JPH0344986A - レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 - Google Patents
レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置Info
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- JPH0344986A JPH0344986A JP18086289A JP18086289A JPH0344986A JP H0344986 A JPH0344986 A JP H0344986A JP 18086289 A JP18086289 A JP 18086289A JP 18086289 A JP18086289 A JP 18086289A JP H0344986 A JPH0344986 A JP H0344986A
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 23
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 230000005457 Black-body radiation Effects 0.000 abstract description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 2
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 abstract 1
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 10
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は加工用ガスレーザ装置等のレーザガスを強制的
に＠環させるレーザ用ターボブロア及びそれを用いたレ
ーザ発振装置に係り、特に軸受の長寿命化を実現させ、
信頼性、保守性を改良したレーザ用ターボブロア及びレ
ーザ発振装置に関する。
に＠環させるレーザ用ターボブロア及びそれを用いたレ
ーザ発振装置に係り、特に軸受の長寿命化を実現させ、
信頼性、保守性を改良したレーザ用ターボブロア及びレ
ーザ発振装置に関する。
最近の炭酸（ＣＯ２）ガスレーザ発振装置は高出力が得
られ、レーザビームの質もよく、金属又は非金属材料等
の切断及び金属材料等の溶接等といったレーザ加工に広
く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ（数
値制御装置）と結合したＣＮＣレーザ加工機として、複
雑な形状を高速かつ高精度で切断する分野において急速
に発展しつつある。
られ、レーザビームの質もよく、金属又は非金属材料等
の切断及び金属材料等の溶接等といったレーザ加工に広
く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ（数
値制御装置）と結合したＣＮＣレーザ加工機として、複
雑な形状を高速かつ高精度で切断する分野において急速
に発展しつつある。
以下図面を用いて従来の炭酸（Ｃｏ２）ガスレーザ発振
装置を説明する。
装置を説明する。
第４図は従来技術による炭酸（ＣＯ２）ガスレーザ発振
装置の全体構成を示す図である。放電管３１の両端には
出力結合鏡３２と全反射鏡３３とからなる光共振器が設
置されている。放電管３１の外周上には金属電極３４及
び３５が取り付けられている。金属電極３４は接地され
、金属電極３５は高周波電源３６に接続されている。金
属電極３４及び３５の間には高周波電源３６から高周波
電圧が印加される。これによって、放電管３１内に高周
波グロー放電が発生し、レーザ励起が行われる。放電管
３１内のレーザビーム光軸を４３で、また出力結合鏡３
２から外部に取り出されるレーザビーム光軸を４４でそ
れぞれ示す。
装置の全体構成を示す図である。放電管３１の両端には
出力結合鏡３２と全反射鏡３３とからなる光共振器が設
置されている。放電管３１の外周上には金属電極３４及
び３５が取り付けられている。金属電極３４は接地され
、金属電極３５は高周波電源３６に接続されている。金
属電極３４及び３５の間には高周波電源３６から高周波
電圧が印加される。これによって、放電管３１内に高周
波グロー放電が発生し、レーザ励起が行われる。放電管
３１内のレーザビーム光軸を４３で、また出力結合鏡３
２から外部に取り出されるレーザビーム光軸を４４でそ
れぞれ示す。
このようなガスレーザ発振装置を起動する時には必ず最
初に真空ポンプ４２によって装置内部全体の気体が排気
