JP3022016B2 - 軸流形レーザ発振器 - Google Patents
軸流形レーザ発振器Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ切断加工機などに
用いるレーザ出力を安定化した軸流形レーザ発振器に関
する。
用いるレーザ出力を安定化した軸流形レーザ発振器に関
する。
【０００２】
【従来の技術】以下に従来の軸流形レーザ発振器につい
て説明する。図３において、１は送風機、２ａ，２ｂは
送風機１の出口と入口のガス冷却器、３は出力鏡、４は
全反射鏡、５ａ，５ｂは放電管、６は放電電源、７ａ，
７ｂは給気配管、８は排気配管、１１は転がりスライ
ダ、１３は排気ブロック、２５ａ，２５ｂは各々、出力
鏡と全反射鏡の保持板、２６ａ，２６ｂは共振器支持ロ
ッド、２７ａ，２７ｂは給気ブロック、２８は共振器支
持金具である。
て説明する。図３において、１は送風機、２ａ，２ｂは
送風機１の出口と入口のガス冷却器、３は出力鏡、４は
全反射鏡、５ａ，５ｂは放電管、６は放電電源、７ａ，
７ｂは給気配管、８は排気配管、１１は転がりスライ
ダ、１３は排気ブロック、２５ａ，２５ｂは各々、出力
鏡と全反射鏡の保持板、２６ａ，２６ｂは共振器支持ロ
ッド、２７ａ，２７ｂは給気ブロック、２８は共振器支
持金具である。
【０００３】上記各構成要素よりなる軸流形レーザ発振
器について、各構成要素の関係と動作を説明する。図３
に示すように、共振器支持ロッド２６ａ，２６ｂの両端
に出力鏡３、全反射鏡４の保持板２５ａ，２５ｂを取付
け、また出力鏡３、全反射鏡４、放電管５ａ，５ｂが同
軸上に配設されている。気体レーザ媒質は送風機１によ
り給気配管７ａ，７ｂから保持板２５ａ，２５ｂに取付
けた給気ブロック２７ａ，２７ｂを通して２本の放電管
５ａ，５ｂに等分して供給され、図示はしていないが放
電電源６が発生する放電により励起されてレーザ光を出
力する。放電管５ａ，５ｂを通過して放電加熱された気
体レーザ媒質は共振器中央の排気ブロック１３で集めら
れて排気配管８より排気される。排気された気体レーザ
媒質は、排気配管８に接続されているガス冷却器２ｂで
冷却された後、再び送風機１に戻される。
器について、各構成要素の関係と動作を説明する。図３
に示すように、共振器支持ロッド２６ａ，２６ｂの両端
に出力鏡３、全反射鏡４の保持板２５ａ，２５ｂを取付
け、また出力鏡３、全反射鏡４、放電管５ａ，５ｂが同
軸上に配設されている。気体レーザ媒質は送風機１によ
り給気配管７ａ，７ｂから保持板２５ａ，２５ｂに取付
けた給気ブロック２７ａ，２７ｂを通して２本の放電管
５ａ，５ｂに等分して供給され、図示はしていないが放
電電源６が発生する放電により励起されてレーザ光を出
力する。放電管５ａ，５ｂを通過して放電加熱された気
体レーザ媒質は共振器中央の排気ブロック１３で集めら
れて排気配管８より排気される。排気された気体レーザ
媒質は、排気配管８に接続されているガス冷却器２ｂで
冷却された後、再び送風機１に戻される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の軸流形レーザ発
振器では、放電管５ａ，５ｂを通過した気体レーザ媒質
は送風機１入口のガス冷却器２ｂにて冷却され、ガス冷
却器２ｂ出口の気体レーザ媒質温度はガス冷却器に供給
する例えば水等の冷却媒体の温度近くになるが、放電開
始後、放電加熱された気体レーザ媒質を冷却する時は気
体レーザ媒質より熱交換した熱量に相当する分だけ冷却
媒質の温度が上昇するため、ガス冷却器２ｂ出口の気体
レーザ媒質温度は冷却媒質の温度上昇分高くなる。
振器では、放電管５ａ，５ｂを通過した気体レーザ媒質
は送風機１入口のガス冷却器２ｂにて冷却され、ガス冷
却器２ｂ出口の気体レーザ媒質温度はガス冷却器に供給
する例えば水等の冷却媒体の温度近くになるが、放電開
始後、放電加熱された気体レーザ媒質を冷却する時は気
体レーザ媒質より熱交換した熱量に相当する分だけ冷却
媒質の温度が上昇するため、ガス冷却器２ｂ出口の気体
レーザ媒質温度は冷却媒質の温度上昇分高くなる。
【０００５】そのため、放電の有無によってガス冷却器
２ｂ出口の気体レーザ媒質の温度には冷却媒質の熱容量
と放電入力によって差はあるものの通常３〜５℃の温度
差が生まれる。この温度差は、気体レーザ媒質が送風機
１，ガス冷却器２ａを通過した後も残るため、発振器を
起動した時や、レーザ出力を調整するため放電入力を変
化させた時に、給気配管７ａ，７ｂを通過する気体レー
ザ媒質の温度変化により給気配管７ａ，７ｂに膨張収縮
が起こる。
２ｂ出口の気体レーザ媒質の温度には冷却媒質の熱容量
と放電入力によって差はあるものの通常３〜５℃の温度
差が生まれる。この温度差は、気体レーザ媒質が送風機
１，ガス冷却器２ａを通過した後も残るため、発振器を
起動した時や、レーザ出力を調整するため放電入力を変
化させた時に、給気配管７ａ，７ｂを通過する気体レー
ザ媒質の温度変化により給気配管７ａ，７ｂに膨張収縮
が起こる。
