JPH0230448A

JPH0230448A - 電磁チャック用消磁装置

Info

Publication number: JPH0230448A
Application number: JP18130788A
Authority: JP
Inventors: Naoharu Ikehara; 池原　尚治; Kan Fukushima; 福島　貫; Hiroshi Iwasaki; 弘岩崎
Original assignee: FUJI JIKOU KK; Fuji Kiko Co Ltd
Current assignee: FUJI JIKOU KK; JTEKT Column Systems Corp
Priority date: 1988-07-20
Filing date: 1988-07-20
Publication date: 1990-01-31
Anticipated expiration: 2009-12-21
Also published as: JPH06104289B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はワーク等を保持するだめの電磁チャッりに用い
られる消磁装置に関するものである。

（従来の技術）電磁チャックは、電磁力を利用してワークを保持し、ワ
ークに傷を付けずにすむというメリットかあるため、機
械加工を行う際に広く用いられる。

しかし、反面、ワークか磁化されてしまうため、ワーク
に残留磁気が生ずるというデメリットがある。この残留
磁気は、チャックからの円滑な取外し作業を困難にし、
また、その後の工程に悪影響を及ぼすので、機械加工終
了時にはワークに対して消磁を行う必要かある。そして
、この消磁は、ワークを保持した状態のチャックに対し
、減衰交番磁界を印加することにより行なわれる。

このような減衰交番磁界をチャックに発生させる方式の
ひとつとして、いわゆる電圧制御方式と呼ばれるものか
ある。すなわち、第１０図（ａ）の波形図に示すように
、一定時間たとえばＴ秒毎に、チャックの励磁コイルに
印加される電圧の極性を反転させ、しかも、その電圧値
を反転毎に小さくして、減衰交番磁界を発生させるため
の電流を得ようとするものである。なお、図中ｔは極性
反転時のサージ電圧を抑制したり回路中のトランジスタ
の動作遅れに起因するショート電流を防止するためのオ
フ時間である。

ところが、このような電圧制御方式にあっては、入力電
圧を減少させる方式であるため、電圧が低い場合電流の
立上り時間か遅くなり、常に同じ励磁時間を必要とする
。そして、その分だけ消磁時間が増大する結果となって
いる。

ここで、例えばＴ＝１〜２秒、反転回数ｎを１０〜２０
回とすると、消磁時間は１０〜４０秒となり、最大消磁
時間は約４０秒の大きな値となる。連続する機械加工工
程の途中に、このように長い消磁のための時間を要する
ことは生産効率の向」二を阻害する大きな要因となる。

つまり、電圧制御方式は、消磁時間を適当に設定すれば
、ワクの保持状態及びチャックの容量の如何にかかわら
ず安定した消磁性能を発揮できるという長所を有する反
面、消磁時間を一定以上短縮することか難しいという欠
点を有している。

そこで、近時は上記の電圧制御方式に代わり、時間制御
方式と呼ばれる消磁方式か多く行なわれる傾向かある。

これは、電流１、電圧Ｖ１励磁コイルの抵抗Ｒの間に近
似的に、 ■ α　ｔｉ＝−（］−ｅ）の関係かあることから、電圧■の値を一定にした状態で
、電圧の極性か反転する毎に、その電圧印力旧１方間を
短くしていこうとするものである。なお、」二記関係式
において、αは時定数であり、α−Ｌ／Ｒ（Ｌ・励磁コ
イルのインダクタンス）で示されるものである。通常、
このαの値は、０．１〜１秒程度のものである。

第１０図（ｂ）は、このような時間制御方式により得ら
れる電流の特性図である。励磁コイルに対する電圧印加
時間Ｔ　　・・・、Ｔ４．・が漸次類１　″ くなっているため、電流の値も徐々に小さくなっている
ことかわかる。