される。ついでバルブ４１が開放になり所定流量のレー
ザガスがガスボンベ４０から導かれ装置内のガス圧は規
定値に達する。その後は真空ポンプ４２の排気とバルブ
４１の補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規定値に保
たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮ガスに置
換される。これによって装置内のガス汚染は防止される
。
初に真空ポンプ４２によって装置内部全体の気体が排気
される。ついでバルブ４１が開放になり所定流量のレー
ザガスがガスボンベ４０から導かれ装置内のガス圧は規
定値に達する。その後は真空ポンプ４２の排気とバルブ
４１の補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規定値に保
たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮ガスに置
換される。これによって装置内のガス汚染は防止される
。
さらに第４図では送風機３９によってレーザガスを装置
内で循環している。この目的はレーザガスの冷却にある
。炭酸（ＣＯ２）ガスレーザでは注入電気エネルギーの
約２０％がレーザ光に変換され、他はガス加熱に消費さ
れる。ところが理論によればレーザ発振利得は絶対温度
Ｔの−（３／２）乗に比例するので発振効率を上昇させ
るためにはレーザガスを強制的に冷却してやる必要があ
る。
内で循環している。この目的はレーザガスの冷却にある
。炭酸（ＣＯ２）ガスレーザでは注入電気エネルギーの
約２０％がレーザ光に変換され、他はガス加熱に消費さ
れる。ところが理論によればレーザ発振利得は絶対温度
Ｔの−（３／２）乗に比例するので発振効率を上昇させ
るためにはレーザガスを強制的に冷却してやる必要があ
る。
本装置ではレーザガスは約１００ｍ／ｓｅｃの流速で放
電管３１内を通過し矢印で示す方向に流れ、冷却器３８
に導かれる。冷却器３８は主として放電による加熱エネ
ルギーをレーザガスから除去する。そして、送風機３９
は冷却されたレーザガスを圧縮する。圧縮されたレーザ
ガスは冷却器３７を介して放電管３１に導かれる。これ
は、送風機３９で発生した圧縮熱を放電管３１に再度導
かれる前に冷却器３７で除去するためである。これらの
冷却器３７及び３８は周知であるので詳細な説明は省略
する。
電管３１内を通過し矢印で示す方向に流れ、冷却器３８
に導かれる。冷却器３８は主として放電による加熱エネ
ルギーをレーザガスから除去する。そして、送風機３９
は冷却されたレーザガスを圧縮する。圧縮されたレーザ
ガスは冷却器３７を介して放電管３１に導かれる。これ
は、送風機３９で発生した圧縮熱を放電管３１に再度導
かれる前に冷却器３７で除去するためである。これらの
冷却器３７及び３８は周知であるので詳細な説明は省略
する。
送風機３９として採用されているものにはルーツブロア
とターボブロアがある。第５図にターボブロアの構造を
示す。ターボ翼ｌとシャフト２とは機械的に結合されて
いる。シャフト２にはロータ３が取り付けられており、
ロータ３とステータ４とで高周波モーターを構成してい
る。ターボ翼ｌはこの高周波モータによって、回転数約
１０万ＲＰＭの高速で回転される。そのため低速回転の
ルーツブロアに比較して回転数に逆比例して体積が小さ
くなっている。
とターボブロアがある。第５図にターボブロアの構造を
示す。ターボ翼ｌとシャフト２とは機械的に結合されて
いる。シャフト２にはロータ３が取り付けられており、
ロータ３とステータ４とで高周波モーターを構成してい
る。ターボ翼ｌはこの高周波モータによって、回転数約
１０万ＲＰＭの高速で回転される。そのため低速回転の
ルーツブロアに比較して回転数に逆比例して体積が小さ
くなっている。
さらに、シャフト２の支持のために、高周波モータの両
側に一対のころがり軸受５及び６が使用されている。こ
ろがり軸受５及び６の潤滑には、オイルミストによるレ
ーザガス汚染を防止するために、通常グリース潤滑が使
用される。
側に一対のころがり軸受５及び６が使用されている。こ
ろがり軸受５及び６の潤滑には、オイルミストによるレ
ーザガス汚染を防止するために、通常グリース潤滑が使
用される。
このような構成によって、レーザガスは矢印８のように
冷却器３８からレーザ用ターボブロアへ吸入され、矢印
７のようにレーザ用ターボブロアから冷却器３７へ吐出
される。
冷却器３８からレーザ用ターボブロアへ吸入され、矢印
７のようにレーザ用ターボブロアから冷却器３７へ吐出
される。
第４図及び第５図に示す従来のレーザ発振装置では以下
のような課題がある。
のような課題がある。