【０００６】給気配管７ａ，７ｂの膨張収縮力は、給気
配管７ａ，７ｂを接続した給気ブロック２７ａ，２７ｂ
を通して、保持板２５ａ，２５ｂに伝わる。このため
に、給気配管７ａ，７ｂの膨張収縮に不均一があると、
共振器の光軸が狂い、レーザ出力が変動するという問題
点を有していた。
配管７ａ，７ｂを接続した給気ブロック２７ａ，２７ｂ
を通して、保持板２５ａ，２５ｂに伝わる。このため
に、給気配管７ａ，７ｂの膨張収縮に不均一があると、
共振器の光軸が狂い、レーザ出力が変動するという問題
点を有していた。
【０００７】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、レーザ出力を安定化した軸流形レーザ発振器を提
供することを目的とする。
ので、レーザ出力を安定化した軸流形レーザ発振器を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の軸流形レーザ発振器は、分配給気配管の外側
面に沿ってレーザ共振器を構成し、接続給気ブロックで
レーザ共振器全体を支え、分配給気配管の外側面の一箇
所に設けた気体レーザ媒質の接続口の内側に気体レーザ
媒質のガイド手段を設ける。
に本発明の軸流形レーザ発振器は、分配給気配管の外側
面に沿ってレーザ共振器を構成し、接続給気ブロックで
レーザ共振器全体を支え、分配給気配管の外側面の一箇
所に設けた気体レーザ媒質の接続口の内側に気体レーザ
媒質のガイド手段を設ける。
【０００９】
【００１０】あるいは、分配給気配管の端面に気体レー
ザ媒質の通過する穴を取り巻いて冷却部を設けた接続給
気ブロックを取付ける。
ザ媒質の通過する穴を取り巻いて冷却部を設けた接続給
気ブロックを取付ける。
【００１１】さらに、分配給気配管の内側にら旋状のガ
イド手段を設ける。そしてさらに、分配給気配管の外側
面に配管に沿って張り出し部を複数設け、この張り出し
部先端を分配給気配管に沿って曲げ、分配給気配管端面
に気流発生源を設けて張り出し部に気流を当てる。
イド手段を設ける。そしてさらに、分配給気配管の外側
面に配管に沿って張り出し部を複数設け、この張り出し
部先端を分配給気配管に沿って曲げ、分配給気配管端面
に気流発生源を設けて張り出し部に気流を当てる。
【００１２】
【００１３】
【作用】この構成によって、放電管に供給される気体レ
ーザ媒質自体の温度変化を抑制することができ、また気
体レーザ媒質の温度変化があった場合にも共振器全体に
温度変化が伝わるため、共振器自身の非等方な熱伸びを
なくすことができ、さらに分配給気配管の外側面に沿っ
てレーザ共振器を構成し、接続給気ブロックで共振器全
体を支えたために共振器が給気配管の膨張収縮の影響を
受けることをなくすことができ、共振器歪みをなくし、
もって共振器光軸の歪みを防ぎ、レーザ出力を安定化さ
せることができる。
ーザ媒質自体の温度変化を抑制することができ、また気
体レーザ媒質の温度変化があった場合にも共振器全体に
温度変化が伝わるため、共振器自身の非等方な熱伸びを
なくすことができ、さらに分配給気配管の外側面に沿っ
てレーザ共振器を構成し、接続給気ブロックで共振器全
体を支えたために共振器が給気配管の膨張収縮の影響を
受けることをなくすことができ、共振器歪みをなくし、
もって共振器光軸の歪みを防ぎ、レーザ出力を安定化さ
せることができる。
【００１４】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。本発明の二つの実施例を示す図１な
いし図２では、従来例と同一作用の部品には同一符号を
付して説明は省略する。
しながら説明する。本発明の二つの実施例を示す図１な
いし図２では、従来例と同一作用の部品には同一符号を
付して説明は省略する。
【００１５】（実施例１）図１において、６ａは出力設
定信号、９は共振器ベース、９ａは気体レーザ媒質の接
続口、９ｂはその分配口、９ｃは共振器ベース内のガス
通過穴、９ｄは共振器ベース側面に沿って４箇所に設け
た張り出し部、９ｅは張り出し部先端の折曲げられた部
分、１０は接続給気ブロック、１０ａは接続給気ブロッ
ク１０側面にレーザ光軸と直交する方向に出した共振器
支持軸、１０ｂは共振器支持軸受け、１０ｃは接続給気
ブロック１０内のガス通過穴、１１は転がりスライダ、
１２ａは出力鏡３の保持板、１２ｂは全反射鏡４の保持
板、１４はガス冷却器２ａの冷却水の流量調整弁、１５
は通風ファン、１５ａ，１５ｂはその気流、１６ａは共
振器ベース９の前カバー、１６ｂはガス流遮蔽ガイド板
である。
定信号、９は共振器ベース、９ａは気体レーザ媒質の接
続口、９ｂはその分配口、９ｃは共振器ベース内のガス
通過穴、９ｄは共振器ベース側面に沿って４箇所に設け
た張り出し部、９ｅは張り出し部先端の折曲げられた部
分、１０は接続給気ブロック、１０ａは接続給気ブロッ
ク１０側面にレーザ光軸と直交する方向に出した共振器
支持軸、１０ｂは共振器支持軸受け、１０ｃは接続給気
ブロック１０内のガス通過穴、１１は転がりスライダ、