（発明か解決しようとする課題）上述した消磁装置の動作により、一定時間内にワークの
消磁を終えることができ、第１０図（ｂ）に示すような
特性を得ることができる。

しかし、このような時間制御方式の消磁の場合、消磁時
間の短縮を図ることは可能になったものの、時定数のバ
ラツキに起因して、消磁性能か大きく変化してしまうと
いう別の問題がある。

例えば、第１０図（ｂ）において、３回目の反転（Ｔ３
）では、時定数が小のとき、適度のとき、大のときのそ
れぞれの電流はｉａ、ｉｂ、ｉｏとなり、大きな差を有
するものとなっている。そして、時定数のバラツキは、
チャックがワークが小さい状態とワークが大きい状態と
では、数倍以上になることもあるため、電流の差は一層
大きなものとなる場合がある。

そのため、機械加工終了時のワークの消磁作業を完全に
行うことができず、チャックからのワクの円滑な取外し
を阻害するおそれ、あるいは、残留磁気か後工程に悪影
響を与えるおそれがあったのである。

本発明はかかる事情に鑑みなされたものであり、その目
的は、消磁を行う場合に、時定数のバラツキにかかわら
す、常に安定した消磁性能を発揮することか可能な電磁
チャック用消磁装置を提供することにある。

（課題を解決するための手段）本発明は、上記課題を解決するため、チャックに供給さ
れる電流の電流値を検出する電流検出回路と、極性のそ
れぞれの反転毎に供給されるべき電流について次第に小
さくなる設定値信号を出力する電流設定回路と、この検
出による検出信号と設定値信号とか一致したときに、極
性が反転されるようスイッチング回路の制御を行う極性
反転回路とを備え、スイッチング回路を介して電磁チャ
ックに通電を行うような構成としである。

（作　用）上記構成において、ワークの消磁を行うときは、電流設
定値回路が、極性のそれぞれの反転毎ｊ′″供給される
べき電流について次第に小さくなる設定値信号を出力す
る。そして、チャックに実際に供給されている電流を電
流検出回路が検出し、その検出値のレベルと設定値のレ
ベルとが等しくなった時点で極性反転回路が働き、極性
か反転されるようにスイッチング回路を制御する。

したがって、たとえ時定数がバラついていたとしても、
検出値と設定値とが一致するまでは極性か反転すること
はなく、極性のそれぞれの反転毎について一定した電流
を得ることができる。換言すれば、時定数の変動分に対
応してそれぞれの反転毎の励磁時間を自動的に調整し、
これにより安定した消磁性能を発揮し得るようになる。

（実施例）以下、本発明の実施例を第１図乃至第６図に基づき説明
する。

第１図は本発明に係る消磁装置における主回路の一例を
示す回路構成図である。この図において、ｌａ、ｌｂは
入力端子、２は入力端子ｌａ、ｌｂからの支流入力を直
流に変換する整流回路、３は整流回路２からの直流をス
イッチング動作により任意の平均値の出力として出力す
るスイッチング回路、４ａ、４ｂはスイッチング回路３
の出力を取出す出力端子、５は出力端子４ａ、４ｂから
の出力か与えられるチャック、６はスイッチング回路３
におけるトランジスタＴｒｌ’　　Ｔｒ２’　　Ｔｒ３
およびＴｒ４をオンオフ制御する制御回路、７はザーシ
吸収回路、８は電流検出用抵抗ＲＤを含む電流検出回路
である。

入力端子１ａ、、ｌｂに供給される交流電力は、ダイオ
ードＤＪ、Ｄ２．Ｄ３．Ｄ４をブリッジに接続した整流
回路２に与えられ、ここで全波整流されてザーシ吸収回
路に与えられる。さらに、直流電力はｎｐｎ　トランジ
スタ（以下「トランジスタ」という）Ｔｒｌ’　　Ｔｒ
２’　　Ｔｒ３’　　Ｔｒ４をブリッジ接続したスイッ
チング回路３に与えられる。これらトランジスタＴｒｌ
’　　Ｔｒ２’　Ｔｒ３’　　Ｔｒ４にはそれぞれ逆並
列にダイオードＤ５．Ｄ６．Ｄ７．Ｄ８か接続され、ト
ランジスタＴｒｌのコレクタ端子及びトランジスタＴｒ
２のエミッタ端子は出力端子４ａ４ｂに接続される。出
力端子４ａ、４ｂにはチャック５か接続される。交流電
力は制御回路６にも与えられ、制御回路６は抵抗ＲＤの
両端の電位差によってチャック通電電流を検出し、また
外部入力で指定された動作モードに従ってトランジスタ
Ｔｒｌ〜Ｔｒ４をドライブするようになっている。

