内には、その構造上、軸受けの潤滑材や駆動用モー
タ３０が配置され、これらは大量の不純ガスを発生し
て、軸受け５から連通孔１２１ａを通してハウジング８
内に侵入する恐れがある。特に潤滑材は、高速回転する
軸受け５，６への潤滑性を最大限に考慮して選択しなけ
ればならないため、通常の真空装置の中で使用される蒸
気圧が低い潤滑材を使用することができない。これは、
一般に蒸気圧の低い潤滑材は、潤滑性が乏しいためであ
る。
【００１５】しかし、従来の技術では、高速で回転する
シャフト２のためにハウジング１２内とハウジング８と
を厳密に分離することが不可能であった。このため、ハ
ウジング１２内のモータ３０から発生するアウトガス
や、潤滑材そのものの蒸気は、連通孔１２１ａを通して
ハウジング８内に流入し、レーザガスの循環路に侵入す
る。極端な場合には、潤滑材そのものが、わずかな間隙
を通してハウジング８に侵入することもあった。このた
め、レーザガスは汚染され、レーザ出力低下の一因とな
っていた。また、これらハウジング１２内からレーザガ
スの循環路へ侵入した物質が、光共振器を構成する出力
結合鏡や全反射鏡等の光学部品に堆積して、レーザ出力
低下や光学部品の破損等を招いていた。また、これらの
問題は、オイル潤滑方式のレーザガス送風機に限らず、
グリース潤滑や、その他の潤滑方式にも生じている。
シャフト２のためにハウジング１２内とハウジング８と
を厳密に分離することが不可能であった。このため、ハ
ウジング１２内のモータ３０から発生するアウトガス
や、潤滑材そのものの蒸気は、連通孔１２１ａを通して
ハウジング８内に流入し、レーザガスの循環路に侵入す
る。極端な場合には、潤滑材そのものが、わずかな間隙
を通してハウジング８に侵入することもあった。このた
め、レーザガスは汚染され、レーザ出力低下の一因とな
っていた。また、これらハウジング１２内からレーザガ
スの循環路へ侵入した物質が、光共振器を構成する出力
結合鏡や全反射鏡等の光学部品に堆積して、レーザ出力
低下や光学部品の破損等を招いていた。また、これらの
問題は、オイル潤滑方式のレーザガス送風機に限らず、
グリース潤滑や、その他の潤滑方式にも生じている。
【００１６】従来はこれらの問題に対して、レーザガス
の循環路内のレーザガスの引き抜きと補給の量を増す方
法をとっていたが、レーザ発振装置のランニングコスト
の増大を招いていた。
の循環路内のレーザガスの引き抜きと補給の量を増す方
法をとっていたが、レーザ発振装置のランニングコスト
の増大を招いていた。
【００１７】また、ハウジング１２とハウジング８の間
の連通孔１２１ａをできるだけ狭くする方法もあるが、
加工精度の限界やコストをいたずらに増加させる等の問
題があり、その効果も不十分なものだった。
の連通孔１２１ａをできるだけ狭くする方法もあるが、
加工精度の限界やコストをいたずらに増加させる等の問
題があり、その効果も不十分なものだった。
【００１８】さらに、潤滑材が直接ハウジング８に入る
のを防ぐために、シャフト２に円板状のオイル切りを設
けている例もあるが、潤滑材蒸気やモータ３０からのア
ウトガスにはほとんど効果が無かった。
のを防ぐために、シャフト２に円板状のオイル切りを設
けている例もあるが、潤滑材蒸気やモータ３０からのア
ウトガスにはほとんど効果が無かった。
【００１９】さらにまた、積極的にハウジング１２とハ
ウジング８の間に接触式のメカニカルシール等を用いた
例もあるが、摺動面での磨耗や摩擦熱のために信頼性が
極めて乏しく、必要とされる寿命もないため、実用に耐
えるものではなかった。
ウジング８の間に接触式のメカニカルシール等を用いた
例もあるが、摺動面での磨耗や摩擦熱のために信頼性が
極めて乏しく、必要とされる寿命もないため、実用に耐
えるものではなかった。
【００２０】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、必要な信頼性と寿命を確保し、組立性に優れ
て安価でありながら、モータ側ケーシングから羽根車側
ケーシング内に流入するレーザ発振に有害な物質の量を
確実に低減することのできるガスレーザ用送風機を提供
することを目的とする。
のであり、必要な信頼性と寿命を確保し、組立性に優れ
て安価でありながら、モータ側ケーシングから羽根車側
ケーシング内に流入するレーザ発振に有害な物質の量を
確実に低減することのできるガスレーザ用送風機を提供
することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、ガスレーザ装置のレーザガスを強制的に
循環させるガスレーザ用送風機において、前記レーザガ
スの循環路と連通する循環路側ケーシングと、シャフト
の先端部が隔壁に形成された連通孔を介して前記循環路
側ケーシング内に挿入されるモータと、前記モータの本
体部を収納するモータ側ケーシングと、前記循環路側ケ
ーシング内に挿入されたシャフトの先端に取り付けられ
る羽根車と、前記連通孔において前記シャフトを回転自
在に支持する軸受けと、前記軸受けと前記羽根車との間
の部分に前記シャフトの周方向に沿って形成される環状
溝と、前記連通孔の内壁に設けられ、軸方向に所定の隙
間を空けて前記環状溝内に嵌合するリング部材と、を有
することを特徴とするガスレーザ用送風機が提供され
る。
決するために、ガスレーザ装置のレーザガスを強制的に
循環させるガスレーザ用送風機において、前記レーザガ
スの循環路と連通する循環路側ケーシングと、シャフト
の先端部が隔壁に形成された連通孔を介して前記循環路
側ケーシング内に挿入されるモータと、前記モータの本
体部を収納するモータ側ケーシングと、前記循環路側ケ
ーシング内に挿入されたシャフトの先端に取り付けられ
る羽根車と、前記連通孔において前記シャフトを回転自
在に支持する軸受けと、前記軸受けと前記羽根車との間
の部分に前記シャフトの周方向に沿って形成される環状
溝と、前記連通孔の内壁に設けられ、軸方向に所定の隙
間を空けて前記環状溝内に嵌合するリング部材と、を有
することを特徴とするガスレーザ用送風機が提供され
る。
【００２２】
【作用】レーザガスの循環路と連通する循環路側ケーシ
ング内には、モータのシャフトの先端部が隔壁に形成さ
れた連通孔を介して挿入される。モータの本体部は、モ
ータ側ケーシングに収納される。また、循環路側ケーシ
ング内に挿入されたシャフトの先端には、羽根車が取り
付けられる。軸受けは、連通孔においてシャフトを回転
自在に支持する。軸受けと羽根車との間の部分には、シ
ャフトの周方向に沿って環状溝が形成される。リング部
材は、連通孔の内壁に設けられ、軸方向に所定の隙間を
空けて環状溝内に嵌合する。
ング内には、モータのシャフトの先端部が隔壁に形成さ
れた連通孔を介して挿入される。モータの本体部は、モ
ータ側ケーシングに収納される。また、循環路側ケーシ
ング内に挿入されたシャフトの先端には、羽根車が取り
付けられる。軸受けは、連通孔においてシャフトを回転
自在に支持する。軸受けと羽根車との間の部分には、シ
ャフトの周方向に沿って環状溝が形成される。リング部
材は、連通孔の内壁に設けられ、軸方向に所定の隙間を
空けて環状溝内に嵌合する。
【００２３】すなわち、循環路側ケーシングとモータ側
ケーシングとのシーリングは、リング部材と溝との軸方
向の隙間の精度のみによって行われる。
ケーシングとのシーリングは、リング部材と溝との軸方
向の隙間の精度のみによって行われる。
【００２４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図２は本実施例のガスレーザ用送風機が適用さ
れる炭酸ガスレーザ装置の全体構成を示す図である。図
において、放電管７１の両端には、出力結合鏡７２と全
反射鏡７３とからなる光共振器が設置されている。放電
管７１の外周上には、金属電極７４および７５が取りつ
けられている。金属電極７４は接地され、金属電極７５
は高周波電源７６に接続されている。金属電極７４およ
び７５の間には、高周波電源７６から高周波電圧が印加
される。これによって、放電管７１内に高周波グロー放
