JP3427571B2 - 高速軸流型ガスレーザ発振器 - Google Patents
高速軸流型ガスレーザ発振器Info
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- JP3427571B2 JP3427571B2 JP14719295A JP14719295A JP3427571B2 JP 3427571 B2 JP3427571 B2 JP 3427571B2 JP 14719295 A JP14719295 A JP 14719295A JP 14719295 A JP14719295 A JP 14719295A JP 3427571 B2 JP3427571 B2 JP 3427571B2
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- Japan
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- laser oscillator
- gas
- laser
- discharge tube
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】金属などのレーザ加工機用のガス
レーザ発振器に関する。
レーザ発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、金属、非金属の加工にレーザ加工
機が使用されるようになっている。このレーザ加工機用
のレーザとしては高出力が必要であるので、ガスレーザ
発振器特に高速軸流型ガスレーザ発振器が多用されてい
る。この高速軸流型レーザ発振器には励起媒質であるレ
ーザガスを循環させる送風機が必要であり、従来の高速
軸流型ガスレーザ発振器の多くは、送風機としてルーツ
ブロアを使用しているが、光出力の安定性に影響を与え
るルーツブロアの振動を絶縁する為に、レーザ発振器と
ルーツブロア間を蛇腹管で接続しなければならなかっ
た。そこで近年、特開平１−１８９９７４号公報に開示
されているように、ルーツブロアより振動の少ないター
ボブロアをガスレーザ発振器のレーザガス循環用送風機
として使用することが試み始められている。
機が使用されるようになっている。このレーザ加工機用
のレーザとしては高出力が必要であるので、ガスレーザ
発振器特に高速軸流型ガスレーザ発振器が多用されてい
る。この高速軸流型レーザ発振器には励起媒質であるレ
ーザガスを循環させる送風機が必要であり、従来の高速
軸流型ガスレーザ発振器の多くは、送風機としてルーツ
ブロアを使用しているが、光出力の安定性に影響を与え
るルーツブロアの振動を絶縁する為に、レーザ発振器と
ルーツブロア間を蛇腹管で接続しなければならなかっ
た。そこで近年、特開平１−１８９９７４号公報に開示
されているように、ルーツブロアより振動の少ないター
ボブロアをガスレーザ発振器のレーザガス循環用送風機
として使用することが試み始められている。
【０００３】以下に特開平１−１８９９７４号公報に開
示されている従来の高速軸流型レーザ発振器を基に、マ
イクロ波励起型高速軸流型レーザ発振器について説明す
る。
示されている従来の高速軸流型レーザ発振器を基に、マ
イクロ波励起型高速軸流型レーザ発振器について説明す
る。
【０００４】図４は、従来の軸流型レーザ発振器の構成
の概略図を示すものである。図４において、７はレーザ
ガスの流路を構成する放電管で、その両端には光出力を
取り出す出力鏡１と出力鏡１と共に光を多重増幅帰還さ
せる終段鏡２が取りつけられている。６は放電管７の外
側に取り付けられレーザガスにエネルギーを供給する導
波管、５はエネルギー源となる電源である。３はレーザ
ガスを循環させるターボブロアで、レーザガスを循環さ
せるインペラ８、インペラ８を回転させるモーター１４
および回転を支持する磁気軸受け１２を備えている。４
はターボブロア３による圧縮熱および放電による熱を除
去する熱交換器である。なお、図中矢印はレーザガスの
流れを示すものである。
の概略図を示すものである。図４において、７はレーザ
ガスの流路を構成する放電管で、その両端には光出力を
