JPS62224990A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
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- JPS62224990A JPS62224990A JP6713486A JP6713486A JPS62224990A JP S62224990 A JPS62224990 A JP S62224990A JP 6713486 A JP6713486 A JP 6713486A JP 6713486 A JP6713486 A JP 6713486A JP S62224990 A JPS62224990 A JP S62224990A
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- JP
- Japan
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- gas
- cubicle
- temperature
- housing
- side plates
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- Pending
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明はガスレーザ発振器の改良に関するものである。
［従来の技術］
通常ガスレーザ発振器といえばｃｏ２レーザが著名であ
り、特に大出力レーザとして実用化されているのは、直
交型ガス循還式レーザである。
り、特に大出力レーザとして実用化されているのは、直
交型ガス循還式レーザである。
第２図（ａ）は上記レーザ発振器を示す側面断面図、同
（ｂ）は正面断面図で、図中（１）は筺体、（ｌａ）。
（ｂ）は正面断面図で、図中（１）は筺体、（ｌａ）。
（Ｉｂ）はその側板、（勢は支持枠、（３）はガスクー
ラ、（４）はファン、（５）はレーザ励起部、（６）は
ガス通路、（７ａ） 、 （７ｂ） はブラケット、（
８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ）はロッド、（９ａ
） 、 （９ｂ）は面板、０■は部分反射鏡、（１１）
は全反射鏡である。
ラ、（４）はファン、（５）はレーザ励起部、（６）は
ガス通路、（７ａ） 、 （７ｂ） はブラケット、（
８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ）はロッド、（９ａ
） 、 （９ｂ）は面板、０■は部分反射鏡、（１１）
は全反射鏡である。
図においてＣ０２を含むレーザ媒体ガスを封入した筺体
（１）の底部には、支持枠（２）を介してガスクーラ（
３）とファン（４）とが配設されており、支持枠（２）
にＭ＜Ｕ字形のガス通路（６）の先端には、レーザ励起
部（５）が接続されている。筺体（１）の上面に固着さ
れたブラケット（７ａ） 、 （７ｂ）には、ロッド（
８ａ）。
（１）の底部には、支持枠（２）を介してガスクーラ（
３）とファン（４）とが配設されており、支持枠（２）
にＭ＜Ｕ字形のガス通路（６）の先端には、レーザ励起
部（５）が接続されている。筺体（１）の上面に固着さ
れたブラケット（７ａ） 、 （７ｂ）には、ロッド（
８ａ）。
（８ｂ）が装着されており、ロット（８ａ） 、 （８
ｂ）の端面には、面板（９ａ） 、 （９ｂ）が装着さ
れている。又面板（９ａｌ 、 （９ｂ）には、部分反
射ｍａｎおよび全反射鏡（１わが固着されている。
ｂ）の端面には、面板（９ａ） 、 （９ｂ）が装着さ
れている。又面板（９ａｌ 、 （９ｂ）には、部分反
射ｍａｎおよび全反射鏡（１わが固着されている。
ガスレーザ発振器は上記のように構成されており、レー
ザ発振に当っては、先づファン（４）を作動し、レーザ
励起部（５）、ガス通路（６）及びガスクーラ（３）と
矢印の方向に循還するガス循還流を作る。ついでレーザ
励起部（５）において、レーザ媒質ガスが放電等の手段
により励起され、Ｃ０２レーザの場合、波長１Ｏ１６μ
ｍの光を放出する。この光を全反射鏡（１１）と部分反
射鏡叫とで構成された光共振（増幅）器で増幅し、部分
反射鏡ａＱの側よりレーザ光として取出すのである。
ザ発振に当っては、先づファン（４）を作動し、レーザ
励起部（５）、ガス通路（６）及びガスクーラ（３）と
矢印の方向に循還するガス循還流を作る。ついでレーザ
励起部（５）において、レーザ媒質ガスが放電等の手段
により励起され、Ｃ０２レーザの場合、波長１Ｏ１６μ
ｍの光を放出する。この光を全反射鏡（１１）と部分反
射鏡叫とで構成された光共振（増幅）器で増幅し、部分
