JPH04336479A - スラブ形固体レーザ装置 - Google Patents
スラブ形固体レーザ装置Info
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- JPH04336479A JPH04336479A JP10768591A JP10768591A JPH04336479A JP H04336479 A JPH04336479 A JP H04336479A JP 10768591 A JP10768591 A JP 10768591A JP 10768591 A JP10768591 A JP 10768591A JP H04336479 A JPH04336479 A JP H04336479A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
-
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- H01S3/093—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp focusing or directing the excitation energy into the active medium
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザな
どを対象とした高出力のスラブ形固体レーザ装置に関す
る。
どを対象とした高出力のスラブ形固体レーザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】頭記したスラブ形固定レーザ装置は、冷
却媒体が通流する収納容器内にＮｄ：ＹＡＧレーザなど
のロッドから切出したスラブ形の固体レーザ媒体， お
よび励起光源を組み込み、これに共振器用ミラーを組合
わせてレーザ発振器として構成したものであり、その構
成，原理は、例えば本発明と同一出願人が先に提案した
特開平３−２２５７９号公報などに開示されている。ま
た、本発明の出願人は、前記のスラブ形固定レーザ装置
に対し、レーザ媒体の両端の斜端面に最小の間隙をもっ
て対向するレーザ光透過部材を収納容器のレーザ光取出
部に設けた構成を特願平２−３２４０７１として提案し
ている。
却媒体が通流する収納容器内にＮｄ：ＹＡＧレーザなど
のロッドから切出したスラブ形の固体レーザ媒体， お
よび励起光源を組み込み、これに共振器用ミラーを組合
わせてレーザ発振器として構成したものであり、その構
成，原理は、例えば本発明と同一出願人が先に提案した
特開平３−２２５７９号公報などに開示されている。ま
た、本発明の出願人は、前記のスラブ形固定レーザ装置
に対し、レーザ媒体の両端の斜端面に最小の間隙をもっ
て対向するレーザ光透過部材を収納容器のレーザ光取出
部に設けた構成を特願平２−３２４０７１として提案し
ている。
【０００３】ここで、例えばＮｄ：ＹＡＧレーザは、イ
ットリウム・アルミニウム・ガーネット（略称ＹＡＧ）
の結晶体を母材に、活性媒質としてＮｄイオンを注入し
たものであり、前記レーザ材料を炉内で溶解し、引上装
置により結晶を育成しながら引き上げた単結晶体のロッ
ドから良質部分を切出してスラブ形のレーザ媒質を製造
するようにしている。なお、前記のようにして製造され
るＮｄ：ＹＡＧレーザは製造技術面から大きな単結晶体
を得ることが困難であり、現在メーカから入手可能なサ
イズは最大でも縦１０ｍｍ，横２７ｍｍ，長さ２１０ｍ
ｍ程度である。
ットリウム・アルミニウム・ガーネット（略称ＹＡＧ）
の結晶体を母材に、活性媒質としてＮｄイオンを注入し
たものであり、前記レーザ材料を炉内で溶解し、引上装
置により結晶を育成しながら引き上げた単結晶体のロッ
ドから良質部分を切出してスラブ形のレーザ媒質を製造
するようにしている。なお、前記のようにして製造され
るＮｄ：ＹＡＧレーザは製造技術面から大きな単結晶体
を得ることが困難であり、現在メーカから入手可能なサ
イズは最大でも縦１０ｍｍ，横２７ｍｍ，長さ２１０ｍ
ｍ程度である。
【０００４】一方、固体レーザ装置のレーザ出力、特に
連続動作での発振出力は、装置内に組み込まれたレーザ
媒体の大きさに支配されて決まる。ところで、前述した
固体レーザ装置では１台の装置ごとにその収納容器内に
１本の単結晶レーザ媒体を収容して構成されており、こ
