DE69104815T2

DE69104815T2 - Gaslaser-Oszillationsvorrichtung und Methode zur Justierung seiner optischen Achse.

Info

Publication number: DE69104815T2
Application number: DE69104815T
Authority: DE
Inventors: Hitoshi Hongu
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1990-12-20
Filing date: 1991-12-18
Publication date: 1995-06-01
Anticipated expiration: 2011-12-19
Also published as: DE69104815D1; EP0492385B1; EP0492385A2; JPH0666492B2; US5351265A; EP0492385A3; CA2057975C; CA2057975A1; JPH04219988A

Description

Hintergrund der Erfindung

1. Gebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Gaslaser-Oszillationsvorrichtung, bei der die Achse einer jeden Entladungsröhre mit der Laserachse ausgerichtet ist. Die Erfindung betrifft insbesondere eine Gaslaser-Oszillationsvorrichtung und ein Verfahren zum Ausrichten ihrer optischen Achse, wobei die Gaslaser-Oszillationsvorrichtung einen optischen Resonanzbereich mit zwei oder mehr Reihen Entladungsröhren aufweist, die an ihren Biegestellen über eine Biegeeinheit verbunden sind, wobei jede Reihe von einer oder mehreren in Serie geschalteten Entladungsröhren gebildet wird und sich an einem Ende des optischen Resonanzbereichs ein teilreflektierender Spiegel und am anderen Ende des optischen Resonanzbereichs ein totalreflektierender Spiegel befindet.