反射鏡ａＱの側よりレーザ光として取出すのである。
レーザ発振器の性能を示すものとして最も重要な出力、
モード及び光軸の安定性を保つには、共振器の反射鏡の
角度変化及び位置変化の小さいことが必要で、そのため
ロッド（８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ）は通常線
膨張率の小さい３６％Ｎ１合金やＣＦＲＰ等で成形され
ている。
モード及び光軸の安定性を保つには、共振器の反射鏡の
角度変化及び位置変化の小さいことが必要で、そのため
ロッド（８ａ） 、 （８ｂ） 、 （８ｃ）は通常線
膨張率の小さい３６％Ｎ１合金やＣＦＲＰ等で成形され
ている。
［発明が解決しようとする問題点］
ところで筺体（１）内を循還するレーザガスの温度は、
レーザ励起部（５）の入口Ａ部においては低く１０〜２
０℃であるが、レーザ励起部（５）の出口８部において
は８０〜１００℃と上昇する。このため筺体（１）の側
板も、レーザ励起部（５）の入口側Ａ部に近い側板（１
ａ）とレーザ励起部（５）の出口側８部及びそれに続く
ガス通路（６）側の側板（１ｂ）とでは、その温度が異
なり、ガス通路（６）に近い側板（ｌｂ）の方が６０〜
９０℃も高くなる。この温度差により筺体（１）の側板
（１ａ）と（ｌｂｌに熱変形を生じ、その熱変形がブラ
ケット（７ａ） 、 （７ｂ）を介して共振器反射鏡θ
０．（Ｉυの位置変化と、微少ではあるが角度変化とを
発生せしめることとなる。この結果前記発振器の出力、
モード及び光軸の安定性を損なうことになり、これが従
来のガスレーザ発振器の一つの問題点となっていた。
レーザ励起部（５）の入口Ａ部においては低く１０〜２
０℃であるが、レーザ励起部（５）の出口８部において
は８０〜１００℃と上昇する。このため筺体（１）の側
板も、レーザ励起部（５）の入口側Ａ部に近い側板（１
ａ）とレーザ励起部（５）の出口側８部及びそれに続く
ガス通路（６）側の側板（１ｂ）とでは、その温度が異
なり、ガス通路（６）に近い側板（ｌｂ）の方が６０〜
９０℃も高くなる。この温度差により筺体（１）の側板
（１ａ）と（ｌｂｌに熱変形を生じ、その熱変形がブラ
ケット（７ａ） 、 （７ｂ）を介して共振器反射鏡θ
０．（Ｉυの位置変化と、微少ではあるが角度変化とを
発生せしめることとなる。この結果前記発振器の出力、
モード及び光軸の安定性を損なうことになり、これが従
来のガスレーザ発振器の一つの問題点となっていた。
本発明は従来のガスレーザ発振器の上記問題点を解消す
るためになされたもので、性能安定性の高いガスレーザ
発振器を提供しようとするものである。
るためになされたもので、性能安定性の高いガスレーザ
発振器を提供しようとするものである。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明に係るガスレーザ発振
器は、筺体内のガス通路の、筺体の側板に対向する部分
に、ガス流入のための開口部を設けた。
器は、筺体内のガス通路の、筺体の側板に対向する部分
に、ガス流入のための開口部を設けた。
［作用］
上記のように、ガスレーザ発振器のガス通路に、開口部
を設けたので、筺体内のガスは上記ガス通路内だけでな
く、ガス通路の外側をも循還するようになる。このため
筺体内のガスの温度は均一化し、従って筺体側板の温度
も箇所による偏倚が消失して、どこもほぼ均一の温度と
なる。この結果温度差による筺体側板の熱変形は防止さ
れ、従って筺体の面板に装着された反射鏡（１０及び（
１０の位置変化あるいは角度変化の発生は抑止される。
を設けたので、筺体内のガスは上記ガス通路内だけでな
く、ガス通路の外側をも循還するようになる。このため
筺体内のガスの温度は均一化し、従って筺体側板の温度
も箇所による偏倚が消失して、どこもほぼ均一の温度と
なる。この結果温度差による筺体側板の熱変形は防止さ
れ、従って筺体の面板に装着された反射鏡（１０及び（
１０の位置変化あるいは角度変化の発生は抑止される。
［発明の実施例］
第１図は本発明の一実施例を示すガスレーザ発振器の側
面断面図で、図中（１）〜ＯＱは従来装置と同一部品、
ａつはガス通路の開口部である。
面断面図で、図中（１）〜ＯＱは従来装置と同一部品、
ａつはガス通路の開口部である。
図に示すように、ガス通路の一部、筺体（１）の側板（
１ｂ）の近傍に、開口部（支）を穿設したので、ファン
（４）を作動することにより矢印０湧に示すガス流とと
もに、一点鎖線の矢印α旬の示すガス流も生じる。
１ｂ）の近傍に、開口部（支）を穿設したので、ファン
（４）を作動することにより矢印０湧に示すガス流とと
もに、一点鎖線の矢印α旬の示すガス流も生じる。
