JPS6230387A - 炭酸ガスレ−ザ光線発振器用ル−ツブロワ− - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ光線発振器用ル−ツブロワ−Info
- Publication number
- JPS6230387A JPS6230387A JP15498685A JP15498685A JPS6230387A JP S6230387 A JPS6230387 A JP S6230387A JP 15498685 A JP15498685 A JP 15498685A JP 15498685 A JP15498685 A JP 15498685A JP S6230387 A JPS6230387 A JP S6230387A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- rotor shaft
- housing
- bearing
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、炭酸ガスレーブ光線発振器用ルーツプロワ−
に係り、！？η記発振器の低圧炭酸ガスの循環閉管路中
に配置するルーツブロワ−のロータ軸から伝わってケー
シング内に侵入する外気を極く有効に遮断するシール機
構を備えるルーツブロワ−に関する。
に係り、！？η記発振器の低圧炭酸ガスの循環閉管路中
に配置するルーツブロワ−のロータ軸から伝わってケー
シング内に侵入する外気を極く有効に遮断するシール機
構を備えるルーツブロワ−に関する。
（従米の技術）
炭酸ガスレーブ光線発振器用ブロワ−は吸込圧が約３０
Ｔｏｒｒ１吐出圧が約１８０Ｔｏｒｒで、かかる差圧を
かけでレーザ光線発振器に炭酸ガスの強制通人を生じさ
せるものであるが、その差圧をかけるためピストンポン
プ・油封式回転ポンプ等の真空ポンプを使用するとき、
炭酸ガス中に油滴が混入してレーザ光線発振器中のレン
ズ面にトラブルを発生する恐れがあり、このためドライ
運転が可能で、しかも小型であっても強力な真空が得ら
れるルーツ式ブロワ−が着目されでいる。
Ｔｏｒｒ１吐出圧が約１８０Ｔｏｒｒで、かかる差圧を
かけでレーザ光線発振器に炭酸ガスの強制通人を生じさ
せるものであるが、その差圧をかけるためピストンポン
プ・油封式回転ポンプ等の真空ポンプを使用するとき、
炭酸ガス中に油滴が混入してレーザ光線発振器中のレン
ズ面にトラブルを発生する恐れがあり、このためドライ
運転が可能で、しかも小型であっても強力な真空が得ら
れるルーツ式ブロワ−が着目されでいる。
ヮーａの、ルーツロータ−を嵌装したケーシングｂから
ハウジングＣに通し、そのハウジング内でベアリングｅ
により支持してタイミングギヤー室ｄに突出したロータ
軸ｆに、前記ハウジングＣのベアリングｅの内側にオイ
ルシール）ｔを設け、または第４図に示すようにタイミ
ングギヤー室ｄに接するハウジング室Ｃに油止め９をさ
らに設け、成るいは第３〜４図のオイルシールｈの代わ
りにメカニカルシールを使用している。
ハウジングＣに通し、そのハウジング内でベアリングｅ
により支持してタイミングギヤー室ｄに突出したロータ
軸ｆに、前記ハウジングＣのベアリングｅの内側にオイ
ルシール）ｔを設け、または第４図に示すようにタイミ
ングギヤー室ｄに接するハウジング室Ｃに油止め９をさ
らに設け、成るいは第３〜４図のオイルシールｈの代わ
りにメカニカルシールを使用している。
（発明が解決しようとする問題、α）
前記構成のルーツブロワ−を既述の閉管路中に介装しで
使用するとき、真空ポンプρによりルーツブロワ−ａの
内部を真空にしてから炭酸〃スを注入して循環させるも
のであるが、オイルバス式若しくはグリスバス式ベアリ
ングｅがらロータ軸ｆを伝って低圧のケーシングｂに漏
れる微小のオイルを、オイルシールｈ若しくはメカニカ
ルシールによって防ぎ切ることが出来ず、循環の炭酸ガ
ス中にオイルを混入して炭酸ガスレーザ光線発振器ｌの
レンズに付着し、化学反応を生ずるトラブルが発生し、
高価なレンズを交換している。かかる事故を防止するた
め定期的にルーツブロワ−のオーバーホールを行ってい