即ち、従来のレーザ用ターボブロアでは、１０万ＲＰＭ
もの高速回転のため、モータからの発熱が大きく、グリ
ースの劣化及び枯渇といった問題が生じていた。即ち、
モータの効率は約７５％程度であり、残りの２５％はモ
ータの発熱損失となる。例えば、出力２ｋＷのモータの
場合、約６６７Ｗが発熱損失となる。このうちの約５６
７Ｗはステータ４の鉄損と銅損による発熱であり、約１
００Ｗがロータ３の銅損による発熱である。
もの高速回転のため、モータからの発熱が大きく、グリ
ースの劣化及び枯渇といった問題が生じていた。即ち、
モータの効率は約７５％程度であり、残りの２５％はモ
ータの発熱損失となる。例えば、出力２ｋＷのモータの
場合、約６６７Ｗが発熱損失となる。このうちの約５６
７Ｗはステータ４の鉄損と銅損による発熱であり、約１
００Ｗがロータ３の銅損による発熱である。
この発熱によって、ロータ３の温度は２００℃以上にも
達する。ステータ４の発熱はステータ外周部に水冷装置
を設けることによって、冷却可能であるが、ロータ３は
高速で回転しているため、ステータのように水冷装置を
設けて冷却することは不可能である。また、モータ内は
０．ｌ気圧程度のレーザガスしか存在しないので、空冷
による冷却効果もほとんど期待できない。
達する。ステータ４の発熱はステータ外周部に水冷装置
を設けることによって、冷却可能であるが、ロータ３は
高速で回転しているため、ステータのように水冷装置を
設けて冷却することは不可能である。また、モータ内は
０．ｌ気圧程度のレーザガスしか存在しないので、空冷
による冷却効果もほとんど期待できない。
従って、ロータ３で発生した熱はシャフト２を伝わり、
シャフト２に固定された軸受５及び６を加熱し、軸受の
温度を上昇させる。軸受は約８０℃の温度までは問題な
く動作するが、これ以上の温度になると、１０℃上昇す
る毎に軸受の寿命が２分の１になるという問題がある。
シャフト２に固定された軸受５及び６を加熱し、軸受の
温度を上昇させる。軸受は約８０℃の温度までは問題な
く動作するが、これ以上の温度になると、１０℃上昇す
る毎に軸受の寿命が２分の１になるという問題がある。
これは、軸受の潤滑剤が高温度によって劣化することに
起因する。
起因する。
従って、このような状態のまま、運転を継続すると軸受
が破壊してしまうという問題がある。そこで、通常は１
０００時間毎にグリースを補充したり、軸受自身を交換
したりしていた。従って、従来はこのようなメンテナン
スに多大な労力を費やしていた。
が破壊してしまうという問題がある。そこで、通常は１
０００時間毎にグリースを補充したり、軸受自身を交換
したりしていた。従って、従来はこのようなメンテナン
スに多大な労力を費やしていた。
さらに、軸受５及び６に伝わった熱によって、グリース
が気化してしまい。気化したグリースはレーザガス中に
混入して光学部品等を汚染し、レーザ出力低下やモード
変形等といった問題を起こしていた。
が気化してしまい。気化したグリースはレーザガス中に
混入して光学部品等を汚染し、レーザ出力低下やモード
変形等といった問題を起こしていた。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、軸
受の温度上昇を抑制し、信頼性及び保守性に優れたレー
ザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置を提
供することを目的とする。
受の温度上昇を抑制し、信頼性及び保守性に優れたレー
ザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置を提
供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、先端にターボ翼
を有するシャフトと、前記シャフトを支持する一対の軸
受と、前記シャフトを回転させるためのモータとから構
成されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記モータを
構成するロータが発生する熱を放熱するための放熱部を
前記シャフトに設けたことを特徴とするレーザ用ターボ
ブロアが、提供される。
を有するシャフトと、前記シャフトを支持する一対の軸
受と、前記シャフトを回転させるためのモータとから構
成されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記モータを
構成するロータが発生する熱を放熱するための放熱部を
前記シャフトに設けたことを特徴とするレーザ用ターボ
ブロアが、提供される。
さらに、本発明では上記レーザ用ターボブロアを用いた
レーザ発振装置が、提供される。
レーザ発振装置が、提供される。