2. Beschreibung des Standes der Technik

Fig. 8 veranschaulicht den grundlegenden Aufbau einer Gaslaser-Oszillationsvorrichtung. Mit 1 ist in Fig. 8 eine Entladungsröhre aus einem Dielektrikum, wie Glas und dergleichen, bezeichnet. Die Bezugszeichen 2 und 3 bezeichnen innerhalb der Entladungsröhre 1 angeordnete Metallelektroden. Mit den Elektroden 2 und 3 ist eine Hochspannungsquelle 4 verbunden. Die Spannungsquelle 4 liefert beispielsweise eine Spannung von 30 kV zwischen den Elektroden 2 und 3. Mit 5 ist ein Entladungsraum zwischen den Elektroden 2 und 3 in der Entladungsröhre 1 bezeichnet. Bezugszeichen 6 bezeichnet einen totalreflektierenden Spiegel und Bezugszeichen 7 einen teilreflektierenden Spiegel. Der auf einer Seite des Entladungsraums 5 angebrachte totalreflektierende Spiegel 6 und der teilreflektierende Spiegel 7 auf der anderen Seite des Entladungsraums 5 bilden einen optischen Resonator. Durch den teilreflektierenden Spiegel 7 wird ein Laserstrahl 8 geschickt. Pfeil 9 zeigt die Gasflußrichtung an. In der Laservorrichtung mit axialer Strömung zirkuliert Lasergas.
Mit 10 ist ein Gaszuführrohr bezeichnet. Die Wärmetauscher 11 und 12 bewirken eine Senkung der Lasergastemperatur, die infolge der Entladung im Entladungsraum 5 und des Betriebs eines Gasgebläses steigt. Das Gebläse 13 dient der Zirkulation des Lasergases. Das Gebläse 13 bewirkt eine Gasströmung von etwa 100 m/s im Entladungsraum 5.
Vorstehend wurde der grundsätzliche Aufbau der Lasergas-Oszillationsvorrichtung mit Axialströmung beschrieben. Nachfolgend wird die Betriebsweise beschrieben.
Mit der Hochspannungsquelle 4 wird eine Hochspannung an die zwei Metallelektroden 2 und 3 angelegt, wodurch es zur Glimmentladung im Entladungsraum 5 kommt. Das durch den Entladungsraum 5 hindurchtretende Lasergas erhält aus der Entladung Energie und wird damit angeregt. Das angeregte Lasergas wird in dem vom total reflektierenden Spiegel 6 und vom teilreflektierenden Spiegel 7 gebildeten optischen Resonator in einen Resonanzzustand versetzt. Der dabei entstehende Laserstrahl 8 wird durch den teilreflektierenden Spiegel 7 geschickt. Der Laserstrahl 8 wird dann zum Schweißen, zum Schneiden, zur Wärmebehandlung und für andere Arbeiten benutzt.
Fig. 9 ist eine Detailansicht eines herkömmlichen optischen Resonanzbereichs einer Gaslaser-Oszillationsvorrichtung. An einem optischen Resonator sind eine optische Bank 14, Klemmeinrichtungen 16 und 17, Entladungsröhren 1, eine Biegeeinheit 18, ein teilreflektierender Spiegel 7 und ein totalreflektierender Spiegel 6 befestigt. Alle Klemmeinrichtungen 16 sind justierbar. An dem optischen Resonator ist ferner ein Einsteller 22 befestigt, der die optische Achse durch Justierung von zwei auf der Biegeeinheit 18 angeordneten totalreflektierenden Spiegeln 21 ausrichtet. Genauer gesagt wird zunächst eine optische Referenzachse gebildet, und anschließend werden alle auf der Biegeeinheit angeordneten Klemmeinrichtungen 16 und total reflektierenden Spiegel justiert, so daß die optische Achse aller optischen Elemente mit der optischen Referenzachse übereinstimmt. Wie weiter unten unter Bezugnahme auf Fig. 5 beschrieben, hat der Sitz der Klemmeinrichtungen 16 in der optischen Bank 14 Spiel. Die Klemmeinrichtungen 16 sind justierbar, soweit dies durch das Spiel der Befestigungsschrauben (nicht abgebildet) in den dazugehörigen Löchern möglich ist. Wie in Fig. 3 gezeigt, sind die Klemmeinrichtungen 17 mit der Entladungsröhre 1 fest verbunden; somit werden die Klemmeinrichtungen 17 zusammen mit der Entladungsröhre 1 in die Klemmeinrichtungen 16 eingesetzt, nachdem diese justiert sind.
Nachfolgend wird beschrieben, wie die optische Achse herkömmlicherweise justiert wird. In Fig. 6 sind mit Bezugszeichen 25 und in Fig. 11 mit Bezugszeichen 26 Instrumente bezeichnet, die zur optischen Kontrolle des Verlaufs der optischen Achse verwendet werden; sie sind aus durchsichtigem Material und haben in der Mitte je eine Bohrung 27a bzw. 27b mit einem Durchmesser zwischen 0,5 und 1 mm. Ahnlich wie in Fig. 7 dargestellt, kann das Instrument 25 auf der Klemmeinrichtung 24 am Befestigungsende des teilreflektierenden Spiegels 7 montiert werden. Sowohl zwischen dem Instrument 25 und der Klemmeinrichtung 24 als auch zwischen der Klemmeinrichtung und der optischen Bank 14 ist die Paßgenauigkeit weitaus besser als ein normalerweise als zulässig