１２ａは出力鏡３の保持板、１２ｂは全反射鏡４の保持
板、１４はガス冷却器２ａの冷却水の流量調整弁、１５
は通風ファン、１５ａ，１５ｂはその気流、１６ａは共
振器ベース９の前カバー、１６ｂはガス流遮蔽ガイド板
である。
【００１６】図１に示すように、放電管５ａ，５ｂは一
端を出力鏡保持板１２ａ、全反射鏡保持板１２ｂに取付
けられ、他端を排気ブロック１３に取付けられ、出力鏡
３，全反射鏡４，放電管５ａ，５ｂが同軸上に配設され
て共振器を構成している。
端を出力鏡保持板１２ａ、全反射鏡保持板１２ｂに取付
けられ、他端を排気ブロック１３に取付けられ、出力鏡
３，全反射鏡４，放電管５ａ，５ｂが同軸上に配設され
て共振器を構成している。
【００１７】保持板１２ａ，１２ｂは共振器ベース９の
両端部に配設され、共振器ベース９の側面の張り出し部
９ｄが作る平坦部上に固定される。
両端部に配設され、共振器ベース９の側面の張り出し部
９ｄが作る平坦部上に固定される。
【００１８】共振器ベース９の出力鏡３側端下面に接続
給気ブロック１０が、また、全反射鏡４側端下面の転が
りスライダ１１が取付けられ、接続給気ブロック１０側
面の支持軸１０ａに取付けられた軸受け１０ｂと転がり
スライダ１１によって共振器を支持している。
給気ブロック１０が、また、全反射鏡４側端下面の転が
りスライダ１１が取付けられ、接続給気ブロック１０側
面の支持軸１０ａに取付けられた軸受け１０ｂと転がり
スライダ１１によって共振器を支持している。
【００１９】通風ファン１５は共振器ベース９の全反射
鏡４側端面に対向して配置し、共振器ベース９の張り出
し部９ｄに囲まれた部分に向かって気流１５ａ，１５ｂ
を吹き付ける。
鏡４側端面に対向して配置し、共振器ベース９の張り出
し部９ｄに囲まれた部分に向かって気流１５ａ，１５ｂ
を吹き付ける。
【００２０】流量調整弁１４は、送風機１出口のガス冷
却器２ａの冷却水配管に接続され、放電電源６に印加さ
れる出力設定信号６ａに従って冷却水量を変える。
却器２ａの冷却水配管に接続され、放電電源６に印加さ
れる出力設定信号６ａに従って冷却水量を変える。
【００２１】また、ガス流遮蔽ガイド板１６ｂは、共振
器ベース９の接続給気ブロック１０との接続口９ａと出
力鏡保持板１２ａに気体レーザ媒質を供給する分配口９
ｂとの間を遮るように、共振器ベース９内のガス通過穴
９ｃのほぼ中央の高さの位置で接続口９ａ開口面と平行
に共振器ベース先端部の前カバー１６ａの内側に固定さ
れている。
器ベース９の接続給気ブロック１０との接続口９ａと出
力鏡保持板１２ａに気体レーザ媒質を供給する分配口９
ｂとの間を遮るように、共振器ベース９内のガス通過穴
９ｃのほぼ中央の高さの位置で接続口９ａ開口面と平行
に共振器ベース先端部の前カバー１６ａの内側に固定さ
れている。
【００２２】さらに、共振器ベース９の全反射鏡４側に
は、図示しないが保持板１２ｂとの間に気圧レーザ媒質
供給用の開口部が設けられている。
は、図示しないが保持板１２ｂとの間に気圧レーザ媒質
供給用の開口部が設けられている。
【００２３】以上のように構成された軸流形レーザ発振
器について、その動作を説明する。２本の放電管５ａ，
５ｂ内へは、気体レーザ媒質が従来例で説明したと同様
に送風機１により給気配管７，共振器ベース９，保持板
１２ａ，１２ｂを通じて等分して供給され、出力設定信
号６ａで制御された放電電源６が発生する放電により励
起されてレーザ光を発振する。発振されたレーザ光は、
出力鏡３と全反射鏡４の間を増幅しながら往復し、最後
は出力鏡３から外へ取り出される。放電管５ａ，５ｂ内
で温度上昇した気体レーザ媒質は、放電管５ａ，５ｂの
中央の排気ブロック１３で集められ、ガス冷却器２ｂで
回収され、冷却されて再び送風機１により給気配管７を
通じて放電管５ａ，５ｂへ送られる。
器について、その動作を説明する。２本の放電管５ａ，
５ｂ内へは、気体レーザ媒質が従来例で説明したと同様
に送風機１により給気配管７，共振器ベース９，保持板
１２ａ，１２ｂを通じて等分して供給され、出力設定信
号６ａで制御された放電電源６が発生する放電により励
起されてレーザ光を発振する。発振されたレーザ光は、
出力鏡３と全反射鏡４の間を増幅しながら往復し、最後
は出力鏡３から外へ取り出される。放電管５ａ，５ｂ内
で温度上昇した気体レーザ媒質は、放電管５ａ，５ｂの
中央の排気ブロック１３で集められ、ガス冷却器２ｂで
回収され、冷却されて再び送風機１により給気配管７を
通じて放電管５ａ，５ｂへ送られる。
【００２４】気体レーザ媒質は、給気配管７を通過する
際に、従来例と同様、温度変化により給気配管７を膨張
収縮させるが、共振器支持軸１０ａ，軸受け１０ｂで固
定された接続給気ブロック１０のみを通して共振器ベー
ス９に接続されているため、給気配管７の膨張収縮によ
り共振器光軸が歪められない。
際に、従来例と同様、温度変化により給気配管７を膨張
収縮させるが、共振器支持軸１０ａ，軸受け１０ｂで固
定された接続給気ブロック１０のみを通して共振器ベー
