JPH0645667A - 固体レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】固体レーザ媒体に不均一な温度分布を生じさせ
ないように冷却する。 【構成】固体レーザ媒体を冷却する冷媒流通路における
固体レーザ媒体を冷却する領域の流路断面積を上流側に
比較して下流側を小さくしたことにより、冷媒の流速を
上流側より下流側が大きくなるようにして上流側と下流
側における冷媒の温度差に基づく冷却度合いの相違を相
殺し、これにより、固体レーザ媒体に冷却に基づく不均
一な温度分布が生じないようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、固体レーザ媒体を用い
たレーザ発振器や光増幅器等の固体レーザ装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の固体レーザ装置としては、例え
ば、特開平２ー２０１９８０号公報に記載されたものが
知られている。図１０はこの従来の固体レーザ装置たる
ＹＡＧスラブレーザ装置の主要部の概略構成を示す部分
断面図である。

【０００３】図１０において、符号１１は長尺板状をな
したＹＡＧスラブレーザ媒体である。図１０はこのＹＡ
Ｇスラブレーザ媒体１１の長手方向に直交する面で切断
した部分断面図である。このＹＡＧスラブレーザ媒体１
１の表裏の面に対向する部位にはそれぞれ励起光源たる
ランプ１２ａ，１２ｂが配置されており、これらランプ
１２ａ，１２ｂの周囲にはリフレクタ１３ａ，１３ｂが
それぞれ設けられている。また、ランプ１２ａ，１２ｂ
と、ＹＡＧスラブレーザ媒体１１の表裏の面との間には
ガラス製の透明仕切板１４ａ，１４ｂがそれぞれ介在さ
れている。そして、これらＹＡＧスラブレーザ媒体１
１、ランプ１２ａ，１２ｂ、リフレクタ１３ａ，１３ｂ
及び透明仕切板１４ａ，１４ｂは、ケース１０５に収納
されているとともに、ＹＡＧスラブレーザ媒体１１の表
裏の面と透明仕切板１４ａ，１４ｂとの間にＹＡＧスラ
ブレーザ媒体１１を冷却する冷媒たる冷却水を流通させ
る冷媒流通路１６が形成されている。この冷媒流通路１
６は、図１０の矢印ｐで示されるように、ＹＡＧスラブ
レーザ媒体１１の幅方向における一方の端部から他方の
端部に向かって冷却水を流通させるものである。なお、
ＹＡＧスラブレーザ媒体１１の幅方向における両側部に
は断熱部材を兼ねた整流板１７ａ，１７ｂが取り付けら
れている。また、実際にはランプ１２ａ，１２ｂも水冷
されるが、図１０ではその点の構成等は省略してある。

【０００４】また、固体レーザ媒体として、上述のスラ
ブレーザ媒体以外のロッド状や管状のＹＡＧ等の結晶や
レーザガラスを用いた固体レーザ装置においては、通常
光軸方向に沿って冷却水等の液体、空気、ガス等の冷媒
を流してレーザ媒体の冷却を行っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の従来
のＹＡＧスラブレーザ装置においては、冷媒流通路１６
の下流側における冷却水は、上流側でＹＡＧスラブレー
ザ媒体１１を冷却して既に温まった冷却水である。この
ため、必然的に下流側の冷却度合いが上流側に比較して
小さくなり、その結果、ＹＡＧスラブレーザ媒体１１に
この冷却度合いの相違による幅方向の温度分布が生ずる
という問題があった。このような温度分布は、冷却水の
流速を上げることで緩和はされるが、冷却水を循環させ
るポンプの噴出圧力には限度があり、また配管やランプ
ハウス等の耐圧能力にも限度があるため冷却水の流速を
上げることだけでは解決できない問題である。このよう
にスラブの幅方向に不均一な温度分布が発生すると、励
起入力によってレーザビームの出射方向が変化したり、
横モードが不安定になったり、あるいは、発振効率が低
下することになる。このため、このＹＡＧスラブレーザ
装置を、例えば、金属の切断加工、溶接加工、穴あけ加
工などに用いる大出力のレーザ発振装置に用いた場合に
は、加工位置、加工幅、加工深さなどが変化し、高精度
の加工が難しくなるという不都合が生じていた。また、
例えば、このＹＡＧスラブレーザ装置を、レーザビーム
の出射方向や横モードに高い安定性を必要とする電気部
品のトリミングや波長変換用のレーザ装置として用いる
場合にも十分な安定性が得られないという問題があっ
た。