電が発生し、レーザ励起が行われる。そのレーザ励起に
よって放電管７１内には、レーザビーム９３が生成さ
れ、その一部はレーザビーム９４となって出力結合鏡７
２から外部に取り出される。
明する。図２は本実施例のガスレーザ用送風機が適用さ
れる炭酸ガスレーザ装置の全体構成を示す図である。図
において、放電管７１の両端には、出力結合鏡７２と全
反射鏡７３とからなる光共振器が設置されている。放電
管７１の外周上には、金属電極７４および７５が取りつ
けられている。金属電極７４は接地され、金属電極７５
は高周波電源７６に接続されている。金属電極７４およ
び７５の間には、高周波電源７６から高周波電圧が印加
される。これによって、放電管７１内に高周波グロー放
電が発生し、レーザ励起が行われる。そのレーザ励起に
よって放電管７１内には、レーザビーム９３が生成さ
れ、その一部はレーザビーム９４となって出力結合鏡７
２から外部に取り出される。
【００２５】このような炭酸ガスレーザ装置を起動する
時には、必ず最初に真空ポンプ９２によって装置内部全
体の気体がレーザガス循環路７９の一部から排気され
る。ついでバルブ９１が開放になり所定流量のレーザガ
スがガスボンベ９０から導かれ、それにより装置内のガ
ス圧は規定値に達する。その後は真空ポンプ９２の排気
とバルブ９１の補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規
定値に保たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮
ガスに置換される。これによって装置内のガス汚染は防
止される。
時には、必ず最初に真空ポンプ９２によって装置内部全
体の気体がレーザガス循環路７９の一部から排気され
る。ついでバルブ９１が開放になり所定流量のレーザガ
スがガスボンベ９０から導かれ、それにより装置内のガ
ス圧は規定値に達する。その後は真空ポンプ９２の排気
とバルブ９１の補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規
定値に保たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮
ガスに置換される。これによって装置内のガス汚染は防
止される。
【００２６】さらに図２では、レーザガス循環路７９に
設けられたガスレーザ用送風機１００によって、レーザ
ガスを装置内で循環している。この目的はレーザガスの
冷却にある。炭酸ガス（ＣＯ2 ）レーザでは、注入電気
エネルギーの約２０％がレーザ光に変換され、他はガス
加熱に消費される。ところが、理論的にはレーザ発振利
得は絶対温度Ｔの−(3/2) 乗に比例するので、発振効率
を上昇させるためには、レーザガスを強制的に冷却して
やる必要がある。
設けられたガスレーザ用送風機１００によって、レーザ
ガスを装置内で循環している。この目的はレーザガスの
冷却にある。炭酸ガス（ＣＯ2 ）レーザでは、注入電気
エネルギーの約２０％がレーザ光に変換され、他はガス
加熱に消費される。ところが、理論的にはレーザ発振利
得は絶対温度Ｔの−(3/2) 乗に比例するので、発振効率
を上昇させるためには、レーザガスを強制的に冷却して
やる必要がある。
【００２７】本装置では、レーザガスは約２００ｍ／ｓ
ｅｃ以上の流速で放電管７１内を通過して矢印で示す方
向に流れ、冷却器７８に導かれる。冷却器７８は主とし
て放電による加熱エネルギーをレーザガスから除去す
る。そして、ガスレーザ用送風機１００は、冷却された
レーザガスを圧縮する。圧縮されたレーザガスは、冷却
器７７を介して放電管７１に導かれる。これは、ガスレ
ーザ用送風機１００で圧縮されたレーザガスが放電管７
１に再度導かれる前に、その圧縮熱を冷却器７７で除去
するためである。これらの冷却器７７および７８は、周
知であるので詳細な説明は省略する。
ｅｃ以上の流速で放電管７１内を通過して矢印で示す方
向に流れ、冷却器７８に導かれる。冷却器７８は主とし
て放電による加熱エネルギーをレーザガスから除去す
る。そして、ガスレーザ用送風機１００は、冷却された
レーザガスを圧縮する。圧縮されたレーザガスは、冷却
器７７を介して放電管７１に導かれる。これは、ガスレ
ーザ用送風機１００で圧縮されたレーザガスが放電管７
１に再度導かれる前に、その圧縮熱を冷却器７７で除去
するためである。これらの冷却器７７および７８は、周
知であるので詳細な説明は省略する。
【００２８】ガスレーザ用送風機１００は、図示されて
いないインバータで駆動される。このガスレーザ用送風
機１００の回転数は通常数万ＲＰＭと高速回転となるの
で、インバータにはその回転数に応じた高周波インバー
タが使用される。
いないインバータで駆動される。このガスレーザ用送風
機１００の回転数は通常数万ＲＰＭと高速回転となるの
で、インバータにはその回転数に応じた高周波インバー
タが使用される。
【００２９】図３は本実施例のガスレーザ用送風機１０
０の構成を示す断面図である。なお、ここでは、図６に
示した従来のガスレーザ用送風機と同じ構成部分につい
ては同符号を付し、説明を省略する。ハウジング１２に
は、ハウジング１２内と連通する真空排気経路４１が設
けられている。この真空排気経路４１は、真空排気装置
４２が取り付けられている。真空排気装置４２は、ハウ
ジング１２内のハウジング８側から浸入したレーザガス
を排気している。
０の構成を示す断面図である。なお、ここでは、図６に
示した従来のガスレーザ用送風機と同じ構成部分につい
ては同符号を付し、説明を省略する。ハウジング１２に
は、ハウジング１２内と連通する真空排気経路４１が設
けられている。この真空排気経路４１は、真空排気装置
４２が取り付けられている。真空排気装置４２は、ハウ
ジング１２内のハウジング８側から浸入したレーザガス
を排気している。
【００３０】図１は本実施例のガスレーザ用送風機１０
０の上側の軸受け５付近の構成を示す断面図である。環
状溝６５は羽根車１と軸受け５の間に位置し、本実施例
では、シャフト２に中間部材６６が挿入され、この中間
部材６６に環状溝として２本の溝６５１，６５２が形成
されている。中間部材６６の中心には、シャフト２の外
径よりわずかに大きな穴があいており、その中心穴にシ
ャフト２が嵌め合わされている。中間部材６６は、その
羽根車側の端面が羽根車１に、反対側の端面が軸受け５
の内輪５０１に直接接しており、羽根車１、中間部材６
６および軸受け５は、図３に示した軸端ナット７で共締
めされて固定されている。
０の上側の軸受け５付近の構成を示す断面図である。環
状溝６５は羽根車１と軸受け５の間に位置し、本実施例
では、シャフト２に中間部材６６が挿入され、この中間
部材６６に環状溝として２本の溝６５１，６５２が形成
されている。中間部材６６の中心には、シャフト２の外
径よりわずかに大きな穴があいており、その中心穴にシ
ャフト２が嵌め合わされている。中間部材６６は、その
羽根車側の端面が羽根車１に、反対側の端面が軸受け５
の内輪５０１に直接接しており、羽根車１、中間部材６
６および軸受け５は、図３に示した軸端ナット７で共締
めされて固定されている。
【００３１】中間部材６６の羽根車側端面の内周部分に
は，Ｏリング溝６７が形成されており、ここにはＯリン
グ６８が配置されている。このＯリング６８によって、
潤滑材が中間部材６６の中心穴とシャフト２のわずかな
隙間を通してハウジング８内へ侵入するのを防止するこ
とができる。
は，Ｏリング溝６７が形成されており、ここにはＯリン
グ６８が配置されている。このＯリング６８によって、
潤滑材が中間部材６６の中心穴とシャフト２のわずかな
隙間を通してハウジング８内へ侵入するのを防止するこ
とができる。
【００３２】中間部材６６は、ここでは、磁性体のステ
ンレスを材料としている。これは、磁性体であることに
より、溝６５１，６５２等の加工時の中間部材６６のマ
グネットチャックを可能にするためである。マグネット
チャックによりワークを固定した加工は、段取り時間が
短いにもかかわらず高い精度が得られる。一方、ステン
レスとすることにより、耐蝕性に優れる。また、中間部