のために装置１台のレーザ出力も自ずと限界がある。そ
こで、特に大出力レーザ装置の要求に対しては、複数台
のレーザ発振器を直列に連結して用いるカスケード接続
型固体レーザ装置が従来より提唱され、既に実用化され
ている。図３はこのカスケード接続型固体レーザ装置を
示すものであり、共通架台２０の上に光軸を合わせて複
数基の固体レーザ発振器２１を直列に配置し、かつその
両側に共振器用ミラーとして全反射ミラー２２，出力ミ
ラー２３を配備して構成されている。なお、各レーザ発
振器２１には各基ごとに単結晶体の固体レーザ媒体２４
，励起光源などが収納容器に組み込まれている。なお、
Ｌはレーザ光、ＬＯはレーザ出力を示す。かかる構成に
より装置全体でのレーザ出力は各基のレーザ発振器２１
の出力の総和にほぼ等しくなり、これにより大出力のレ
ーザ装置が得られる。
連続動作での発振出力は、装置内に組み込まれたレーザ
媒体の大きさに支配されて決まる。ところで、前述した
固体レーザ装置では１台の装置ごとにその収納容器内に
１本の単結晶レーザ媒体を収容して構成されており、こ
のために装置１台のレーザ出力も自ずと限界がある。そ
こで、特に大出力レーザ装置の要求に対しては、複数台
のレーザ発振器を直列に連結して用いるカスケード接続
型固体レーザ装置が従来より提唱され、既に実用化され
ている。図３はこのカスケード接続型固体レーザ装置を
示すものであり、共通架台２０の上に光軸を合わせて複
数基の固体レーザ発振器２１を直列に配置し、かつその
両側に共振器用ミラーとして全反射ミラー２２，出力ミ
ラー２３を配備して構成されている。なお、各レーザ発
振器２１には各基ごとに単結晶体の固体レーザ媒体２４
，励起光源などが収納容器に組み込まれている。なお、
Ｌはレーザ光、ＬＯはレーザ出力を示す。かかる構成に
より装置全体でのレーザ出力は各基のレーザ発振器２１
の出力の総和にほぼ等しくなり、これにより大出力のレ
ーザ装置が得られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したカ
スケード接続型レーザ装置は、次記のような難点がある
。すなわち、 （１）共通架台２０の上に複数基のレーザ発振器２１を
個々に据付ける際には、各レーザ発振器２１の固体レー
ザ媒体２４，ミラー２２，２３の相互間で光軸を正確に
合わせることが必要であり、多少でも光軸がずれている
とパワー損失が増大して所定の出力特性が得られない。 しかも、この光軸合わせの調整作業は極めて厄介であり
、高精度な位置決めには多くの労力と時間を要する。 また、このような調整を工場出荷試験時に行っても、製
品を現地に輸送する際に振動などが加わると共通架台２
０に対する個々のレーザ発振器２１の据付位置が微妙に
狂うことが避けられず、このために据付先の現地では再
度調整が必要となるなど、その取扱いが極めて面倒であ
る。 （２）また、かかるカスケード接続型レーザ装置の構成
要素である各基のレーザ発振器２１は個々に独立して製
作されるために、装置全体が大形化するほか、トータル
的なコストが嵩んで非常に高価なものとなる。
スケード接続型レーザ装置は、次記のような難点がある
。すなわち、 （１）共通架台２０の上に複数基のレーザ発振器２１を
個々に据付ける際には、各レーザ発振器２１の固体レー
ザ媒体２４，ミラー２２，２３の相互間で光軸を正確に
合わせることが必要であり、多少でも光軸がずれている
とパワー損失が増大して所定の出力特性が得られない。 しかも、この光軸合わせの調整作業は極めて厄介であり
、高精度な位置決めには多くの労力と時間を要する。 また、このような調整を工場出荷試験時に行っても、製
品を現地に輸送する際に振動などが加わると共通架台２
０に対する個々のレーザ発振器２１の据付位置が微妙に
狂うことが避けられず、このために据付先の現地では再
度調整が必要となるなど、その取扱いが極めて面倒であ
る。 （２）また、かかるカスケード接続型レーザ装置の構成
要素である各基のレーザ発振器２１は個々に独立して製
作されるために、装置全体が大形化するほか、トータル
的なコストが嵩んで非常に高価なものとなる。
【０００６】本発明は上記の点にかんがみなされたもの
であり、小形，コンパクトな構成で、しかも取扱性にも
優れた効果を発揮する高出力のスラブ形固体レーザ装置
を提供することを目的とする。
であり、小形，コンパクトな構成で、しかも取扱性にも
優れた効果を発揮する高出力のスラブ形固体レーザ装置