取り出す出力鏡１と出力鏡１と共に光を多重増幅帰還さ
せる終段鏡２が取りつけられている。６は放電管７の外
側に取り付けられレーザガスにエネルギーを供給する導
波管、５はエネルギー源となる電源である。３はレーザ
ガスを循環させるターボブロアで、レーザガスを循環さ
せるインペラ８、インペラ８を回転させるモーター１４
および回転を支持する磁気軸受け１２を備えている。４
はターボブロア３による圧縮熱および放電による熱を除
去する熱交換器である。なお、図中矢印はレーザガスの
流れを示すものである。
【０００５】以上のように構成された従来の高速軸流型
ガスレーザ発振器についてその動作を説明する。
ガスレーザ発振器についてその動作を説明する。
【０００６】電源５の出力を導波管６に伝送して放電管
７内部のレーザガスにエネルギーを注入すると、放電管
７内にグロー放電が発生してレーザガスが励起され、そ
の際に生じる光は出力鏡１、終段鏡２により多重増幅帰
還され、光出力として取り出される。このとき、レーザ
発振により生じる熱及びターボブロア３による圧縮熱は
熱交換器４により除去される。
７内部のレーザガスにエネルギーを注入すると、放電管
７内にグロー放電が発生してレーザガスが励起され、そ
の際に生じる光は出力鏡１、終段鏡２により多重増幅帰
還され、光出力として取り出される。このとき、レーザ
発振により生じる熱及びターボブロア３による圧縮熱は
熱交換器４により除去される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、ターボブロアと発振器本体の接続に、次の
ような問題点があった。
の構成では、ターボブロアと発振器本体の接続に、次の
ような問題点があった。
【０００８】すなわち、ターボブロアと発振器本体を別
置して、蛇腹管などの接続管で連結するときは、ガス循
環系の圧損が大きくなり、大型ブロアが必要になるとい
う問題点があり、ターボブロアを発振器本体を置く光学
ベンチに吊り下げるときは、ターボブロアが重いので、
大型強固な光学ベンチを支持するフレームが必要となる
という問題点があり、ターボブロアのケーシングを強固
なものにして発振器本体をこのターボブロアのケーシン
グ上に支持する構造とするときは、ターボブロア６のケ
ーシングの熱的変形により発振器本体にも変形が生じ
て、光出力の出射方向（ビームスタビリテイ）が安定し
ない、という問題点を有していた。
置して、蛇腹管などの接続管で連結するときは、ガス循
環系の圧損が大きくなり、大型ブロアが必要になるとい
う問題点があり、ターボブロアを発振器本体を置く光学
ベンチに吊り下げるときは、ターボブロアが重いので、
大型強固な光学ベンチを支持するフレームが必要となる
という問題点があり、ターボブロアのケーシングを強固
なものにして発振器本体をこのターボブロアのケーシン
グ上に支持する構造とするときは、ターボブロア６のケ
ーシングの熱的変形により発振器本体にも変形が生じ
て、光出力の出射方向（ビームスタビリテイ）が安定し
ない、という問題点を有していた。
【０００９】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、振動が少なく、安定した光出力の出射方向性を持
つ、小型の高速軸流型ガスレーザ発振器を提供すること
を目的とする。
で、振動が少なく、安定した光出力の出射方向性を持
つ、小型の高速軸流型ガスレーザ発振器を提供すること
を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の高速軸流型ガスレーザ発振器は、レーザガス
の流路を構成する放電管と、この放電管においてレーザ
ガスを励起する電源と、出力鏡と終段鏡とからなる光共
振器と、前記出力鏡と前記終段鏡の少なくとも一方を支
持しかつ前記放電管の一端を支持するメインブロック
と、前記放電管の他端を支持しかつレーザガスを排気す
る排気ブロックと、前記それぞれのメインブロックと前
記排気ブロックとを支持する光学ベンチと、前記放電管
内にレーザガスを供給するターボブロアとを備え、前記
ターボブロアの軸受けが磁気軸受けであり、このターボ
ブロアを前記光共振器の鉛直上方でかつ前記ターボブロ