この結果筺体（１）の側板（１ａ）及び（１ｂ）の近傍
を流れるガス温度は、・レーザ励起部（５）に入る前の
温度１０〜２０℃程度となり、筺体の各部の温度はほぼ
均一に保たれる。このため筺体側板（１ａ）及び（ｌｂ
）には殆んど熱変形の発生はなく、従ってこの熱変形に
伴なう部分反射鏡ＯＱ及び全反射鏡（１０の位置変化並
びに角度変化の発生は防止される。
を流れるガス温度は、・レーザ励起部（５）に入る前の
温度１０〜２０℃程度となり、筺体の各部の温度はほぼ
均一に保たれる。このため筺体側板（１ａ）及び（ｌｂ
）には殆んど熱変形の発生はなく、従ってこの熱変形に
伴なう部分反射鏡ＯＱ及び全反射鏡（１０の位置変化並
びに角度変化の発生は防止される。
なお、上記実施例はＣＯ２レーザの例であるが、他のガ
スレーザであってもよい。
スレーザであってもよい。
［発明の効果］
本発明はガスレーザ発振器において、ガス通路の一部に
開口部を設け、筺体内を流れるガス温度を均一化し、筺
体側板の熱変形の発生を防止したので、この熱変形に伴
なう共振器の部分反射鏡及び全反射鏡の位置変化や角度
変化の発生が防止されることとなり、ガスレーザ発振器
の出力、モード及び光軸の安定性の向上をもたらすとい
う優れた効果をあげることとなった。
開口部を設け、筺体内を流れるガス温度を均一化し、筺
体側板の熱変形の発生を防止したので、この熱変形に伴
なう共振器の部分反射鏡及び全反射鏡の位置変化や角度
変化の発生が防止されることとなり、ガスレーザ発振器
の出力、モード及び光軸の安定性の向上をもたらすとい
う優れた効果をあげることとなった。
第１図は本発明の一実施例を示すガスレーザ発振器の断
面図、第２図は従来のガスレーザ発振器の（ａ）は側面
断面図、（ｂ）は正面断面図である。 図中（１）は筺体、（ｌａ） 、 （ｌｂ）は筺体の側
板、（６）はガス通路、（財）は開口部である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すもので
ある。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 Ｃ
面図、第２図は従来のガスレーザ発振器の（ａ）は側面
断面図、（ｂ）は正面断面図である。 図中（１）は筺体、（ｌａ） 、 （ｌｂ）は筺体の側
板、（６）はガス通路、（財）は開口部である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すもので
ある。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 Ｃ
Claims (1)
- ガスレーザ発振器において、その筺体内のガス通路の、
筺体の側板に対向する部分に、開口部を設けたことを特
徴とするガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6713486A JPS62224990A (ja) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6713486A JPS62224990A (ja) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62224990A true JPS62224990A (ja) | 1987-10-02 |
Family
ID=13336120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6713486A Pending JPS62224990A (ja) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62224990A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4027651A1 (de) * | 1989-09-01 | 1991-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | Laseroszillator |
-
1986
- 1986-03-27 JP JP6713486A patent/JPS62224990A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4027651A1 (de) * | 1989-09-01 | 1991-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | Laseroszillator |
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