【０００６】このような事情は、固体レーザ媒体とし
て、スラブレーザ媒体以外のロッド状や管状のＹＡＧ等
の結晶やレーザガラスを用いた固体レーザ装置において
も同様であった。

【０００７】本発明は、上述の背景のもとでなされたも
のであり、固体レーザ媒体を冷却する冷媒を流通させる
冷媒流通路の上流側と下流側とにおける冷媒に温度差が
生じても固体レーザ媒体に温度分布が生じないようにし
た固体レーザ装置を提供することを目的としたものであ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明かかる固体レーザ装置は、（１） 固体レ
ーザ媒体と、この固体レーザ媒体を励起する励起光源
と、前記固体レーザ媒体を冷却する冷媒を流通させる冷
媒流通路とを有する固体レーザ装置において、前記冷媒
流通路における前記固体レーザ媒体を冷却する領域の流
路断面積を上流側に比較して下流側を小さくしたことを
特徴とする構成とした。

【０００９】また、この構成１の態様として、（２）
構成１の固体レーザ装置において、前記固体レーザ媒体
が、略長尺板状をなしたスラブレーザ媒体であり、前記
冷媒流通路が、前記スラブレーザ媒体の幅方向にそって
冷媒を流通させるものであることを特徴とした構成、及
び、（３） 構成１の固体レーザ装置において、前記冷
媒流通路が、前記固体レーザ媒体の長手方向にそって冷
媒を流通させるものであることを特徴とした構成とし
た。

【００１０】

【作用】上述の構成１によれば、冷媒流通路における前
記固体レーザ媒体を冷却する領域の流路断面積を上流側
に比較して下流側を小さくしたことにより、冷媒の流速
が上流側に比較して下流側が大きくなる。ここで、流通
する冷媒によって被冷却体を冷却する場合、冷媒と被冷
却媒体との温度差が大きいほど、また、冷媒の流速が大
きい程、冷却度合いが高くなる。上記構成１の場合に
は、上流側において冷媒と被冷却媒体との温度差は下流
側に比較して大きいが流速は小さい。下流側においては
この逆の関係にある。したがって、上流側と下流側の断
面積の比を適切に設定すると、上流側と下流側とでその
冷却度合いを等しくすることができる。これにより、固
体レーザ媒体に不均一な温度分布を生じさせることなく
冷却が可能になる。

【００１１】構成２によれば、スラブレーザ媒体を長手
方向は勿論のこと、幅方向においても不均一な温度分布
を生じさせることなく冷却することができ、構成３によ
れば、冷媒流通路を固体レーザ媒体の長手方向にそって
形成した場合において不均一な温度分布を生じさせるこ
となく冷却することが可能となる。

【００１２】

【実施例】第１実施例 図２は本発明の第１実施例にかかる固体レーザ装置の要
部外観斜視図、図１は図２のＩーＩ線断面図である。以
下、これらの図面を参照にしながら第１実施例を詳述す
る。なお、この実施例は、図１０に従来例として示した
固体レーザ装置と同様に、レーザ媒体としてＹＡＧスラ
ブレーザ媒体を用いた場合の例であり、図１０の装置と
共通する部分が多い。したがって、以下の説明では共通
する部分には同一の符号を付してその説明の一部を省略
し、本実施例に特徴的な点を中心に説明する。

【００１３】この実施例が上述の図１０に示される従来
例とを異なる点は、従来例における透明仕切板１４ａ，
１４ｂのかわりに、厚さを下流側に行くにしたがって徐
々に厚くなるようにした透明仕切板１４０ａ，１４ｂを
用い、その厚さの差の分だけ冷媒流通路１６の流路断面
積が下流側に行くにしたがって小さくなるようにした点
である。その他の点は上記従来例と同じである。すなわ
ち、この透明仕切板１４０ａ，１４０ｂはランプ１２
ａ，１２ｂと対向する面がＹＡＧスラブレーザ媒体１１
の表面と略平行な面となっているが、ＹＡＧスラブレー
ザ媒体１１の表面と対向する面は、上流側から下流側に
行くにしたがって厚さが増すように傾斜面となってい
る。これにより、冷媒流通路１６におけるＹＡＧスラブ
レーザ媒体１１を冷却する領域の流路断面積が上流側に
比較して下流側を小さくなるようになっている。冷媒と
しての冷却水は、冷媒流通路１６の上流側に形成された
冷媒導入口１６０ａから流入され、ＹＡＧスラブレーザ
媒体１１の表裏の面と透明仕切板１４０ａ，１４０ｂと
で形成される流路を通って下流側に形成された冷媒排出
口１６０ｂを通じて排出される。この場合、ＹＡＧスラ
ブレーザ媒体１１の表裏の面と透明仕切板１４０ａ，１
４０ｂとで形成される流路の断面積は、下流側に行くに
したがって小さくなっているので、冷却水の流速は上流
側に比較して下流側が大きくなる。したがって、上流側
と下流側の断面積の比を適切に設定すると、上流側と下
流側とでその冷却度合いを等しくすることができ、これ
により、固体レーザ媒体に不均一な温度分布を生じさせ
ることなく冷却が可能になる。