るが、該オーバーホールの周期は長くても三個月位で艮
持ちが出来ず、しかもその間にベアリング９へのオイル
、グリスの補給を絶やすことは出来ない。又、グリスを
潤滑剤に使用する場合のグリスが命はオーバーホールの
定期的周期より一段と早く、その入換補給を怠るとドラ
イ運転になり、オイルシールｈのゴムリップの摩耗によ
るゴム微粉が飛散し、この微粉がケーシングｂに入って
炭酸〃スに混入する危険がある。また、メカニカルシー
ルを使用する場合はシール保持のための条件が難しいの
で、オイルシールを使用するときより早く前記のトラブ
ルを招き易く、これ等により維持費増加が多いがら、改
善すべき問題点が多々ある。
使用するとき、真空ポンプρによりルーツブロワ−ａの
内部を真空にしてから炭酸〃スを注入して循環させるも
のであるが、オイルバス式若しくはグリスバス式ベアリ
ングｅがらロータ軸ｆを伝って低圧のケーシングｂに漏
れる微小のオイルを、オイルシールｈ若しくはメカニカ
ルシールによって防ぎ切ることが出来ず、循環の炭酸ガ
ス中にオイルを混入して炭酸ガスレーザ光線発振器ｌの
レンズに付着し、化学反応を生ずるトラブルが発生し、
高価なレンズを交換している。かかる事故を防止するた
め定期的にルーツブロワ−のオーバーホールを行ってい
るが、該オーバーホールの周期は長くても三個月位で艮
持ちが出来ず、しかもその間にベアリング９へのオイル
、グリスの補給を絶やすことは出来ない。又、グリスを
潤滑剤に使用する場合のグリスが命はオーバーホールの
定期的周期より一段と早く、その入換補給を怠るとドラ
イ運転になり、オイルシールｈのゴムリップの摩耗によ
るゴム微粉が飛散し、この微粉がケーシングｂに入って
炭酸〃スに混入する危険がある。また、メカニカルシー
ルを使用する場合はシール保持のための条件が難しいの
で、オイルシールを使用するときより早く前記のトラブ
ルを招き易く、これ等により維持費増加が多いがら、改
善すべき問題点が多々ある。
（問題、αを解決するための手段）
前項に述べた問題点を解決するには
■ ベアリング潤滑の油分の流出を防ぐこと■ シール
手段を強化すること 等が挙げられるが、本発明は特に■を解決することを目
的とするものであって、数種のブスを混合した低圧炭酸
ガスを、空気を駆逐したルーツブロワ−の吸込側から送
り込み、該ブロワ−により差圧をかけて吐出側から吐出
し、該吐出ガスを炭酸〃スレーザ光線発振器入り口に供
給し、低圧に戻って同出口から排出される炭酸〃スを前
記吸込側に送り込む循環をｒ′ｐＩ管路に生じさせるル
ーツブロワ−において、ハウジングに突出するルーツロ
ータ軸に、前記ハウジングの軸挿孔内周に対応するラビ
リンスを設け、ハウジングに、軸挿孔に続けて前記ロー
タ軸を取巻く環形のチャンバー溝を形成し、さらにロー
タ軸を支持するベアリングとチャンバー溝との開に四弗
化エチレン樹脂製のリップ状のシール材をロータ軸に接
触状をなさせて設置したことを特徴とするものである。
手段を強化すること 等が挙げられるが、本発明は特に■を解決することを目
的とするものであって、数種のブスを混合した低圧炭酸
ガスを、空気を駆逐したルーツブロワ−の吸込側から送
り込み、該ブロワ−により差圧をかけて吐出側から吐出
し、該吐出ガスを炭酸〃スレーザ光線発振器入り口に供
給し、低圧に戻って同出口から排出される炭酸〃スを前
記吸込側に送り込む循環をｒ′ｐＩ管路に生じさせるル
ーツブロワ−において、ハウジングに突出するルーツロ
ータ軸に、前記ハウジングの軸挿孔内周に対応するラビ
リンスを設け、ハウジングに、軸挿孔に続けて前記ロー
タ軸を取巻く環形のチャンバー溝を形成し、さらにロー
タ軸を支持するベアリングとチャンバー溝との開に四弗
化エチレン樹脂製のリップ状のシール材をロータ軸に接
触状をなさせて設置したことを特徴とするものである。
（作用）
ハウジングに突出するルーツロータ軸に、ハウジングの
軸孔内面に対応するルーツブロワ−にお程度に接近する
ラビリンスを設けて軸封作用を生じさせることは通常で
あるが、本発明のラビリンスはかかる通常の作用の他に
、前記軸孔に続けてハウジングにロータ軸を取巻く環形
のチャンバー溝を形成したことに直接の関係をもつむの