アの吸入口を鉛直下方に配した構成である。
に本発明の高速軸流型ガスレーザ発振器は、レーザガス
の流路を構成する放電管と、この放電管においてレーザ
ガスを励起する電源と、出力鏡と終段鏡とからなる光共
振器と、前記出力鏡と前記終段鏡の少なくとも一方を支
持しかつ前記放電管の一端を支持するメインブロック
と、前記放電管の他端を支持しかつレーザガスを排気す
る排気ブロックと、前記それぞれのメインブロックと前
記排気ブロックとを支持する光学ベンチと、前記放電管
内にレーザガスを供給するターボブロアとを備え、前記
ターボブロアの軸受けが磁気軸受けであり、このターボ
ブロアを前記光共振器の鉛直上方でかつ前記ターボブロ
アの吸入口を鉛直下方に配した構成である。
【００１１】
【作用】この構成によって、重量が重く、作動中に熱的
変形や微少振動が生じ易いターボブロアが光学ベンチの
上に設置されていても、光学ベンチならびにその上に設
置される光共振器に有害な変形や振動を与えることなく
レーザガスを循環することができる。
変形や微少振動が生じ易いターボブロアが光学ベンチの
上に設置されていても、光学ベンチならびにその上に設
置される光共振器に有害な変形や振動を与えることなく
レーザガスを循環することができる。
【００１２】
（実施例１）以下、本発明の一実施例について、図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
【００１３】図１において１は出力鏡、２は終段鏡、４
は熱交換器、５は電源、６は導波管、７は放電管、３は
ターボブロアであり、ターボブロア３はインペラ８、モ
ーター１４および非接触構造の磁気軸受け１２を備えて
いる。以上は図４の構成と同様のものである。図４と異
なるのは、以上の構成要素とともに、これらを支持取り
付けする構成要素を明示した点である。
は熱交換器、５は電源、６は導波管、７は放電管、３は
ターボブロアであり、ターボブロア３はインペラ８、モ
ーター１４および非接触構造の磁気軸受け１２を備えて
いる。以上は図４の構成と同様のものである。図４と異
なるのは、以上の構成要素とともに、これらを支持取り
付けする構成要素を明示した点である。
【００１４】すなわち、レーザガスの吸入口を有し、出
力鏡１または終段鏡２と放電管７の一端を支持するメイ
ンブロック１０と、レーザガスの排出口を有し放電管７
の他端を支持する排気ブロック１１と、メインブロック
１０および排気ブロック１１を支持する光学ベンチ９
と、光学ベンチ９を支持するレーザ発振器支持部１５が
備えられている。排気ブロック１１はレーザ発振器支持
部１５の直上に位置している。また、ターボブロア３は
モータ１４を内包する側を鉛直上向きに、インペラ８を
内包する側すなわち吸入口を鉛直下向きにして、光学ベ
ンチ９上に支持した排気ブロック１１に熱交換器４を介
して接続している。１６はターボブロア３の回転軸で前
述したように鉛直であり、熱交換器４、排気ブロック１
１、光学ベンチ９、レーザ発振器支持部１５のすべての
重心軸と一致している。
力鏡１または終段鏡２と放電管７の一端を支持するメイ
ンブロック１０と、レーザガスの排出口を有し放電管７
の他端を支持する排気ブロック１１と、メインブロック
１０および排気ブロック１１を支持する光学ベンチ９
と、光学ベンチ９を支持するレーザ発振器支持部１５が
備えられている。排気ブロック１１はレーザ発振器支持
部１５の直上に位置している。また、ターボブロア３は
モータ１４を内包する側を鉛直上向きに、インペラ８を
内包する側すなわち吸入口を鉛直下向きにして、光学ベ
ンチ９上に支持した排気ブロック１１に熱交換器４を介
して接続している。１６はターボブロア３の回転軸で前
述したように鉛直であり、熱交換器４、排気ブロック１
１、光学ベンチ９、レーザ発振器支持部１５のすべての
重心軸と一致している。
【００１５】以上のように構成された高速軸流型ガスレ
ーザ発振器について、その動作を説明する。レーザ発振
動作は図４の動作と同様であるので省略し、レーザガス
の循環について説明する。ターボブロア３により送出さ
れたレーザガスは、熱交換器４により冷却され、メイン
ブロック１０を経て、放電管７に供給される。放電管７