angesehener Ausrichtungsfehler der optischen Achse. Wie in Fig. 12 gezeigt, wird das Instrument 26 in eine Öffnung (31 in Fig. 10) eingesetzt, die offenbleibt, wenn die Einfallsseite des totalreflektierenden Spiegels (28 in Fig. 10) der Biegeeinheit 18 entfernt wird. Das Instrument 26 wird ebenso wie das Instrument 25 in die Öffnung 31 eingesetzt, wobei die Spielpassung weitaus besser ist als ein normalerweise als zulässig angesehener Ausrichtungsfehler der optischen Achse. Bei der vorbeschriebenen Einstellung wird ein Helium-Neon-Laserstrahl (nachfolgend nur als "Laserstrahl" bezeichnet) beispielsweise auf die Öffnung 27a in der Mitte des auf der Klemmeinrichtung 24 angebrachten Instruments 25 gerichtet. Das Helium-Neon-Lasergerät wird so justiert, daß der Laserstrahl durch die Öffnung 27b in der Mitte des Instruments 26 hindurchtritt. Sowohl in Fig. 12 als auch in Fig. 13 ist mit 34 der Laserstrahl bezeichnet. Da die Instrumente 25 und 26 aus durchsichtigem Material bestehen, bildet der Laserstrahl auf den Instrumenten einen Lichtfleck, wenn er nicht durch die Öffnungen hindurchtritt. Mit Hilfe dieses Lichtflecks kann die Position der Strahlachse optisch lokalisiert werden. Nachdem sichergestellt ist, daß der Laserstrahl sowohl durch die Mittelöffnung 27a des auf der Klemmeinrichtung 24 angebrachten Instruments 25 als auch durch die Mittelöffnung 27b des Instruments 26 hinduchtritt, wird - wie in Fig. 7 gezeigt - ein weiteres Instrument 25 auf einer der Klemmeinrichtungen 16 zwischen dem ersten Instrument 25 und dem Instrument 26 angebracht. Die Klemmeinrichtung 16 wird dann justiert und fixiert, so daß der bereits gebildete Laserstrahl durch die Mittelöffnung 27a des Instruments 16 hindurchtritt. Dieser Schritt wird so lange wiederholt, bis alle Klemmeinrichtungen 16 justiert sind. Wenn alle Klemmeinrichtungen 16 justiert sind, wird das Instrument 26 von Fig. 12 entfernt und in eine nächste Öffnung (32 in Fig. 10) eingesetzt, wie in Fig. 13 gezeigt. Dann wird der total reflektierende Spiegel 28 mit den in Fig. 9 gezeigten Stellschrauben 22 auf den richtigen Winkel eingestellt, so daß der Laserstrahl durch die Mittelöffnung 27b des Instruments 26 hindurchtritt. Mit 21 ist eine totalreflektierende Spiegeleinheit mit einem totalreflektierenden Spiegel 28 bezeichnet. Anschließend wird das Instrument 26 aus der Öffnung 32 entfernt und das Instrument 25 auf eine Klemmeinrichtung 23 (Fig. 9) am Ende des optischen Resonators gesetzt, nachdem der totalreflektierende Spiegel 6 entfernt worden ist. Sowohl zwischen dem Instrument 25 und der Klemmeinrichtung 23 als auch zwischen der Klemmeinrichtung 23 und der optischen Bank ist die Paßgenauigkeit weitaus besser als ein normalerweise für zulässig angesehener Ausrichtungsfehler der optischen Achse. Nachdem der totalreflektierende Spiegel 29 auf der Biegeeinheit 18 montiert ist, wird er mit einer Stellschraube 22 in den richtigen Winkel gebracht, so daß der Laserstrahl durch die Mittelöffnung 27a des Instruments 25 hindurchtritt. Dann wird ein weiteres Instrument 25 auf einer der Klemmvorrichtungen 16, die zwischen der Biegeeinheit 18 und der Klemmeinrichtung 23 angeordnet sind, angebracht und diese Klemmvorrichtung 16 justiert und fixiert, so daß der Laserstrahl durch die Mittelöffnung 27a des Instruments 25 hindurchtritt. Jede der Klemmvorrichtungen 16 sollte wie vorstehend justiert werden. Damit wird die Ausrichtung der optischen Achse im gesamten optischen Resonanzbereich zum Abschluß gebracht. Wenn drei oder mehr Entladungsröhren in Reihe geschaltet sind, ist eine weitere Justierung zwischen der Biegeeinheit und dem total reflektierenden Spiegel am Ende des optischen Resonanzbereichs erforderlich.
Beim vorerwähnten Stand der Technik ist die Ausrichtung der optischen Achse kompliziert und erfordert eine große Fertigkeit und damit viel Zeit. Die Bearbeitungsgenauigkeit der optischen Bank und anderer Bauteile wurde mit dem Ziel verbessert, die Ausrichtung der optischen Achse innerhalb kürzerer Zeit zu ermöglichen. Dieser Versuch erbrachte keine befriedigenden Ergebnisse. Eine höhere Bearbeitungsgenauigkeit ist mit höheren Kosten verbunden. Außerdem ergeben sich sogar bei sehr genauen Bauteilen insgesamt kumulative Fehler, wodurch es zu einer Fehlausrichtung der optischen Achse kommt, die ein solches Ausmaß erreichen kann, daß eine Justierung unmöglich ist.