材６６は、溝６５１，６５２加工の後，窒化処理を施し
てある。これは組み立て直後の回転開始時や、シャフト
２の温度変化により後述のリング部材６４と環状溝６５
が接した場合でも、十分な耐磨耗性を確保するためであ
る。窒化処理により環状溝６５の表面硬度はＨｖ８００
以上を確保している。また，窒化処理に代わって真空焼
き入れを施しても、ほぼ同様の効果を得る事ができる。
ンレスを材料としている。これは、磁性体であることに
より、溝６５１，６５２等の加工時の中間部材６６のマ
グネットチャックを可能にするためである。マグネット
チャックによりワークを固定した加工は、段取り時間が
短いにもかかわらず高い精度が得られる。一方、ステン
レスとすることにより、耐蝕性に優れる。また、中間部
材６６は、溝６５１，６５２加工の後，窒化処理を施し
てある。これは組み立て直後の回転開始時や、シャフト
２の温度変化により後述のリング部材６４と環状溝６５
が接した場合でも、十分な耐磨耗性を確保するためであ
る。窒化処理により環状溝６５の表面硬度はＨｖ８００
以上を確保している。また，窒化処理に代わって真空焼
き入れを施しても、ほぼ同様の効果を得る事ができる。
【００３３】さらに，中間部材６６は、加工時のマグネ
ットチャッキングや、その他の取り扱い方法により着磁
している可能性があるので、組み立て前に１０ガウス以
下に脱磁してある。これは万一溝６５とリング６４が接
触して磨耗粉を発生した場合や、潤滑材中に磁性体の異
物が存在した場合に、これらが中間部材６６の磁力によ
って環状溝６５付近に集まり、微小なリング６４との隙
間に噛み込む事を防止する目的である。
ットチャッキングや、その他の取り扱い方法により着磁
している可能性があるので、組み立て前に１０ガウス以
下に脱磁してある。これは万一溝６５とリング６４が接
触して磨耗粉を発生した場合や、潤滑材中に磁性体の異
物が存在した場合に、これらが中間部材６６の磁力によ
って環状溝６５付近に集まり、微小なリング６４との隙
間に噛み込む事を防止する目的である。
【００３４】隔壁１２１は、軸受け５が取り付けられる
軸受けホルダ６０と、リング６４が取り付けられるリン
グホルダ６３とから構成される。リングホルダ６３の内
周には、リング部材６４として、２個のリング６４１，
６４２が挿入されている。これらリング６４１，６４２
は、中間部材６６と同様に、組み立て前に脱磁が行われ
ている。このようなリング６４１，６４２は、それぞれ
中間部材６６の溝６５１，６５２との軸方向の隙間が
０．３ｍｍ以下となるように設計されている。
軸受けホルダ６０と、リング６４が取り付けられるリン
グホルダ６３とから構成される。リングホルダ６３の内
周には、リング部材６４として、２個のリング６４１，
６４２が挿入されている。これらリング６４１，６４２
は、中間部材６６と同様に、組み立て前に脱磁が行われ
ている。このようなリング６４１，６４２は、それぞれ
中間部材６６の溝６５１，６５２との軸方向の隙間が
０．３ｍｍ以下となるように設計されている。
【００３５】図４はリング部材６４の構成を示す図であ
り、（Ａ）は自由状態を示す図、（Ｂ）は装着時の状態
を示す図である。リング部材６４は、ステンレス系の焼
結金属でできている。これは中間部材６６と同様、耐食
性と耐磨耗性を確保する目的である。リング部材６４
は、一部に切り欠き６４ａが形成されており、自由状態
での外径寸法が送風機に装着した状態の外径寸法より若
干大きめに制作されている。言い換えると自由状態での
切り欠き６４ａの周方向隙間Ｌ１は約１ｍｍであり、送
風機に組み込んだ状態の周方向隙間Ｌ２は０．２ｍｍ以
下、好ましくは０．１ｍｍになるよう製造されている。
り、（Ａ）は自由状態を示す図、（Ｂ）は装着時の状態
を示す図である。リング部材６４は、ステンレス系の焼
結金属でできている。これは中間部材６６と同様、耐食
性と耐磨耗性を確保する目的である。リング部材６４
は、一部に切り欠き６４ａが形成されており、自由状態
での外径寸法が送風機に装着した状態の外径寸法より若
干大きめに制作されている。言い換えると自由状態での
切り欠き６４ａの周方向隙間Ｌ１は約１ｍｍであり、送
風機に組み込んだ状態の周方向隙間Ｌ２は０．２ｍｍ以
下、好ましくは０．１ｍｍになるよう製造されている。
【００３６】装着時の周方向隙間Ｌ２は、リング部材６
４と環状溝６５の軸方向隙間と同様大変重要である。な
ぜならハウジング１２からの不純物質は、この周方向隙
間Ｌ２を通してもハウジング８へ侵入するからである。
実際は製造しやすさ、組み立てしやすさ、製造コスト等
を勘案しながらなるべく小さくするのが望ましい。
４と環状溝６５の軸方向隙間と同様大変重要である。な
ぜならハウジング１２からの不純物質は、この周方向隙
間Ｌ２を通してもハウジング８へ侵入するからである。
実際は製造しやすさ、組み立てしやすさ、製造コスト等
を勘案しながらなるべく小さくするのが望ましい。
【００３７】また、図１に示すように、本実施例では、
リング部材６４、環状溝６５として、２組のリング６４
１，６４２と溝６５１，６５２を配置しているが、これ
らを配置する場合は、リング６４１，６４２の切り欠き
の角度方向位置に注意を払う事も同様の理由で重要であ
る。ハウジング１２から不純物質が切り欠き部６４ａの
周方向隙間Ｌ２をとおってハウジング８侵入する場合，
隣合うリング６４１，６４２の互いの切り欠き６４ａが
角度方向に同じ位置にあるときがもっとも抵抗が小さ
い。換言すればもっとも不純物質がハウジング８に侵入
しやすい。したがって本実施例では２つのリング６４
１，６４２の切り欠きの位置を少なくとも３０°以上、
好ましくは１８０°ずらして組み込んである。
リング部材６４、環状溝６５として、２組のリング６４
１，６４２と溝６５１，６５２を配置しているが、これ
らを配置する場合は、リング６４１，６４２の切り欠き
の角度方向位置に注意を払う事も同様の理由で重要であ
る。ハウジング１２から不純物質が切り欠き部６４ａの
周方向隙間Ｌ２をとおってハウジング８侵入する場合，
隣合うリング６４１，６４２の互いの切り欠き６４ａが
角度方向に同じ位置にあるときがもっとも抵抗が小さ
い。換言すればもっとも不純物質がハウジング８に侵入
しやすい。したがって本実施例では２つのリング６４
１，６４２の切り欠きの位置を少なくとも３０°以上、
好ましくは１８０°ずらして組み込んである。
【００３８】リング部材６４は、環状溝６５とほぼ同心
円上の内周面を有するリングホルダ６３に、リング部材
６４自身の外周を広げようとする弾性力で密着支持され
ている。ただし軸方向にはなんら固定されていないの
で、環状溝６５との軸方向隙間の範囲内で自由に移動す
る事ができる。これにより、製造時には、環状溝６５と
リング部材６４との軸方向隙間の精度みのに注意するだ
けでよく、シャフト２や中間部材６６、リングホルダ６
３の軸方向寸法精度に注意を払う必要は全くなくなる。
よって、各部品を極めて安価に製造する事が可能であ
る。
円上の内周面を有するリングホルダ６３に、リング部材
６４自身の外周を広げようとする弾性力で密着支持され
ている。ただし軸方向にはなんら固定されていないの
で、環状溝６５との軸方向隙間の範囲内で自由に移動す
る事ができる。これにより、製造時には、環状溝６５と
リング部材６４との軸方向隙間の精度みのに注意するだ
けでよく、シャフト２や中間部材６６、リングホルダ６
３の軸方向寸法精度に注意を払う必要は全くなくなる。
よって、各部品を極めて安価に製造する事が可能であ
る。
【００３９】また、組立時にリング部材６４と環状溝６
５が非接触になるような注意を払う必要 もない。なぜ
なら、 たとえ回転中に接触したとしてもその反動で、リ
ング部材６４は環状溝６５と接触したのと反対側へ速や
かに自動的に移動し、自ら非接触状態を作り出すからで
ある。これはシャフト２が回転中に温度変化を受けて、
熱膨張により環状溝６５の軸方向位置が微妙に変化して
も同様で、リング部材６４は自動的に非接触状態となる
ような軸方向位置へ移動する。
５が非接触になるような注意を払う必要 もない。なぜ