モータを構成するロータが発生する熱を放熱するための
放熱部をシャフトに設けることによって、シャフトを伝
達する熱は放熱部で放熱され、軸受に伝わる熱量が減少
し、軸受の温度上昇を抑制することができる。
放熱部をシャフトに設けることによって、シャフトを伝
達する熱は放熱部で放熱され、軸受に伝わる熱量が減少
し、軸受の温度上昇を抑制することができる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明のレーザ用ターボブロアの第１の実施例
の構成を示す図である。第５図と同一の構成要素には同
一の符合が付しであるので、その説明は省略する。ここ
で、ターボ翼ｌは遠心翼を示しているが斜流翼であって
も軸流翼であってもよい。
の構成を示す図である。第５図と同一の構成要素には同
一の符合が付しであるので、その説明は省略する。ここ
で、ターボ翼ｌは遠心翼を示しているが斜流翼であって
も軸流翼であってもよい。
本実施例が従来のものと本質的に異なる部分は、シャフ
ト２１に放熱部として、黒体放射を利用した放熱円板１
５を設けた点である。
ト２１に放熱部として、黒体放射を利用した放熱円板１
５を設けた点である。
ロータ３で発生した熱は、シャフト２１を伝わり、軸受
側及び放熱円板側に達する。従来はシャフト２１を伝わ
った熱は軸受の温度を上昇させていた。しかし、本実施
例では、放熱円板１５によって、シャフト２１を伝わる
熱が黒体放射によって放熱されるので、軸受の温度上昇
を抑制することができる。放熱円板１５から放射される
熱エネルギーによって放熱ハウジング１３は加熱される
が、この熱は周囲に設けられた水冷管１４によって冷却
される。
側及び放熱円板側に達する。従来はシャフト２１を伝わ
った熱は軸受の温度を上昇させていた。しかし、本実施
例では、放熱円板１５によって、シャフト２１を伝わる
熱が黒体放射によって放熱されるので、軸受の温度上昇
を抑制することができる。放熱円板１５から放射される
熱エネルギーによって放熱ハウジング１３は加熱される
が、この熱は周囲に設けられた水冷管１４によって冷却
される。
ここで、黒体放射により外部に放出される熱エネルギー
Ｅは、ステファン・ボルツマン（ＳｊｅｆａｎＢｏ ｌ
ｔｚｍａｎｎ）の法則から、Ｅ＝ａ σ （Ｔ’
−Ｔｏ ’ ）で表現できる。ここで、ａは熱放射部の
面積、σはステファン・ボルツマン定数、Ｔは熱放射部
の温度、Ｔ、は外壁温度である。
Ｅは、ステファン・ボルツマン（ＳｊｅｆａｎＢｏ ｌ
ｔｚｍａｎｎ）の法則から、Ｅ＝ａ σ （Ｔ’
−Ｔｏ ’ ）で表現できる。ここで、ａは熱放射部の
面積、σはステファン・ボルツマン定数、Ｔは熱放射部
の温度、Ｔ、は外壁温度である。
例えば、熱放射部の面積（放熱円板１５の表面積）ａが
６００ｃｍ２、放熱円板１５の温度Ｔが４７３Ｋ、水冷
管１４によって冷却された放熱／’％ウジング１３の温
度Ｔ０が２９３にだとすると、熱エネルギーＥは１４５
Ｗとなる。これは、ロータ３の発熱が約１００’ＶＶ程
度であることを考慮すると、十分にその冷却効果を期待
できるものである。
６００ｃｍ２、放熱円板１５の温度Ｔが４７３Ｋ、水冷
管１４によって冷却された放熱／’％ウジング１３の温
度Ｔ０が２９３にだとすると、熱エネルギーＥは１４５
Ｗとなる。これは、ロータ３の発熱が約１００’ＶＶ程
度であることを考慮すると、十分にその冷却効果を期待
できるものである。
さらに、本実施例では、レーザ用ターボブロアを構成す
るハウジングを軸受ハウジング１１、モータハウジング
１２及び放熱ハウジング■３の３つのハウジングに分割
している。
るハウジングを軸受ハウジング１１、モータハウジング
１２及び放熱ハウジング■３の３つのハウジングに分割
している。
軸受ハウジング１１は軸受５及び６を収納する。
軸受ハウジング１１の両側は○リング１７及び１８によ
ってシールされている。モータハウジング１２はロータ
３とステータ４とからなるモータを収納する。ステータ
４の周囲にはステータ４を冷却するための水冷管１６が
設けられている。放熱ハウジング１３は放熱円板１５を
収納する。モータハウジング１２と放熱ハウジング１３
との間も同様に○リング１９によってシールされている
。
ってシールされている。モータハウジング１２はロータ
３とステータ４とからなるモータを収納する。ステータ
４の周囲にはステータ４を冷却するための水冷管１６が
設けられている。放熱ハウジング１３は放熱円板１５を
収納する。モータハウジング１２と放熱ハウジング１３
との間も同様に○リング１９によってシールされている
。
このように、軸受５及び６と熱の発生源であるモータと
をそれぞれ別々のハウジングに収納することによって、
モータのステータで発生した熱はハウジングを伝わって