Zusammenfassung der Erfindung

Eine wesentliche Aufgabe der Erfindung ist es somit, eine Gaslaser-Oszillationsvorrichtung und ein Verfahren zur Justierung der optischen Achse zur Verfügung zu stellen, bei denen die Bearbeitungskosten auf ein Minimum reduziert sind, der Zeitaufwand für die Justierung wesentlich geringer ist und für die Justierung keine besonderen Fertigkeiten erforderlich sind.
Diese und weitere Aufgaben werden mit der Erfindung dadurch gelöst, daß eine Gaslaser-Oszillationseinrichtung nach Anspruch 1 und ein Verfahren zum Ausrichten der optischen Achse dieser Vorrichtung nach Anspruch 4 zur Verfugung gestellt werden.
Bei der vorgenannten Einrichtung können durch Verwendung einer Mindestanzahl von Klemmeinrichtungen, die wegen ihrer großen Bearbeitungsgenauigkeit nicht justiert werden müssen, und Bereitstellung eines totalreflektierenden Spiegels auf einer Seite der Biegeeinheit, der im Prinzip nicht justiert werden muß, Zwischen-Klemmeinrichtungen entsprechend der optischen Referenzachse justiert werden, die vorab auf den justierfreien Klemmeinrichtungen mit einem Laserstrahl, beispielsweise einem Helium-Neon-Laserstrahl, zur Justierung der optischen Achse gebildet wird. Dabei sind für die Justierung der optischen Achse keine besonderen Fertigkeiten erforderlich, so daß die für die Justierung erforderliche Zeit wesentlich verkürzt ist. Außerdem ist der Anteil an Präzisionsbauteilen gegenüber den Standardbauteilen gering, so daß auch ein Anstieg der Bearbeitungskosten gering gehalten wird.
Die Erfindung ermöglicht eine Festlegung von Kriterien für die Justierung der optischen Achse sowie die Ausführung der Ausrichtung, ohne daß die totalreflektierenden Spiegel der Biegeeinheiten entfernt werden müßten. Somit sind keine besonderen Justierungsfertigkeiten erforderlich, und die für die Justierung erforderliche Zeit ist wesentlich kürzer. Da außerdem die Anzahl der Präzisionsbauteile so gering wie möglich gehalten wird, werden die Gesamtkosten gesenkt. Da die Justierungsgenauigkeit der optischen Achse von der Bearbeitungsgenauigkeit der Bauteile abhängt, braucht man sich keine Sorge wegen einer etwaigen fehljustierung aufgrund kumulativer Bearbeitungsfehler zu machen.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Diese und weitere Aufgaben und Merkmale der Erfindung werden aus der nachfolgenden Beschreibung anhand der bevorzugten Ausführungsform und unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen ersichtlich; es zeigen:
Fig. 1A: eine Draufsicht eines optischen Resonators einer erfindungsgemässen Gaslaser-Oszillationsvorrichtung;
Fig. 1B: eine Vorderansicht des optischen Resonators der erfindungsgemäßen Gaslaser-Oszillationsvorrichtung;
Fig. 2A: eine Draufsicht des optischen Resonators zur Veranschaulichung der Justierung der optischen Achse;
Fig. 2B: eine Vorderansicht des optischen Resonators zur Veranschaulichung der Justierung der optischen Achse;
Fig. 3: eine Entladungsröhre;
Fig. 4: die Paßgenauigkeit, mit der eine nichtverstellbare Klemmeinrichtung in die Montageöffnung eingesetzt wird;
Fig. 5: die Paßgenauigkeit, mit der eine verstellbare Klemmeinrichtung in die Montageöffnung eingesetzt wird;
Fig. 6: einen Querschnitt durch ein Instrument zur optischen Kontrolle der optischen Achse;
Fig. 7: das auf einer Klemmeinrichtung montierte Instrument zur optischen Kontrolle;
Fig. 8: das Prinzip des Aufbaus der Gaslaser-Oszillationsvorrichtung;
Fig. 9A: eine Draufsicht eines herkömmlichen optischen Resonators;
Fig. 9B: eine Vorderansicht eines herkömmlichen optischen Resonators;
Fig. 10: einen Querschnitt einer Biegeeinheit;
Fig. 11: einen Querschnitt durch ein Instrument zur optischen Kontrolle für die Biegeeinheit;
Fig. 12: einen Querschnitt, der zeigt, wie das Instrument zur optischen Kontrolle in die Biegeeinheit eingesetzt wird;
Fig. 13: einen Querschnitt, der zeigt, wie das Instrument zur optischen Kontrolle in die Biegeeinheit eingesetzt wird.

