JPH0666492B2 - ガスレーザ発振装置およびその光軸調整方法 - Google Patents
ガスレーザ発振装置およびその光軸調整方法Info
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- JPH0666492B2 JPH0666492B2 JP2404183A JP40418390A JPH0666492B2 JP H0666492 B2 JPH0666492 B2 JP H0666492B2 JP 2404183 A JP2404183 A JP 2404183A JP 40418390 A JP40418390 A JP 40418390A JP H0666492 B2 JPH0666492 B2 JP H0666492B2
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- optical
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電管の軸方向と光軸
方向が一致したガスレーザ発振装置に関し、特に最も簡
単に光軸調整可能なガスレーザ発振装置およびその光軸
調整方法に関する。
方向が一致したガスレーザ発振装置に関し、特に最も簡
単に光軸調整可能なガスレーザ発振装置およびその光軸
調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガスレーザ発振装置の基本的構成を図８
に示す。図８において、１はガラスなどの誘電体よりな
る放電管であり、２および３は放電管１の内部に設けら
れた金属電極である。４は電極２および３に接続された
高電圧電源であり、たとえば３０KVの電圧を両電極２お
よび３間に印加している。５は電極２および３間にはさ
まれた放電間１内の放電空間である。６は全反射鏡、７
は部分反射鏡であり、この全反射鏡６，部分反射鏡７は
放電空間５の両端に固定配置され、光共振器を形成して
いる。８は部分反射鏡７より出力されるレーザビームで
ある。矢印９はレーザガスの流れる方向を示しており、
軸流型レーザ装置の中を循環している。１０は送気管で
あり、１１および１２は放電空間５における放電および
送風機の運転により上昇したレーザガスの温度を下げる
ための熱交換器、１３はレーザガスを循環させるための
送風機である。なお、送風機１３により放電区間５にて
約１００ｍ／sec程度のガス流を得ることができる。
に示す。図８において、１はガラスなどの誘電体よりな
る放電管であり、２および３は放電管１の内部に設けら
れた金属電極である。４は電極２および３に接続された
高電圧電源であり、たとえば３０KVの電圧を両電極２お
よび３間に印加している。５は電極２および３間にはさ
まれた放電間１内の放電空間である。６は全反射鏡、７
は部分反射鏡であり、この全反射鏡６，部分反射鏡７は
放電空間５の両端に固定配置され、光共振器を形成して
いる。８は部分反射鏡７より出力されるレーザビームで
ある。矢印９はレーザガスの流れる方向を示しており、
軸流型レーザ装置の中を循環している。１０は送気管で
あり、１１および１２は放電空間５における放電および
送風機の運転により上昇したレーザガスの温度を下げる
ための熱交換器、１３はレーザガスを循環させるための
送風機である。なお、送風機１３により放電区間５にて
約１００ｍ／sec程度のガス流を得ることができる。
【０００３】以上が基本的な軸流型ガスレーザ発振装置
の構成であり、次にその動作について説明する。
の構成であり、次にその動作について説明する。
【０００４】まず一対の金属電極２および３に高電圧電
源４から高電圧を印加し、放電空間５にグロー状の放電
を発生させる。放電空間５を通過するレーザガスは、こ
の放電エネルギーを得て励起され、その励起されたレー
ザガスは全反射鏡６および部分反射鏡７により形成され
た光共振器で共振状態となり、部分反射鏡７からレーザ
ビーム８が出力される。このレーザビーム８が溶接，切
断，熱処理等の用途に用いられる。
源４から高電圧を印加し、放電空間５にグロー状の放電
を発生させる。放電空間５を通過するレーザガスは、こ
の放電エネルギーを得て励起され、その励起されたレー
ザガスは全反射鏡６および部分反射鏡７により形成され
た光共振器で共振状態となり、部分反射鏡７からレーザ
ビーム８が出力される。このレーザビーム８が溶接，切