なら、 たとえ回転中に接触したとしてもその反動で、リ
ング部材６４は環状溝６５と接触したのと反対側へ速や
かに自動的に移動し、自ら非接触状態を作り出すからで
ある。これはシャフト２が回転中に温度変化を受けて、
熱膨張により環状溝６５の軸方向位置が微妙に変化して
も同様で、リング部材６４は自動的に非接触状態となる
ような軸方向位置へ移動する。
【００４０】軸受けホルダ６０には、軸受け５とリング
部材６４の間に突き出る軸受けカバー６１が形成されて
いる。軸受けカバー６１は、リング部材６４と環状溝６
５が接触した場合に発生する微小磨耗粉が軸受け内部に
侵入するのを防ぐために形成されている。これら磨耗粉
がもし軸受け５内部に侵入した場合は、軸受け５の転動
面を傷つけ軸受け寿命を低下させる。したがって軸受け
カバー６１は、できる限り完全に軸受けを覆うことが望
ましい。ただし、構造上困難なことも多いため、本実施
例では、その構造上から軸受け５の内輪５０１と外輪５
０２の開口部の軸方向投影面積の少なくとも５０％、好
ましくは７０％を覆うようにした。
部材６４の間に突き出る軸受けカバー６１が形成されて
いる。軸受けカバー６１は、リング部材６４と環状溝６
５が接触した場合に発生する微小磨耗粉が軸受け内部に
侵入するのを防ぐために形成されている。これら磨耗粉
がもし軸受け５内部に侵入した場合は、軸受け５の転動
面を傷つけ軸受け寿命を低下させる。したがって軸受け
カバー６１は、できる限り完全に軸受けを覆うことが望
ましい。ただし、構造上困難なことも多いため、本実施
例では、その構造上から軸受け５の内輪５０１と外輪５
０２の開口部の軸方向投影面積の少なくとも５０％、好
ましくは７０％を覆うようにした。
【００４１】さらに、軸受けカバー６１にもっとも近い
リング６４１と軸受けカバー６１との間には、排出経路
６２を設けている。排出経路６２は、リングホルダ６３
に形成された経路６３ａと、軸受けホルダ６０に形成さ
れた経路６０ａとが連通することにより形成されてい
る。排出経路６２は、潤滑材や微小磨耗粉が軸受け５を
通らずに速やかに排出されるように、断面積が大きほう
が望ましい。本実施例では１ｍｍ2 以上とし、好ましく
は２ｍｍ2 程度がよい。また、このとき、軸受けカバー
６１とリング６４１との距離は、１．５ｍｍ以上離れて
いることが好ましい。
リング６４１と軸受けカバー６１との間には、排出経路
６２を設けている。排出経路６２は、リングホルダ６３
に形成された経路６３ａと、軸受けホルダ６０に形成さ
れた経路６０ａとが連通することにより形成されてい
る。排出経路６２は、潤滑材や微小磨耗粉が軸受け５を
通らずに速やかに排出されるように、断面積が大きほう
が望ましい。本実施例では１ｍｍ2 以上とし、好ましく
は２ｍｍ2 程度がよい。また、このとき、軸受けカバー
６１とリング６４１との距離は、１．５ｍｍ以上離れて
いることが好ましい。
【００４２】さらに、本実施例では、図３で示したよう
に、真空排気経路４１を介してハウジング１２と真空排
気装置４２を連結するようにした。真空排気装置４２
は、リング部材６４と環状溝６５の隙間を通してハウジ
ング８から浸入するハウジング１２内レーザガスを排気
している。これにより、リング部材６４と環状溝６５の
わずかな軸方向隙間や、リング部材６４の周方向隙間Ｌ
２を通してハウジング１２からハウジング８へ侵入する
不純物質の進行方向とは反対方向のレーザガスの流れを
生じさせる事ができる。よって、ハウジング８へ侵入し
ようとする不純物質をハウジング１２へ押し戻す事がで
きる。
に、真空排気経路４１を介してハウジング１２と真空排
気装置４２を連結するようにした。真空排気装置４２
は、リング部材６４と環状溝６５の隙間を通してハウジ
ング８から浸入するハウジング１２内レーザガスを排気
している。これにより、リング部材６４と環状溝６５の
わずかな軸方向隙間や、リング部材６４の周方向隙間Ｌ
２を通してハウジング１２からハウジング８へ侵入する
不純物質の進行方向とは反対方向のレーザガスの流れを
生じさせる事ができる。よって、ハウジング８へ侵入し
ようとする不純物質をハウジング１２へ押し戻す事がで
きる。
【００４３】ハウジング１２から真空排気されたレーザ
ガスを破棄すれば、同量の新レーザガスをレーザガス循
環経路に補給しなければならないが、リング６４と溝６
５の軸方向隙間とリングの周方向隙間Ｌ２は極めて狭い
ため，この隙間を通して排気されるレーザガス量は多く
なり得ない。同様に新レーザガスの補給量も少ない。本
実施例のガスレーザ用送風機１００で実験したところ、
５ＮＬ／ｈで十分な効果を得る事ができ，ガスレーザ装
置のランニングコストに与える影響はほとんどなかっ
た。なお、本実施例では、真空排気装置４２をガスレー
ザ装置に組み込まれた真空ポンプ９２とは別に設置した
が、１台の真空排気装置で兼用することにより、ガスレ
ーザ装置の製造コストを低減できる。
ガスを破棄すれば、同量の新レーザガスをレーザガス循
環経路に補給しなければならないが、リング６４と溝６
５の軸方向隙間とリングの周方向隙間Ｌ２は極めて狭い
ため，この隙間を通して排気されるレーザガス量は多く
なり得ない。同様に新レーザガスの補給量も少ない。本
実施例のガスレーザ用送風機１００で実験したところ、
５ＮＬ／ｈで十分な効果を得る事ができ，ガスレーザ装
置のランニングコストに与える影響はほとんどなかっ
た。なお、本実施例では、真空排気装置４２をガスレー
ザ装置に組み込まれた真空ポンプ９２とは別に設置した
が、１台の真空排気装置で兼用することにより、ガスレ
ーザ装置の製造コストを低減できる。
【００４４】さらに、図５に示すように、リング６４１
とリング６４２の間に連通するガス吹き出し通路６３ｂ
をリングホルダ６３に形成し、このガス吹き出し通路６
３ｂを介してレーザ出力に影響を与えないガスをバッフ
ァガスとして補給してもよい。これにより、真空排気装
置４２と同様の効果を得る事ができる。また、この場
合、バッファガスとしてレーザガスを使用できる。ガス
吹き出し通路６３ｂから吹き出される新レーザガスのう
ち半分の量は、羽根車側のリング６４２と溝６５２の隙
間を通してハウジング８に供給され、レーザガス循環経
路への補給レーザガスとして使用される。一方、残りの
半分のガスは、軸受け側のリング６４１と溝６５１の隙
間を通してハウジング１２に供給され、真空排気装置４
２により排気される。
とリング６４２の間に連通するガス吹き出し通路６３ｂ
をリングホルダ６３に形成し、このガス吹き出し通路６
３ｂを介してレーザ出力に影響を与えないガスをバッフ
ァガスとして補給してもよい。これにより、真空排気装
置４２と同様の効果を得る事ができる。また、この場
合、バッファガスとしてレーザガスを使用できる。ガス
吹き出し通路６３ｂから吹き出される新レーザガスのう
ち半分の量は、羽根車側のリング６４２と溝６５２の隙
間を通してハウジング８に供給され、レーザガス循環経
路への補給レーザガスとして使用される。一方、残りの
半分のガスは、軸受け側のリング６４１と溝６５１の隙
間を通してハウジング１２に供給され、真空排気装置４
２により排気される。
【００４５】このように、本実施例では、環状溝６５と
リング部材６４とによってシーリングを行うようにした
ので、環状溝６５とリング部材６４との軸方向隙間の精
度のみを注意すればよく、シャフト２や中間部材６６、
リングホルダ６３の軸方向寸法精度に注意を払う必要は
全くなくなる。よって、各部品を極めて安価に製造する
事が可能である。
リング部材６４とによってシーリングを行うようにした
ので、環状溝６５とリング部材６４との軸方向隙間の精
度のみを注意すればよく、シャフト２や中間部材６６、
リングホルダ６３の軸方向寸法精度に注意を払う必要は
全くなくなる。よって、各部品を極めて安価に製造する
事が可能である。
【００４６】また、本実施例では、環状溝６５とリング
部材６４との軸方向の隙間を０．３ｍｍと大変狭くした
ので、ハウジング１２から発生する潤滑材、潤滑材の蒸
気、モータ３０からのアウトガス等が、ハウジング８へ
侵入するときの抵抗が大変大きくなり、その結果レーザ