軸受部に伝達しなくなる。
をそれぞれ別々のハウジングに収納することによって、
モータのステータで発生した熱はハウジングを伝わって
軸受部に伝達しなくなる。
また、ロータ３と軸受５及び６との相対的距離も大きく
なるので、熱がシャフト２１を伝達しにくくなるという
効果もある。
なるので、熱がシャフト２１を伝達しにくくなるという
効果もある。
第２図は本発明の第２の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図である。
ロアの構造を示す図である。
本実施例が第１図のものと異なる点は、放熱ハウジング
１３と、モータハウジング１２とを入れ替えた点である
。即ち、放熱ハウジング１３を軸受ハウジング１１に近
接して設けである。このような構成にすることによって
、モータ部で発生した熱は軸受部に伝わりにくくなる。
１３と、モータハウジング１２とを入れ替えた点である
。即ち、放熱ハウジング１３を軸受ハウジング１１に近
接して設けである。このような構成にすることによって
、モータ部で発生した熱は軸受部に伝わりにくくなる。
また、ロータ３で発生した熱はシャフト２１を伝わり軸
受部に到達する前に、放熱円板１５で放熱され、最終的
に軸受５及び６に伝わる熱はごく僅かなものとなる。
受部に到達する前に、放熱円板１５で放熱され、最終的
に軸受５及び６に伝わる熱はごく僅かなものとなる。
第３図は本発明のレーザ発振装置の第３の実施例の構成
を示す図である。本実施例は第１図のレーザ用ターボブ
ロアの軸受５及び６の周囲にオイルフィルムダンパーを
取り付け、軸受の振動を吸収したものである。オイルフ
ィルムダンパーはスリーブ２４と、○リング２２及び２
３と、軸受ハウジング１１とスリーブ２４との間に充填
されたオイルとによって構成される。ころがり軸受５及
び６の内輪はシャフト２１に固定され、外輪はスリーブ
２４に固定されている。軸受ハウジング１１とスリーブ
２４との間には１０〜１００μｍのすきまが設けられ、
そこにグリース又はオイルが充填される。０リング２２
及び２３はすきまに充填されたグリース又はオイルとレ
ーザガスとを遮断するためのものである。このような構
成にすることによって、ターボ翼１及びシャフト２１が
高速で回転したときの振動はオイルフィルムダンパーの
流体力学的な減衰効果によって減衰する。
を示す図である。本実施例は第１図のレーザ用ターボブ
ロアの軸受５及び６の周囲にオイルフィルムダンパーを
取り付け、軸受の振動を吸収したものである。オイルフ
ィルムダンパーはスリーブ２４と、○リング２２及び２
３と、軸受ハウジング１１とスリーブ２４との間に充填
されたオイルとによって構成される。ころがり軸受５及
び６の内輪はシャフト２１に固定され、外輪はスリーブ
２４に固定されている。軸受ハウジング１１とスリーブ
２４との間には１０〜１００μｍのすきまが設けられ、
そこにグリース又はオイルが充填される。０リング２２
及び２３はすきまに充填されたグリース又はオイルとレ
ーザガスとを遮断するためのものである。このような構
成にすることによって、ターボ翼１及びシャフト２１が
高速で回転したときの振動はオイルフィルムダンパーの
流体力学的な減衰効果によって減衰する。
以上の実施例ではころがり軸受について説明したが、玉
軸受又はコロ軸受でもよい。さらに、軸受の材料として
セラミックを用いたセラミック軸受を用いてもよい。
軸受又はコロ軸受でもよい。さらに、軸受の材料として
セラミックを用いたセラミック軸受を用いてもよい。
以上のように本実施例によれば、軸受部の温度上昇を抑
制したので、従来５００〜１０００時間であった軸受の
寿命が、５０００〜１５０００時間と長くなり、さらに
、グリースの定期的な補充又は軸受及びグリースの交換
といった保守が不要となる。
制したので、従来５００〜１０００時間であった軸受の
寿命が、５０００〜１５０００時間と長くなり、さらに
、グリースの定期的な補充又は軸受及びグリースの交換
といった保守が不要となる。
以上説明したように本発明によれば、軸受部の温度上昇
を抑制することができ、グリースの定期的な補充又は軸
受及びグリースの交換といった保守が不要となり、信頼
性及び保守性の改善されたレーザ用ターボブロアを提供
することが可能となる。
を抑制することができ、グリースの定期的な補充又は軸
受及びグリースの交換といった保守が不要となり、信頼
性及び保守性の改善されたレーザ用ターボブロアを提供
することが可能となる。
第１図は本発明の第１の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第２図は本発明の第２の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第３図は本発明の第３の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第４図は従来の炭酸（Ｃｏ□〉ガスレーザ発振装置の全