【００１４】ここで、この実施例では、ＹＡＧスラブレ
ーザ媒体１１として、長さ１５１ｍｍ、厚さ６ｍｍ、幅
２０ｍｍのＮｄ：ＹＡＧスラブ（Ｎｄドープ量１．０原
子％）を用いた。このスラブの長さ方向の両端は、角度
約３０度の斜面に仕上げ、スラブ内部において１２回全
反射をするジグザグの光路をとるようにした。

【００１５】ランプ１２ａ，１２ｂとしては、発光長約
１２６ｍｍ、内径１０ｍｍφのクリプトンフラッシュラ
ンプ（米国ＩＬＣ社製、型番１０Ｆ５）を用いた。

【００１６】リフレクタ１３ａ，１３ｂは、反射効率の
高い白色セラミック（三井鉱山（株）製、商品名：マセ
ライト）で構成した。なお、白色セラミックのかわりに
アルミその他の金属の表面に金メッキして反射面を形成
したものを用いてもよい。

【００１７】透明仕切板１４０ａ，１４０ｂはパイレッ
クスガラスで構成した。ここで、ＹＡＧスラブレーザ媒
体１１の表裏の面と透明仕切板１４０ａ，１４０ｂとで
形成される流路の断面が略長方形となるが、上流側のＹ
ＡＧスラブレーザ媒体１１の端部における表裏の面と透
明仕切板１４０ａ，１４０ｂの表面との間隙が０．８ｍ
ｍになり、下流側のＹＡＧスラブレーザ媒体１１の端部
における表裏の面と透明仕切板１４０ａ，１４０ｂの表
面との間隙を０．３ｍｍになるように設定した。

【００１８】ケース１５は、ＹＡＧスラブレーザ媒体１
１、ランプ１２ａ，１２ｂ、リフレクタ１３ａ，１３ｂ
等を水漏れすることなく保持封止するためにアルミ合金
製（表面はアルマイト処理）とした。

【００１９】整流板１７ａ，１７ｂは、冷却水の流通を
スムーズにすると同時にＹＡＧスラブレーザ媒体１１の
側面を断熱するためにテフロン（ポリテトラフルオロエ
チレンについてのデュポン社の商標名）で構成した。

【００２０】なお、実際には、ＹＡＧスラブレーザ媒体
１１の外にも、ランプ１２ａ，１２ｂ及びリフレクタ１
３ａ，１３ｂも水冷するが、その構成は省略した。ま
た、これらを冷却する冷媒としては純水を用い、この純
水を循環式純水冷却装置（冷却能力約２０ｋｗ、純水流
量毎分約４０リットル）で循環して流通させるようにし
ているが、その構成も省略した。さらにはランプ１２
ａ，１２ｂに駆動電力を供給するための高圧電源装置も
しくはその制御装置等も省略してある。