ガス循環経路７９へ侵入する不純物の量が低下する。リ
ング６４と溝６５は接触していなので、当然、磨耗等の
問題はなく、信頼性は低下しない。
部材６４との軸方向の隙間を０．３ｍｍと大変狭くした
ので、ハウジング１２から発生する潤滑材、潤滑材の蒸
気、モータ３０からのアウトガス等が、ハウジング８へ
侵入するときの抵抗が大変大きくなり、その結果レーザ
ガス循環経路７９へ侵入する不純物の量が低下する。リ
ング６４と溝６５は接触していなので、当然、磨耗等の
問題はなく、信頼性は低下しない。
【００４７】また、本実施例では、リング部材６４の一
部に切り欠きを設けるようにしたので、リング６４を装
着するときには、例えば、弾性限界内で内径を広げなが
ら中間部材６６の外周面を挿入してリング６４１，６４
２をそれぞれ溝６５１，６５２に嵌め、そのリング６４
１，６４２が嵌められたままで中間部材６６をシャフト
２に装着する。このとき、中間部材６６をシャフト２に
装着した状態では、リング６４１，６４２は、リングホ
ルダ６３の内壁に押され、周方向隙間Ｌ２だけ開いた状
態に保持される。
部に切り欠きを設けるようにしたので、リング６４を装
着するときには、例えば、弾性限界内で内径を広げなが
ら中間部材６６の外周面を挿入してリング６４１，６４
２をそれぞれ溝６５１，６５２に嵌め、そのリング６４
１，６４２が嵌められたままで中間部材６６をシャフト
２に装着する。このとき、中間部材６６をシャフト２に
装着した状態では、リング６４１，６４２は、リングホ
ルダ６３の内壁に押され、周方向隙間Ｌ２だけ開いた状
態に保持される。
【００４８】このように、環状溝６５を有する１個の中
間部材６６と、リング６４１，６４２とを設けるだけ
で、シール効果を発揮することができる。すなわち、リ
ング６４１，６４２の弾性力による径の可動範囲内で自
動的に寸法を調節することができる。このようなことか
らも、環状溝６５の軸方向幅寸法、リング部材６４の軸
方向幅寸法の管理が容易となる。よって、製造コストが
低減できる。また、軸方向の隙間を小さくすることがで
き、軸受け５から羽根車１の先端までの距離を短くでき
る。したがって、羽根車１の回転時の安定性や耐久性が
向上し、製品精度が高まる。
間部材６６と、リング６４１，６４２とを設けるだけ
で、シール効果を発揮することができる。すなわち、リ
ング６４１，６４２の弾性力による径の可動範囲内で自
動的に寸法を調節することができる。このようなことか
らも、環状溝６５の軸方向幅寸法、リング部材６４の軸
方向幅寸法の管理が容易となる。よって、製造コストが
低減できる。また、軸方向の隙間を小さくすることがで
き、軸受け５から羽根車１の先端までの距離を短くでき
る。したがって、羽根車１の回転時の安定性や耐久性が
向上し、製品精度が高まる。
【００４９】さらに、リング部材６４は、リングホルダ
６３の内壁に対して軸方向に摺動可能なので、リング部
材６４や環状溝６５を固定する部品の寸法精度を管理す
る必要や、組立時に非接触となるように調整する必要が
全くなくなる。よって、さらにリング部材６４と環状溝
６５の間隙寸法を小さくすることができる。これによ
り、いっそうの不純物のレーザガス循環経路への侵入量
を減らせるとともに、なおいっそう安価に製造できる。
６３の内壁に対して軸方向に摺動可能なので、リング部
材６４や環状溝６５を固定する部品の寸法精度を管理す
る必要や、組立時に非接触となるように調整する必要が
全くなくなる。よって、さらにリング部材６４と環状溝
６５の間隙寸法を小さくすることができる。これによ
り、いっそうの不純物のレーザガス循環経路への侵入量
を減らせるとともに、なおいっそう安価に製造できる。
【００５０】なお本実施例では、オイル潤滑による送風
機の例を示したが、グリース潤滑など他の潤滑方法にお
いても、同様の効果が得られる。また、潤滑材を使用し
ない方式でも、モータ等からのアウトガスに対して同様
の効果が得られる。
機の例を示したが、グリース潤滑など他の潤滑方法にお
いても、同様の効果が得られる。また、潤滑材を使用し
ない方式でも、モータ等からのアウトガスに対して同様
の効果が得られる。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、軸受け
と羽根車との間の部分に、シャフトの周方向に沿って環
状溝を形成し、軸方向に所定の隙間を空けて環状溝内に
嵌合するリング部材を、循環路側ケーシングとモータ側
ケーシングとの間の隔壁に形成された連通孔の内壁に設
けるようにしたので、循環路側ケーシングとモータ側ケ
ーシングとの間のシーリングを、リング部材と溝との軸
方向の隙間の精度のみによって行うことができる。この
ため、その他の部分の寸法精度に注意することなく、必
要な信頼性と寿命を確保することができる。したがっ
て、組立性に優れて安価でありながら、モータ側ケーシ
ングから羽根車側ケーシング内に流入するレーザ発振に
有害な物質の量を確実に低減することができる。
と羽根車との間の部分に、シャフトの周方向に沿って環
状溝を形成し、軸方向に所定の隙間を空けて環状溝内に
嵌合するリング部材を、循環路側ケーシングとモータ側
ケーシングとの間の隔壁に形成された連通孔の内壁に設
けるようにしたので、循環路側ケーシングとモータ側ケ
ーシングとの間のシーリングを、リング部材と溝との軸
方向の隙間の精度のみによって行うことができる。この
ため、その他の部分の寸法精度に注意することなく、必
要な信頼性と寿命を確保することができる。したがっ
て、組立性に優れて安価でありながら、モータ側ケーシ
ングから羽根車側ケーシング内に流入するレーザ発振に
有害な物質の量を確実に低減することができる。
【図１】本実施例のガスレーザ用送風機の上側の軸受け
付近の構成を示す断面図である。
付近の構成を示す断面図である。
【図２】本実施例のガスレーザ用送風機が適用される炭
酸ガスレーザ装置の全体構成を示す図である。
酸ガスレーザ装置の全体構成を示す図である。
【図３】本実施例のガスレーザ用送風機の構成を示す断
面図である。
面図である。
【図４】リング部材の構成を示す図であり、（Ａ）は自
由状態を示す図、（Ｂ）は装着時の状態を示す図であ
る。
由状態を示す図、（Ｂ）は装着時の状態を示す図であ
る。
【図５】ガス吹き出し通路を形成した場合の構成を示す
図である。
図である。
【図６】従来のガスレーザ用送風機の構成を示す図であ
る。
る。
１ 羽根車 ２ シャフト ５ 軸受け ８ ハウジング（循環路側ケーシング） １２ ハウジング（モータ側ケーシング） １３ オイル通路 ３０ モータ ４１ 真空排気経路 ４２ 真空排気装置 ６０ 軸受けホルダ ６１ 軸受けカバー ６２ 排出経路 ６３ リングホルダ ６４ リング部材 ６５ 環状溝 ６６ 中間部材 １００ ガスレーザ用送風機
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中原 賢治 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内 (72)発明者 三井 賢治 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内
Claims (21)
- 【請求項１】 ガスレーザ装置のレーザガスを強制的に
循環させるガスレーザ用送風機において、 前記レーザガスの循環路と連通する循環路側ケーシング
と、 シャフトの先端部が隔壁に形成された連通孔を介して前
記循環路側ケーシング内に挿入されるモータと、 前記モータの本体部を収納するモータ側ケーシングと、 前記循環路側ケーシング内に挿入されたシャフトの先端
に取り付けられる羽根車と、 前記連通孔において前記シャフトを回転自在に支持する
軸受けと、 前記軸受けと前記羽根車との間の部分に前記シャフトの
周方向に沿って形成される環状溝と、 前記連通孔の内壁に設けられ、軸方向に所定の隙間を空
けて前記環状溝内に嵌合するリング部材と、 を有することを特徴とするガスレーザ用送風機。 - 【請求項２】 前記環状溝は、前記シャフトの外周面に