Ausführliche Beschreibung der Erfindung

In den beigefügten Zeichnungen sind gleiche Teile jeweils mit demselben Bezugszeichen versehen.
In Fig. 1 ist mit 1 eine Entladungsröhre bezeichnet. Mit 6 ist ein totalreflektierender Spiegel an einem Ende des optischen Resonanzbereichs bezeichnet; ein teilreflektierender Spiegel am anderen Ende des optischen Resonanzbereichs ist mit 7 bezeichnet. 14 bezeichnet eine optische Bank. Mit 15a bis 15c sind Präzisions-Klemmeinrichtungen bezeichnet und mit 16 Klemmeinrichtungen, die in herkömmlicher Weise justiert werden müssen. Mit 17 sind Klemmeinrichtungen bezeichnet, die an den Entladungsröhren 1 befestigt sind. 18 bezeichnet eine Biegeeinheit. 19 bezeichnet eine feststehende Totalreflexions-Spiegeleinheit mit einem totalreflektierenden Spiegel, der fixiert ist, jedoch nachjustiert werden kann. Mit 20 ist eine Stellschraube zur Feineinstellung des feststehenden totalreflektierenden Spiegels bezeichnet. Mit 21 ist eine bewegliche Totalreflexions-Spiegeleinheit mit verstellbarem totalreflektierendem Spiegel bezeichnet. Mit 23 ist eine Klemmeinrichtung bezeichnet, die den totalreflektierenden Spiegel 6 an einem Ende des optischen Resonanzbereichs fixiert. Mit 24 ist eine Klemmeinrichtung bezeichnet, die den teilreflektierenden Spiegel 7 am anderen Ende des optischen Resonanzbereichs fixiert.
Von den erwähnten Bauteilen sind die Klemmeinrichtungen 15a, 15b und 15c mit einer Spielpassung an der optischen Bank 14 befestigt, deren Genauigkeit weitaus besser ist als ein normalerweise als zulässig angesehener Ausrichtungsfehler der optischen Achse, so daß diese Klemmeinrichtungen nicht justiert werden müssen. Da die feststehende Totalreflexions-Spiegeleinheit 19 der Biegeeinheit 18 vorab mit einem Werkzeug ganz präzise montiert worden ist, ist im Grunde keine Justierung mehr erforderlich, sobald die feststehende Totalreflexions-Spiegeleinheit 19 an der Biegeeinheit 18 montiert ist. An der feststehenden Totalreflexions-Spiegeleinheit 19 ist lediglich für den Fall, daß ein Ausrichtungsfehler in der optischen Achse nicht vollständig mit der verstellbaren Totalreflexions- Spiegeleinheit 21 korrigiert werden kann, eine Schraube zur Feinjustierung vorgesehen.
Anschließend wird die Justierung beschrieben. Wie beim bereits erwähnten Stand der Technik sind Klemmeinrichtungen 17 an einer Entladungsröhre 1 befestigt. Fig. 2 zeigt den optischen Resonator von Fig. 1, jedoch ohne den in Fig. 3 gezeigten Entladungsröhrenbereich und den teilreflektierenden Spiegel 7 an einem Ende des optischen Resonators. Die Justierung der optischen Achse wird an dem in Fig. 2 gezeigten Aufbau vorgenommen.
An der dem teilreflektierenden Spiegel 7 nächstgelegenen Klemmeinrichtung, d.h. der Klemmeinrichtung 15a, wird, wie in Fig. 7 gezeigt, ein Instrument 25 montiert, und ein weiteres Instrument 25 wird an der vierten Klemmeinrichtung vom teilreflektierenden Spiegel 7 aus, d.h. an der Klemmeinrichtung 15b, montiert. Auf dieselbe Weise wie beim Stand der Technik wird ein Laserstrahl auf das Instrument 25 auf der Seite des teilreflektierenden Spiegels gerichtet. Die Lasereinrichtung für die Justierung der optischen Achse, beispielsweise eine Helium-Neon-Lasereinrichtung, wird so aufgebaut, daß der Laserstrahl jeweils durch die Mittelöffnung 27a beider Instrumente 25 hindurchtritt. Die durch die Mittelöffnung der Klemmeinrichtungen 15a und 15b führende Achse wird anschließend als optische Referenzachse verwendet. Nachdem ein weiteres Instrument 25 auf einer der Klemmeinrichtungen 16, die entlang der optischen Bezugsachse zwischen der Klemmeinrichtung 15a und der Klemmeinrichtung 15b angeordnet sind, montiert ist, wird diese Klemmeinrichtung 16 so justiert, daß der Laserstrahl durch die Mittelöffnung 27a des Instruments 25 hindurchtritt. Jede der Klemmeinrichtungen 16, die entlang der optischen Referenzachse zwischen der Klemmeinrichtung 15a und der Klemmeinrichtung 15b angeordnet sind, wird wie vorstehend beschrieben justiert. Sodann wird ein Instrument 25 auf der achten Klemmeinrichtung, d.h. der Klemmeinrichtung 15c, montiert. Der verstellbare totalreflektierende Spiegel 21 an der Biegeeinheit 18 wird mit der Stellschraube 22 so justiert, daß der Laserstrahl durch die Mittelöffnung 27a des auf der Klemmeinrichtung 15c montierten Instruments 25 hindurchtritt. Durch die vorstehende Justierung wird es ermöglicht, daß der durch den Montageteil des teilreflektierenden Spiegels 7 geschickte Laserstrahl auf dem totalreflektierenden Spiegel 6 am anderen Ende des optischen Resonators auftrifft. Mit der Justierung der übrigen Klemmeinrichtungen 16 wird die Justierung der optischen Achse zum Abschluß gebracht. Durch Einsetzen der Entladungsröhrenelemente nach Fig. 3 in die Klemmeinrichtungen wird der optische Resonator komplettiert.
Wenn drei oder mehr Reihen von Entladungsröhren zusammengeschlossen sind, wobei jede Reihe zwei in Reihe geschaltete Entladungsröhren aufweist, wird die optische Referenzachse der justierbaren totalreflektierenden Spiegel einer zweiten Biegeeinheit und einer dritten Biegeeinheit dadurch eingerichtet, daß ein Laserstrahl vom Mittelpunkt der dem teilreflektierenden Spiegel nächstgelegenen Klemmeinrichtung auf den Mittelpunkt der vierten Klemmvorrichtung vom teilreflektierenden Spiegel aus gerichtet wird, und anschließend wird jede dazwischenliegende Klemmeinrichtung 16 so justiert, daß der Laserstrahl glatt hindurchtritt.
In obiger Beschreibung wird die optische Achse dadurch justiert, daß die beim teilreflektierenden Spiegel des optischen Resonators gelegene Klemmeinrichtung als Referenz genommen wird und durch diese Klemmeinrichtung ein Laserstrahl hindurchgeschickt wird. Als Referenz kann jedoch auch eine Klemmeinrichtung genommen werden, die beim total reflektierenden Spiegel angeordnet ist. Bei einem solchen Aufbau kann sowohl in Fig. 1 als auch in Fig. 2 der teilreflektierende Spiegel mit 6 und der totalreflektierende Spiegel mit 7 bezeichnet sein.