であり、更に、ベアリングとチャンバー溝との間でロー
タ軸に接触した四弗化エチレンＵ（脂と言う特定材質か
らなるリップ状のシール材とも相関関係をもち、本発明
特有の作用を生ずる。前記特有の作用は相乗作用となる
もので、その詳細を述べるに、チャンバー溝は前記シー
ル材を通ってロータ軸からケーシングに入ろうとする微
細物があるとき、チャンバー溝の内空が拡がっているた
め一種の膨張作用があり、微細物を該溝の底面に落下さ
せて排除し、ケーシングを内で差圧をかけられる炭酸ガ
ス中に吸い込まれないようにするにあるが、Ａｊｆ記の
落下排除を妨げるものはチャンバー溝に生ずる脈動であ
り、この脈動はケーシング内に於いて回転するルーツロ
ータ−の周面が吸込側と吐出側とに記のラビリンスはケ
ーシング１こ流入する圧力を２／３以下に抑制する通常
作用を持つの他、脈動を防ぎチャンバー溝に脈動が起こ
るのを防ν・で前記の落下を完全にする。また、四弗化
エチレン樹脂からなるシール材はリップをローター紬に
接触し、チャンバー溝の脈動が防がれていることと相持
って横揺れを生ぜず、ｊｌｕｌ付記によりリップの摩耗
をさらに少なくして粉塵の発生率を抑制し、且つシール
効果を高める。
軸孔内面に対応するルーツブロワ−にお程度に接近する
ラビリンスを設けて軸封作用を生じさせることは通常で
あるが、本発明のラビリンスはかかる通常の作用の他に
、前記軸孔に続けてハウジングにロータ軸を取巻く環形
のチャンバー溝を形成したことに直接の関係をもつむの
であり、更に、ベアリングとチャンバー溝との間でロー
タ軸に接触した四弗化エチレンＵ（脂と言う特定材質か
らなるリップ状のシール材とも相関関係をもち、本発明
特有の作用を生ずる。前記特有の作用は相乗作用となる
もので、その詳細を述べるに、チャンバー溝は前記シー
ル材を通ってロータ軸からケーシングに入ろうとする微
細物があるとき、チャンバー溝の内空が拡がっているた
め一種の膨張作用があり、微細物を該溝の底面に落下さ
せて排除し、ケーシングを内で差圧をかけられる炭酸ガ
ス中に吸い込まれないようにするにあるが、Ａｊｆ記の
落下排除を妨げるものはチャンバー溝に生ずる脈動であ
り、この脈動はケーシング内に於いて回転するルーツロ
ータ−の周面が吸込側と吐出側とに記のラビリンスはケ
ーシング１こ流入する圧力を２／３以下に抑制する通常
作用を持つの他、脈動を防ぎチャンバー溝に脈動が起こ
るのを防ν・で前記の落下を完全にする。また、四弗化
エチレン樹脂からなるシール材はリップをローター紬に
接触し、チャンバー溝の脈動が防がれていることと相持
って横揺れを生ぜず、ｊｌｕｌ付記によりリップの摩耗
をさらに少なくして粉塵の発生率を抑制し、且つシール
効果を高める。
この他、本発明の要旨外であるが、ベアリングの潤滑に
シリコングリースを使用した。該グリースは６５℃以上
においてオイルミストを発生するから、炭酸ガスレーザ
光線発振器のルーツブロワ−としては適しなくなるが、
しかし一般的なルーツブロワ−において水冷ノヤケット
等により６５℃以下の温度に抑制することは普通である
から、本発明はかかる冷却装置の使用によりオイルミス
ト発生問題を解決する。
シリコングリースを使用した。該グリースは６５℃以上
においてオイルミストを発生するから、炭酸ガスレーザ
光線発振器のルーツブロワ−としては適しなくなるが、
しかし一般的なルーツブロワ−において水冷ノヤケット
等により６５℃以下の温度に抑制することは普通である
から、本発明はかかる冷却装置の使用によりオイルミス
ト発生問題を解決する。
（実施例）
第１図は本発明のルーツブロアー使用の炭酸〃スレーザ
光線発生装置配置図、第２図は本発明の要部の切断側面
図である。
光線発生装置配置図、第２図は本発明の要部の切断側面
図である。
第１．２図において、（１）はビルトインモータ（２）
を備える密閉型の炭酸ガスレーザ光線発生器用ルーツブ
ロワ−で、モータ（２）の回転子（３）によって駆動さ
れるロータ軸（４）を、ケーシング（５）及びその両側
のハウジング（６）、（６）に通してタイミングギヤ室
（ア）に突出し、タイミングギヤ室（７）においてタイ
ミングギヤ（８）を取付ける。なお図においてモータに
より直接駆動しないでタイミングギヤ（８）により連動
するロータ軸は図示されていないが、シール８！構は同
一である。
を備える密閉型の炭酸ガスレーザ光線発生器用ルーツブ
ロワ−で、モータ（２）の回転子（３）によって駆動さ
れるロータ軸（４）を、ケーシング（５）及びその両側
のハウジング（６）、（６）に通してタイミングギヤ室
（ア）に突出し、タイミングギヤ室（７）においてタイ
ミングギヤ（８）を取付ける。なお図においてモータに
より直接駆動しないでタイミングギヤ（８）により連動
するロータ軸は図示されていないが、シール８！構は同
一である。
ハウジング（６）に突出するロータｍｉｌ！（４）には
四弗化エチレン樹脂により形成し、外周にラビリンス（
２２）を設けたラビリンスパイプ（２１）を回転不能に
嵌め、ハウジング（６）に設けた軸孔（９）に通す。（
１ｏ）は軸孔（９）に続けてハウジング（６）に設け、
中心に通るロータ軸（４）の周りを取巻がせて設けた環
形のチャンバー溝であって、ロータ軸（４）にはラビリ
ンスパイプ（２１）に接続して、硬質金属管からなる鏡
面仕上げの套管（２３）を嵌合固定してチャンバー溝（
１０）を横切らせる。（套管は必ずしも必要ではない）
チャンバー溝（１０）は１１Ｊを１０１程度、套管（２
３）から内周までの深さを１０＋ｎ＋Ω程度にする。ハ
ウジング（６）にはチャンバー溝（１０）に続けてシー
ル嵌装孔（１１）とベアリング嵌装孔（１２）を設ける
。前記嵌装孔（１２）に嵌めてロータ軸（４）を通した
ベアリング（２５）は、ボール（２５ａ）をシリコン系
グリスの封入によって潤滑する。具体的には東芝ＧＥシ
リコンＴＳＫ−５４０１Ｌなる商品名のものを使用した
。このグリスは常温から６５℃まではＩ Ｘ １０−’
Ｔｏｒｒまで蒸発がなく、６５°Ｃを超すと３０Ｔｏｒ
ｒ付近でも蒸発することが分った。このためベアリング
（２５）は６５℃以下の温度を保持しなければならない
。
四弗化エチレン樹脂により形成し、外周にラビリンス（
２２）を設けたラビリンスパイプ（２１）を回転不能に
嵌め、ハウジング（６）に設けた軸孔（９）に通す。（
１ｏ）は軸孔（９）に続けてハウジング（６）に設け、
中心に通るロータ軸（４）の周りを取巻がせて設けた環
形のチャンバー溝であって、ロータ軸（４）にはラビリ
ンスパイプ（２１）に接続して、硬質金属管からなる鏡
面仕上げの套管（２３）を嵌合固定してチャンバー溝（
１０）を横切らせる。（套管は必ずしも必要ではない）
チャンバー溝（１０）は１１Ｊを１０１程度、套管（２
３）から内周までの深さを１０＋ｎ＋Ω程度にする。ハ
ウジング（６）にはチャンバー溝（１０）に続けてシー
ル嵌装孔（１１）とベアリング嵌装孔（１２）を設ける
。前記嵌装孔（１２）に嵌めてロータ軸（４）を通した
ベアリング（２５）は、ボール（２５ａ）をシリコン系
グリスの封入によって潤滑する。具体的には東芝ＧＥシ
リコンＴＳＫ−５４０１Ｌなる商品名のものを使用した
。このグリスは常温から６５℃まではＩ Ｘ １０−’
Ｔｏｒｒまで蒸発がなく、６５°Ｃを超すと３０Ｔｏｒ
ｒ付近でも蒸発することが分った。このためベアリング
（２５）は６５℃以下の温度を保持しなければならない
。
（２４）はベアリング（２５）とチャンバー溝（１０）
の開でシール嵌装溝（１１）に嵌めて套管（２３）にリ
ップを接触状にした四弗化エチレン樹脂製シールであり
、本実施例はＮ、Ｔ、にレアテア０ンの商品名のものを
使用した。
の開でシール嵌装溝（１１）に嵌めて套管（２３）にリ
ップを接触状にした四弗化エチレン樹脂製シールであり
、本実施例はＮ、Ｔ、にレアテア０ンの商品名のものを
使用した。
ハウジング（６）とタイミングギヤーｖ（７）の墳客に
はロータ軸（４）の周りにオイル振切部材（２６）を装
着し、さらにゴム製オイルシール（２７）によりタイミ
ングギヤー室（７）のオイルを封鎖した。
はロータ軸（４）の周りにオイル振切部材（２６）を装
着し、さらにゴム製オイルシール（２７）によりタイミ
ングギヤー室（７）のオイルを封鎖した。
前記実施例のルーツブロワ−（１）は第１図に示すよう
に炭酸〃スレーザ光線発振器（３１）の出口側の閉管路
（３２）をケーシング（５）の吸込口に連結し、同吐出
側の閉管路（３３）を前記発振器（３１）の入口端に接
続する。閉管路（３３）はインタークーラ（３４）によ
って冷却する。ルーツブロワ−（１）及び閉管路（３Ｚ
）、（３３）は、炭酸ガス充填助に真空ポンプＰにより
真空に引き、しかる後に数種のガスを混合した炭酸ガス
を充填し循環させるものであって、閉管路（３２）、（
３３）の保持圧力は既述の通りである。
に炭酸〃スレーザ光線発振器（３１）の出口側の閉管路
（３２）をケーシング（５）の吸込口に連結し、同吐出
側の閉管路（３３）を前記発振器（３１）の入口端に接
続する。閉管路（３３）はインタークーラ（３４）によ
って冷却する。ルーツブロワ−（１）及び閉管路（３Ｚ
）、（３３）は、炭酸ガス充填助に真空ポンプＰにより
真空に引き、しかる後に数種のガスを混合した炭酸ガス
を充填し循環させるものであって、閉管路（３２）、（
３３）の保持圧力は既述の通りである。
なお、従前は運転中、タイミングギヤ室圧力を真空ポン
プにより引いて真空を保持していたが、本発明ではその
必要が必ずしもない。これはラビリンスとチャンバー溝
の関連形成と、ラビリンス、チャンバー溝及び四弗化エ
チレン樹−脂製シールの並列配置による相釆効果による
もので、本発明特有である。
プにより引いて真空を保持していたが、本発明ではその
必要が必ずしもない。これはラビリンスとチャンバー溝
の関連形成と、ラビリンス、チャンバー溝及び四弗化エ
チレン樹−脂製シールの並列配置による相釆効果による
もので、本発明特有である。
（発明の効果）
本発明は炭酸ガスレザー光線発振器用という特殊用途の
ルーツブロワ−において、ハウジングに突出するルーツ
ロータ軸に、前記ハウジングの軸挿孔内周に対応する２
ビリンスを設け、ハウジングに、軸挿孔に続けて前記ロ
ータ軸を取巻く環形のチャンバー溝を形成し、さらにロ
ータ軸を支持するベアリングとチャンバー溝との間に四
弗化エチレンＦＡ脂からなるリップ状のシール材をロー
タ軸に接触状をなさせて設置する特殊構成とし、前記に
述べたように、使用用途に適応させた組木作用及び効果
を保有させたもので、炭酸ガスレーザ光線発振器用に極
く有利な効果を持つ。
ルーツブロワ−において、ハウジングに突出するルーツ
ロータ軸に、前記ハウジングの軸挿孔内周に対応する２
ビリンスを設け、ハウジングに、軸挿孔に続けて前記ロ
ータ軸を取巻く環形のチャンバー溝を形成し、さらにロ
ータ軸を支持するベアリングとチャンバー溝との間に四
弗化エチレンＦＡ脂からなるリップ状のシール材をロー
タ軸に接触状をなさせて設置する特殊構成とし、前記に
述べたように、使用用途に適応させた組木作用及び効果
を保有させたもので、炭酸ガスレーザ光線発振器用に極
く有利な効果を持つ。
第１．２図は本発明の一実施例を示し、第１図は本発明
のルーツブロアー使用の炭酸ガスレーザ光線発生装置配
置図、第２図は本発明の要部の切断側面図である。第３
．４図は従来例の説明線図である。
のルーツブロアー使用の炭酸ガスレーザ光線発生装置配
置図、第２図は本発明の要部の切断側面図である。第３
．４図は従来例の説明線図である。
Claims (1)
- 数種のガスを混合した低圧炭酸ガスを、空気を駆逐した
ルーツブロワーの吸込側から送り込み、該ブロワーによ
り差圧をかけて吐出側から吐出し、該吐出ガスを炭酸ガ
スレーザ光線発振器入り口に供給し、低圧に戻って同出
口から排出される炭酸ガスを前記吸込側に送り込む循環
を閉管路に生じさせるルーツブロワーにおいて、ハウジ
ングに突出するルーツロータ軸に、前記ハウジングの軸
挿孔内周に対応するラビリンスを設け、ハウジングに、
軸挿孔に続けて前記ロータ軸を取巻く環形のチャンバー
溝を形成し、さらにロータ軸を支持するベアリングとチ
ャンバー溝との間に四弗化エチレン樹脂からなるリップ
状のシール材をロータ軸に接触状をなさせて設置したこ
とを特徴とする炭酸ガスレーザ光線発振器用ルーツブロ