内で励起されてレーザ発振に寄与したレーザガスは、排
気ブロック１１を経て、熱交換器４により冷却され、再
びターボブロア３に戻る。
ーザ発振器について、その動作を説明する。レーザ発振
動作は図４の動作と同様であるので省略し、レーザガス
の循環について説明する。ターボブロア３により送出さ
れたレーザガスは、熱交換器４により冷却され、メイン
ブロック１０を経て、放電管７に供給される。放電管７
内で励起されてレーザ発振に寄与したレーザガスは、排
気ブロック１１を経て、熱交換器４により冷却され、再
びターボブロア３に戻る。
【００１６】このとき、磁気軸受け１２を備えたターボ
ブロア３の鉛直下方向きの吸入口は、光学ベンチ９の上
でレーザ発振器支持部１５の直上に支持される排気ブロ
ック１１に固定された熱交換器４に接続されているの
で、ターボブロア３の全重量は熱交換器４、排気ブロッ
ク１１、光学ベンチ９を経て直接レーザ発振器支持部１
５で支持される。このため、重量が重く、作動中に熱的
変形が生じ易いターボブロアが、光学ベンチの上に設置
された排気ブロック１１に直結された熱交換器４に直結
されていても、光学ベンチならびにその上に設置される
光共振器に有害な変形を与えることなくレーザガスを循
環することができる。また、ターボブロア３は振動が少
なく、蛇腹管などの接続管が必要ではないので、ガス循
環系の圧損も小さい。なお、ターボブロア３の軸受けを
接触構造の磁気軸受けとしたのは、ターボブロア３の吸
入口を鉛直下方向きに設置しても、レーザガスを汚染す
る潤滑油を排除するためであり、それとともに、ターボ
ブロア６の振動をより少なくするためでもある。
ブロア３の鉛直下方向きの吸入口は、光学ベンチ９の上
でレーザ発振器支持部１５の直上に支持される排気ブロ
ック１１に固定された熱交換器４に接続されているの
で、ターボブロア３の全重量は熱交換器４、排気ブロッ
ク１１、光学ベンチ９を経て直接レーザ発振器支持部１
５で支持される。このため、重量が重く、作動中に熱的
変形が生じ易いターボブロアが、光学ベンチの上に設置
された排気ブロック１１に直結された熱交換器４に直結
されていても、光学ベンチならびにその上に設置される
光共振器に有害な変形を与えることなくレーザガスを循
環することができる。また、ターボブロア３は振動が少
なく、蛇腹管などの接続管が必要ではないので、ガス循
環系の圧損も小さい。なお、ターボブロア３の軸受けを
接触構造の磁気軸受けとしたのは、ターボブロア３の吸
入口を鉛直下方向きに設置しても、レーザガスを汚染す
る潤滑油を排除するためであり、それとともに、ターボ
ブロア６の振動をより少なくするためでもある。
【００１７】以上のように本実施例によれば、非接触構
造の磁気軸受け１２を備えたターボブロア３の鉛直下方
向きの吸入口が、光学ベンチ９の上でレーザ発振器支持
部１５の直上に支持される排気ブロック１１に固定され
た熱交換器４に、ターボブロア３の回転軸１６が熱交換
器４、排気ブロック１１、光学ベンチ９、レーザ発振器
支持部１５のすべての重心軸と一致するように接続され
る構成を備えることにより、光共振器に有害な変形や振
動を与えることがなく、圧損が少なく、ガス汚染も少な
いレーザガスの循環系を実現することができ、これによ
り、光出力の出射方向が安定した高速軸流型ガスレーザ
発振器を提供できる。
造の磁気軸受け１２を備えたターボブロア３の鉛直下方
向きの吸入口が、光学ベンチ９の上でレーザ発振器支持
部１５の直上に支持される排気ブロック１１に固定され
た熱交換器４に、ターボブロア３の回転軸１６が熱交換
器４、排気ブロック１１、光学ベンチ９、レーザ発振器
支持部１５のすべての重心軸と一致するように接続され
る構成を備えることにより、光共振器に有害な変形や振
動を与えることがなく、圧損が少なく、ガス汚染も少な
いレーザガスの循環系を実現することができ、これによ
り、光出力の出射方向が安定した高速軸流型ガスレーザ
発振器を提供できる。
【００１８】（参考例）
以下、本発明の参考例について図面を参照しながら説明
する。
する。
【００１９】図２および図３において、１は出力鏡、２
は終段鏡、３はターボブロア、４は熱交換器、５は電