断，熱処理等の用途に用いられる。
【０００５】図９は、ガスレーザ発振装置の従来の光共
振部の詳細図である。光学ベンチ１４に固定具１６およ
び１７，放電管１，折返しユニット１８，部分反射鏡
７，全反射鏡６が取付けてある。固定具１６は、すべて
調整可能となっている。また折返しユニット１８に取付
けてある２枚の全反射鏡角度を調整し光軸調整を行うた
めの調整器２２を備えており、基準光軸を適当に定めて
その光軸に合うようすべての固定具１６および折返しユ
ニットに取付けられた全反射鏡により光軸調整を行って
いた。固定具１６は後述する図５に示すように光学ベン
チ１４に隙間をもって嵌込まれており取付けねじ（図示
せず）と取付けねじ穴の隙間の範囲内で固定具１６が調
整できる。一方、固定具１７は図３に示すように放電管
１の管体に一体となるように取付けられており、固定具
１６の調整が終わったあと固定具１６に合わせて放電管
１とともに取付けられる。
振部の詳細図である。光学ベンチ１４に固定具１６およ
び１７，放電管１，折返しユニット１８，部分反射鏡
７，全反射鏡６が取付けてある。固定具１６は、すべて
調整可能となっている。また折返しユニット１８に取付
けてある２枚の全反射鏡角度を調整し光軸調整を行うた
めの調整器２２を備えており、基準光軸を適当に定めて
その光軸に合うようすべての固定具１６および折返しユ
ニットに取付けられた全反射鏡により光軸調整を行って
いた。固定具１６は後述する図５に示すように光学ベン
チ１４に隙間をもって嵌込まれており取付けねじ（図示
せず）と取付けねじ穴の隙間の範囲内で固定具１６が調
整できる。一方、固定具１７は図３に示すように放電管
１の管体に一体となるように取付けられており、固定具
１６の調整が終わったあと固定具１６に合わせて放電管
１とともに取付けられる。
【０００６】以下、具体的な光軸調整の方法を説明す
る。図６に示す２５および図１１に示す２６は光軸の位
置を目視するための器具で、半透明の材料で製作され、
中央に直径が０．５〜１mmの貫通穴２７ａおよび２７ｂ
が設けられている。器具２５は図７に示す状態と同様
に、部分反射鏡６の取付け部の固定具２４に装着するこ
とができる。器具２５と固定具２４の嵌合度および固定
具２４と光学ベンチ１４の嵌合度は光軸のずれとして許
容される寸法よりはるかに小さな寸法の隙間嵌めになっ
ている。一方、器具２６は図１２に示すように折返しユ
ニット１８の入射側の全反射鏡（図１０に示す２８）を
取外したあとの穴（図１０に示す３１）に挿入する。器
具２６と穴３１の嵌合度は、器具２５の場合と同様に、
光軸ずれとして許容される寸法よりはるかに小さな寸法
の隙間嵌めになっている。このような状態で固定具２４
に取付けられた器具２５の中央の穴２７ａから、例えば
ヘリュウムネオンレーザー光（以下単にレーザ光とい
う）を入射し、そのレーザ光が器具２６の中央の穴２７
ｂを通過するようにヘリウムネオンレーザ装置の位置を
合わせる。図１２および図１３で３４はレーザ光を示
す。器具２５または２６は半透明で製作されているの
で、レーザ光が中央穴を貫通してしなければ穴以外の半
透明部にレーザ光が光点を作るので視認できる。このよ
うにして、レーザ光が固定具２４に取付けられた器具２
５の中央穴２７ａと器具２６の中央穴２７ｂを貫通した
ことを確認後、器具２５と２６の間にある固定具１６に
図７に示すように別の器具２５を取付け、先にセットし
たレーザ光が器具２５の中央穴２７ａを通過するように
固定具１６の位置を調整し固定する。このように固定具
１６を１箇所ごとに調整する。この調整を完了した後、
図１２に示す器具２６を取外し、そのあとの穴（図１０
に示す３２）に図１３に示すように器具２６を挿入し、
器具２６の中央穴２７をレーザ光が通過するように図９
に示す調整ねじ２２によって全反射鏡２８の向きを調整
する。２０は全反射鏡２８を取付けた全反射鏡ユニット
である。この調整を完了すれば、穴３２から器具２６を
取外し、器具２５を光共振区域の端にある全反射鏡６を
取外したあとの固定具２３に取付ける。器具２５と固定
具２３の嵌合度および固定具２３と光学ベンチ穴の嵌合
度も部分反射鏡７側と同様に光軸ずれとして許容される
寸法よりもはるかに小さな寸法の隙間嵌めになってい
る。その後、折返しユニット１８に全反射鏡２９を取付
け、レーザ光が器具２５の中央穴２７ａを通過するよう