上記のように構成される消磁装置の動作を説明すると、
まず、正励磁の状態ではトランジスタＴＴ　　か時間Ｔ
１だけＯＮＬ、電流はトランｒｉ’　　　　ｒ４ジスタＴｒｌから出力端子４ａ、チャック５及び出力端
子４ｂを介してトランジスタＴｒ４に流れる。

励磁を止めるときは、トランジスタＴｒｌ・Ｔｒ２をオ
フし次の逆励磁に備える。

逆励磁の状態では、トランジスタＴｒ２’　Ｔｒ３につ
いて上記と同様の動作をさせる。そして、以後の正励磁
及び逆励磁において、トランジスタＴｒｌ’Ｔｒ４及び
トランジスタＴｒ２’　　Ｔｒ３のＯＮ時間Ｔ２゜Ｔ３
．Ｔ４．・・・が漸次短くなるように制御回路６によっ
て制御される。

チャック５の励磁コイルに供給される電流は、正励磁、
逆励磁いずれの場合においても抵抗ＲＤを同一方向に流
れるため、この抵抗ＲＤにおける電圧降下分が消磁のた
めの電流として検出されることになる。そして、抵抗Ｒ
Ｄにおける電圧降下分ずなイつぢｅｌ、ｅ２間の電圧は
、制御回路６に送られる。

第２図はその制御回路の構成を示す回路図である。この
図及び第１図を参照しつつ、チャック５を流れる電流の
極性の反転動作につき説明する。

まず、当初はスイッチング回路３内のトランジスタＴｒ
２’　”　ｒ３のみかオンの状態となってチャック５か
ワークを保持しているものとする。そして、この状態で
機械加工が終了し、ワークの消磁を行うべく、作業員が
図示を省略しである消磁ボタンを押す。

すると、モード信号発生回路９からドライバ回路１０に
出力信号か発せられ（極性反転回路１５等に発してもよ
い）、出力端子ｂ　Ｉ　、　　ｂ　２及びＣの出力がＬ
となり、出力端子ａ１．ａ２及びｄの出力がＨとなる。

すなわち、それまでオンになっていたトランジスタＴｒ
２’　　Ｔｒ３がオフ、トランジスタＴｒｌ’　Ｔｒ４
がオンとなって消磁動作か開始される。

また、電流設定回路１２にもモード信号発生回路９から
の信号が入力される。これにより、電流設定回路１２は
、第１回口の反転時にチャック５へ供給されるべき電流
についての設定値信号を出力する。

一方、電流検出回路８は、トランジスタＴ１．１Ｔｒ４
のオンによる第１回目の反転時の電流を検出し、その検
出信号を検出電流増幅回路］３に出力する。そして、検
出電流増幅回路１３は、この入力された検出信号を比較
判定回路１４に出力する。

比較判定回路１４には、既に、電流設定回路］２からの
設定値信号が入力されている。そして、検出電流増幅回
路１３からの検出信号のレベルか増加し、設定値信号と
一致したときに、比較判定回路１４から反転指令信号が
極性反転回路１５に向けて発せられる。すると、極性反
転回路１５は反転信号をドライバ回路１０に出力する。