直接形成されていることを特徴とする請求項１記載のガ
スレーザ用送風機。 - 【請求項３】 前記環状溝は、前記シャフトの前記軸受
けと前記羽根車との間の部分に装着される中間部材の外
周面に形成されていることを特徴とする請求項１記載の
ガスレーザ用送風機。 - 【請求項４】 前記中間部材は、磁性体の耐触金属であ
ることを特徴とする請求項３記載のガスレーザ用送風
機。 - 【請求項５】 前記中間部材の前記羽根車側の端面のシ
ャフト側端部には、Ｏリング用の溝が形成されており、
前記Ｏリング用の溝にＯリングが嵌合された状態で中間
部材が装着されていることを特徴とする請求項３記載の
ガスレーザ用送風機。 - 【請求項６】 前記中間部材の一端面は前記羽根車の端
面と直接接触し、他端面は、前記軸受けの内輪の端面と
直接接触するように装着されていることを特徴とする請
求項３記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項７】 前記中間部材は、真空焼き入れされてい
ることを特徴とする請求項３記載のガスレーザ用送風
機。 - 【請求項８】 前記中間部材は、窒化されていることを
特徴とする請求項３記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項９】 前記中間部材は、１０ガウス以下に脱磁
処理されていることを特徴とする請求項３記載のガスレ
ーザ用送風機。 - 【請求項１０】 前記リング部材は、前記連通孔の内壁
に密着保持されるように設けられていることを特徴とす
る請求項１記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項１１】 前記リング部材は、前記連通孔の内壁
で前記軸方向に摺動可能に設けられていることを特徴と
する請求項１記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項１２】 前記リング部材は、前記連通孔の内壁
よりも径が大きく形成されるとともに、一部に切り欠き
が形成されていることを特徴とする請求項１記載のガス
レーザ用送風機。 - 【請求項１３】 前記切り欠きは、前記リング部材を前
記連通孔の内壁に挿入した場合の周方向隙間が０．２ｍ
ｍ以下となるように形成されていることを特徴とする請
求項１２記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項１４】 前記環状溝および前記リング部材は、
複数組設けられており、隣接する前記リング部材の切り
欠きの位置は、互いに３０°以上ズレていることを特徴
とする請求項１２記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項１５】 前記リング部材は、焼結金属で形成さ
れていることを特徴とする請求項１記載のガスレーザ用
送風機。 - 【請求項１６】 前記リング部材は、１０ガウス以下に
脱磁処理されていることを特徴とする請求項１記載のガ
スレーザ用送風機。 - 【請求項１７】 前記モータ側ケーシングには、真空排
気通路を介して、真空排気装置が連結されていることを
特徴とする請求項１記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項１８】 前記軸受けと前記リングとの間には、
前記軸受けの内輪と外輪との間の開口端面の面積の５０
％以上を覆う軸受けカバーが形成されていることを特徴
とする請求項１記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項１９】 前記軸受けカバーと前記リング部材
は、軸方向の距離が１．５ｍｍ以上離れていることを特
徴とする請求項１８記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項２０】 前記環状溝および前記リング部材は、
複数組設けられており、隣接する何れかのリング部材の
間からバッファガスを前記循環路側ケーシング内に供給
するバッファガス供給路が形成されていることを特徴と
する請求項１記載のガスレーザ用送風機。 - 【請求項２１】 前記バッファガスは、ガスレーザ装置
で使用されるレーザガスであることを特徴とする請求項
２０記載のガスレーザ用送風機。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7139515A JPH08335731A (ja) | 1995-06-06 | 1995-06-06 | ガスレーザ用送風機 |
| PCT/JP1996/001540 WO1996039732A1 (fr) | 1995-06-06 | 1996-06-06 | Soufflante pour lasers a gaz |
| EP96916329A EP0779686B1 (en) | 1995-06-06 | 1996-06-06 | Blower for gas lasers |
| DE69614490T DE69614490T2 (de) | 1995-06-06 | 1996-06-06 | Gebläse für gaslaser |
| US08/776,538 US5856992A (en) | 1995-06-06 | 1996-06-06 | Gas laser blower |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7139515A JPH08335731A (ja) | 1995-06-06 | 1995-06-06 | ガスレーザ用送風機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08335731A true JPH08335731A (ja) | 1996-12-17 |
Family
ID=15247100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7139515A Pending JPH08335731A (ja) | 1995-06-06 | 1995-06-06 | ガスレーザ用送風機 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5856992A (ja) |
| EP (1) | EP0779686B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08335731A (ja) |
| DE (1) | DE69614490T2 (ja) |
| WO (1) | WO1996039732A1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010098031A1 (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
| DE102016003364A1 (de) | 2015-03-25 | 2016-09-29 | Fanuc Corporation | Gebläse, das mit einer Struktur versehen ist, die eine Beschädigung einer Wellendichtung unterbindet |
| JP2016219717A (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-22 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
| JP2017028212A (ja) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2238542C (en) * | 1996-01-23 | 2001-08-21 | Hamid Kashefy | Dynamic traffic light, vehicle signalling display |