に調整ねじ２２によって全反射鏡２９の向きを調整す
る。次に折返しユニット１８と固定具２３の間にある固
定器１６に別の器具２５を取付け、１箇所ずつレーザ光
が器具２５の中央穴２７ａを通過するように固定具１６
を調整して固定する。以上で、光共振区間全体の光軸調
整を終ったことになる。しかし、放電管列が３列以上の
場合は、さらに折返しユニットから光共振区間終端の全
反射鏡までの光軸調整を行うことになる。
る。図６に示す２５および図１１に示す２６は光軸の位
置を目視するための器具で、半透明の材料で製作され、
中央に直径が０．５〜１mmの貫通穴２７ａおよび２７ｂ
が設けられている。器具２５は図７に示す状態と同様
に、部分反射鏡６の取付け部の固定具２４に装着するこ
とができる。器具２５と固定具２４の嵌合度および固定
具２４と光学ベンチ１４の嵌合度は光軸のずれとして許
容される寸法よりはるかに小さな寸法の隙間嵌めになっ
ている。一方、器具２６は図１２に示すように折返しユ
ニット１８の入射側の全反射鏡（図１０に示す２８）を
取外したあとの穴（図１０に示す３１）に挿入する。器
具２６と穴３１の嵌合度は、器具２５の場合と同様に、
光軸ずれとして許容される寸法よりはるかに小さな寸法
の隙間嵌めになっている。このような状態で固定具２４
に取付けられた器具２５の中央の穴２７ａから、例えば
ヘリュウムネオンレーザー光（以下単にレーザ光とい
う）を入射し、そのレーザ光が器具２６の中央の穴２７
ｂを通過するようにヘリウムネオンレーザ装置の位置を
合わせる。図１２および図１３で３４はレーザ光を示
す。器具２５または２６は半透明で製作されているの
で、レーザ光が中央穴を貫通してしなければ穴以外の半
透明部にレーザ光が光点を作るので視認できる。このよ
うにして、レーザ光が固定具２４に取付けられた器具２
５の中央穴２７ａと器具２６の中央穴２７ｂを貫通した
ことを確認後、器具２５と２６の間にある固定具１６に
図７に示すように別の器具２５を取付け、先にセットし
たレーザ光が器具２５の中央穴２７ａを通過するように
固定具１６の位置を調整し固定する。このように固定具
１６を１箇所ごとに調整する。この調整を完了した後、
図１２に示す器具２６を取外し、そのあとの穴（図１０
に示す３２）に図１３に示すように器具２６を挿入し、
器具２６の中央穴２７をレーザ光が通過するように図９
に示す調整ねじ２２によって全反射鏡２８の向きを調整
する。２０は全反射鏡２８を取付けた全反射鏡ユニット
である。この調整を完了すれば、穴３２から器具２６を
取外し、器具２５を光共振区域の端にある全反射鏡６を
取外したあとの固定具２３に取付ける。器具２５と固定
具２３の嵌合度および固定具２３と光学ベンチ穴の嵌合
度も部分反射鏡７側と同様に光軸ずれとして許容される
寸法よりもはるかに小さな寸法の隙間嵌めになってい
る。その後、折返しユニット１８に全反射鏡２９を取付
け、レーザ光が器具２５の中央穴２７ａを通過するよう
に調整ねじ２２によって全反射鏡２９の向きを調整す
る。次に折返しユニット１８と固定具２３の間にある固
定器１６に別の器具２５を取付け、１箇所ずつレーザ光
が器具２５の中央穴２７ａを通過するように固定具１６
を調整して固定する。以上で、光共振区間全体の光軸調
整を終ったことになる。しかし、放電管列が３列以上の
場合は、さらに折返しユニットから光共振区間終端の全
反射鏡までの光軸調整を行うことになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例においては
光軸調整が繁雑でかつ熟練を要するものであり、この光
軸調整に多大の時間を要していた。この光軸調整に要す
る時間を短縮する目的で光学ベンチをはじめ各構成部品
の加工精度を上げる試みも行われたが、加工費用が嵩む
割りに加工誤差の累積による光軸ずれが発生し調整不能
となるなど満足できる結果を得ることができなかった。
光軸調整が繁雑でかつ熟練を要するものであり、この光
軸調整に多大の時間を要していた。この光軸調整に要す
る時間を短縮する目的で光学ベンチをはじめ各構成部品
の加工精度を上げる試みも行われたが、加工費用が嵩む
割りに加工誤差の累積による光軸ずれが発生し調整不能
となるなど満足できる結果を得ることができなかった。
【０００８】本発明は上記の課題を解決しようとするも
ので、加工費用をあまり増大させずに、光軸調整に要す