源、６は導波管、７は放電管である。９は光学ベンチ、
１０はメインブロック、１１は排気ブロック、１５はレ
ーザ発振器支持部、１６はターボブロア３の回転軸、１
７はスライダである。以上は、レーザ発振器の熱膨脹の
方向を規制するスライダを除き図１の構成と同様のもの
である。図１と異なるのは、光学ベンチ９に、鉛直立し
たターボブロア３の回転軸を対称軸とし、かつ、両側の
メインブロックから等距離にある２つのガス吸入口と、
ガス流路とを有して、メインブロック１０のガス吸入口
がこの光学ベンチ９のガス流路に連通し、熱交換器４を
光学ベンチ９のガス吸入口に接続している点および、排
気ブロック１１下部にレーザ発振器支持部１５を備え、
光学ベンチ９、排気ブロック１１を介して、レーザ発振
器支持部１５によりレーザ発振器を支持する点である。
は終段鏡、３はターボブロア、４は熱交換器、５は電
源、６は導波管、７は放電管である。９は光学ベンチ、
１０はメインブロック、１１は排気ブロック、１５はレ
ーザ発振器支持部、１６はターボブロア３の回転軸、１
７はスライダである。以上は、レーザ発振器の熱膨脹の
方向を規制するスライダを除き図１の構成と同様のもの
である。図１と異なるのは、光学ベンチ９に、鉛直立し
たターボブロア３の回転軸を対称軸とし、かつ、両側の
メインブロックから等距離にある２つのガス吸入口と、
ガス流路とを有して、メインブロック１０のガス吸入口
がこの光学ベンチ９のガス流路に連通し、熱交換器４を
光学ベンチ９のガス吸入口に接続している点および、排
気ブロック１１下部にレーザ発振器支持部１５を備え、
光学ベンチ９、排気ブロック１１を介して、レーザ発振
器支持部１５によりレーザ発振器を支持する点である。
【００２０】この構成から明らかなように本参考例によ
る高速軸流型ガスレーザ発振器は、光学ベンチ９に、２
つのガス吸入口とガス流路とを有して、熱交換器４を光
学ベンチ９のガス吸入口に接続することにより、放電管
７が長いときもガス流路抵抗を小さくすることができ
る。
る高速軸流型ガスレーザ発振器は、光学ベンチ９に、２
つのガス吸入口とガス流路とを有して、熱交換器４を光
学ベンチ９のガス吸入口に接続することにより、放電管
７が長いときもガス流路抵抗を小さくすることができ
る。
【００２１】なお、第１の実施例および参考例におい
て、ターボブロア３は熱交換器４を介して排気ブロック
１１に接続したが、インペラ８を耐熱材（例えばセラミ
ック）として熱交換器４を使用せずにターボブロア３を
排気ブロック１１に直接接続してもよい。
て、ターボブロア３は熱交換器４を介して排気ブロック
１１に接続したが、インペラ８を耐熱材（例えばセラミ
ック）として熱交換器４を使用せずにターボブロア３を
排気ブロック１１に直接接続してもよい。
【００２２】また、ターボブロア３の回転軸１６が熱交
換器４、排気ブロック１１、光学ベンチ９、レーザ発振
器支持部１５のすべての重心軸と一致するように接続す
るとしたが、これらのすべての重心軸が厳密に一致する
必要はなく、それぞれの重心軸がレーザ発振器支持部１
５の上にあれば、ほぼ満足する効果が得られる。なおま
た、ターボブロア３の回転軸１６とその重心軸は一致す
ることが望ましいが、厳密に一致する必要はなく、不一
致のときは、ターボブロア３の回転軸１６に替えて、そ
の重心軸がレーザ発振器支持部１５の上にあれば、同様
の効果が得られる。
換器４、排気ブロック１１、光学ベンチ９、レーザ発振
器支持部１５のすべての重心軸と一致するように接続す
るとしたが、これらのすべての重心軸が厳密に一致する
必要はなく、それぞれの重心軸がレーザ発振器支持部１
５の上にあれば、ほぼ満足する効果が得られる。なおま
た、ターボブロア３の回転軸１６とその重心軸は一致す
ることが望ましいが、厳密に一致する必要はなく、不一
致のときは、ターボブロア３の回転軸１６に替えて、そ
の重心軸がレーザ発振器支持部１５の上にあれば、同様
の効果が得られる。
【００２３】
【発明の効果】以上のように本発明は、磁気軸受けを持
つターボブロアを、その吸入口を鉛直下方に向けて光学
ベンチの上に設置することにより、ブロアから光共振器
に有害な変形や振動ならびに汚染を与えることが少な