これにより、ドライバ回路］Ｏは、それまてＬとなって
いた出力端子ｂ　１．　、　　ｂ　２及びＣをＨにする
と共に、Ｈとなっていた出力端子ａ１．．ａ２及びｄを
Ｌとし、第２回目の反転動作に入る。このとき、極性反
転回路１５からは反転報告信号かモード信号発生回路９
に出力される。これによりモード信号発生回路９は、第
２回目の反転時に供給されるべき電流についての設定値
信号を、電流設定回路］２に向けて出力する。以後、こ
のような反転動作が複数回繰り返され、電流かほぼセロ
になった時点で終了信号か電流設定回路１２からモード
信号発生回路９に向けて発せられる。これによって、消
磁動作か終了したことになる。

上記のような、電流制御方式の消磁にあっては、たとえ
時定数にバラツキか生じたとしても、電流か設定値のレ
ベルに達するまでは反転動作を行なわないため、常に安
定１．た消磁性能を発揮し得ることになる。もっとも、
時定数のバラツキにより消磁時間が変動することになる
が、この変動分は消磁性能を一定に保つうえて必要最小
限の変動となっており、効率的な消磁動作が行なわれて
いることに変りはない。

なお、第１図において、電流検出回路８は、チャック５
の付近ではなく、整流回路２とスイッチング回路３との
間に設けられているため、抵抗Ｒ０を流れる電流の方向
か同一となり、検出電流増幅回路１３について、オフセ
ットによる検出電圧のかたよりを防止できる。

次に、第２図における電流設定回路１２についてより具
体的に説明する。この電流設定回路には、電流の極性の
反転回数を設定することが可能な反転回数設定型のもの
と、消磁開始から消磁終了までの消磁時間を設定するこ
とが可能な消磁時間設定型のものとがある。

まず、反転回数設定型電流設定回路１２Ａを用いた例を
第３図に基づき説明する。この電流設定回路１２Ａは、
それぞれの反転毎に供給されるべき電流の値が記憶され
たＲＯＭｌ６と、ＲＯＭ１６から出力されるデジタル量
をアナログ量に変換して比較判定回路１４に出力するＤ
／Ａコンパ−夕］７と、設定された回数たけ反転された
ことを条件に消磁終了信号を出力するゲート回路］８と
から構成されている。なお、チャック５がワクを保持し
ている状態では、ＲＯＭ１．６の設定値Ｓ　かＤ／Ａコ
ンバーター７を介して比較判定口路１４に入力され、ト
ランジスタＴｒ２’　　Ｔｒ３かオンになっているもの
とする。また、比較判定回路］−４の前段側に接続され
ている抵抗Ｒ、コンテンサＣの積分回路は、ＲＯＭ１６
の番地切換時にＤ／Ａコンバータ１７の出力側に発生す
る所謂「ヒケ」の影響をなくすだめのものである。

作業者かワークの加工を終了し、図示を省略した消磁ボ
タンを押すと、モード信号発生回路９内に設けられたカ
ウンタ１９のリセット端子に、消磁信号としてのし信号
か入力される（このリセット端子には、動作モードが消
磁モード以外のときは常時Ｈ信号か入力されている）。

Ｌ信号によりリセットか解除されるため、カウンタ１９
の出力Ｑ１が極性反転回路１５内の単安定マルチバイブ
レータ２０に入力される。マルチバイブレーク２０は出
力Ｑ１の立下かり（反転指令信号）をとらえて作動し、
パルスをＤフリップフロラプ回路２］のクロック端子に
出力する。Ｄフリップフロフジ回路２１は、このパルス
入力により反転信号をドライバ回路１０に出力する。ド
ライバ回路１０はこの反転信号により、それまでオンに
なっていたトランジスタＴｒ２’　Ｔｒ３をオフにし、
オフになっていたトランジスタＴｒｌ’　　Ｔｒ４をオ
ンにする。ここで、マルチバイブレータ２０からパルス
が出力される時間は、抵抗ＲＴ　、　　コンデンサＣ０
によって決まるか、この時間はトランジスタＴｒ２’Ｔ
ｒ３及びトランジスタ”　ｒｌ’　Ｔｒ４が同時にオン
となる状態を防止するためのオフ時間ｔとなるように設
定されている。つまり、マルチバイブレータ２０の出力
は、図示を省略しであるインバータ等の素子を介し、オ
フ信号としてドライバ回路１０に入力される。