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のスラブ形固体レーザ装置は、同一の収納容
器内に光軸を合わせて複数本のスラブ形レーザ媒体を直
列に並べて収容配備するものとする。
に、本発明のスラブ形固体レーザ装置は、同一の収納容
器内に光軸を合わせて複数本のスラブ形レーザ媒体を直
列に並べて収容配備するものとする。
【０００８】また、前記構成の実施態様として、直列に
並ぶ各レーザ媒体と平行にその両側に各レーザ媒体に励
起光を照射する共通な励起光源を配置する。直列に並ぶ
レーザ媒体の両端側に光軸を合わせて収納容器内にスラ
ブ形の導光部材を直列に配備する。さらに、収納容器の
内壁面を取付座面としてレーザ媒体の保持具を設置し、
該保持具に熱絶縁材を介して収納容器内に配列した各レ
ーザ媒体の励起光非照射側面を両側から挟持するように
して所定位置に位置決め固定するなどの構成がある。
並ぶ各レーザ媒体と平行にその両側に各レーザ媒体に励
起光を照射する共通な励起光源を配置する。直列に並ぶ
レーザ媒体の両端側に光軸を合わせて収納容器内にスラ
ブ形の導光部材を直列に配備する。さらに、収納容器の
内壁面を取付座面としてレーザ媒体の保持具を設置し、
該保持具に熱絶縁材を介して収納容器内に配列した各レ
ーザ媒体の励起光非照射側面を両側から挟持するように
して所定位置に位置決め固定するなどの構成がある。
【０００９】
【作用】上記の構成によれば、単一の収容容器内に複数
の固体レーザ媒体を直列に配列して励起光を照射するよ
うにしたので、１台の装置で従来のカスケード接続型レ
ーザ装置と同等なレーザ出力が得られる。また、直列に
並ぶスラブ形レーザ媒体の両端に光軸を合わせて配備し
たスラブ形の導光部材は光透過率の高い光学ガラスで作
られたものであり、レーザ媒体とほぼ同一断面形状と、
励起光源ランプの両端端子金具の寸法に相応して定めた
長さを有し、レーザ媒体と収容容器の端面に取付けたレ
ーザ光透過部材との間を中継する導光路として機能する
。このような導光部材を収容容器内に組み込むことによ
り、励起光源ランプの端子金具との干渉なしに光源ラン
プをレーザ媒体に対して最短距離に接近配置しつつ励起
光を各レーザ媒体に対して均一に照射することができる
。
の固体レーザ媒体を直列に配列して励起光を照射するよ
うにしたので、１台の装置で従来のカスケード接続型レ
ーザ装置と同等なレーザ出力が得られる。また、直列に
並ぶスラブ形レーザ媒体の両端に光軸を合わせて配備し
たスラブ形の導光部材は光透過率の高い光学ガラスで作
られたものであり、レーザ媒体とほぼ同一断面形状と、
励起光源ランプの両端端子金具の寸法に相応して定めた
長さを有し、レーザ媒体と収容容器の端面に取付けたレ
ーザ光透過部材との間を中継する導光路として機能する
。このような導光部材を収容容器内に組み込むことによ
り、励起光源ランプの端子金具との干渉なしに光源ラン
プをレーザ媒体に対して最短距離に接近配置しつつ励起
光を各レーザ媒体に対して均一に照射することができる
。
【００１０】一方、レーザ媒体の保持具は収納容器の内
壁面を位置決め基準面として設置し、該保持具を介して
直列に並ぶ各レーザ媒体を個々に所定位置に位置決め固
定する。ここで、収納容器の内壁面はレーザ媒体に対し
て均一な冷媒通路を構成するように高精度に加工されて
おり、この内壁面を取付け基準面として利用することで
各レーザ媒体を光軸が一致するように正確な位置に保持
できる。しかも、該保持具は熱絶縁材を介してスラブ形
のレーザ媒体に対して励起光の照射を受けない非励起面
を両側から挟持するようにしたので、保持具が励起光の
障害物となるおそれがなく、かつレーザ媒体内部での不
当な温度勾配発生を抑えて各レーザ媒体を所定位置に固
定支持することができる。
壁面を位置決め基準面として設置し、該保持具を介して
直列に並ぶ各レーザ媒体を個々に所定位置に位置決め固
定する。ここで、収納容器の内壁面はレーザ媒体に対し
て均一な冷媒通路を構成するように高精度に加工されて
おり、この内壁面を取付け基準面として利用することで
各レーザ媒体を光軸が一致するように正確な位置に保持
できる。しかも、該保持具は熱絶縁材を介してスラブ形
のレーザ媒体に対して励起光の照射を受けない非励起面
を両側から挟持するようにしたので、保持具が励起光の
障害物となるおそれがなく、かつレーザ媒体内部での不
当な温度勾配発生を抑えて各レーザ媒体を所定位置に固