る時間を大幅に短縮し、しかもその調整に熟練を要さな
いガスレーザ発振装置およびその光軸調整方法を提供す
ることを目的とする。
ので、加工費用をあまり増大させずに、光軸調整に要す
る時間を大幅に短縮し、しかもその調整に熟練を要さな
いガスレーザ発振装置およびその光軸調整方法を提供す
ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、放電管を１本以上直列に並べた列を２列以
上配置し、それらの放電管列を放電管列の数に応じて１
個以上の折返しユニットで放電管列を結合し、形成され
た光軸の両端に部分反射鏡と全反射鏡を配置して光共振
区間を形成し、かつ前記放電管を固定するための固定具
を各放電管の両端および光学ベンチにそれぞれ設け、前
記折返しユニットに設けられた２組の全反射鏡ユニット
の一方を微調整のみ可能な固定側とし、他方に調整器を
設けて光軸調整要とし、さらに光共振区間の両端に設け
た部分反射鏡または全反射鏡のどちらかの反射鏡の取付
け部を放電管の軸合わせの調整基準とし、その調整基準
とした反射鏡取付け部に最も近い前記光学ベンチ側の固
定具を非調整式とし、次に調整基準とした反射鏡取付け
部に４番目に近い光学ベンチ側の固定具を非調整式と
し、さらに調整基準とした反射取付け部から４の倍数番
目に近い光学ベンチ側の固定具を非調整式とし、その他
の光学ベンチ側の固定具を調整可能な固定具となるよう
に構成したものである。
に本発明は、放電管を１本以上直列に並べた列を２列以
上配置し、それらの放電管列を放電管列の数に応じて１
個以上の折返しユニットで放電管列を結合し、形成され
た光軸の両端に部分反射鏡と全反射鏡を配置して光共振
区間を形成し、かつ前記放電管を固定するための固定具
を各放電管の両端および光学ベンチにそれぞれ設け、前
記折返しユニットに設けられた２組の全反射鏡ユニット
の一方を微調整のみ可能な固定側とし、他方に調整器を
設けて光軸調整要とし、さらに光共振区間の両端に設け
た部分反射鏡または全反射鏡のどちらかの反射鏡の取付
け部を放電管の軸合わせの調整基準とし、その調整基準
とした反射鏡取付け部に最も近い前記光学ベンチ側の固
定具を非調整式とし、次に調整基準とした反射鏡取付け
部に４番目に近い光学ベンチ側の固定具を非調整式と
し、さらに調整基準とした反射取付け部から４の倍数番
目に近い光学ベンチ側の固定具を非調整式とし、その他
の光学ベンチ側の固定具を調整可能な固定具となるよう
に構成したものである。
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、加工精度を上げて調整
不要な固定具を必要最小数設け、折返しユニットの片側
の全反射鏡を基本的には調整不要としたことから、光軸
調整用のヘリュウムネオンレーザ等のレーザ光の光軸を
調整不要の固定具を基準にセットしたあとはその光軸を
基準に中間の固定具を調整すればよいので、調整に熟練
を必要とせず、調整時間を著しく短縮できる。一方加工
精度を上げた構成部品の比率が低いので、加工費用の増
加は僅かであり、加工の累積誤差により光軸ずれを起こ
し調整不能になることも起こることがない。
不要な固定具を必要最小数設け、折返しユニットの片側
の全反射鏡を基本的には調整不要としたことから、光軸
調整用のヘリュウムネオンレーザ等のレーザ光の光軸を
調整不要の固定具を基準にセットしたあとはその光軸を
基準に中間の固定具を調整すればよいので、調整に熟練
を必要とせず、調整時間を著しく短縮できる。一方加工
精度を上げた構成部品の比率が低いので、加工費用の増
加は僅かであり、加工の累積誤差により光軸ずれを起こ
し調整不能になることも起こることがない。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の説明を行う。
本発明のガスレーザ発振装置の光共振器部の一実施例を
図１に示す。図１（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図
である。
本発明のガスレーザ発振装置の光共振器部の一実施例を
図１に示す。図１（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図
である。
【００１２】図１において、１は放電管、６は光共振区
間の一端にある全反射鏡、７は光共振区間の他端にある