い、安定した光出力の出射方向性を持つ小型の高速軸流
型ガスレーザ発振器を実現できる。
つターボブロアを、その吸入口を鉛直下方に向けて光学
ベンチの上に設置することにより、ブロアから光共振器
に有害な変形や振動ならびに汚染を与えることが少な
い、安定した光出力の出射方向性を持つ小型の高速軸流
型ガスレーザ発振器を実現できる。
【図１】本発明の第１の実施例における高速軸流型ガス
レーザ発振器の側面図
レーザ発振器の側面図
【図２】本発明の参考例における高速軸流型ガスレーザ
発振器の上面図
発振器の上面図
【図３】本発明の参考例における高速軸流型ガスレーザ
発振器の正面図
発振器の正面図
【図４】従来の高速軸流型ガスレーザ発振器の断面図
１ 出力鏡
２ 終段鏡
３ ターボブロア
５ 電源
６ 導波管
７ 放電管
９ 光学ベンチ
１０ メインブロック
１１ 排気ブロック
１２ 磁気軸受け
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01S 3/00 - 3/30
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザガスの流路を構成する放電管と、
この放電管においてレーザガスを励起する電源と、出力
鏡と終段鏡とからなる光共振器と、前記出力鏡と前記終
段鏡の少なくとも一方を支持しかつ前記放電管の一端を
支持するメインブロックと、前記放電管の他端を支持し
かつレーザガスを排気する排気ブロックと、前記それぞ
れのメインブロックと前記排気ブロックとを支持する光
学ベンチと、前記放電管内にレーザガスを供給するター
ボブロアとを備え、前記ターボブロアの軸受けが磁気軸
受けであり、このターボブロアを前記光共振器の鉛直上
方でかつ前記ターボブロアの吸入口を鉛直下方に配した
高速軸流型ガスレーザ発振器。 - 【請求項２】 ターボブロアの吸入口を排気ブロック
に、部材を介してまたは直接に接続した請求項１記載の
高速軸流型ガスレーザ発振器。 - 【請求項３】 ターボブロアの回転軸または重心軸と、
光学ベンチの重心軸が一致した請求項１または２に記載
の高速軸流型ガスレーザ発振器。 - 【請求項４】 ターボブロアの回転軸および重心軸と、
光学ベンチの重心軸が一致し、前記光学ベンチをこの光
学ベンチの重心軸と一致する重心軸を持つレーザ発振器
支持部で支持した請求項１または２に記載の高速軸流型
ガスレーザ発振器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14719295A JP3427571B2 (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 高速軸流型ガスレーザ発振器 |
| US08/661,966 US5727011A (en) | 1995-06-14 | 1996-06-12 | Gas laser apparatus with gas circulation arrangement |
| DE19623637A DE19623637C2 (de) | 1995-06-14 | 1996-06-13 | Gaslasereinrichtung mit einer Gaszirkulationsanordnung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14719295A JP3427571B2 (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 高速軸流型ガスレーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08340140A JPH08340140A (ja) | 1996-12-24 |
| JP3427571B2 true JP3427571B2 (ja) | 2003-07-22 |
Family
ID=15424652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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