ス９に接続されているため、給気配管７の膨張収縮によ
り共振器光軸が歪められない。
【００２５】気体レーザ媒質は、共振器ベース９の接続
口９ａから入る際に、ガス流遮蔽ガイド板１６ｂを迂回
して出力鏡保持板１２ａに入る。その結果、気体レーザ
媒質の温度が変化した時でも、接続口９ａに対向する共
振器ベース９内のガス通過穴９ｃの壁面に気体レーザ媒
質が衝突して共振器ベース９を部分的に加熱冷却するこ
となく、共振器ベース９全体が、気体レーザ媒質の温度
変化に追随して均一な分布の温度変化をする。
口９ａから入る際に、ガス流遮蔽ガイド板１６ｂを迂回
して出力鏡保持板１２ａに入る。その結果、気体レーザ
媒質の温度が変化した時でも、接続口９ａに対向する共
振器ベース９内のガス通過穴９ｃの壁面に気体レーザ媒
質が衝突して共振器ベース９を部分的に加熱冷却するこ
となく、共振器ベース９全体が、気体レーザ媒質の温度
変化に追随して均一な分布の温度変化をする。
【００２６】また、共振器ベース９の張り出し部先端９
ｅが、張り出し部９ｄの途中で共振器ベース９に平行と
なるように折曲げられているために、通風ファン１５の
作る気流１５ａ，１５ｂのガイドとして働き、共振器ベ
ース９の側面に沿った同一温度の空気の流れが生じる。
その結果、気流１５ａ，１５ｂによって共振器ベース９
の温度分布を外面からより均一化する。
ｅが、張り出し部９ｄの途中で共振器ベース９に平行と
なるように折曲げられているために、通風ファン１５の
作る気流１５ａ，１５ｂのガイドとして働き、共振器ベ
ース９の側面に沿った同一温度の空気の流れが生じる。
その結果、気流１５ａ，１５ｂによって共振器ベース９
の温度分布を外面からより均一化する。
【００２７】さらに、流量調整弁１４は、放電電源６の
出力設定が高められるときにガス冷却器２ａに供給する
冷却水を増やし、出力設定が下げられるときに冷却水の
供給量を絞る。そして、流量調整弁１４によって調整さ
れる流量は入口側のガス冷却器２ｂを通った気体レーザ
媒質の温度を放電開始前の温度にまで下げることのでき
る量であるように設定される。その結果、ガス冷却器２
ａ出口での気体レーザ媒質の温度は放電入力の大小の変
化によらずほぼ同じ温度に冷却され、共振器に一定温度
の気体レーザ媒質を供給できる。
出力設定が高められるときにガス冷却器２ａに供給する
冷却水を増やし、出力設定が下げられるときに冷却水の
供給量を絞る。そして、流量調整弁１４によって調整さ
れる流量は入口側のガス冷却器２ｂを通った気体レーザ
媒質の温度を放電開始前の温度にまで下げることのでき
る量であるように設定される。その結果、ガス冷却器２
ａ出口での気体レーザ媒質の温度は放電入力の大小の変
化によらずほぼ同じ温度に冷却され、共振器に一定温度
の気体レーザ媒質を供給できる。
【００２８】このように本発明の第１の実施例によれ
ば、共振器に供給される気体レーザ媒質が放電入力の大
小によって温度変化を生じることを防ぎ、よって給気配
管の歪みをなくすとともに、気体レーザ媒質に温度変化
が生じた場合にも、共振器の全体に温度変化が伝わるよ
うにし、さらに共振器は給気配管の膨張収縮の影響をう
けることがなく共振器歪みをなくすことができる。
ば、共振器に供給される気体レーザ媒質が放電入力の大
小によって温度変化を生じることを防ぎ、よって給気配
管の歪みをなくすとともに、気体レーザ媒質に温度変化
が生じた場合にも、共振器の全体に温度変化が伝わるよ
うにし、さらに共振器は給気配管の膨張収縮の影響をう
けることがなく共振器歪みをなくすことができる。
【００２９】（実施例２）図２は本発明の第２の実施例
を示したものであり、図１と共通する部分の説明は省略
する。図２において、１９は共振器ベース、１９ａはそ
の気体レーザ媒質の接続口、１９ｂは共振器ベース１９
から支持板１２ａ，１２ｂへの気体レーザ媒質の分配
口、１９ｃは共振器ベース内のガス通過穴、２０は接続
給気ブロック、２０ａはその側面に設けた共振器支持
軸、２０ｂは共振器支持軸受け、２０ｃは接続給気ブロ
ック２０内のガス通過穴、２１は接続給気ブロック２０
の冷却リングで２１ａはその冷却水穴、２２はら旋状ガ
スガイド板である。
を示したものであり、図１と共通する部分の説明は省略
する。図２において、１９は共振器ベース、１９ａはそ
の気体レーザ媒質の接続口、１９ｂは共振器ベース１９
から支持板１２ａ，１２ｂへの気体レーザ媒質の分配
口、１９ｃは共振器ベース内のガス通過穴、２０は接続
給気ブロック、２０ａはその側面に設けた共振器支持
軸、２０ｂは共振器支持軸受け、２０ｃは接続給気ブロ
ック２０内のガス通過穴、２１は接続給気ブロック２０
の冷却リングで２１ａはその冷却水穴、２２はら旋状ガ
スガイド板である。
【００３０】保持板１２ａ，１２ｂは図１に示すように
共振器ベース１９の両端部に配設され、共振器ベース１
９の側面の張り出し部９ｄがつくる平坦部上に固定され
る。
共振器ベース１９の両端部に配設され、共振器ベース１
９の側面の張り出し部９ｄがつくる平坦部上に固定され
る。