部分反射鏡、１４が光学ベンチ、１５ａ〜１５ｃは加工
精度を上げて作られた非調整式の固定具、１６は従来例
と同じ調整式の固定具、１７は放電管１側に取付けられ
た固定具、１８は折返しユニット、１９は微調整のみ可
能な固定側全反射鏡を取付けた固定側全反射鏡ユニッ
ト、２０は固定側全反射鏡を微調整するねじ、２１は調
整側全反射鏡を取付けた調整側全反射鏡ユニット、２２
は調整側全反射鏡を調整するねじ、２３は光共振区間の
一端にある全反射鏡６を取付けている固定具、２４は光
共振区間の他端にある部分反射鏡７を取付けている固定
具である。
間の一端にある全反射鏡、７は光共振区間の他端にある
部分反射鏡、１４が光学ベンチ、１５ａ〜１５ｃは加工
精度を上げて作られた非調整式の固定具、１６は従来例
と同じ調整式の固定具、１７は放電管１側に取付けられ
た固定具、１８は折返しユニット、１９は微調整のみ可
能な固定側全反射鏡を取付けた固定側全反射鏡ユニッ
ト、２０は固定側全反射鏡を微調整するねじ、２１は調
整側全反射鏡を取付けた調整側全反射鏡ユニット、２２
は調整側全反射鏡を調整するねじ、２３は光共振区間の
一端にある全反射鏡６を取付けている固定具、２４は光
共振区間の他端にある部分反射鏡７を取付けている固定
具である。
【００１３】以上の構成部品の内、固定具１５ａ〜１５
ｃ，２３，２４は光学ベンチ１４に光軸ずれとして許容
される寸法よりはるかに小さな寸法の隙間嵌めで取付け
られており調整の必要はない。また、折返しユニット１
８の固定側全反射鏡ユニット２０は事前に治具によって
高精度に組立てられており、折返しユニット１８に取付
けたあと原則として調整は不要である。ただし、光軸ず
れが調整側全反射鏡ユニット２１だけで調整しきれなか
った場合を考慮して微調整用のねじは取付けてある。
ｃ，２３，２４は光学ベンチ１４に光軸ずれとして許容
される寸法よりはるかに小さな寸法の隙間嵌めで取付け
られており調整の必要はない。また、折返しユニット１
８の固定側全反射鏡ユニット２０は事前に治具によって
高精度に組立てられており、折返しユニット１８に取付
けたあと原則として調整は不要である。ただし、光軸ず
れが調整側全反射鏡ユニット２１だけで調整しきれなか
った場合を考慮して微調整用のねじは取付けてある。
【００１４】次に具体的な調整の方法を説明する。図３
は従来例と同様で１が放電管、１７が放電管側の固定具
である。図２は図１に示す光共振器部から図３に示す放
電管部と光共振器の一端にある部分反射鏡７を取外した
状態を示しており、この状態で光軸調整を行う。
は従来例と同様で１が放電管、１７が放電管側の固定具
である。図２は図１に示す光共振器部から図３に示す放
電管部と光共振器の一端にある部分反射鏡７を取外した
状態を示しており、この状態で光軸調整を行う。
【００１５】図２において部分反射鏡７側の固定具側か
ら従来例と同様にヘリュウムネオンレーザ等のレーザ光
（以下、単にレーザ光という）を入射し、部分反射鏡７
に１番近い固定具すなわち固定具１５ａと、部分反射鏡
７から４番目に近い固定具すなわち同じく固定具１５ｂ
に図７に示すのと同様の器具２５を取付け、上記レーザ
光が２つの器具２５の中央穴２７ａを通過するようにヘ
リュウムネオンレーザ等の光軸調整用のレーザ装置の位
置を固定し、以後固定具１５ａと１５ｂの中心軸を光軸
の基準軸とし、固定具１５ａと１５ｂの間にある固定具
１６に器具２５を取付け、１箇所ずつ器具２５の中心穴
２７ａをレーザ光が通過するように固定具１６を調整し
固定する。次に部分反射鏡７から８番目に近い固定具す
なわち固定具１５ｃに器具２５を取付け、折返しユニッ
トの調整用全反射鏡２１を調整ねじ２２で調整しレーザ
光が固定具１５ｃに取付けた器具２５の中央穴２７ａを
通過するようにする。これで部分反射鏡７の取付け部か
ら入射したレーザ光は光共振器他端の全反射鏡６まで達
したので、残りの固定具１６の位置調整を行って光軸調
整を終了する。その後、図３に示す放電管ユニットを固
定金具に合わせて取付けることによって光共振器が完成
する。
ら従来例と同様にヘリュウムネオンレーザ等のレーザ光
（以下、単にレーザ光という）を入射し、部分反射鏡７
に１番近い固定具すなわち固定具１５ａと、部分反射鏡
７から４番目に近い固定具すなわち同じく固定具１５ｂ
に図７に示すのと同様の器具２５を取付け、上記レーザ
光が２つの器具２５の中央穴２７ａを通過するようにヘ