【００２１】上述の構成の固体レーザ装置は、ＹＡＧス
ラブレーザ媒体１１の長手方向の端面（レーザ光の入・
出射面）からレーザ光を入射させてこれを増幅する光増
幅器として用いることもできるが、レーザ光の入・出射
面に対向する部位におけるレーザ光の光路上にレーザ共
振器を構成する反射鏡を配置することにより、ＹＡＧス
ラブレーザ発振装置を構成することができる。そこで、
この実施例の固体レーザ装置にレーザ共振器を付加して
ＹＡＧスラブレーザ発振装置を構成し、マルチモード発
振させたところ、そのレーザ出力は、電気入力約１５ｋ
Ｗ（１５０Ｊ、１００ｐｐｓ）において、約６２０Ｗが
得られた。このときのレーザ発振効率（レーザ出力／電
気入力）は４．１％であった。ここで、図１０に示され
る従来の固体レーザ装置を用いたものでは、スラブの厚
さ方向に就いてはジグザグ光路によって光路長が平均化
されるために電気入力によらずに比較的安定であるが、
スラブの幅方向については電気入力が大きくなるに従い
横方向が不安定になったり、レーザの出射方向が変化し
たり、レーザ発振効率が低下したりする傾向があった
が、上記実施例のものでは、電気入力によってレーザ出
力を変化させた場合にも常に安定な発振が得られた。こ
のときのレーザ光の出射方向の変動は、スラブの厚さ方
向、幅方向ともに０．０５ｍｒａｄ以下と、これまでの
高出力固体レーザの１／５〜１／１０程度の値が得られ
た。

【００２２】なお、上記本実施例では、Ｎｄドープ量
１．０原子％のＹＡＧ結晶製スラブを用いたが、ＹＡＧ
結晶以外にも、ＧＧＧ、ＧＳＧＧ、ＹＳＧＧ、ＹＳＡ
Ｇ、ＹＬＦ、アレキサンドライト、サファイヤ等のレー
ザ結晶や燐酸塩系レーザガラス（例えばＨＯＹＡ（株）
製ＬＨＧ−５、８）、硅酸塩系レーザガラス（例えばＨ
ＯＹＡ（株）製ＬＳＧ−９１Ｈ）等の各種レーザガラス
を用いることも勿論可能である。さらにレーザ活性イオ
ンもＮｄだけに制限されるものではなく、他にＥｒ、Ｃ
ｒ、Ｈｏ、Ｔｍ、Ｔｉを用いてもよい。また、レーザ活
性イオンのドープ量や種類の異なるものを用いることも
必要に応じて可能である。

【００２３】第２実施例 図３は本発明の第２実施例にかかる固体レーザ装置の要
部断面図である。以下、図３を参照にしながら第２実施
例を説明する。なお、この実施例は、第１実施例と共通
する部分が多いので、以下の説明では共通する部分に同
一の符号を付してその説明を省略し、本実施例に特徴的
な点のみを説明する。

【００２４】この実施例は、ＹＡＧスラブレーザ媒体１
１の一方の面と透明仕切板１４０ａとの間に形成される
流路２１６ａと、ＹＡＧスラブレーザ媒体１１の他方の
面と透明仕切板１４０ｂとの間に形成される流路２１６
ｂとを別個の流路とし、この流路に冷却水を互いに逆方
向から流通させるようにしたものである。このため、Ｙ
ＡＧスラブレーザ媒体１１の幅方向における両側面に、
第１実施例における整流板１７ａ，１７ｂのかわりに仕
切部材２１７ａ，２１７ｂを取り付け、ＹＡＧスラブレ
ーザ媒体１１の表裏の面に接する流路を分離している。
また、ランプ１２ａ対向する部位に設けられた透明仕切
板２４０ａは第１実施例と同じ構成としているが、ラン
プ１２ｂ対向する部位に設けられた透明仕切板２４０ｂ
は第１実施例の場合とその厚さの変化関係を逆の関係に
なるような構成としている。そして、流路２１６ａには
冷却水を図３の矢印ｐで示される方向に流通させ、流路
２１６ｂにはこれと逆方向のｐ´方向に冷却水流通させ
るようにしたものである。これにより、流路２１６ａ及
び流路２１６ｂ共に、下流側に行くにしたがって流路の
断面積が小さくなるようにしたものである。

【００２５】この実施例によっても第１実施例と同様に
固体レーザ媒体に不均一な温度分布を生じさせない冷却
が可能である。

【００２６】第３実施例 図４は本発明の第３実施例にかかる固体レーザ装置の要
部断面図、図５は図４におけるＶーＶ線断面図である。
以下、これらの図を参照にしながら第３実施例を説明す
る。なお、図４は図２おけるＩＶーＩＶ線断面図に相当
する断面図である。また、この実施例も第１実施例と共
通する部分が多いので、以下の説明では共通する部分に
同一の符号を付してその説明を省略し、本実施例に特徴
的な点のみを説明する。