【００３１】共振器ベース１９の出力鏡３側端面に接続
給気ブロック２０、全反射鏡４側端部の下面に転がりス
ライダ１１が取付けられ、接続給気ブロック２０側面の
支持軸２０ａに取付けられた軸受け２０ｂと転がりスラ
イダ１１で共振器を支持している。
給気ブロック２０、全反射鏡４側端部の下面に転がりス
ライダ１１が取付けられ、接続給気ブロック２０側面の
支持軸２０ａに取付けられた軸受け２０ｂと転がりスラ
イダ１１で共振器を支持している。
【００３２】冷却リング２１は接続給気ブロック２０の
ガス通過穴２０ｃと同軸となるように外側面に取付けら
れ、ら旋状ガスガイド板は共振器ベース１９の出力鏡３
側端の接続口１９ａから全反射鏡４側端までのガス通過
穴１９ｃ全体にわたり、ら旋の旋回数は全体でほぼ整数
回となるように捩じられている。
ガス通過穴２０ｃと同軸となるように外側面に取付けら
れ、ら旋状ガスガイド板は共振器ベース１９の出力鏡３
側端の接続口１９ａから全反射鏡４側端までのガス通過
穴１９ｃ全体にわたり、ら旋の旋回数は全体でほぼ整数
回となるように捩じられている。
【００３３】気体レーザ媒質は、給気配管７を通過する
際に、温度変化により給気配管７を膨張収縮させるが、
共振器支持軸２０ａ，軸受け２０ｂで固定された接続給
気ブロック２０のみを通して共振器ベース１９に接続さ
れているため、給気配管７の膨張収縮によっても共振器
光軸が歪められない。冷却リング２１は、共振器ベース
１９の出力鏡３側端部のガス通過穴１９ｃ、および接続
吸気ブロック２０のガス通過穴２０ｃ周りの温度分布を
均一化する。
際に、温度変化により給気配管７を膨張収縮させるが、
共振器支持軸２０ａ，軸受け２０ｂで固定された接続給
気ブロック２０のみを通して共振器ベース１９に接続さ
れているため、給気配管７の膨張収縮によっても共振器
光軸が歪められない。冷却リング２１は、共振器ベース
１９の出力鏡３側端部のガス通過穴１９ｃ、および接続
吸気ブロック２０のガス通過穴２０ｃ周りの温度分布を
均一化する。
【００３４】また、気体レーザ媒質が共振器ベース１９
内のガス通過穴１９ｃを接続口１９ａから全反射鏡４側
端まで流れる際にほぼ整数回旋回しながら流れ、共振器
ベース１９を部分的に加熱冷却することなく、共振器ベ
ース１９全体が、気体レーザ媒質の温度変化に追随して
均一な分布の温度変化をする。
内のガス通過穴１９ｃを接続口１９ａから全反射鏡４側
端まで流れる際にほぼ整数回旋回しながら流れ、共振器
ベース１９を部分的に加熱冷却することなく、共振器ベ
ース１９全体が、気体レーザ媒質の温度変化に追随して
均一な分布の温度変化をする。
【００３５】このように本発明の第２の実施例によれ
ば、放電入力の大小により共振器に供給される気体レー
ザ媒質に温度変化が生じても、給気配管７の膨張収縮が
共振器光軸を歪ませることがなく、かつ、共振器ベース
９表面に温度分布が生じて共振器ベース９自体が歪んで
光軸を狂わせることがない。
ば、放電入力の大小により共振器に供給される気体レー
ザ媒質に温度変化が生じても、給気配管７の膨張収縮が
共振器光軸を歪ませることがなく、かつ、共振器ベース
９表面に温度分布が生じて共振器ベース９自体が歪んで
光軸を狂わせることがない。
【００３６】
【発明の効果】以上の実施例の説明から明らかなように
本発明の軸流形レーザ発振器によれば、放電入力の大小
により気体レーザ媒質の温度変化が生じても共振器光軸
を歪ませることがなく、かつ、気体レーザ媒質の温度変
化自体を抑制することができるのでレーザ出力を安定化
した優れた軸流形レーザ発振器を実現できるものであ
る。
本発明の軸流形レーザ発振器によれば、放電入力の大小
により気体レーザ媒質の温度変化が生じても共振器光軸
を歪ませることがなく、かつ、気体レーザ媒質の温度変
化自体を抑制することができるのでレーザ出力を安定化
した優れた軸流形レーザ発振器を実現できるものであ
る。
【図１】（ａ）は本発明の第１の実施例における全体の
構成略図 （ｂ）は第１の実施例における要部のレーザ光軸に平行
な方向の断面略図 （ｃ）は第１の実施例におけるレーザ光軸に垂直な断面
略図
構成略図 （ｂ）は第１の実施例における要部のレーザ光軸に平行
な方向の断面略図 （ｃ）は第１の実施例におけるレーザ光軸に垂直な断面
略図
【図２】（ａ）は本発明の第２の実施例における共振器
部の構成略図 （ｂ）は第２の実施例における要部のレーザ光軸に平行
な方向の断面略図
部の構成略図 （ｂ）は第２の実施例における要部のレーザ光軸に平行
な方向の断面略図
【図３】従来の軸流形レーザ発振器の構成を示した略図