体構成を示す図、 第５図は従来のレーザ用ターボブロアの構成を示す図で
ある。 ２、２１ ５．６ １ ターボ翼 シャフト ロータ ステータ 軸受 軸受ハウジング ｌ ４． １７． ３４． ３７． ２° モータハウジング ３ 放熱ハウジング ６ 水冷管 ５ 放熱円板 ８．１９．２２．２３ ０リング ４ スリーブ ｌ 放電管 ２ 出力結合鏡 ３ 全反射鏡 ５ 電極 ６ 高周波電源 ８ 冷却器 ９ 送風機 ０ ガスボンベ ２ 真空ポンプ ３ 共振器内レーザビーム光軸 ４ 共振器外レーザビーム光軸
ロアの構造を示す図、 第２図は本発明の第２の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第３図は本発明の第３の実施例であるレーザ用ターボブ
ロアの構造を示す図、 第４図は従来の炭酸（Ｃｏ□〉ガスレーザ発振装置の全
体構成を示す図、 第５図は従来のレーザ用ターボブロアの構成を示す図で
ある。 ２、２１ ５．６ １ ターボ翼 シャフト ロータ ステータ 軸受 軸受ハウジング ｌ ４． １７． ３４． ３７． ２° モータハウジング ３ 放熱ハウジング ６ 水冷管 ５ 放熱円板 ８．１９．２２．２３ ０リング ４ スリーブ ｌ 放電管 ２ 出力結合鏡 ３ 全反射鏡 ５ 電極 ６ 高周波電源 ８ 冷却器 ９ 送風機 ０ ガスボンベ ２ 真空ポンプ ３ 共振器内レーザビーム光軸 ４ 共振器外レーザビーム光軸
Claims (8)
- （１）先端にターボ翼を有するシャフトと、前記シャフ
トを支持する一対の軸受と、前記シャフトを回転させる
ためのモータとから構成されるレーザ用ターボブロアに
おいて、 前記モータを構成するロータが発生する熱を放熱するた
めの放熱部を前記シャフトに設けたことを特徴とするレ
ーザ用ターボブロア。 - （２）前記軸受を収納する軸受ハウジングと、前記モー
タを収納するモータハウジングと、前記放熱部を収納す
る放熱ハウジングとをそれぞれ分離し、前記ターボ翼に
近い方から前記軸受ハウジング、前記モータハウジング
及び前記放熱ハウジングの順に設けたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のレーザ用ターボブロア。 - （３）前記軸受を収納する軸受ハウジングと、前記モー
タを収納するモータハウジングと、前記放熱部を収納す
る放熱ハウジングとをそれぞれ分離し、前記ターボ翼に
近い方から前記軸受ハウジング、前記放熱ハウジング及
び前記モータハウジングの順に設けたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のレーザ用ターボブロア。 - （４）前記軸受にオイルフィルムダンパーを設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項、第３項又
は第４項記載のレーザ用ターボブロア。 - （５）前記軸受が玉軸受であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項記載のレー
ザ用ターボブロア。 - （６）前記軸受がころ軸受であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項記載のレ
ーザ用ターボブロア。 - （７）前記軸受がセラミック軸受であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項記
載のレーザ用ターボブロア。 - （８）気体放電によってレーザ励起をする放電管と、レ
ーザ発振を行わせる光共振器と、送風機及び冷却器によ
ってレーザガスを強制冷却させるガス循環装置とから構
成されるレーザ発振装置において、 前記送風機が特許請求の範囲第１項から第７項までのい
ずれかに記載のレーザ用ターボブロアで構成されること
を特徴とするレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18086289A JPH0344986A (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18086289A JPH0344986A (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0344986A true JPH0344986A (ja) | 1991-02-26 |
Family