一方、カウンタ１９からの出力Ｑ１はＲＯＭ１６に入力
され、第３回目の反転時に供給されるベき電流の設定値
Ｓ１か指定される。この設定値Ｓ１の信号はＤ／Ａコン
バータ］７てアナログ量に変換され、比較判定回路１４
の一方の入力端子に入力される。そして、検出電流増幅
回路１３は、電流検出回路８て検出された第１回口の反
転信号に基つく電流を増幅し、これを比較判定回路１４
の他方の端子に出力する。比較判定回路１４は、検出電
流増幅回路］−３の出力信号か小さいうちはＨ信号を出
力しているが、増幅回路１３の出力信号か増加し、電流
設定回路］、２Ａの出力信号と一致したときに、反転指
令信号としてのし信号を出力する。マルチバイブレータ
２０は、このＨ信号からし信号に変るときの立下がりを
さらえて、Ｄフリップフロラプ回路２］にパルスを出力
し、Ｄフリップフロフジ回路２１は第２回目の反転信号
をドライバ回路１０に出力する。なお、これ以前にマル
チバイブレーク２０からの第１回目のパルス（カウンタ
１９の出力Ｑ１に基つくもの）がカウンタ１９のクロッ
ク端子に入力されており、出力Ｑ２によって第２回目の
反転時に供給されるべき電流の設定値Ｓ２が既にＲＯＭ
１６において指定されている。

以後、このような反転動作か所定設定回数（ｎ回）だけ
行なわれている。そして、ＲＯＭ１６から最後の設定値
信号Ｓ　がＤ／Ａコンバーター７に発せられたときに、
ゲート回路１８の条件が成立して消磁終了信号かモード
信号発生回路９に出力される。これにより、それまてＬ
信号か入力されていたカウンター９のリセット端子には
Ｈ信号が入力されることになり、全ての動作が停止する
。

第４図は、このような反転回数設定型電流設定回路１２
Ａを用いたとき（反転回数は２０回）の特性図であり、
第４図（ａ）は時定数大の場合、第４図（ｂ）は時定数
小の場合である。

この図から明らかなように、時定数のバラツキにより消
磁時間に相違は生ずるものの、それぞれの反転毎の電流
は、いずれの場合も、設定値通りＳ、、Ｓ、、・・Ｓｎ
となっているため、安定した消磁性能となる。

次に、電流設定回路と１７で、消磁時間設定型電流設定
回路１２　Ｂを用いた例を第５図に基づき説明する。

この電流設定回路１．２　Ｂは、消磁時間を設定するた
めの抵抗ＲコンデンサＣｂと、比較器ｂ　ゝ２２と、増幅器２３と、消磁信号を出力するための比較
器２４と、スイッチＳＷ２とから構成されている。

モード信号発生回路９内に設けられているアナロクスイ
ッチＳＷｌは消磁モード以外のときは電圧Ｖ　側に接続
されており、スイッチＳＷ２は閉している。したかって
、比較器３のａ点の電位が■１よりも高い場合は、比較
器２２の出力がＨとなり増幅器２３の出力によりａ点の
電位か下降する。逆に、ａ点の電位かＶｌよりも低い場
合には比較器２２の出力かＬとなり、増幅器２３の出力
によりａ点の電位か上昇する。つまり、スイッチＳＷ　
か電位Ｖｌ側に接続されているときは、比較器２２のａ
点の電位も常に■１となり、これがそのまま比較判定回
路１４の一方の入力端子に入力される。なお、このとき
コンデンサＣｂはＶｌの電圧まで充電されている。