１ 送風機 ２ａ ガス冷却器（送風機出口側） ２ｂ ガス冷却器（送風機入口側） ３ 出力鏡 ４ 全反射鏡 ５ａ，５ｂ 放電管 ６ 放電電源 ６ａ 出力設定信号 ７，７ａ，７ｂ 給気配管 ８ 排気配管 ９，１９ 共振器ベース（分配給気配管） ９ａ，１９ａ 接続口 ９ｂ，１９ｂ 分配口 ９ｃ，１９ｃ 共振器ベース内のガス通過穴 ９ｄ 共振器ベースの張り出し部 ９ｅ 共振器ベースの折曲げられた張り出し部先端 １０，２０ 接続給気ブロック １０ａ，２０ａ 共振器支持軸 １０ｂ，２０ｂ 共振器支持軸受け １０ｃ，２０ｃ ガス通過穴 １１ 転がりスライダ １２ａ，２５ａ 出力鏡保持板 １２ｂ，２５ｂ 全反射鏡保持板 １３ 排気ブロック １４ 流量調整弁 １５ 通風ファン １５ａ，１５ｂ 通風ファン気流 １６ａ 共振器ベース前カバー １６ｂ ガス流遮蔽ガイド板 ２１ 冷却リング ２１ａ 冷却水穴 ２２ ら旋状ガスガイド板 ２６ａ，２６ｂ 共振器支持ロッド ２７ａ，２７ｂ 給気ブロック ２８ 共振器支持金具
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−48883（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−252677（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−218785（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−1863（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−175887（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 3/03 H01S 3/041
Claims (4)
- 【請求項１】 気体レーザ媒質内に放電を起こす複数の
放電管と、その両端に出力鏡と全反射鏡を取り付けたレ
ーザ共振器と、気体レーザ媒質の送風機と、前記レーザ
共振器と前記送風器を接続する複数の給気配管及び排気
配管と、ガス冷却器と、放電電源とを備え、前記放電管
内の前記気体レーザ媒質を放電により励起してレーザ光
を発生させる軸流形レーザ発振器において、複数の前記
放電管に気体レーザ媒質を分配する分配給気配管の外側
面に沿って前記レーザ共振器を構成し、接続給気ブロッ
クで前記レーザ共振器全体を支え、前記分配給気配管の
外側面の一箇所に気体レーザ媒質を供給する接続口を設
け、前記分配給気配管の前記接続口の内側に気体レーザ
媒質のガイド手段を設けたことを特徴とする軸流形レー
ザ発振器。 - 【請求項２】 気体レーザ媒質内に放電を起こす複数の
放電管と、その両端に出力鏡と全反射鏡を取り付けたレ
ーザ共振器と、気体レーザ媒質の送風機と、前記レーザ
共振器と前記送風器を接続する複数の給気配管及び排気
配管と、ガス冷却器と、放電電源とを備え、前記放電管
内の前記気体レーザ媒質を放電により励起してレーザ光
を発生させる軸流形レーザ発振器において、複数の前記
放電管に気体レーザ媒質を分配する分配給気配管の外側
面に沿って前記レーザ共振器を構成し、接続給気ブロッ
クで前記レーザ共振器全体を支え、前記分配給気配管の
端面に、気体レーザ媒質の通過する穴を取り巻いて冷却
部を設けた接続給気ブロックを取り付けたことを特徴と
する軸流形レーザ発振器。 - 【請求項３】 前記分配給気配管の内側にら旋状のガイ
ド手段を設けたことを特徴とする請求項２記載の軸流形
レーザ発振器。 - 【請求項４】 気体レーザ媒質内に放電を起こす複数の
放電管と、その両端に出力鏡と全反射鏡を取付けたレー
ザ共振器と、気体レーザ媒質の送風機と、前記レーザ共
振器と前記送風機を接続する複数の給気配管および排気
配管と、ガス冷却器と、放電電源を備え、前記放電管内
の前記気体レーザ媒質を放電により励起してレーザ光を
発生させる軸流形レーザ発振器において、前記給気配管
の内、複数の前記放電管に気体レーザ媒質を分配する分
配給気配管の外側面に配管に沿って張り出し部を複数設
け、前記張り出し部先端を前記分配給気配管に沿って曲
げ 、前記分配給気配管端面に気流発生源を設けて前記張
り出し部に気流を当てたことを特徴とする軸流形レーザ
発振器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4347985A JP3022016B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 軸流形レーザ発振器 |
| US08/166,631 US5426659A (en) | 1992-12-28 | 1993-12-15 | Axial flow type laser oscillator |
| DE4344719A DE4344719C2 (de) | 1992-12-28 | 1993-12-27 | Axialfluß-Laseroszillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4347985A JP3022016B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 軸流形レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204587A JPH06204587A (ja) | 1994-07-22 |