リュウムネオンレーザ等の光軸調整用のレーザ装置の位
置を固定し、以後固定具１５ａと１５ｂの中心軸を光軸
の基準軸とし、固定具１５ａと１５ｂの間にある固定具
１６に器具２５を取付け、１箇所ずつ器具２５の中心穴
２７ａをレーザ光が通過するように固定具１６を調整し
固定する。次に部分反射鏡７から８番目に近い固定具す
なわち固定具１５ｃに器具２５を取付け、折返しユニッ
トの調整用全反射鏡２１を調整ねじ２２で調整しレーザ
光が固定具１５ｃに取付けた器具２５の中央穴２７ａを
通過するようにする。これで部分反射鏡７の取付け部か
ら入射したレーザ光は光共振器他端の全反射鏡６まで達
したので、残りの固定具１６の位置調整を行って光軸調
整を終了する。その後、図３に示す放電管ユニットを固
定金具に合わせて取付けることによって光共振器が完成
する。
【００１６】もし、放電管列が３列以上ある場合は、第
２，第３の折返しユニットの調整要全反射鏡で光軸を、
部分反射鏡から４の倍数番目に近い固定具の中心にレー
ザ光を当てて光軸を合わせ、その中間の固定具１６をそ
の光軸に合わせる作業を繰り返せばよい。
２，第３の折返しユニットの調整要全反射鏡で光軸を、
部分反射鏡から４の倍数番目に近い固定具の中心にレー
ザ光を当てて光軸を合わせ、その中間の固定具１６をそ
の光軸に合わせる作業を繰り返せばよい。
【００１７】以上は光共振器の部分反射鏡側を基準とし
てレーザ光を入射して調整を行う方法を述べたが、光共
振器の全反射鏡側を基準とする場合は、図１および図２
において６を部分反射鏡，７を全反射鏡として考えれば
よい。
てレーザ光を入射して調整を行う方法を述べたが、光共
振器の全反射鏡側を基準とする場合は、図１および図２
において６を部分反射鏡，７を全反射鏡として考えれば
よい。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、光軸調整の基準が明確になり、折返しユニット
の全反射鏡を取外さずに光軸を調整できることから熟練
を要せず、しかも調整時間を大巾に短縮することができ
る。一方、加工精度を上げる部品は調整基準となる数点
の部品でよく、総合的なコストを下げることができる。
また、部品の加工精度だけに頼り累積誤差によって光軸
不能になる心配もない。
よれば、光軸調整の基準が明確になり、折返しユニット
の全反射鏡を取外さずに光軸を調整できることから熟練
を要せず、しかも調整時間を大巾に短縮することができ
る。一方、加工精度を上げる部品は調整基準となる数点
の部品でよく、総合的なコストを下げることができる。
また、部品の加工精度だけに頼り累積誤差によって光軸
不能になる心配もない。
【図１】（ａ）本発明のガスレーザ発振器の光共振器部
の平面図 （ｂ）本発明のガスレーザ発振器の光共振器部の正面図
の平面図 （ｂ）本発明のガスレーザ発振器の光共振器部の正面図
【図２】（ａ）光軸調整を行う場合の光共振器の平面図 （ｂ）光軸調整を行う場合の光共振器の正面図
【図３】放電管ユニットの組立図
【図４】非調整式固定具と取付穴の嵌合の状態を示す図
【図５】調整可能な固定具と取付穴の嵌合の状態を示す
図
図
【図６】光軸視認用器具の断面図
【図７】光軸視認用器具を固定具に取付けた状態を示す
図
図
【図８】ガスレーザ発振装置の基本構成図
【図９】（ａ）従来の光共振器の平面図 （ｂ）従来の光共振器の正面図
【図１０】折返しユニット部の断面図
【図１１】折返しユニット用の光軸視認用器具の断面図
【図１２】折返しユニットに光軸視認用器具を取付けた
状態を示す断面図
状態を示す断面図
【図１３】折返しユニットに光軸視認用器具を取付けた
状態を示す断面図
状態を示す断面図
１ 放電管 ６ 全反射鏡 ７ 部分反射鏡 １４ 光学ベンチ １５ａ〜１５ｃ 非調整式の固定具 １６ 調整可能な固定具 １７ 放電管側の固定具 １８ 折返しユニット １９ 固定側全反射鏡ユニット ２１ 光軸調整用全反射鏡ユニット ２２ 調整器 ２３ 全反射鏡取付け部 ２４ 部分反射鏡取付け部
Claims (2)
- 【請求項１】放電管を１本以上直列に並べた列を２列以
上配置し、それらの放電管列を放電管列の数に応じて１
個以上の折返しユニットで結合し、形成された光軸の両
端に部分反射鏡と全反射鏡を配置して光共振区間を形成
し、かつ前記放電管を固定するための固定具を各放電管
の両端および光学ベンチにそれぞれ設け、前記折返しユ