そして、消磁モートに入ると、スイッチＳＷ１か電圧−
Ｖ２側に切換えられ、スイッチＳＷ２は開放される。そ
のため、ｂ点の電位が大きく低下し、比較器２２の出力
はＩＣのプラス側電源電圧■　まて急速に上昇する。こ
の比較器２２の出力Ｃは抵抗Ｒｂを通って増幅器２３に人力され、増幅器２３
の出力によりａ点の電位もｂ点の電位までいぢ早く低下
しようとする。しかし、増幅器２Ｂ。

コンデンサＣ抵抗Ｒｂによりミラー積分回路ｂ　′ が構成されており、時定数にしたがってコンデンサＣｂ
が放電するため、それほど急速にａ点の電位は低下しな
い。結局、このときのａ点の電位が低下する速度は、比
較器２２の電源電圧Ｖ　、コＣンデンサＣｂ、抵抗Ｒｂ’増幅器２３の出力により決定
され、その速度変化は時間軸に対して一定勾配を有する
状態で直線的に下降する。

このことは、消磁モードに入ると、コンデンサＣ抵抗Ｒ
ｂ等で決定される所定時間内に、電ｂ　′ 位か■　から−■２まで直線的に減衰される信号か、比
較判定回路１４の一方の入力端子に人力されることを意
味している。

このように漸次減衰された信号か比較判定回路］４の一
方の入力端子に入力されている間に、検出電流増幅回路
１３からの出力信号か、比較判定回路］４の他方の入力
端子に入力される。そして、両者のレベルか一致したと
きに、比較判定回路１４からは反転指令信号としてのＬ
信号か極性反転回路１５に出力され、極性反転回路１５
は第３図の場合と同様の過程で、ドライバ回路１０に反
転信号を出力する。

検出電流増幅回路１３からは、さらに、反転した電流に
係る信号か、再度比較判定回路１４の他方の入力端子に
入力される。しかし、電流設定回路１２Ｂからの設定値
信号すなわちａ点の電位は、時間軸に対し漸次下降して
いるために、両者の信号のレベルか一致するまでの時間
は前回よりも短くなっている。したがって、電流は反転
か繰返される毎に次第に小さくなっていく。そして、ａ
点の電位か次第に低くなり、接地電位とほぼ等しくなっ
た時点で、比較器２４から消磁終了信号がモード信号発
生回路９（第２図）に発せられる。モト信号発生回路９
は、この消磁終了信号によって、スイッチＳＷ１をＶｌ
側に戻し、スイッチＳＷ２を閉じさせる。すると、ａ点
の電位は、スイッチＳＷ２．増幅器２Ｂの作用により、
急速にＶｌまで」１昇し、次の消磁動作の準備がなされ
ることになる。

第６図は、上記のような消磁時間設定型電流設定回路１
２Ｂを用いたときの波形図であり、同図の（ａ）、　　
（ｂ）、　　（ｃ）はそれぞれ時定数小の場合、時定数
適度の場合、時定数大の場合である。

この図から明らかなように、時定数が小さいほど反転回
数が多く、初期の反転時の電流の値が大きなものとなっ
ている。したかって、やはり時定数が小さなものほど消
磁性能が優れたものとなっている。しかしながら、第１
回目の反転時における時定数小の場合と時定数大の場合
との励磁電流の差’［１−１ｏはそれはと大きなもので
はなく、実用」二は殆んど問題のない消磁性能を発揮し
得るものである。

以上説明したことから、反転回数設定型電流設定回路１
２Ａは、消磁時間を短縮するよりも、より安定した消磁
性能か要求される場合に好適であり、消磁時間設定型電
流設定回路１２Ｂは、自動化された工程ライン等におい
て、消磁時間を常に一定にしておきたい場合に好適とい
える。

なお、消磁を行うときのチャック５（第１図）に印加さ
れる電圧は、従来から、チャック５がワークを保持する
ときと同一の電圧となっていた。

しかし、本願の発明者達は、種々実験を試みた結果、消
磁を行うときの電圧を、ワークを保持するときより大き
くすることによって、さらに、消磁時間を短縮できるこ
とを見出した。このような電圧調整を行うため、消磁装
置の入力電圧は高くしておき、デユーティ制御して低い
平均電圧でワークの吸着を行い、消磁時にはデユーティ
１００％として通電する。そして、このように電圧を上
昇させることは、反転回数設定型電流回路１２Ａ及び消
磁時間設定型電流設定回路１２Ｂのいずれを使用した場
合にも適用可能である。