定支持することができる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の実施例を図１，図２により説明
する。図１はスラブ形固定レーザ装置全体の構成断面図
、図２は図１の矢視ＩＩ−ＩＩ断面図を示すものであり
、図において、１は液密な密閉容器とした構成された装
置の収納容器、２は収納容器１内の中央に光軸を合わせ
て直列に配備した複数本（図示例では２本）のスラブ形
レーザ媒体（単結晶のレーザロッドから断面矩形状に切
出して作られたもの）、３はレーザ媒体２を中央に挟ん
でその上下両側に平行配備した励起光源ランプ、４は光
源ランプ３のリフレクタ、５は光源ランプ３とレーザ媒
体２との間に介装した紫外光フィルタ、６は直列に並ぶ
レーザ媒体２の両側に光軸を合わせて直列に配備したス
ラブ形の導光部材、７は導光部材６の端面と向かい合わ
せて収納容器１の端板１ａに取付けたレーザ光取出窓と
なるレーザ光透過部材、８，９はレーザ光透過部材７に
対向して収納容器１の両側に配備した共振器用の全反射
ミラー，出力ミラー、１０は前記した各レーザ媒体２，
および導光部材６を個々に所定位置に位置決め固定する
保持具であり、レーザ媒体２，導光部材６に対してその
長手方向の両端部を支持している。また、収納容器１の
各接合面，収納容器１に組み込んだ各部品の貫通部には
Ｏリングなどにより液密シールされている。
する。図１はスラブ形固定レーザ装置全体の構成断面図
、図２は図１の矢視ＩＩ−ＩＩ断面図を示すものであり
、図において、１は液密な密閉容器とした構成された装
置の収納容器、２は収納容器１内の中央に光軸を合わせ
て直列に配備した複数本（図示例では２本）のスラブ形
レーザ媒体（単結晶のレーザロッドから断面矩形状に切
出して作られたもの）、３はレーザ媒体２を中央に挟ん
でその上下両側に平行配備した励起光源ランプ、４は光
源ランプ３のリフレクタ、５は光源ランプ３とレーザ媒
体２との間に介装した紫外光フィルタ、６は直列に並ぶ
レーザ媒体２の両側に光軸を合わせて直列に配備したス
ラブ形の導光部材、７は導光部材６の端面と向かい合わ
せて収納容器１の端板１ａに取付けたレーザ光取出窓と
なるレーザ光透過部材、８，９はレーザ光透過部材７に
対向して収納容器１の両側に配備した共振器用の全反射
ミラー，出力ミラー、１０は前記した各レーザ媒体２，
および導光部材６を個々に所定位置に位置決め固定する
保持具であり、レーザ媒体２，導光部材６に対してその
長手方向の両端部を支持している。また、収納容器１の
各接合面，収納容器１に組み込んだ各部品の貫通部には
Ｏリングなどにより液密シールされている。
【００１２】上記の構成で、収納容器１の内部には図示
されてない冷却媒体入口，出口を通じて冷却媒体（純水
）が次記のように通流し、レーザ媒体２，励起光源ラン
プ３，リフレクタ４などを冷却して発生熱を系外に排熱
するようにしている。すなわち、図２において収納容器
１の入口側ヘッダ室１ｂに流入した冷却媒体は、ここか
らレーザ媒体２と紫外光フィルタ５との間に仕切られた
空間１ｃを流れ、さらに励起光源ランプ３の周囲空間１
ｄを通流した後に出口側ヘッダ室１ｅを経由して流出す
るように通流する。
されてない冷却媒体入口，出口を通じて冷却媒体（純水
）が次記のように通流し、レーザ媒体２，励起光源ラン
プ３，リフレクタ４などを冷却して発生熱を系外に排熱
するようにしている。すなわち、図２において収納容器
１の入口側ヘッダ室１ｂに流入した冷却媒体は、ここか
らレーザ媒体２と紫外光フィルタ５との間に仕切られた
空間１ｃを流れ、さらに励起光源ランプ３の周囲空間１
ｄを通流した後に出口側ヘッダ室１ｅを経由して流出す
るように通流する。
【００１３】一方、励起光源ランプ３は、その発光部の
長さが直列に並ぶ２本のレーザ媒体２の総和長に対応し
た長さを有し、その両端の端子金具３ａを含めて収納容
器１の内部に収容されている。また、２本のレーザ媒体
２の前後両端側に直列配備した導光部材６は光学ガラス
で作られたスラブ形の導光部材で、その断面形状はスラ
ブ形レーザ媒体２と同一もしくは一回り大きく、長さは
レーザ媒体２の前後端とレーザ光透過部材７との間の間
隔に合わせたサイズに構成されている。この導光部材６
はレーザ媒体２とレーザ光透過部材７との間を中継する
導光路として機能するもので、レーザ光は導光部材６の
中を全反射を繰り返しながらジグザグ進む。
長さが直列に並ぶ２本のレーザ媒体２の総和長に対応し