| US6808741B1 (en) | 2001-10-26 | 2004-10-26 | Seagate Technology Llc | In-line, pass-by method for vapor lubrication |
| JP2005209832A (ja) * | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ発振装置とその製造方法およびレーザ加工機 |
| US7535150B1 (en) | 2006-05-08 | 2009-05-19 | Prc Laser Corporation | Centrifugal turbine blower with gas foil bearings |
| EP2218998B1 (en) * | 2009-02-03 | 2012-12-19 | Ipsen, Inc. | A sealing mechanism for a vacuum heat treating furnace |
| DE202009013629U1 (de) * | 2009-10-09 | 2011-02-24 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuum-Wälzlageranordnung sowie Vakuumpumpe |
| CN202391815U (zh) * | 2011-12-03 | 2012-08-22 | 中山大洋电机股份有限公司 | 一种引风机蜗壳密封结构 |
| US9051971B2 (en) * | 2012-02-23 | 2015-06-09 | Shanghai YJ Bearing Manufacture Co., Ltd. | Oil-mist-free and high-speed electric spindle |
| WO2014152390A1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | United Technologies Corporation | Bearing assembly with lubricant/coolant passages |
| DE102013021757A1 (de) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | Netzsch Trockenmahltechnik Gmbh | Maschine mit fliegend gelagertem Rotor |
| JP6151382B2 (ja) * | 2014-02-13 | 2017-06-21 | 三菱重工業株式会社 | 多段電動遠心圧縮機 |
| US9732766B2 (en) * | 2014-02-19 | 2017-08-15 | Honeywell International Inc. | Electric motor-driven compressor having a heat shield forming a wall of a diffuser |
| JP6031064B2 (ja) * | 2014-05-15 | 2016-11-24 | ファナック株式会社 | ガス循環式のレーザ発振装置 |
| DE102015214789A1 (de) * | 2015-08-03 | 2016-07-28 | Magna Powertrain Bad Homburg GmbH | Elektrischer Verdichter und Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Verdichters |
| CN112196133A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-01-08 | 衡阳远大建筑工业有限公司 | 一种可透风的装配式墙体组件 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4612570Y1 (ja) * | 1966-10-21 | 1971-05-04 | ||
| JPS4826304U (ja) * | 1971-08-07 | 1973-03-29 | ||
| JPS5051056U (ja) * | 1973-09-08 | 1975-05-17 | ||
| JPS5643429U (ja) * | 1979-09-11 | 1981-04-20 | ||
| JPS62159795A (ja) * | 1986-01-04 | 1987-07-15 | フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− | 送風機 |
| JPS6357864U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-18 | ||
| JPH021193A (ja) * | 1988-03-03 | 1990-01-05 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JPH0230448A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Fuji Jikou Kk | 電磁チャック用消磁装置 |
| JPH0421150U (ja) * | 1990-06-06 | 1992-02-21 | ||
| JPH06122957A (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Matsushita Electric Works Ltd | フェライト系ステンレス材の表面処理方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6357864A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-12 | Toyota Motor Corp | 気化器式内燃機関の空燃比制御装置 |
| JPH01189975A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-07-31 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JPH01205585A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-17 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JPH03120882A (ja) * | 1989-10-04 | 1991-05-23 | Fanuc Ltd | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
| JP3312305B2 (ja) * | 1992-11-24 | 2002-08-05 | 株式会社島津製作所 | レ−ザ気体移送装置 |
| US5461636A (en) * | 1994-01-24 | 1995-10-24 | Fanuc Ltd. | Turbo blower for lasers |
-
1995
- 1995-06-06 JP JP7139515A patent/JPH08335731A/ja active Pending
-
1996
- 1996-06-06 EP EP96916329A patent/EP0779686B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-06-06 US US08/776,538 patent/US5856992A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-06-06 DE DE69614490T patent/DE69614490T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-06-06 WO PCT/JP1996/001540 patent/WO1996039732A1/ja active IP Right Grant