第７図ないし第９図は本発明に用いる主回路構成の例を
示したものである。第７図は第１図のトランジスタスイ
ッチング回路における電流検出抵抗の挿入位置を示した
もので、スイッチング回路３の入力および出力のＡ、　
　Ｂ、　　Ｃ，Ｄの４個所の何れに挿入してもよい。Ｃ
はサージ吸収用コンデンサである。第８図はトランジス
タスイッチング回路に代えてリレー切換回路を用いたも
ので、この場合もリレー切換回路３′の入力、出力の４
個所のいずれかに挿入すればよい。この回路ではトラン
ジスタのスイッチングによる電圧調整が行えないから電
圧調整器を設けている。第９図は電圧調整用にトランジ
スタＴｒ５を設けており、この関係で抵抗挿入位置かト
ランジスタＴｒ５よりも整流回路２寄りの位置Ｅてもよ
い。ＤｌｏはトランジスタＴｒ５保護用ダイオードであ
る。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように本発明によれば、消磁を行った
ときにチャックに流れる電流を検出し、その検出値を設
定値と比較して消磁電流を制御するようにしたので、時
定数のバラツキにかかわらず、常に安定した消磁を行う
ことかできるという効果がある。

また、消磁時間内の無駄時間をなくすこととなり、短時
間での消磁か可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る実施例の主回路を示す回路構成図
、第２図は第１図の主回路用の制御回路を示すブロック
図、第３図は反転回数設定型電流設定回路を用いた場合
の制御回路を示す回路構成図、第４図（ａ）、　　（ｂ
）は第３図のものの波形図、第５図は消磁時間設定型電
流設定回路を用いた場合の制御回路を示す回路構成図、
第６図（ａ）、　　（ｂ）、　　（ｃ）は第５図のもの
の波形図、第７図ないし第９図は本発明に用いる電磁チ
ャック用土回路構成例を示す図、第１０図は従来の消磁
装置についての波形図である。３・・・スイッチング回路、５・・チャ・ツク、８・・
・電流検出回路、］］−・・・電圧調整回路、１２．１
２Ａ］、　２　Ｂ・・電流設定回路、１５・・・極性反
転回路。

Claims

【特許請求の範囲】

１．ワーク保持用チャックに対し消磁用電流を供給する
ためのスイッチング回路を有し、前記ワークの消磁を行
うときには、前記スイッチング回路を制御することによ
り、前記チャックに対する電流の極性を複数回反転させ
、しかもその反転か繰り返される毎に前記チャックに対
する電流供給時間を漸減することによって、前記ワーク
を消磁するための減衰交番磁界を発生させるようにした
電磁チャック用消磁装置において、前記チャックに供給
される電流の電流値を検出する電流検出回路と、前記極性のそれぞれの反転毎に供給されるべき電流につ
いて次第に小さくなる設定値信号を出力する電流設定回
路と、前記検出による検出信号と前記設定値信号とが一致した
ときに、前記極性が反転されるよう前記スイッチング回
路の制御を行う極性反転回路と、を備えたことを特徴と
する電磁チャック用消磁装置。
２．電流設定回路は、励磁電流の極性の反転回数を設定
することが可能なものであることを特徴とする請求項１
記載の電磁チャック用消磁装置。
３．電流設定回路は、予め設定された消磁時間内に所定
値まで漸次減衰される設定値信号を出力可能なものであ
ることを特徴とする請求項１記載の電磁チャック用消磁
装置。
４．前記チャックに与える電圧を調整する電圧調整手段
を有し、ワーク吸着時は低い電圧を与え、消磁時は高い
電圧を与えるようにした請求項１記載の電磁チャック用
消磁装置。