た長さを有し、その両端の端子金具３ａを含めて収納容
器１の内部に収容されている。また、２本のレーザ媒体
２の前後両端側に直列配備した導光部材６は光学ガラス
で作られたスラブ形の導光部材で、その断面形状はスラ
ブ形レーザ媒体２と同一もしくは一回り大きく、長さは
レーザ媒体２の前後端とレーザ光透過部材７との間の間
隔に合わせたサイズに構成されている。この導光部材６
はレーザ媒体２とレーザ光透過部材７との間を中継する
導光路として機能するもので、レーザ光は導光部材６の
中を全反射を繰り返しながらジグザグ進む。
【００１４】前記のように収納容器１の内部にレーザ媒
体２とほぼ同様な断面形状を有するスラブ形の導光部材
６をレーザ媒体２と収納容器１の端面に取付けたレーザ
光透過部材７との間に介在させて追加装備することによ
り、励起光源ランプ３の端子金具３ａとの干渉なしに光
源ランプ３の発光部をレーザ媒体２に接近して配備しつ
つ、かつ直列配置の各レーザ媒体２に対して励起光をレ
ーザ媒体の励起面全域に均一照射することができ、これ
によりレーザ発振効率を高めてレーザ出力の増大化が図
れる。
体２とほぼ同様な断面形状を有するスラブ形の導光部材
６をレーザ媒体２と収納容器１の端面に取付けたレーザ
光透過部材７との間に介在させて追加装備することによ
り、励起光源ランプ３の端子金具３ａとの干渉なしに光
源ランプ３の発光部をレーザ媒体２に接近して配備しつ
つ、かつ直列配置の各レーザ媒体２に対して励起光をレ
ーザ媒体の励起面全域に均一照射することができ、これ
によりレーザ発振効率を高めてレーザ出力の増大化が図
れる。
【００１５】次にレーザ媒体２の保持具１０についての
詳細構造を述べる。図２において、まずレーザ媒体２を
囲んで収納容器１の内部に画成した冷却媒体通流空間１
ｃはその両側の内壁面がＶ字形溝を形成するように高精
度に加工されており、このＶ字形の内壁面を取付座面と
してここに熱絶縁材１１を介して各レーザ媒体２を両側
面（励起光源ランプ３から励起光照射を受けない非励起
側の側面）から挟持するように先端部が二股状に分かれ
たＹ字形の保持具９が向かい合わせに設置されている。 ここで、一方の保持具（図２の下方側）はその基部が貫
通ボルト１２を介して収納容器２に遊嵌式に固定され、
他方の保持具（図２の上方側）は締付ねじ１３を介して
背後から締付け固定されている。なお、前記した導光部
材６も同様な保持具１０を介して固定される。
詳細構造を述べる。図２において、まずレーザ媒体２を
囲んで収納容器１の内部に画成した冷却媒体通流空間１
ｃはその両側の内壁面がＶ字形溝を形成するように高精
度に加工されており、このＶ字形の内壁面を取付座面と
してここに熱絶縁材１１を介して各レーザ媒体２を両側
面（励起光源ランプ３から励起光照射を受けない非励起
側の側面）から挟持するように先端部が二股状に分かれ
たＹ字形の保持具９が向かい合わせに設置されている。 ここで、一方の保持具（図２の下方側）はその基部が貫
通ボルト１２を介して収納容器２に遊嵌式に固定され、
他方の保持具（図２の上方側）は締付ねじ１３を介して
背後から締付け固定されている。なお、前記した導光部
材６も同様な保持具１０を介して固定される。
【００１６】前記構成のように高精度に加工された収納
容器１の内壁面を取付座面とし、これを基準面に保持具
１０を介して直列に並ぶ各レーザ媒体２，導光部材６を
個々にその非励起面を両側から挟持固定するようにした
支持構造では、保持具１０がレーザ媒体２の励起面に対
する励起光照射の障害物となることがなく、かつ各レー
ザ媒体２，導光部材６を相互間で光軸が一致するような
位置に正しく位置決めして固定支持することができる。
容器１の内壁面を取付座面とし、これを基準面に保持具
１０を介して直列に並ぶ各レーザ媒体２，導光部材６を
個々にその非励起面を両側から挟持固定するようにした
支持構造では、保持具１０がレーザ媒体２の励起面に対
する励起光照射の障害物となることがなく、かつ各レー
ザ媒体２，導光部材６を相互間で光軸が一致するような
位置に正しく位置決めして固定支持することができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明のスラブ形固体レーザ装置は以上
説明したように構成されているので、次記の効果を奏す
る。 （１）同一収容容器内に単結晶からなる複数本のスラブ
形レーザ媒体を光軸を合わせて直列配備し、各レーザ媒
体に励起光を照射するよう構成したので、１台のレーザ
装置で従来のカスケード接続型レーザ装置と同等な高出
力が得られる。しかも、各独立した複数基のレーザ発振
器を共通架台上に並べて据付けたカスケード接続型レー
ザ装置構成と比べて必要な部品点数も少なくて済み、装
置の小形，コンパクト化，並びに製作コストの低減化が
図れるほか、工場から据付現地へ輸送する際の振動によ
るレーザ媒体相互の光軸ずれも生じ難く、取扱い面での
信頼性も大幅に向上する。
説明したように構成されているので、次記の効果を奏す
る。 （１）同一収容容器内に単結晶からなる複数本のスラブ
形レーザ媒体を光軸を合わせて直列配備し、各レーザ媒
体に励起光を照射するよう構成したので、１台のレーザ
装置で従来のカスケード接続型レーザ装置と同等な高出
力が得られる。しかも、各独立した複数基のレーザ発振
器を共通架台上に並べて据付けたカスケード接続型レー
ザ装置構成と比べて必要な部品点数も少なくて済み、装
置の小形，コンパクト化，並びに製作コストの低減化が
図れるほか、工場から据付現地へ輸送する際の振動によ
るレーザ媒体相互の光軸ずれも生じ難く、取扱い面での
信頼性も大幅に向上する。
【００１８】（２）また、直列に並ぶレーザ媒体に対し
、その両端側にスラブ形の導光部材を追加装備して収納
容器の端面に取付けたレーザ光透過部材との間に中継導
光路を形成した構造を採用することにより、励起光源ラ
ンプの端子金具との干渉なしに光源ランプをレーザ媒体
に接近配備させつつ、各レーザ媒体の励起面全域に励起
光を均一照射することができ、これによりレーザ装置の
効率（ランプ入力に対するレーザ出力の比率）の向上化
が図れる。
、その両端側にスラブ形の導光部材を追加装備して収納
容器の端面に取付けたレーザ光透過部材との間に中継導
光路を形成した構造を採用することにより、励起光源ラ
ンプの端子金具との干渉なしに光源ランプをレーザ媒体
に接近配備させつつ、各レーザ媒体の励起面全域に励起
光を均一照射することができ、これによりレーザ装置の
効率（ランプ入力に対するレーザ出力の比率）の向上化
が図れる。
【００１９】（３）さらに、高精度に加工された収納容
器内の冷媒流通路の内壁面を取付座面として利用し、こ
の取付座面を基準面に保持具を介して各レーザ媒体を所
定位置に固定した支持構造を採用することにより、直列
に並ぶ各レーザ媒体の相互間で正しく光軸を合わせて組
立てることができる。ここで、保持具が熱絶縁材を介し
てレーザ媒体の非励起面を両側から挟持するような断熱
支持構造とするで、保持具自身が励起光の照射の障害物
となることがなく、かつレーザ媒体の内部に不当な温度
勾配を与えることもない。
器内の冷媒流通路の内壁面を取付座面として利用し、こ
の取付座面を基準面に保持具を介して各レーザ媒体を所
定位置に固定した支持構造を採用することにより、直列
に並ぶ各レーザ媒体の相互間で正しく光軸を合わせて組
立てることができる。ここで、保持具が熱絶縁材を介し
てレーザ媒体の非励起面を両側から挟持するような断熱
支持構造とするで、保持具自身が励起光の照射の障害物
となることがなく、かつレーザ媒体の内部に不当な温度
勾配を与えることもない。
【図１】本発明実施例の構成断面図
【図２】図１の矢視ＩＩ−ＩＩ断面図
【図３】従来におけるカスケード接続型固体レーザ装置
の構成図
の構成図
１ 収納容器
２ スラブ形固体レーザ媒体
３ 励起光源ランプ
６ スラブ形導光部材
７ レーザ光透過部材
８ 全反射ミラー
９ 出力ミラー
１０ 保持具
１１ 熱絶縁材
Claims (5)
- 【請求項１】冷却媒体が通流する収納容器にスラブ形の
固体レーザ媒体， 励起光源， レーザ光の透過部材を
組み込み、これに共振器用ミラーを組合わせて構成した
スラブ形固体レーザ装置において、同一収納容器内に光
軸を合わせて複数本のスラブ形レーザ媒体を直列に並べ
て収容配備したことを特徴とするスラブ形固体レーザ装
置。 - 【請求項２】請求項１記載の固体レーザ装置において、
直列に並ぶ各レーザ媒体と平行にその両側に各レーザ媒
体に励起光を照射する共通な励起光源を配置したことを
特徴とするスラブ形固体レーザ装置。 - 【請求項３】請求項１記載の固体レーザ装置において、
直列に並ぶレーザ媒体の両端側に光軸を合わせて収納容
器内にスラブ形の導光部材を直列に配備したことを特徴
とするスラブ形固体レーザ装置。 - 【請求項４】請求項１記載の固体レーザ装置において、