| JP3022016B2 true JP3022016B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=18393959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4347985A Expired - Fee Related JP3022016B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 軸流形レーザ発振器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5426659A (ja) |
| JP (1) | JP3022016B2 (ja) |
| DE (1) | DE4344719C2 (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4417468A1 (de) * | 1994-05-19 | 1995-11-23 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Gaslaser |
| JP3427571B2 (ja) * | 1995-06-14 | 2003-07-22 | 松下電器産業株式会社 | 高速軸流型ガスレーザ発振器 |
| JP3036514B2 (ja) * | 1998-06-26 | 2000-04-24 | 松下電器産業株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
| DE10050603B4 (de) * | 1999-10-12 | 2006-04-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Laseroszillatorvorrichtung |
| WO2001093380A1 (fr) * | 2000-05-30 | 2001-12-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif d'oscillation laser |
| JP3787120B2 (ja) * | 2002-12-10 | 2006-06-21 | ファナック株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
| DK2565673T3 (da) | 2011-09-05 | 2014-01-06 | Alltec Angewandte Laserlicht Technologie Gmbh | Indretning og fremgangsmåde til markering af et objekt ved hjælp af en laserstråle |
| EP2564973B1 (en) * | 2011-09-05 | 2014-12-10 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Marking apparatus with a plurality of lasers and a combining deflection device |
| EP2564974B1 (en) * | 2011-09-05 | 2015-06-17 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Marking apparatus with a plurality of gas lasers with resonator tubes and individually adjustable deflection means |
| ES2444504T3 (es) | 2011-09-05 | 2014-02-25 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Dispositivo láser con una unidad láser, y un recipiente de fluido para medios de refrigeración de dicha unidad láser |
| EP2564975B1 (en) * | 2011-09-05 | 2014-12-10 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Marking apparatus with a plurality of lasers and individually adjustable sets of deflection means |
| DK2565994T3 (en) | 2011-09-05 | 2014-03-10 | Alltec Angewandte Laserlicht Technologie Gmbh | Laser device and method for marking an object |