【００２７】上述の第１及び第２実施例が、固体レーザ
媒体の幅方向に沿って冷媒を流通させる例であったのに
対して、この実施例は、固体レーザ媒体の長さ方向に沿
って冷媒を流通させるようにした例である。そして、そ
の冷媒流通路の固体レーザ媒体を冷却する流域における
断面積を上流側に比較して下流側が小さくなるようにし
たものである。そのため、第１実施例における透明仕切
板１４０ａ及び１４０ｂのかわりに一定の厚さを有する
透明仕切板３４０ａ，３４０ｂを用い、これらをＹＡＧ
スラブレーザ媒体１１の表裏の面の長手方向に対してそ
れぞれ斜めになるように設置したものである。これによ
り、ＹＡＧスラブレーザ媒体１１の一方の面と透明仕切
板１４０ａとの間に形成される流路３１６ａと、ＹＡＧ
スラブレーザ媒体１１の他方の面と透明仕切板１４０ｂ
との間に形成される流路３１６ｂとを別個の流路とする
と共に、それぞれの流路に図の矢印ｐ方向に冷却水を流
通させたとき、上流側から下流側に行くにしたがって流
路の断面積が小さくなるようにしたものである。

【００２８】この実施例によれば、固体レーザ媒体の長
さ方向に沿って冷媒を流通させるようにした場合に、固
体レーザ媒体に長さ方向に不均一な温度分布を生じさせ
ない冷却が可能である。

【００２９】なお、この実施例にあっては、図５に示さ
れるように、透明仕切板３４０ａ，３４０ｂを一定厚さ
を有する平板体とし、流路断面が略長方形となるように
して、冷媒の流速が流路断面全体に亘ってほぼ一様にな
るようにしたが、例えば、図６に示されるように、透明
仕切板３４０ａ，３４０ｂのかわりに、幅方向において
外方に凸の曲面形状に形成した透明仕切板３４１ａ，３
４１ｂを用いることにより、ＹＡＧスラブレーザ媒体１
１の幅方向における中央部を通過する冷媒の流速を両端
部における流速より早くすることも可能である。このよ
うにすれば、例えば、高出力を主眼にしてレーザ媒体を
励起用ランプで強力に励起したときに励起光の照射強度
分布に基づいて生じがちな温度分布を相殺させること等
が可能となる。

【００３０】また、上述の実施例では、２つの冷媒流路
３１６ａ，３１６ｂに流通させる冷媒の流通方向を同方
向にしたが、これは、図７に示したように、互いに逆方
向に流通させるようにしてもよい。その場合には、透明
仕切板３４０ａのかわりに傾斜方向を逆にした透明仕切
板３４１ａを用いるようにすればよい。

【００３１】第４実施例 図８は本発明の第４実施例にかかる固体レーザ装置の要
部断面図である。この実施例は、固体レーザ媒体として
管状ＹＡＧレーザ媒体４１を用い、この管状ＹＡＧレー
ザ媒体４１の管の内側に励起用ランプ４２を配置すると
ともに、この管状ＹＡＧレーザ媒体４１の内周面と励起
用ランプ４２との間に管状の透明仕切管４４を介在させ
たものである。これにより、この透明仕切管４４の外周
面と管状ＹＡＧレーザ媒体４１の内周面との間に形成さ
れる間隙に透明仕切管４４の一方の端部（図中左端部）
から冷媒を導入した場合、この冷媒が透明仕切管４４の
他方の端部で折り返されるようにして透明仕切管４４の
内周面とランプ４２の外周面とで形成される間隙に流入
し、しかる後、前記冷媒導入端部と同じ側の端部から排
出される折り返し方式の冷媒流通路４６が形成されるよ
うにしたものである。

【００３２】この場合、透明仕切管４４の肉厚を一方の
端部（図中右端部）に向かうにしたがって厚くなるよう
にし、その厚さの増大分だけ透明仕切管４４と管状ＹＡ
Ｇレーザ媒体４１とで形成される通路の断面積が小さく
なるようにしている。これによって、冷媒の流速が下流
側に行くにしたがって大きくなり、管状ＹＡＧレーザ媒
体４１をその長手方向において均一に冷却することが可
能となる。

【００３３】なお、図８において、符号４３は、管状Ｙ
ＡＧレーザ媒体４１の外周部に設けられたリフレクタで
あり、符号４５はケース、符号４５ａは冷媒導入口、符
号４５ｂは冷媒排出口である。