ID=16090654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18086289A Pending JPH0344986A (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0344986A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5369660A (en) * | 1992-09-23 | 1994-11-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Repetitively pulsed, closed cycle, photolytic atomic iodine laser |
| JP2006322451A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-30 | Nippon Densan Corp | 軸流ファン |
| JP2011113993A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Panasonic Corp | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
| US8932718B2 (en) | 2006-07-07 | 2015-01-13 | Valspar Sourcing, Inc. | Coating systems for cement composite articles |
| US9133064B2 (en) | 2008-11-24 | 2015-09-15 | Valspar Sourcing, Inc. | Coating system for cement composite articles |
| US9783622B2 (en) | 2006-01-31 | 2017-10-10 | Axalta Coating Systems Ip Co., Llc | Coating system for cement composite articles |
| WO2024042684A1 (ja) * | 2022-08-25 | 2024-02-29 | ファナック株式会社 | 送風装置、及びこれを適用したガスレーザ発振器 |
-
1989
- 1989-07-13 JP JP18086289A patent/JPH0344986A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5369660A (en) * | 1992-09-23 | 1994-11-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Repetitively pulsed, closed cycle, photolytic atomic iodine laser |
| JP2006322451A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-30 | Nippon Densan Corp | 軸流ファン |
| US9783622B2 (en) | 2006-01-31 | 2017-10-10 | Axalta Coating Systems Ip Co., Llc | Coating system for cement composite articles |
| US8932718B2 (en) | 2006-07-07 | 2015-01-13 | Valspar Sourcing, Inc. | Coating systems for cement composite articles |
| US9133064B2 (en) | 2008-11-24 | 2015-09-15 | Valspar Sourcing, Inc. | Coating system for cement composite articles |
| JP2011113993A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Panasonic Corp | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
| WO2024042684A1 (ja) * | 2022-08-25 | 2024-02-29 | ファナック株式会社 | 送風装置、及びこれを適用したガスレーザ発振器 |
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