ニットに設けられた２組の全反射鏡ユニットの一方を微
調整のみ可能な固定側とし、他方に調整器を設けて光軸
調整用とし、さらに光共振区間の両端に設けた部分反射
鏡または全反射鏡のどちらかの反射鏡の取付け部を放電
管の軸合わせの調整基準とし、その調整基準とした反射
鏡取付け部に最も近い前記光学ベンチ側の固定具を非調
整式とし、次に調整基準とした反射鏡取付け部に４番目
に近い光学ベンチ側の固定具を非調整式とし、さらに調
整基準とした反射取付け部から４の倍数番目に近い光学
ベンチ側の固定具を非調整式とし、その他の光学ベンチ
側の固定具を調整可能な固定具としたガスレーザ発振装
置。 - 【請求項２】調整基準とした反射鏡取付け部に最も近い
固定具の中心と４番目に近い固定具の中心を結ぶ軸を光
軸の基準軸とし、この軸上にある全ての調整可能な固定
具の中心を前記基準軸に合わせて調整後固定し、次に折
返しユニット上の光軸調整用全反射鏡を調整して、調整
基準とした反射鏡取付け部から８番目に近い固定具に光
軸を合わせ、その後は同様にして光共振区間全域にわた
って折返しユニットの光軸調整用全反射鏡を調整して、
調整基準とした反射鏡取付け部から４の倍数番目に近い
固定具に光軸を合わせ、残りの調整可能な固定具の中心
を調整された光軸に合わせる請求項１記載のガスレーザ
発振装置の光軸調整方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2404183A JPH0666492B2 (ja) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | ガスレーザ発振装置およびその光軸調整方法 |
| DE69104815T DE69104815T2 (de) | 1990-12-20 | 1991-12-18 | Gaslaser-Oszillationsvorrichtung und Methode zur Justierung seiner optischen Achse. |
| EP91121680A EP0492385B1 (en) | 1990-12-20 | 1991-12-18 | Gas laser oscillation device and its optical axis alignment method |
| CA002057975A CA2057975C (en) | 1990-12-20 | 1991-12-18 | Gas laser oscillation device and its optical axis alignment method |
| US08/156,977 US5351265A (en) | 1990-12-20 | 1993-11-24 | Gas laser oscillation device and an optical axis alignment method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2404183A JPH0666492B2 (ja) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | ガスレーザ発振装置およびその光軸調整方法 |
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| JPH0666492B2 true JPH0666492B2 (ja) | 1994-08-24 |
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ID=18513878
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2404183A Expired - Lifetime JPH0666492B2 (ja) | 1990-12-20 | 1990-12-20 | ガスレーザ発振装置およびその光軸調整方法 |
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| EP (1) | EP0492385B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0666492B2 (ja) |