Claims

1. Gaslaser-Oszillationseinrichtung, aufweisend

m Reihen von in Serie miteinander verbundenen Entladungsröhren (1), wobei m 2 oder größer ist, wobei jede Reihe eine natürliche Anzahl n von Entladungsröhren (1) umfaßt, die in Serie miteinander verbunden sind, wobei an jedem Ende jeder benachbarten Serie von Entladungsröhren Klemmeinrichtungen (15a, 15b, 15c und 16) angeordnet sind, um die Serie von Entladungsröhren (1) auf einer optischen Bank (14) zu befestigen;

mindestens eine auf der optischen Bank (14) angeordnete Biegeeinheit (18) zum Verbinden der Reihen von Entladungsröhren in Serie miteinander, wobei die Biegeeinheit (18) ein Paar totalreflektierender Spiegeleinheiten (19, 21) aufweist, wobei eine nicht bewegbare totalreflektierende Spiegeleinheit (19) im wesentlichen mit der Biegeeinheit (18) befestigt ist und die andere, justierbare totalreflektierende Einheit (21) auf der Biegeeinheit (18) bewegbar montiert ist, wobei die Biegeeinheit zum Falten der optischen Achse der Einrichtung von einer Reihe von Entladungsröhren zur nächsten Reihe von Entladungsröhren dient; und