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4612570Y1 (ja) * | 1966-10-21 | 1971-05-04 | ||
| JPS4826304U (ja) * | 1971-08-07 | 1973-03-29 | ||
| JPS5051056U (ja) * | 1973-09-08 | 1975-05-17 | ||
| JPS5643429U (ja) * | 1979-09-11 | 1981-04-20 | ||
| JPS62159795A (ja) * | 1986-01-04 | 1987-07-15 | フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− | 送風機 |
| JPS6357864U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-18 | ||
| JPH021193A (ja) * | 1988-03-03 | 1990-01-05 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JPH0230448A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Fuji Jikou Kk | 電磁チャック用消磁装置 |
| JPH0421150U (ja) * | 1990-06-06 | 1992-02-21 | ||
| JPH06122957A (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Matsushita Electric Works Ltd | フェライト系ステンレス材の表面処理方法 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010098031A1 (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
| JP5218637B2 (ja) * | 2009-02-24 | 2013-06-26 | パナソニック株式会社 | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
| US8792529B2 (en) | 2009-02-24 | 2014-07-29 | Panasonic Corporation | Gas laser oscillation device and gas laser processing machine |
| DE102016003364A1 (de) | 2015-03-25 | 2016-09-29 | Fanuc Corporation | Gebläse, das mit einer Struktur versehen ist, die eine Beschädigung einer Wellendichtung unterbindet |
| JP2016183578A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-20 | ファナック株式会社 | 軸シールの損傷を抑制する構造を備えた送風機 |
| US10428840B2 (en) | 2015-03-25 | 2019-10-01 | Fanuc Corporation | Blower provided with structure suppressing damage to shaft seal |
| JP2016219717A (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-22 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
| JP2017028212A (ja) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0779686B1 (en) | 2001-08-16 |
| EP0779686A1 (en) | 1997-06-18 |
| DE69614490D1 (de) | 2001-09-20 |
| WO1996039732A1 (fr) | 1996-12-12 |
| EP0779686A4 (en) | 1998-09-16 |
| US5856992A (en) | 1999-01-05 |
| DE69614490T2 (de) | 2001-11-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08335731A (ja) | ガスレーザ用送風機 | |
| EP0412165B1 (en) | Turboblower for lasers and laser oscillator | |
| US5312192A (en) | Bearing lubricating structure for rotary machinery | |
| US5461636A (en) | Turbo blower for lasers | |
| JP2834035B2 (ja) | ポンプ | |
| EP0446369A1 (en) | Turbo blower for laser and laser oscillator using the same | |
| JP2793612B2 (ja) | レーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 | |
| US5966398A (en) | Blower for a gas laser | |
| JPH0351517A (ja) | 高速用軸受及びそれを用いたレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 | |
| JPH07211964A (ja) | レーザ用ターボブロア | |
| JPH07211965A (ja) | レーザ用ターボブロア | |
| JPH0344986A (ja) | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 | |
| JPH022695A (ja) | レーザ発振装置 | |
| EP0411134B1 (en) | Turbo-blower for laser and laser oscillator using the same | |
| JP4527622B2 (ja) | 転がり軸受の潤滑装置 | |
| JPH07211961A (ja) | レーザ用ターボブロア | |
| JP4007190B2 (ja) | レーザ発振装置の製造方法 | |
| JP2001020895A (ja) | 電動式ターボ機械 | |
| JPH07211962A (ja) | レーザ用ターボブロア | |
| JPH07211963A (ja) | レーザ用ターボブロア | |
| JP3097386B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JPH0344082A (ja) | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 | |
| JPH05332291A (ja) | 水中軸受 | |
| JPH05292700A (ja) | エアスピンドルユニット | |
| JPH06216437A (ja) | レーザ用ターボブロア |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020528 |