【００３４】第５実施例 図９は本発明の第５実施例にかかる固体レーザ装置の要
部断面図である。この実施例は、固体レーザ媒体として
ロッド状ＹＡＧレーザ媒体５１を用い、このロッド状Ｙ
ＡＧレーザ媒体５１を管状の透明仕切管５４内に収納配
置し、透明仕切管５４の一方の端部（図中右端部）から
透明仕切管５４内に冷媒を導入し、他方の端部から排出
するようにしてロッド状ＹＡＧレーザ媒体５１を冷却す
るようにしたものである。この場合、透明仕切管５４の
肉厚を一方の端部（図中左端部）に向かうにしたがって
厚くなるようにし、その厚さの増大分だけ透明仕切管５
４とロッド状ＹＡＧレーザ媒体５１とで形成される冷媒
流通路５６の断面積が小さくなるようにしている。これ
によって、冷媒の流速が下流側に行くにしたがって大き
くなり、ロッド状ＹＡＧレーザ媒体５１をその長手方向
において均一に冷却することが可能となる。

【００３５】なお、ロッド状ＹＡＧレーザ媒体５１及び
透明仕切管５４はケース５５の内部に収納されていると
ともに、このロッド状ＹＡＧレーザ媒体５１は、ケース
５５の内部であって透明仕切管５４の外側に配置された
励起用ランプ５２によって励起されるようになってい
る。また、励起用ランプ５２の周辺におけるケース５５
の内周面にはリフレクタ５３が形成されているととも
に、透明仕切管５４の一方の端部は、ケース５５に設け
られた冷媒導入口５５ａに、他方の端部は冷媒排出口５
５ｂにそれぞれ結合されている。

【００３６】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明は、固体レ
ーザ媒体を冷却する冷媒流通路における固体レーザ媒体
を冷却する領域の流路断面積を上流側に比較して下流側
を小さくしたことにより、冷媒の流速を上流側より下流
側が大きくなるようにして上流側と下流側における冷媒
の温度差に基づく冷却度合いの相違を相殺し、これによ
り、固体レーザ媒体に冷却に基づく不均一な温度分布が
生じないようにしたものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】図２のＩーＩ線断面図である。

【図２】本発明の第１実施例にかかる固体レーザ装置の
要部外観斜視図である。

【図３】本発明の第２実施例にかかる固体レーザ装置の
要部断面図である。

【図４】本発明の第３実施例にかかる固体レーザ装置の
要部断面図である。

【図５】図４におけるＶーＶ線断面図である。

【図６】第３実施例の変形例の要部断面図である。

【図７】第３実施例の変形例の要部断面図である。

【図８】本発明の第４実施例にかかる固体レーザ装置の
要部断面図である。

【図９】本発明の第５実施例にかかる固体レーザ装置の
要部断面図である。

【図１０】従来の固体レーザ装置たるＹＡＧスラブレー
ザ装置の主要部の概略構成を示す部分断面図である。

【符号の説明】

１１…ＹＡＧスラブレーザ媒体、４１…管状ＹＡＧレー
ザ媒体、５１…ロッド状ＹＡＧレーザ媒体、１２ａ，１
２ｂ，２４，５２…ランプ、１６，３１６ａ，３１６
ｂ，４６，５６…冷媒流通路、１４０ａ，１４０ｂ，２
４０ａ，２４０ｂ，３４０ａ，３４０ｂ，３４１ａ，３
４１ｂ…透明仕切板。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固体レーザ媒体と、この固体レーザ媒体
   を励起する励起光源と、前記固体レーザ媒体を冷却する
   冷媒を流通させる冷媒流通路とを有する固体レーザ装置
   において、 前記冷媒流通路における前記固体レーザ媒体を冷却する
   領域の流路断面積を上流側に比較して下流側を小さくし
   たことを特徴とする固体レーザ装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の固体レーザ装置におい
   て、 前記固体レーザ媒体が、略長尺板状をなしたスラブレー
   ザ媒体であり、 前記冷媒流通路が、前記スラブレーザ媒体の幅方向にそ
   って冷媒を流通させるものであることを特徴とした固体
   レーザ装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の固体レーザ装置におい
   て、 前記冷媒流通路が、前記固体レーザ媒体の長手方向にそ
   って冷媒を流通させるものであることを特徴とした固体
   レーザ装置。