einen totalreflektierenden Spiegel (6), der an einem Ende des optischen Systems angeordnet ist, welches aus allen Reihen von Entladungsröhren aufgebaut ist, die durch die Biegeeinheit (18) in Serie miteinander verbunden sind, und einen partiellreflektierenden Spiegel (7), der am anderen Ende des optischen Systems angeordnet ist;

wobei eine erste Klemmeinrichtung (15a) dem totalreflektierenden Spiegel (6) oder dem partiellreflektierenden Spiegel (7) nächstgelegen ist und die anderen Klemmeinrichtungen (15b, 15c), die die 2 x nte Klemmeinrichtung und eine Klemmeinrichtung 2 n multipliziert mit einer ganzen Zahl nach der ersten Klemmeinrichtung (15a) entlang der optischen Achse darstellen, im wesentlichen unbeweglich auf der optischen Bank (14) befestigt sind; und wobei die restlichen Klemmeinrichtungen (16), die bewegbare Klemmeinrichtungen darstellen, auf der optischen Bank (14) befestigt sind.

2. Gaslaser-Oszillationseinrichtung nach Anspruch 1, wobei die nicht bewegbaren Klemmeinrichtungen (15a, 15b und 15c) auf der optischen Bank (14) mit einer Spielpassung fixiert sind, deren Genauigkeit wesentlich besser ist als das Ausmaß einer als hinnehmbar betrachteten Fehlanpassung der optischen Achse.

3. Gaslaser-Oszillationseinrichtung nach Anspruch 1, wobei die nicht bewegbare totalreflektierende Spiegeleinheit (19) mit der Biegeeinheit (18) so verbunden ist, daß noch eine Feinjustage wirksam ist.

4. Verfahren zur Ausrichtung einer optischen Achse zum Ausrichten der optischen Achse der Gaslaser-Oszillationseinrichtung von Anspruch 1, wobei das Verfahren die Schritte umfaßt:

a) Fixieren der bewegbaren Klemmeinrichtungen (16), die entlang einer optischen Bezugsachse vorhanden sind, die durch den Mittelpunkt der ersten, nicht bewegbaren Klemmeinrichtung (15a) und den Mittelpunkt der zweiten, nicht bewegbaren Klemmeinrichtung (15b) läuft, auf der optischen Bank (14) auf eine Art und Weise, daß alle Mittelpunkte der bewegbaren Klemmeinrichtungen (16) mit der optischen Bezugsachse ausgerichtet sind, wobei durch die Reihen von Entladungsröhren (1) eine optische Resonanzzone gebildet wird, wobei jede Reihe n in Serie miteinander verbundene Entladungsröhren (1) umfaßt, wobei die Klemmeinrichtungen (15a, 15b, 15c und 16) an jedem Ende der Entladungsröhren angeordnet sind, um sie mit der optischen Bank (14) zu verbinden, und wobei die erste, nicht bewegbare Klemmeinrichtung (15a) dem total reflektierenden Spiegel (6) an einem Ende der optischen Resonanzzone oder dem partiellreflektierenden Spiegel (7) am anderen Ende der optischen Resonanzzone nächstgelegen ist, und wobei die zweite, nicht bewegbare Klemmeinrichtung (15b) eine 2 x nte Klemmeinrichtung nach der ersten, nicht bewegbaren Klemmeinrichtung (15a) ist;

b) Erweitern der optischen Bezugsachse durch Ausrichten der optischen Bezugsachse mit einem Mittelpunkt der nächstgelegenen, nicht bewegbaren Klemmeinrichtung (15c), die eine Klemmeinrichtung 2 n multipliziert mit einer ganzen Zahl entlang der optischen Bezugsachse darstellt, durch Justieren lediglich der bewegbaren, totalreflektierenden Spiegeleinheit (21) außerhalb der zwei totalreflektierenden Spiegeleinheiten (19, 21) auf der korrespondierenden Biegeeinheit (18);

c) Fixieren der bewegbaren Klemmeinrichtungen (16), die entlang der erweiterten optischen Bezugsachse vorhanden sind, auf der optischen Bank (14) auf eine Art und Weise, daß alle Mittelpunkte der bewegbaren Klemmeinrichtungen (16) mit der erweiterten optischen Achse ausgerichtet sind; und

d) Wiederholen der obigen Schritte b und c, bis die letzte Reihe von Entladungsröhren justiert ist.