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| DE (1) | DE69104815T2 (ja) |
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| CN100423386C (zh) * | 2006-09-25 | 2008-10-01 | 周迅 | 连接式二氧化碳激光管 |
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| CN103928825B (zh) * | 2014-04-29 | 2018-04-10 | 成都微深科技有限公司 | 一种高强度二氧化碳激光器 |
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| JPS5986278A (ja) * | 1982-11-10 | 1984-05-18 | Hitachi Ltd | 高速軸流形ガスレ−ザ装置 |
| US4660209A (en) * | 1983-12-29 | 1987-04-21 | Amada Engineering & Service Co., Inc. | High speed axial flow type gas laser oscillator |
| US4680771A (en) * | 1985-12-31 | 1987-07-14 | Amada Engineering Service Co., Inc. | Mirror adjustment device in laser oscillator |
| US4646336A (en) * | 1986-01-08 | 1987-02-24 | Amada Engineering Service Co., Inc. | Laser generator |
| US4751720A (en) * | 1987-04-03 | 1988-06-14 | Spectra-Physics, Inc. | Cube corner polarizer |
| US4805072A (en) * | 1987-11-02 | 1989-02-14 | Trumpf Gmbh & Co. | Device for coupling HF energy to lasers |
| US4878227A (en) * | 1987-11-02 | 1989-10-31 | Frank Ackermann | Device for a modular power laser |
| DE3826979A1 (de) * | 1988-08-09 | 1990-02-15 | Messer Griesheim Gmbh | Resonator-struktur fuer gaslaser |
-
1990
- 1990-12-20 JP JP2404183A patent/JPH0666492B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-12-18 CA CA002057975A patent/CA2057975C/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-12-18 EP EP91121680A patent/EP0492385B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-18 DE DE69104815T patent/DE69104815T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-11-24 US US08/156,977 patent/US5351265A/en not_active Expired - Lifetime
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| EP0492385B1 (en) | 1994-10-26 |
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| DE69104815T2 (de) | 1995-06-01 |
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