| EP2564972B1 (en) * | 2011-09-05 | 2015-08-26 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Marking apparatus with a plurality of lasers, deflection means and telescopic means for each laser beam |
| EP2564976B1 (en) | 2011-09-05 | 2015-06-10 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Marking apparatus with at least one gas laser and heat dissipator |
| DE102012205870B3 (de) * | 2012-04-11 | 2013-02-21 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Kühlanordnung für einen Gaslaser, Gaslaser damit, sowie Verfahren zum Kühlen von Lasergas |
| JP6145122B2 (ja) * | 2015-02-27 | 2017-06-07 | ファナック株式会社 | 温度調整が可能なガスレーザ発振器 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH399021A (de) * | 1964-02-19 | 1966-03-31 | Kistler Instrumente Ag | Beschleunigungs-Messgerät |
| US4242646A (en) * | 1978-05-12 | 1980-12-30 | Macken John A | Spiral flow convective laser |
| DE3245959A1 (de) * | 1982-12-11 | 1984-06-14 | Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt | Laseranordnung |
| DE3323954A1 (de) * | 1983-07-02 | 1985-01-10 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt | Gaslaser, insbesondere schnellstroemender axialstrom-gastransportlaser |
| EP0183023B1 (de) * | 1984-11-24 | 1991-02-20 | Trumpf GmbH & Co | Gas-Laser mit Quereinkopplung von Hochfrequenzenergie |
| DE8526361U1 (de) * | 1985-09-14 | 1986-01-02 | Trumpf GmbH & Co, 7257 Ditzingen | Gas-Laser |
| US4823355A (en) * | 1987-03-10 | 1989-04-18 | Amada Engineering & Service Co., Inc. | High speed axial flow gas laser generator |
| US4823349A (en) * | 1987-03-31 | 1989-04-18 | Rofin-Sinar, Inc. | Resonator module and blower module assembly |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP4347985A patent/JP3022016B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-12-15 US US08/166,631 patent/US5426659A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-12-27 DE DE4344719A patent/DE4344719C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06204587A (ja) | 1994-07-22 |
| DE4344719C2 (de) | 2001-12-06 |
| US5426659A (en) | 1995-06-20 |
| DE4344719A1 (de) | 1994-06-30 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |