JP2002517101A - 増減可能な垂直ダイオードポンプ固体レーザ - Google Patents

増減可能な垂直ダイオードポンプ固体レーザ

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JP2002517101A JP2000551462A JP2000551462A JP2002517101A JP 2002517101 A JP2002517101 A JP 2002517101A JP 2000551462 A JP2000551462 A JP 2000551462A JP 2000551462 A JP2000551462 A JP 2000551462A JP 2002517101 A JP2002517101 A JP 2002517101A
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laser rod
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ブル,ダグラス,ジェイ.
フー,キアン
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Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 方法及び装置は、第1長手軸を有したレーザロッドのレーザ光線利得媒体を励起する。少なくとも一つの励起光源は、励起光をレーザロッドに放射し、励起光源は第1長手軸に垂直な第2長手軸を有する。各種レーザダイオードアレイからの放射線はコリメートされ、かつレーザ光線利得媒体に関して垂直の向きに独特に整えられる。基本モード操作、すなわち横電磁モード(TEM00)操作を達成するために、反射部はダイオードアレイからのコリメートされた放射線をレーザ光線利得媒体上に収束する。レーザ光線利得媒体と反射部の双方は、装置内の適当な流体によって同時に冷却される。装置の構成は、レーザ励起出力を増加するために垂直に向けられた複数のレーザダイオードアレイを有して拡張される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】
この開示は一般にレーザの分野に関し、特にスラブ構造半導体レーザと、固体
レーザ光線利得材料を励起させるために多くのこのような半導体レーザの近接結
合を行わせるハウジングとを備えた構造に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
アークランプ及びフラッシュランプは、固体レーザ光線利得媒体を励起、すな
わち刺激するために光源として一般に用いられる。このような光源は、一般的に
ネオジム(Nd)及び/又は他の元素のような希土類元素でドープされた細長い結
晶構造に平行に配置される。光源から放射された放射線は、部分的に固体レーザ
光線利得媒体によって吸収され、それによって固体レーザ光線利得媒体を刺激し
、及び固体レーザ光線利得媒体の波長特性における放射線を再放射する。
【0003】 先行技術におけるこのようなアークランプ及びフラッシュランプは、励起光源
としての既知の欠点を持つ。例えば、このようなランプは非常に広い放射線スペ
クトルを発生するが、一般的に放射線スペクトルの狭い範囲のみが固体レーザ光
線利得媒体によって吸収される。先行技術では、このようなアークランプ及びフ
ラッシュランプのレーザ用広帯域放射ランプは、一般的に固体レーザの全固体レ
ーザ光線利得媒体を無差別に励起し、こうして励起エネルギーの大部分は、TEM0
0 のような横電磁モード(TEM モード)が占める領域外の固体レーザ光線利得媒
体の領域に向けられる。従って、励起エネルギーの大部分は単一モード発振にで
はなく、代わりに各種TEM 又は多重モード出力の増幅に寄与する。
【0004】 幾分比較的高い効率が、分子線エピタキシー(MBE )及び有機金属化学蒸着法
(MOCVD )のような当該技術分野で既知の各種方法により、GaAs及びGaAlAs材料
から製造された高パワー半導体レーザで達成された。このように製造された半導
体レーザは、固体レーザ光線利得媒体を励起するための比較的信頼性のある励起
光源として用いられてきた。このような半導体レーザの一つの重要な利点は、半
導体レーザに使用される固体レーザ光線利得媒体の吸収値又は帯域に適合する特
定の波長で、放射線を放射するこのようなレーザを製造する能力である。
【0005】 別の重要な利点は、励起光源のような半導体レーザを使用することに関連する
比較的良好な電力−光放射線変換効率である。50%を超える変換効率が先行技
術では達成されている。
【0006】 しかしながらこのような半導体レーザの一つの既知の欠点は、半導体レーザの
活動領域から放射される放射線の拡散角度が比較的広いことである。一般的に、
活動領域に垂直な放射角度は半値全幅(FWHM)において40°台であり、活動領
域に平行な放射角度はFWHMにおいて10°台である。このような高発散角度は、
Lawrence Livermore National Laboratoriesにおいて開発された円筒形マイクロ
レンズのようなレンズを使用して補正される。レーザで使用されるレンズは、例
えば米国特許No.5,080,706、5,081,639、5,155,6
31及び5,181,224に記述されている。各種のレンズ構成が半導体レー
ザの効率と性能を改善するために、例えばTEM00 領域とより密接に適合する固体
レーザ光線利得媒体の領域を全体的に励起するために、半導体レーザからのレー
ザビームをコリメートするのに用いられる。
【0007】 従って、半導体レーザの性能の改善がレンズ構成について要求されている。 先行技術では、例えば米国特許No.5,455,838、5,485,83
8及び5,572,541に記述されたような“側面励起法”構成を用いる場合
、半導体レーザバーアレイが配置され、かつ固体レーザ光線利得媒体に平行に向
けられる。しかしながらこのような側面励起法の構成及び設計は、約100W/cm
から約200W/cmの範囲の高出力の励起出力密度を達成することができない。従
って、固体レーザ光線利得媒体はその一つの側面から、又は二つの側面からでさ
えも励起することができない。
【0008】 励起出力密度を増加するために、例えば固体レーザ光線利得媒体を囲む多数の
位置に多くのレーザバーアレイを置くためには、多数のレーザバーアレイが必要
である。例えば、3倍、5倍、更に7倍の対称性を持つ多数のレーザバーアレイ
の構成が使用されてきた。しかしながらこのような多重対称構成は一般的により
複雑であり、及び実行し、保守・修繕し及び操作するのに扱い難い。従って先行
技術におけるこのような多重対称構成は、実行すること、例えば受け入れ可能な
実行コストで必要なパワー性能を提供することに対して実際的ではなかった。
【0009】 従って、より実際的な実施に向けて改善された性能を提供するように構成され
た半導体レーザが望まれている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
レーザロッドの長手軸に垂直な長手軸を備えた励起光源を配置し、及びこのよ
うな励起光源からの励起光を収束させることが、より良い実際上の実行を備えた
改善された性能を提供する、ということがここで認識される。 固体レーザ光線利得媒体に垂直な構成と向きに配置された半導体レーザダイオ
ードバーアレイを持つ、半導体レーザ及びその使用と実行方法とが開示されてい
る。各個々の半導体レーザダイオードバーアレイから放射されたレーザ励起光は
固着した軸に沿ってコリメートされ、及び固体レーザ光線利得媒体上にコリメー
トされた励起光を収束させることは、固体レーザ光線利得媒体を励起するために
改善された効率と性能についての各種の異なる構成において、複数の異なる反射
プレートによって実施される。
【0011】 多くの半導体レーザバーアレイは、こうして固体レーザ光線利得媒体を囲むよ
うに配置される。反射プレートは、固体レーザ光線利得媒体の吸収を強化するよ
うに構成される。励起放射線は固体レーザ光線利得媒体を1回以上通過するよう
に発生され、こうして光吸収効率を増加し、その結果、固体レーザ光線利得媒体
の光出力パワーを増加するに至る。
【0012】 励起プロフィールをTEM00 モードプロフィールになるように最適化するために
、反射プレートは別のグループ、例えば4つのグループの構成に配設されるであ
ろし、約100W/cmと約200W/cmの間の励起出力密度は固体レーザ光線利得媒
体に沿って達成されるであろう。
【0013】 従って、第1長手軸を有し、かつ固体レーザ光線利得媒体からなるレーザロッ
ド、及びレーザロッドに励起光を提供する少なくとも一つの励起光源を持つレー
ザ装置が開示されており、ここで励起光源は第1長手軸に垂直な第2長手軸を有
している。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1に示されるような類似の又は同一の要素、ステップ及び特徴を特定する共
通の参照番号により、仕様上の詳細について図面を参照して、本開示は改善され
た励起出力性能を提供する励起レーザ装置及び方法を記述する。
【0015】 図1において、装置10はロッド軸14に沿って長手方向に伸長するレーザロ
ッド12のような固体レーザ光線利得媒体を励起するために増減可能に構成され
ている。レーザロッド12はNd:YAG、Nd: ガラス、Nd:YLF、Nd:LLGG 、ルビー、
アレキサンドライト等のような固体材料から選べばよい。
【0016】 レーザスラブ、レーザディスク、すなわちレーザ光線を発することができる固
体材料の円筒形ユニットのようなレーザ媒体の他の構成、及び他のレーザ媒体構
成物を使用してもよい。
【0017】 一般性を失うことなしに、レーザロッド12のロッド軸14はx軸に配列され
、装置10とレーザロッド12はx−y−z軸を持つ基準フレーム16に沿って
方向付けされるように記述する。装置10は、その間に少なくとも一つの反射プ
レートが配置されている端部組立て部材18−20を含む構成要素の組立てであ
る。図示された実施例では4つの反射プレート22−28が示されている。
【0018】 端部組立て部品18−20及びそれぞれの反射プレート22−28は、例えば
レーザロッド12がそれを通して伸長するように装置10を通る、実質的に引き
続く開口部を形成するように実質的に配列されたそれぞれの開口部29、30を
含む。反射プレート22−28は、図2に示すように増減可能なユニットセル3
2、すなわち例えばレーザロッド12の縦方向の長さに沿って伸長する4つの反
射プレート22−28よりなる複数のユニットセルを形成する。更に、ユニット
セル32の全体及び/又はそのいずれか内部の反射プレート22−28の数は変
更してもよく、各プレートの相対幅もまた変更できる。実施例では、各反射プレ
ート22−28は共通の所定幅を有している。代わりに、各反射プレート22−
28は最小所定幅の整数倍である所定の幅を有してもよい。反射プレート22−
28の増減可能なユニットセル32の使用は、任意の長手方向の長さを持つレー
ザロッド12に沿う任意の全体長さの反射プレート、及び/又はユニットセルの
組立てを容易にする。
【0019】 端部組立て部品18−20及び反射プレート22−28の各々は、例えば総て
の反射プレート22−28の開口部30がレーザロッド12を通すことが出来る
ように配列されるように、反射プレート22−28を配列及び/又は保持する、
取り付けボルト36又は代わりのロッド、ネジ、他の棒状要素、又は万力装置の
ような他の固定要素を含む係合固定手段用の、少なくとも一つの取り付け孔34
を含む。従って、固定手段を使用して反射プレート22−28を互いに、及び端
部組立て部品18−20と配列することにより装置10は確実に組立てられ、及
びハウジング内に配置され、そのことは図6について以下により詳細に記述され
る。更に、このような取り付け孔34と開口部29、30とは、それを通って伸
長するレーザロッド12と共に任意の数の反射プレート22−28を配置させて
、装置10を如何なる任意の長さに増減可能にする。
【0020】 図1−2に関連して図3−4に示されるように、各反射プレート22−28は
、例えば半導体レーザアレイ42から励起光40を受ける反射プレート22の放
物線反射表面38のような湾曲反射表面を形成する切り欠き領域を有する。放物
線表面の他に、又はそれに加えて他の湾曲反射表面を使用してもよい。
【0021】 半導体レーザアレイ42は例えばレーザダイオードのような半導体材料のバー
又はスラブで良く、又は例えば所定の波長及び/又は所定の波長範囲で励起光を
発生する他の固体材料又はその各種材料の組合せよりなってもよい。白熱灯及び
/又は蛍光灯光源のような他の励起光源が提供されてもよく、従って開示された
装置10は半導体からの、及び/又は半導体レーザデバイスからの励起光40に
限定されない。
【0022】 半導体レーザアレイ42は支持構造体44に取り付けられ、そしてアレイ軸4
6に沿って縦方向に伸長する。各半導体レーザアレイ42のアレイ軸46は、実
質的にロッド軸14に垂直な方向に向けられている。図1−6に示された図示の
実施例では、アレイ軸46はx軸に垂直である。特に図1−4及び6において、
アレイ軸46はz軸に平行であり、従って半導体レーザアレイ42は水平に向け
られたレーザロッド12に対して垂直に向けられている。
【0023】 図5に示された別の実施例ではアレイ軸46はy軸に平行である。開示された
装置10は、反射プレート22−28及び半導体レーザアレイ42のx軸周りの
回転が、レーザロッド12の縦ロッド軸14に対する、半導体レーザアレイ42
の縦アレイ軸46の直交性を維持するようになされる、ということが理解される
。従って図5に示された構成は、半導体レーザアレイ42及び/又はその対応す
るアレイ軸46がロッド軸14について垂直に向けられるように回転され、及び
/又は考察される。
【0024】 アレイ軸46の方向付けによって、各半導体レーザアレイ42は励起光40を
一般にロッド軸14に垂直な方向に放射する。特に励起光40は、図3−4に示
される反射プレート22のように少なくとも一つのそれぞれの反射プレートに向
かって、実質的にy−z平面内で放射される。
【0025】 このような励起光40はレーザ光としても、図4に示されるように、発生及び
/又は放射の間ある程度の拡散を経験するであろう。従って、励起光40はそれ
ぞれの反射プレート22−28のそれぞれのコリメータ48によってコリメート
される。このようなコリメータ48は例えば米国特許No.5,080,706
、5,081,639、5,155,631及び5,181,224に記述され
、そのそれぞれはここに参考文献として組み込まれている。
【0026】 コリメータ48は励起光40を受光するために切り欠き領域の開口に配置され
、及び/又は取り付けられた分離構成要素である。あるいは、コリメータ48は
反射プレート22−28に直接組み込まれる。例えばコリメータ48は、各反射
プレート22−28の構成物と一体である。
【0027】 コリメータ48は固着した軸に沿う半導体レーザアレイ42からの励起光の放
射の比較的広い拡散角度を低減させる。従って励起光40のかなりの部分が放物
線反射表面38へのコリメートされた励起光として切り欠き部分に伝達される。
【0028】 図3と関連して図4を参照すると、各反射プレート22−28の放物線反射表
面38はコリメートされた励起光50を受光し、代わりに放物線反射表面38の
焦点54に反射励起光52として励起光を反射させる。各反射プレート22−2
8もまた、それぞれの開口部30を有する。特に開口部30は、同一形状である
。図1及び3−5に示されるように切り欠き部分は、円形状である、すなわち円
弧の形状をなした開口部30を有し、反射プレート22−28及び62のそれぞ
れの開口部30、56、66にそれぞれ実質的に隣接し、及びそれは開口部30
の弧の中心/焦点が実質的に放物線反射表面38の焦点54と並ぶように配置さ
れる。
【0029】 レーザロッド12は、焦点54の中にあるように開口部30に配置される。特
にレーザロッド12の長手ロッド軸14が、反射プレート22−28の開口部3
0の各焦点54を通る。従って反射励起光40は、固体レーザ光線利得媒体とし
てレーザロッド12を効率的に励起するために、レーザロッド12上に収束され
る。
【0030】 更に各反射プレート22−28の開口部30はレーザロッド12を通すが、励
起のためにレーザロッド12によって吸収されない励起光のいずれかを反射する
反射表面56を有する。反射表面56からのこのような反射励起光40は、レー
ザロッド12を更に励起するためにレーザロッド12に向け後方に放射される。
反射によるこのようなレーザロッド12の第2通行励起は、レーザロッド12の
励起効率を改善する。追加の反射及び通行は、反射表面38及反射表面56によ
る第2通行励起光のレーザロッド12上への更なる反射からも生じる。反射表面
38、56の他の形状が励起光40のレーザロッド12上への収束のために提供
される。例えば反射プレート22−28は、垂直に向けられた半導体レーザバー
アレイ42からの光を捕捉し、収斂し、及び収束するために、全体的にx−y−
z軸に沿って三方向に伸長する放物線反射表面を形成する、異なる曲率を有する
【0031】 図1及び3−4に示されるように、放物線切り欠き部分を除いて、反射プレー
ト22−28は例えばそれぞれy軸及びz軸に平行な対称性の軸58、60に関
して軸対称である。従って各反射プレート22−28は、同一切り欠き部分を持
つことを含めて同一に製造され、及び各反射プレート22−28は、それぞれの
半導体レーザアレイ42に向けられたコリメータ48を持つように、対称性の軸
58、60の一方又は両方回りに適当に回転させられて装置10内で配置される
【0032】 各半導体レーザアレイ42は、各半導体レーザアレイ42が長手ロッド軸14
に垂直な長手アレイ軸46を持って配置されるように、フレーム(図1−6に図
示せず)上のそれぞれの支持構造体44によって取り付けられる。励起光40を
レーザロッド12に放射するような特定の構成に取り付けられ及び配設された複
数の半導体レーザアレイ42を設けることにより、多くのこのような半導体レー
ザの近接結合がレーザロッド12の固体レーザ光線利得媒体を励起するために提
供される。
【0033】 あるいは、各半導体レーザアレイ42はそれぞれの支持構造体44を介して、
特定の半導体レーザアレイ42が失敗した場合において、レーザロッド12を励
起するために残りの半導体レーザアレイ42を取り付けたまま、及び装置10を
操作させながら、いかなる特定の半導体レーザアレイ42のテスト及び交換をも
便利にするためのフレームに、取り外し可能に取り付けられる。
【0034】 図5に示された他の実施例において、反射プレート62は、レーザロッド12
の縦ロッド軸14に垂直でかつy軸に平行なアレイ軸46を持つ半導体レーザア
レイ42と共に用いるように方向付けされた切り欠き部分と反射表面64とを有
する。図5に示された構成において、半導体レーザアレイ42は水平に向けられ
たレーザロッド12について水平に向けられているが、半導体レーザアレイ42
とそこから放射された励起光40はロッド軸14に垂直である。 図4の反射表面38と同じように、図5の反射プレート62の反射表面64は
、レーザロッド12が配置されている焦点にコリメータ48によってコリメート
された励起光40を収束するように、放物線状である。第2反射表面66は非吸
収励起光の第2通路を生じるために円弧状である。あるいは反射表面64は例え
ば励起光40をそのレーザ光線利得媒体の効率的な励起のためにレーザロッド1
2に導かせるように、直線であり又は他の形状を有してもよい。
【0035】 開示された励起レーザ装置10の実施例において、装置10は部品を分離した
分解透視図で図1に示されている。構成要素は図2に示されるように、レーザロ
ッド12の長手ロッド軸14に垂直な長手アレイ軸46を配列した少なくとも一
つの半導体レーザアレイ42によって励起されるために、反射プレート22−2
8と端部部材18−20とを通って伸長するように中心部に軸上にレーザロッド
12を配置して組立てられる。
【0036】 反射プレート22−28及び/又は端部部材18−20の開口部29、30は
、冷却液を開口部30を通過させ、及び、励起光40にレーザロッド12を効率
的に励起させるためにレーザロッド12を構成する固体レーザ光線利得媒体をレ
ーザロッド12の周囲で冷却させるように、レーザロッド12よりも大きい断面
積を有する。開口部29、30は、レーザロッド12の断面プロフィールと実質
的に同一の断面プロフィールを有しているが、各開口部29、30は開口部29
、30を通り、実質的にレーザロッド12に隣接する冷却液の通路を設けるため
にノッチ(図1には示さず)を含んでもよい。
【0037】 他の実施例において装置10は、レーザロッド12を構成する固体レーザ光線
利得媒体を冷却するように、冷却液を反射プレート22−28間の間隙を通して
レーザロッド12に加えるために、所定の距離でフレーム(図示せず)上に反射
プレート22−28が取り付けられ、図1に示されるように分離された反射プレ
ート22、24、24、28を有する。
【0038】 別の実施例において、図1の装置10は図6に示された構成68内に収納され
る。構成68は、ステンレス鋼、“TEFLON”(ポリテトラフルオロエチレン)等
のような各種形式の材料から構成されるハウジング70を含む。ハウジング70
は、反射プレート26のような少なくとも一つの反射プレートを組み入れるよう
に調節された空洞72を持つ。
【0039】 構成68は、また少なくとも一つの閉鎖プレート74と、例えばプレートホル
ダ76とハウジング70とに開けた取り付け孔78のような開口部に、ネジ等の
保持手段を用いてハウジング70に閉鎖プレート74を固定するための少なくと
も一つのプレートホルダ76とを含む。閉鎖プレート74は、励起光を透過させ
る透明ガラスから構成される。あるいは閉鎖プレート74は、特定の波長の濾過
用及び反射と無反射特性用にコーティングされてもよい。
【0040】 図解目的のために、図6は、ハウジング70の一つの側面の単一の閉鎖プレー
ト74と単一のプレートホルダ76、及び閉鎖プレート74を通して励起光40
を受光するためにハウジング70内に配置されるべきコリメータ48と半導体レ
ーザアレイ42に適当に向けられた切り欠き部分とを備えた単一反射プレート2
6を示す。
【0041】 図6の構成68は完全に組立てられた時、図2に示されたユニットセル32を
形成する複数の反射プレート22−28のような、その中に配置された少なくと
も一つの反射プレートを備えたハウジング70を効果的にシールするために、ハ
ウジング70の全く反対側に、少なくとも2つの閉鎖プレート74と少なくとも
2つのプレートホルダ76とを含む、ということが理解される。
【0042】 閉鎖プレート74は、半導体レーザアレイ42から励起光40の閉鎖プレート
を通る透過量を増加させ、そしてレーザロッド12を構成する固体レーザ光線利
得媒体上に入射したエネルギーを増加させるために無反射用にコーティングされ
る。閉鎖プレート74の代わりに、水晶、プラスチック等のようなガラスと異な
る構成物の他の平面構造が使用されても良い。
【0043】 プレートホルダ76はステンレス鋼、他の材料、プラスチック、ガラス等から
構成され、反射プレート22−28とレーザロッド12がその中に配置されてい
る空洞72に、半導体レーザアレイ42からの励起光40が入るように閉鎖プレ
ート76を通過させる切り欠き領域80、すなわち開口部を含む。ハウジング7
0内に配置された反射プレート22−28と共に少なくとも一つの固定ネジが反
射プレート22−28を空洞72内に係合し及び固定するために、少なくとも一
つの取り付け開口部82を通して止められる。取り付け用開口部82内に配置さ
れたOリング及び/又は座金のようなシール手段は、冷却液の漏洩を防止するた
めに取り付け用開口部82内の固定ネジと関連して用いられる。
【0044】 ハウジング70は、それを通ってレーザロッド12が伸長する少なくとも一つ
のロッド用開口部84を含む。ハウジング70はまた、少なくとも一つの冷却液
流動用開口部86と、ロッド用開口部84を通って伸長するレーザロッド12の
上及びその周囲での冷却液の流動用の径路を提供する少なくとも一つのスロット
88を含む。スロット88は、冷却液をレーザロッド12を構成する固体レーザ
光線利得媒体の温度を低下させるためにレーザ光線利得媒体に導き、及びそれに
沿い、かつその周囲を流れさせ、その結果、固体レーザ光線利得媒体を効率的に
働かせる。
【0045】 図6に示されるように、ハウジング70はまた、Oリング又はエポキシのよう
なシール材料が閉鎖プレート74をハウジング70の空洞72と密閉させるため
に、その中に配置されるであろうシール用空洞90を含む。1つのシール用空洞
90が図6に示されているが、このようなシール用空洞90はハウジング70の
全く反対側に配置されても良い。
【0046】 ハウジング70はまた、センサ又は他のモニタ手段がその中に配置されるモニ
タ開口部を含む。例えば冷却液流動用開口部86を通過する冷却液の温度を検出
するために熱電対をその中に配置させるように、モニタ開口部92が図6に示さ
れるように設けられる。
【0047】 図1−4及び6に示される反射プレート22−28において、半導体レーザア
レイ42は垂直に向けられている。すなわち半導体レーザアレイ42は、レーザ
ロッド12の長手軸に垂直、かつz軸に平行な軸を有する。各反射プレート22
−28の切り欠き部分は、半導体レーザアレイ42に対向するそれぞれの各反射
プレート側面から広がる。反射プレート22−28及び半導体レーザアレイ42
は、ハウジング70の空洞内で図示した垂直の向きを有するように配置される。
【0048】 図5に示された反射プレート62と共に用いられる他の実施例において、図6
のハウジング70は、例えばx−y面に実質的に平行である上部表面の開口94
すなわちスロットを有する。半導体レーザアレイ42は、支持構造体及び/又は
フレームによって配置されており、図6に示された開口94を通して励起光を下
方に、その結果、ハウジング70の空洞72内部に配置された、図5に示した反
射プレート62の切り欠き部分内に放射できるように、水平に向けられた開口9
4の上方に配置され、取り外し可能に取り付けられている。
【0049】 従って、レーザ光線利得媒体上のダイオードアレイのような半導体アレイ42
からコリメートされた放射線を収束するこのような反射プレートの使用は、基本
モード操作すなわち横電磁モード(TEM00 モード)を達成するために用いられる
。反射プレートは励起プロフィールをTEM00 モードプロフィールに最適化するた
めに、代わりのグループ、例えば4グループの構成の中で配設され、並びに約1
00W/cmから約200W/cm間の励起出力密度が固体レーザ光線利得媒体に沿って
達成される。
【0050】 開示された励起レーザ装置10及び方法が好ましい実施例を参照して示され、
説明されたが、本発明の範囲及び意図から逸脱せずに形式及び詳細部分で各種の
変更が可能である。
【0051】 例えば反射プレート22−28はガラスで構成されるであろうし、及び切り欠
き部分の代わりにそれを通る開口部30のような開口部を備え、異なる屈折率を
持つ二つの物体より固体プレートを構成してもよい。次に、放物線反射表面38
を上記のように励起光を収束するために異なる屈折率による反射を提供できるよ
うに、二つの物体間の放物線状結合部として形成してもよい。次に、コリメータ
48が各反射プレート22−28の側面部分から形成される。
【0052】 加えて、レーザロッド12は直線又は実質的に直線であることは必要ではなく
、レーザロッド12の湾曲長さに沿って複数の反射プレートを組立てるために湾
曲した取り付けボルト36又はロッド状要素のような固定手段を用いることで、
湾曲していてもよい。
【0053】 更に、本開示を通して使用されている用語“光”は光学的光に限定されず、レ
ーザ光線利得媒体を励起するための赤外線又はマイクロ波波長信号のような如何
なる電磁波をも含む。従って、反射表面38、56及び64−66はこのような
入射電磁波を適当に反射するものであればよく、閉鎖プレート74はこのような
入射電磁波に対して適当に透過性があればよい。従って、ここに提案された如何
なる例のような変更は、これに限らず本発明の範囲内である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 開示された増減可能な垂直励起レーザ装置を、部材を分離して示した斜視図で
ある。
【図2】 複数の反射プレートの増減可能なユニットセルを形成するように構成された図
1のレーザ装置を示した斜視図である
【図3】 励起光を受光し、かつ収束する反射プレートの透視図である。
【図4】 図3の反射プレートの正面図である。
【図5】 他の実施の形態に係る反射プレートを示した斜視図である。
【図6】 他の実施の形態に係る、ハウジングを備えたレーザ装置を示した斜視図である
【符号の説明】
10 装置 12 レーザロッド 14 ロッド軸 16 基準フレーム 18 端部組立て部品 20 端部組立て部品 22 反射プレート 24 反射プレート 26 反射プレート 28 反射プレート 29 端部組立て部品の開口部 30 反射プレートの開口部 32 セル 34 取り付け孔 36 取り付けボルト 38 反射表面 40 励起光 42 半導体レーザアレイ 44 支持構造体 46 アレイ軸 48 コリメータ 50 コリメートされた光 52 反射励起光 54 焦点 56 開口部の反射面 58 水平対称軸 60 垂直対称軸 62 代替反射プレート 64 反射表面 66 第2反射表面 68 構成 70 ハウジング 72 空洞 74 閉鎖プレート 76 プレートホルダ 78 取り付け孔 80 切り欠き領域 82 取り付け用開口部 84 ロッド用開口部 86 冷却液流動用開口部 88 冷却液流動用スロット 90 シール用空洞 92 モニタ用開口部 94 オプションの水平レーザアレイ開口部
【手続補正書】特許協力条約第34条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成11年12月23日(1999.12.23)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0009
【補正方法】変更
【補正内容】
【0009】 従って、より実際的な実施に向けて改善された性能を提供するように構成され
た半導体レーザが望まれている。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】変更
【補正内容】
【0010】
【課題を解決するための手段】 レーザロッドの長手軸に垂直な長手軸を備えた励起光源を配置し、及びこのよ
うな励起光源からの励起光を収束させることが、より良い実際上の実行を備えた
改善された性能を提供する、ということがここで認識される。 固体レーザ光線利得媒体に垂直な構成と向きに配置された半導体レーザダイオ
ードバーアレイを持つ、半導体レーザ及びその使用と実行方法とが開示されてい
る。各個々の半導体レーザダイオードバーアレイから放射されたレーザ励起光は
固着した軸に沿ってコリメートされ、及び固体レーザ光線利得媒体上にコリメー
トされた励起光を収束させることは、固体レーザ光線利得媒体を励起するために
改善された効率と性能についての各種の異なる構成において、複数の異なる反射
プレートによって実施される。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0011
【補正方法】変更
【補正内容】
【0011】 多くの半導体レーザバーアレイは、こうして固体レーザ光線利得媒体を囲むよ
うに配置される。反射プレートは、固体レーザ光線利得媒体の吸収を強化するよ
うに構成される。励起放射線は固体レーザ光線利得媒体を1回以上通過するよう
に発生され、こうして光吸収効率を増加し、その結果、固体レーザ光線利得媒体
の光出力パワーを増加するに至る。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0012
【補正方法】変更
【補正内容】
【0012】 励起プロフィールをTEM00 モードプロフィールになるように最適化するために
、反射プレートは別のグループ、例えば4つのグループの構成に配設されるであ
ろし、約100W/cmと約200W/cmの間の励起出力密度は固体レーザ光線利得媒
体に沿って達成されるであろう。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】変更
【補正内容】
【0013】 従って、第1長手軸を有し、かつ固体レーザ光線利得媒体からなるレーザロッ
ド、及びレーザロッドに励起光を提供する少なくとも一つの励起光源を持つレー
ザ装置が開示されており、ここで励起光源は第1長手軸に垂直な第2長手軸を有
している。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0014
【補正方法】変更
【補正内容】
【0014】
【発明の実施の形態】 図1に示されるような類似の又は同一の要素、ステップ及び特徴を特定する共
通の参照番号により、仕様上の詳細について図面を参照して、本開示は改善され
た励起出力性能を提供する励起レーザ装置及び方法を記述する。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】 図1において、装置10はロッド軸14に沿って長手方向に伸長するレーザロ
ッド12のような固体レーザ光線利得媒体を励起するために増減可能に構成され
ている。レーザロッド12はNd:YAG、Nd: ガラス、Nd:YLF、Nd:LLGG 、ルビー、
アレキサンドライト等のような固体材料から選べばよい。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0016
【補正方法】変更
【補正内容】
【0016】 レーザスラブ、レーザディスク、すなわちレーザ光線を発することができる固
体材料の円筒形ユニットのようなレーザ媒体の他の構成、及び他のレーザ媒体構
成物を使用してもよい。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0017
【補正方法】変更
【補正内容】
【0017】 一般性を失うことなしに、レーザロッド12のロッド軸14はx軸に配列され
、装置10とレーザロッド12はx−y−z軸を持つ基準フレーム16に沿って
方向付けされるように記述する。装置10は、その間に少なくとも一つの反射プ
レートが配置されている端部組立て部材18、20を含む構成要素の組立てであ
る。図示された実施例では4つの反射プレート22、24、26、28が示され
ている。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0018
【補正方法】変更
【補正内容】
【0018】 端部組立て部品18、20及びそれぞれの反射プレート22、24、26、2
8は、例えばレーザロッド12がそれを通して伸長するように装置10を通る、
実質的に引き続く開口部を形成するように実質的に配列されたそれぞれの開口部
29、30を含む。反射プレート22、24、26、28は、図2に示すように
増減可能なユニットセル32、すなわち例えばレーザロッド12の縦方向の長さ
に沿って伸長する4つの反射プレート22、24、26、28よりなる複数のユ
ニットセルを形成する。更に、ユニットセル32の全体及び/又はそのいずれか
内部の反射プレート22、24、26、28の数は変更してもよく、各プレート
の相対幅もまた変更できる。実施例では、各反射プレート22、24、26、2
8は共通の所定幅を有している。代わりに、各反射プレート22、24、26、
28は最小所定幅の整数倍である所定の幅を有してもよい。反射プレート22、
24、26、28の増減可能なユニットセル32の使用は、任意の長手方向の長
さを持つレーザロッド12に沿う任意の全体長さの反射プレート、及び/又はユ
ニットセルの組立てを容易にする。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0019
【補正方法】変更
【補正内容】
【0019】 端部組立て部品18、20及び反射プレート22、24、26、28の各々は
、例えば総ての反射プレート22、24、26、28の開口部30がレーザロッ
ド12を通すことが出来るように配列されるように、反射プレート22、24、
26、28を配列及び/又は保持する、取り付けボルト36又は代わりのロッド
、ネジ、他の棒状要素、又は万力装置のような他の固定要素を含む係合固定手段
用の、少なくとも一つの取り付け孔34を含む。従って、固定手段を使用して反
射プレート22、24、26、28を互いに、及び端部組立て部品18、20と
配列することにより装置10は確実に組立てられ、及びハウジング内に配置され
、そのことは図6について以下により詳細に記述される。更に、このような取り
付け孔34と開口部29、30とは、それを通って伸長するレーザロッド12と
共に任意の数の反射プレート22、24、26、28を配置させて、装置10を
如何なる任意の長さに増減可能にする。
【手続補正13】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0020
【補正方法】変更
【補正内容】
【0020】 図1−2に関連して図3−4に示されるように、各反射プレート22、24、
26、28は、例えば半導体レーザアレイ42から励起光40を受ける反射プレ
ート22の放物線反射表面38のような湾曲反射表面を形成する切り欠き領域を
有する。放物線表面の他に、又はそれに加えて他の湾曲反射表面を使用してもよ
い。
【手続補正14】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0021
【補正方法】変更
【補正内容】
【0021】 半導体レーザアレイ42は例えばレーザダイオードのような半導体材料のバー
又はスラブで良く、又は例えば所定の波長及び/又は所定の波長範囲で励起光を
発生する他の固体材料又はその各種材料の組合せよりなってもよい。白熱灯及び
/又は蛍光灯光源のような他の励起光源が提供されてもよく、従って開示された
装置10は半導体からの、及び/又は半導体レーザデバイスからの励起光40に
限定されない。
【手続補正15】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0022
【補正方法】変更
【補正内容】
【0022】 半導体レーザアレイ42は支持構造体44に取り付けられ、そしてアレイ軸4
6に沿って縦方向に伸長する。各半導体レーザアレイ42のアレイ軸46は、実
質的にロッド軸14に垂直な方向に向けられている。図1−6に示された図示の
実施例では、アレイ軸46はx軸に垂直である。特に図1−4及び6において、
アレイ軸46はz軸に平行であり、従って半導体レーザアレイ42は水平に向け
られたレーザロッド12に対して垂直に向けられている。
【手続補正16】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0023
【補正方法】変更
【補正内容】
【0023】 図5に示された別の実施例ではアレイ軸46はy軸に平行である。開示された
装置10は、反射プレート22−28及び半導体レーザアレイ42のx軸周りの
回転が、レーザロッド12の縦ロッド軸14に対する、半導体レーザアレイ42
の縦アレイ軸46の直交性を維持するようになされる、ということが理解される
。従って図5に示された構成は、半導体レーザアレイ42及び/又はその対応す
るアレイ軸46がロッド軸14について垂直に向けられるように回転され、及び
/又は考察される。
【手続補正17】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】 アレイ軸46の方向付けによって、各半導体レーザアレイ42は励起光40を
一般にロッド軸14に垂直な方向に放射する。特に励起光40は、図3−4に示
される反射プレート22のように少なくとも一つのそれぞれの反射プレートに向
かって、実質的にy−z平面内で放射される。
【手続補正18】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0025
【補正方法】変更
【補正内容】
【0025】 このような励起光40はレーザ光としても、図4に示されるように、発生及び
/又は放射の間ある程度の拡散を経験するであろう。従って、励起光40はそれ
ぞれの反射プレート22、24、26、28のそれぞれのコリメータ48によっ
てコリメートされる。このようなコリメータ48は例えば米国特許No.5,0
80,706、5,081,639、5,155,631及び5,181,22
4に記述され、そのそれぞれはここに参考文献として組み込まれている。
【手続補正19】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0026
【補正方法】変更
【補正内容】
【0026】 コリメータ48は励起光40を受光するために切り欠き領域の開口に配置され
、及び/又は取り付けられた分離構成要素である。あるいは、コリメータ48は
反射プレート22、24、26、28に直接組み込まれる。例えばコリメータ4
8は、各反射プレート22、24、26、28の構成物と一体である。
【手続補正20】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0027
【補正方法】変更
【補正内容】
【0027】 コリメータ48は固着した軸に沿う半導体レーザアレイ42からの励起光の放
射の比較的広い拡散角度を低減させる。従って励起光40のかなりの部分が放物
線反射表面38へのコリメートされた励起光として切り欠き部分に伝達される。
【手続補正21】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0028
【補正方法】変更
【補正内容】
【0028】 図3と関連して図4を参照すると、各反射プレート22、24、26、28の
放物線反射表面38はコリメートされた励起光50を受光し、代わりに放物線反
射表面38の焦点54に反射励起光52として励起光を反射させる。各反射プレ
ート22、24、26、28もまた、それぞれの開口部30を有する。特に開口
部30は、同一形状である。図1及び3−5に示されるように切り欠き部分は、
円形状である、すなわち円弧の形状をなした開口部30を有し、反射プレート2
2、24、26、28及び62のそれぞれの開口部30、56、66にそれぞれ
実質的に隣接し、及びそれは開口部30の弧の中心/焦点が実質的に放物線反射
表面38の焦点54と並ぶように配置される。
【手続補正22】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0029
【補正方法】変更
【補正内容】
【0029】 レーザロッド12は、焦点54の中にあるように開口部30に配置される。特
にレーザロッド12の長手ロッド軸14が、反射プレート22、24、26、2
8の開口部30の各焦点54を通る。従って反射励起光40は、固体レーザ光線
利得媒体としてレーザロッド12を効率的に励起するために、レーザロッド12
上に収束される。
【手続補正23】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0030
【補正方法】変更
【補正内容】
【0030】 更に各反射プレート22、24、26、28の開口部30はレーザロッド12
を通すが、励起のためにレーザロッド12によって吸収されない励起光のいずれ
かを反射する反射表面56を有する。反射表面56からのこのような反射励起光
40は、レーザロッド12を更に励起するためにレーザロッド12に向け後方に
放射される。反射によるこのようなレーザロッド12の第2通行励起は、レーザ
ロッド12の励起効率を改善する。追加の反射及び通行は、反射表面38及反射
表面56による第2通行励起光のレーザロッド12上への更なる反射からも生じ
る。反射表面38、56の他の形状が励起光40のレーザロッド12上への収束
のために提供される。例えば反射プレート22、24、26、28は、垂直に向
けられた半導体レーザバーアレイ42からの光を捕捉し、収斂し、及び収束する
ために、全体的にx−y−z軸に沿って三方向に伸長する放物線反射表面を形成
する、異なる曲率を有する。
【手続補正24】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0031
【補正方法】変更
【補正内容】
【0031】 図1及び3−4に示されるように、放物線切り欠き部分を除いて、反射プレー
ト22、24、26、28は例えばそれぞれy軸及びz軸に平行な対称性の軸5
8、60に関して軸対称である。従って各反射プレート22、24、26、28
は、同一切り欠き部分を持つことを含めて同一に製造され、及び各反射プレート
22、24、26、28は、それぞれの半導体レーザアレイ42に向けられたコ
リメータ48を持つように、対称性の軸58、60の一方又は両方回りに適当に
回転させられて装置10内で配置される。
【手続補正25】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0032
【補正方法】変更
【補正内容】
【0032】 各半導体レーザアレイ42は、各半導体レーザアレイ42が長手ロッド軸14
に垂直な長手アレイ軸46を持って配置されるように、フレーム(図1−6に図
示せず)上のそれぞれの支持構造体44によって取り付けられる。励起光40を
レーザロッド12に放射するような特定の構成に取り付けられ及び配設された複
数の半導体レーザアレイ42を設けることにより、多くのこのような半導体レー
ザの近接結合がレーザロッド12の固体レーザ光線利得媒体を励起するために提
供される。
【手続補正26】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0033
【補正方法】変更
【補正内容】
【0033】 あるいは、各半導体レーザアレイ42はそれぞれの支持構造体44を介して、
特定の半導体レーザアレイ42が失敗した場合において、レーザロッド12を励
起するために残りの半導体レーザアレイ42を取り付けたまま、及び装置10を
操作させながら、いかなる特定の半導体レーザアレイ42のテスト及び交換をも
便利にするためのフレームに、取り外し可能に取り付けられる。
【手続補正27】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0034
【補正方法】変更
【補正内容】
【0034】 図5に示された他の実施例において、反射プレート62は、レーザロッド12
の縦ロッド軸14に垂直でかつy軸に平行なアレイ軸46を持つ半導体レーザア
レイ42と共に用いるように方向付けされた切り欠き部分と反射表面64とを有
する。図5に示された構成において、半導体レーザアレイ42は水平に向けられ
たレーザロッド12について水平に向けられているが、半導体レーザアレイ42
とそこから放射された励起光40はロッド軸14に垂直である。 図4の反射表面38と同じように、図5の反射プレート62の反射表面64は
、レーザロッド12が配置されている焦点にコリメータ48によってコリメート
された励起光40を収束するように、放物線状である。第2反射表面66は非吸
収励起光の第2通路を生じるために円弧状である。あるいは反射表面64は例え
ば励起光40をそのレーザ光線利得媒体の効率的な励起のためにレーザロッド1
2に導かせるように、直線であり又は他の形状を有してもよい。
【手続補正28】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0035
【補正方法】変更
【補正内容】
【0035】 開示された励起レーザ装置10の実施例において、装置10は部品を分離した
分解透視図で図1に示されている。構成要素は図2に示されるように、レーザロ
ッド12の長手ロッド軸14に垂直な長手アレイ軸46を配列した少なくとも一
つの半導体レーザアレイ42によって励起されるために、反射プレート22、2
4、26、28と端部部材18、20とを通って伸長するように中心部に軸上に
レーザロッド12を配置して組立てられる。
【手続補正29】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0036
【補正方法】変更
【補正内容】
【0036】 反射プレート22、24、26、28及び/又は端部部材18、20の開口部
29、30は、冷却液を開口部30を通過させ、及び、励起光40にレーザロッ
ド12を効率的に励起させるためにレーザロッド12を構成する固体レーザ光線
利得媒体をレーザロッド12の周囲で冷却させるように、レーザロッド12より
も大きい断面積を有する。開口部29、30は、レーザロッド12の断面プロフ
ィールと実質的に同一の断面プロフィールを有しているが、各開口部29、30
は開口部29、30を通り、実質的にレーザロッド12に隣接する冷却液の通路
を設けるためにノッチ(図1には示さず)を含んでもよい。
【手続補正30】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0037
【補正方法】変更
【補正内容】
【0037】 他の実施例において装置10は、レーザロッド12を構成する固体レーザ光線
利得媒体を冷却するように、冷却液を反射プレート22、24、26、28間の
間隙を通してレーザロッド12に加えるために、所定の距離でフレーム(図示せ
ず)上に反射プレート22、24、26、28が取り付けられ、図1に示される
ように分離された反射プレート22、24、24、28を有する。
【手続補正31】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0038
【補正方法】変更
【補正内容】
【0038】 別の実施例において、図1の装置10は図6に示された構成68内に収納され
る。構成68は、ステンレス鋼、“TEFLON”(ポリテトラフルオロエチレン)等
のような各種形式の材料から構成されるハウジング70を含む。ハウジング70
は、反射プレート26のような少なくとも一つの反射プレートを組み入れるよう
に調節された空洞72を持つ。
【手続補正32】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0039
【補正方法】変更
【補正内容】
【0039】 構成68は、また少なくとも一つの閉鎖プレート74と、例えばプレートホル
ダ76とハウジング70とに開けた取り付け孔78のような開口部に、ネジ等の
保持手段を用いてハウジング70に閉鎖プレート74を固定するための少なくと
も一つのプレートホルダ76とを含む。閉鎖プレート74は、励起光を透過させ
る透明ガラスから構成される。あるいは閉鎖プレート74は、特定の波長の濾過
用及び反射と無反射特性用にコーティングされてもよい。
【手続補正33】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0040
【補正方法】変更
【補正内容】
【0040】 図解目的のために、図6は、ハウジング70の一つの側面の単一の閉鎖プレー
ト74と単一のプレートホルダ76、及び閉鎖プレート74を通して励起光40
を受光するためにハウジング70内に配置されるべきコリメータ48と半導体レ
ーザアレイ42に適当に向けられた切り欠き部分とを備えた単一反射プレート2
6を示す。
【手続補正34】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0041
【補正方法】変更
【補正内容】
【0041】 図6の構成68は完全に組立てられた時、図2に示されたユニットセル32を
形成する複数の反射プレート22、24、26、28のような、その中に配置さ
れた少なくとも一つの反射プレートを備えたハウジング70を効果的にシールす
るために、ハウジング70の全く反対側に、少なくとも2つの閉鎖プレート74
と少なくとも2つのプレートホルダ76とを含む、ということが理解される。
【手続補正35】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0042
【補正方法】変更
【補正内容】
【0042】 閉鎖プレート74は、半導体レーザアレイ42から励起光40の閉鎖プレート
を通る透過量を増加させ、そしてレーザロッド12を構成する固体レーザ光線利
得媒体上に入射したエネルギーを増加させるために無反射用にコーティングされ
る。閉鎖プレート74の代わりに、水晶、プラスチック等のようなガラスと異な
る構成物の他の平面構造が使用されても良い。
【手続補正36】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0043
【補正方法】変更
【補正内容】
【0043】 プレートホルダ76はステンレス鋼、他の材料、プラスチック、ガラス等から
構成され、反射プレート22、24、26、28とレーザロッド12がその中に
配置されている空洞72に、半導体レーザアレイ42からの励起光40が入るよ
うに閉鎖プレート76を通過させる切り欠き領域80、すなわち開口部を含む。
ハウジング70内に配置された反射プレート22、24、26、28と共に少な
くとも一つの固定ネジが反射プレート22、24、26、28を空洞72内に係
合し及び固定するために、少なくとも一つの取り付け開口部82を通して止めら
れる。取り付け用開口部82内に配置されたOリング及び/又は座金のようなシ
ール手段は、冷却液の漏洩を防止するために取り付け用開口部82内の固定ネジ
と関連して用いられる。
【手続補正37】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0044
【補正方法】変更
【補正内容】
【0044】 ハウジング70は、それを通ってレーザロッド12が伸長する少なくとも一つ
のロッド用開口部84を含む。ハウジング70はまた、少なくとも一つの冷却液
流動用開口部86と、ロッド用開口部84を通って伸長するレーザロッド12の
上及びその周囲での冷却液の流動用の径路を提供する少なくとも一つのスロット
88を含む。スロット88は、冷却液をレーザロッド12を構成する固体レーザ
光線利得媒体の温度を低下させるためにレーザ光線利得媒体に導き、及びそれに
沿い、かつその周囲を流れさせ、その結果、固体レーザ光線利得媒体を効率的に
働かせる。
【手続補正38】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0045
【補正方法】変更
【補正内容】
【0045】 図6に示されるように、ハウジング70はまた、Oリング又はエポキシのよう
なシール材料が閉鎖プレート74をハウジング70の空洞72と密閉させるため
に、その中に配置されるであろうシール用空洞90を含む。1つのシール用空洞
90が図6に示されているが、このようなシール用空洞90はハウジング70の
全く反対側に配置されても良い。
【手続補正39】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0046
【補正方法】変更
【補正内容】
【0046】 ハウジング70はまた、センサ又は他のモニタ手段がその中に配置されるモニ
タ開口部を含む。例えば冷却液流動用開口部86を通過する冷却液の温度を検出
するために熱電対をその中に配置させるように、モニタ開口部92が図6に示さ
れるように設けられる。
【手続補正40】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0047
【補正方法】変更
【補正内容】
【0047】 図1−4及び6に示される反射プレート22、24、26、28において、半
導体レーザアレイ42は垂直に向けられている。すなわち半導体レーザアレイ4
2は、レーザロッド12の長手軸に垂直、かつz軸に平行な軸を有する。各反射
プレート22、24、26、28の切り欠き部分は、半導体レーザアレイ42に
対向するそれぞれの各反射プレート側面から広がる。反射プレート22、24、
26、28及び半導体レーザアレイ42は、ハウジング70の空洞内で図示した
垂直の向きを有するように配置される。
【手続補正41】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0048
【補正方法】変更
【補正内容】
【0048】 図5に示された反射プレート62と共に用いられる他の実施例において、図6
のハウジング70は、例えばx−y面に実質的に平行である上部表面の開口94
すなわちスロットを有する。半導体レーザアレイ42は、支持構造体及び/又は
フレームによって配置されており、図6に示された開口94を通して励起光を下
方に、その結果、ハウジング70の空洞72内部に配置された、図5に示した反
射プレート62の切り欠き部分内に放射できるように、水平に向けられた開口9
4の上方に配置され、取り外し可能に取り付けられている。
【手続補正42】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0049
【補正方法】変更
【補正内容】
【0049】 従って、レーザ光線利得媒体上のダイオードアレイのような半導体アレイ42
からコリメートされた放射線を収束するこのような反射プレートの使用は、基本
モード操作すなわち横電磁モード(TEM00 モード)を達成するために用いられる
。反射プレートは励起プロフィールをTEM00 モードプロフィールに最適化するた
めに、代わりのグループ、例えば4グループの構成の中で配設され、並びに約1
00W/cmから約200W/cm間の励起出力密度が固体レーザ光線利得媒体に沿って
達成される。
【手続補正43】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0050
【補正方法】変更
【補正内容】
【0050】 開示された励起レーザ装置10及び方法が好ましい実施例を参照して示され、
説明されたが、本発明の範囲及び意図から逸脱せずに形式及び詳細部分で各種の
変更が可能である。
【手続補正44】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0051
【補正方法】変更
【補正内容】
【0051】 例えば反射プレート22、24、26、28はガラスで構成されるであろうし
、及び切り欠き部分の代わりにそれを通る開口部30のような開口部を備え、異
なる屈折率を持つ二つの物体より固体プレートを構成してもよい。次に、放物線
反射表面38を上記のように励起光を収束するために異なる屈折率による反射を
提供できるように、二つの物体間の放物線状結合部として形成してもよい。次に
、コリメータ48が各反射プレート22、24、26、28の側面部分から形成
される。
【手続補正45】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0052
【補正方法】変更
【補正内容】
【0052】 加えて、レーザロッド12は直線又は実質的に直線であることは必要ではなく
、レーザロッド12の湾曲長さに沿って複数の反射プレートを組立てるために湾
曲した取り付けボルト36又はロッド状要素のような固定手段を用いることで、
湾曲していてもよい。
【手続補正46】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0053
【補正方法】変更
【補正内容】
【0053】 更に、本開示を通して使用されている用語“光”は光学的光に限定されず、レ
ーザ光線利得媒体を励起するための赤外線又はマイクロ波波長信号のような如何
なる電磁波をも含む。従って、反射表面38、56及び64−66はこのような
入射電磁波を適当に反射するものであればよく、閉鎖プレート74はこのような
入射電磁波に対して適当に透過性があればよい。従って、ここに提案された如何
なる例のような変更は、これに限らず本発明の範囲内である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GW,ML, MR,NE,SN,TD,TG),AP(GH,GM,K E,LS,MW,SD,SL,SZ,UG,ZW),E A(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD,RU,TJ ,TM),AE,AL,AM,AT,AU,AZ,BA ,BB,BG,BR,BY,CA,CH,CN,CU, CZ,DE,DK,EE,ES,FI,GB,GD,G E,HR,HU,ID,IL,IN,IS,JP,KE ,KG,KP,KR,KZ,LC,LK,LR,LS, LT,LU,LV,MD,MG,MK,MN,MW,M X,NO,NZ,PL,PT,RO,RU,SD,SE ,SG,SI,SK,SL,TJ,TM,TR,TT, UA,UG,US,UZ,VN,YU,ZA,ZW Fターム(参考) 5F072 AB02 AB04 AB05 AB08 AK01 JJ02 KK24 PP07 PP09 TT01 TT22

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1長手軸を有し、レーザ光線利得媒体からなるレーザロッ
    ドと、 第1長手軸に垂直である第2長手軸を有し、レーザロッドに励起光を与える励
    起光源と を備えることを特徴とするレーザ装置。
  2. 【請求項2】 前記励起光源は、第1長手軸に実質的に垂直な方向に、レー
    ザロッドに向けて励起光を放射する少なくとも一つのレーザバーアレイを含む請
    求項1記載のレーザ装置。
  3. 【請求項3】 第1長手軸に垂直である少なくとも一つのレーザバーアレイ
    を取り付けるための取り付け手段を更に含む請求項2記載のレーザ装置。
  4. 【請求項4】 レーザロッドに励起光を反射するための少なくとも一つの反
    射表面を備えた反射プレートを更に含む請求項1記載のレーザ装置。
  5. 【請求項5】 少なくとも一つの反射表面は第1長手軸に垂直な平面内で湾
    曲している請求項4記載のレーザ装置。
  6. 【請求項6】 少なくとも一つの反射表面は、放物線の弧状に湾曲しており
    、レーザロッドを放物線の焦点に配置させる請求項4記載のレーザ装置。
  7. 【請求項7】 励起光は、放物線状の反射表面により、焦点にあるレーザロ
    ッドに向かって反射させる請求項6記載のレーザ装置。
  8. 【請求項8】 励起光をコリメートするコリメータを更に含み、放物線状の
    反射表面は、コリメートされた励起光を、焦点にあるレーザロッドに向けて反射
    させる請求項7記載のレーザ装置。
  9. 【請求項9】 少なくとも一つの反射表面は、放物線の弧状に湾曲しており
    、放物線の焦点にレーザロッドを配置させた状態で、励起光を第1通路でレーザ
    ロッドへ反射させる第1反射表面、及び円弧状に湾曲しており、円弧の焦点にレ
    ーザロッドを配置させた状態で、吸収されない励起光を第1通路から第2通路を
    通してレーザロッドへ反射させる第2反射表面を含む請求項4記載のレーザ装置
  10. 【請求項10】 レーザロッドに励起光を反射するための少なくとも1つの
    反射表面を有した複数の反射プレートと、 ユニットセルに複数の反射プレートを取り付けるための固定手段と を備える請求項1記載のレーザ装置。
  11. 【請求項11】 複数の反射プレートの夫々は取り付け孔を有し、固定手段
    は、複数の反射プレートの取り付け孔を通ってロッド状部材が伸長するための取
    り付け孔を有した少なくとも一つの端部部材、及び複数の反射プレートをユニッ
    トセル内に取り付けるための端部部材を含む請求項10記載のレーザ装置。
  12. 【請求項12】 反射プレートの数は如何なる所定数にも増減可能である請
    求項10記載のレーザ装置。
  13. 【請求項13】 空洞を持つハウジングと、 励起光を空洞中に通すための少なくとも一つのガラスプレートと、 第1長手軸を有し、レーザ光線利得媒体からなり、空洞中に配置されたレーザ
    ロッドと、 第1長手軸に垂直に向けられたそれぞれの第2長手軸を有し、少なくとも一つ
    のガラスプレートを通して第1長手軸に実質的に垂直な方向にレーザロッドに向
    けて励起光を放射するための複数のレーザバーアレイと、 を備えることを特徴とするレーザ装置。
  14. 【請求項14】 レーザロッドに励起光を反射するための少なくとも一つの
    反射表面を備えた複数の反射プレートを更に含む請求項13記載のレーザ装置。
  15. 【請求項15】 少なくとも一つの反射表面は、 放物線の弧状に湾曲しており、放物線の焦点にレーザロッドを配置させた状態
    で、励起光を第1通路でレーザロッドへ反射させる第1反射表面、及び 円弧状に湾曲しており、円弧の焦点にレーザロッドを配置させた状態で、吸収
    されない励起光を第1通路から第2通路を通してレーザロッドへ反射させる第2
    反射表面 を含む請求項14記載のレーザ装置。
  16. 【請求項16】 ハウジングは、レーザロッドを冷却するために空洞を通し
    て冷却液を通過させるための冷却液開口部を有する請求項13記載のレーザ装置
  17. 【請求項17】 第1長手軸を有し、レーザ光線利得媒体からなるレーザロ
    ッドを励起光で励起する方法において、 第1長手軸に垂直に向けられた夫々の第2長手軸を有し、励起光をレーザロッ
    ドに向けて放射するために複数のレーザバーアレイを配置するステップと、 励起光を実質的に第1長手軸に垂直な方向にレーザロッドに向けて放射するス
    テップと を含むことを特徴とするレーザロッドを励起光で励起する方法。
  18. 【請求項18】 レーザ光線利得媒体を励起するために、レーザロッドに励
    起光をコリメートするステップを含む請求項17記載の方法。
  19. 【請求項19】 励起光をコリメータでコリメートし、 コリメートされた励起光を、反射表面を用い、レーザロッドが配置された反射
    表面の焦点に向けて反射させるステップを含む請求項18記載の方法。
  20. 【請求項20】 反射させるステップは、 放物線の弧状に湾曲しており、放物線の焦点にレーザロッドを配置させた状態
    で、励起光を第1通路でレーザロッドへ反射させる第1反射表面を用いて、コリ
    メートされた励起光を反射させるステップを含む請求項19記載の方法。
  21. 【請求項21】 反射させるステップは更に、 その焦点にレーザロッドを配置させる円弧の形状に湾曲している第2反射表面
    を用いて、吸収されない励起光を第1通路から第2通路内にあるレーザロッドへ
    反射させるステップを含む請求項20記載の方法。
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