収納容器の内壁面を取付座面としてレーザ媒体の保持具
を設置し、該保持具を介して収納容器内に配列した各レ
ーザ媒体を所定位置に位置決め固定したことを特徴とす
るスラブ形固体レーザ装置。 - 【請求項５】請求項４記載の固体レーザ装置において、
保持具が熱絶縁材を介してレーザ媒体の励起光非照射側
面を両側から挟持するものであることを特徴とするスラ
ブ形固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10768591A JP3132576B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | スラブ形固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10768591A JP3132576B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | スラブ形固体レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04336479A true JPH04336479A (ja) | 1992-11-24 |
| JP3132576B2 JP3132576B2 (ja) | 2001-02-05 |
Family
ID=14465374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10768591A Expired - Fee Related JP3132576B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | スラブ形固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3132576B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0820129A1 (en) * | 1996-02-02 | 1998-01-21 | Fanuc Ltd | Solid laser oscillator |
| WO1998034305A1 (fr) * | 1997-01-30 | 1998-08-06 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
| JP2002043661A (ja) * | 2000-06-23 | 2002-02-08 | Univ Bern | 熱光学作用の補償 |
| JP2008177444A (ja) * | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Megaopto Co Ltd | 固体レーザー発振装置 |
-
1991
- 1991-05-14 JP JP10768591A patent/JP3132576B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0820129A1 (en) * | 1996-02-02 | 1998-01-21 | Fanuc Ltd | Solid laser oscillator |
| EP0820129A4 (en) * | 1996-02-02 | 2000-07-12 | Fanuc Ltd | TRANSISTORIZED LASER OSCILLATOR |
| WO1998034305A1 (fr) * | 1997-01-30 | 1998-08-06 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
| JP2002043661A (ja) * | 2000-06-23 | 2002-02-08 | Univ Bern | 熱光学作用の補償 |
| JP2008177444A (ja) * | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Megaopto Co Ltd | 固体レーザー発振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3132576B2 (ja) | 2001-02-05 |
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