ワー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15498685A JPS6230387A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 炭酸ガスレ−ザ光線発振器用ル−ツブロワ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15498685A JPS6230387A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 炭酸ガスレ−ザ光線発振器用ル−ツブロワ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6230387A true JPS6230387A (ja) | 1987-02-09 |
| JPH0571153B2 JPH0571153B2 (ja) | 1993-10-06 |
Family
ID=15596215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15498685A Granted JPS6230387A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 炭酸ガスレ−ザ光線発振器用ル−ツブロワ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6230387A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022695A (ja) * | 1988-06-16 | 1990-01-08 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JPH02142561U (ja) * | 1989-05-08 | 1990-12-04 | ||
| JPH0325264U (ja) * | 1989-05-08 | 1991-03-15 | ||
| US5124997A (en) * | 1989-02-23 | 1992-06-23 | Fanuc Ltd. | Turbo blower for a laser device and a laser oscillator device |
| JP2023516546A (ja) * | 2020-02-17 | 2023-04-20 | ブッシュ プロダクションズ ゲーエムベーハー | 水素を含有する少なくとも部分的にガス状の組成物を再循環させる装置及び燃料電池システム |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP15498685A patent/JPS6230387A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022695A (ja) * | 1988-06-16 | 1990-01-08 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| US5124997A (en) * | 1989-02-23 | 1992-06-23 | Fanuc Ltd. | Turbo blower for a laser device and a laser oscillator device |
| JPH02142561U (ja) * | 1989-05-08 | 1990-12-04 | ||
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| JPH079410Y2 (ja) * | 1989-05-08 | 1995-03-06 | 株式会社アンレット | 炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワー |
| JPH079411Y2 (ja) * | 1989-05-08 | 1995-03-06 | 株式会社アンレット | 炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワー |
| JP2023516546A (ja) * | 2020-02-17 | 2023-04-20 | ブッシュ プロダクションズ ゲーエムベーハー | 水素を含有する少なくとも部分的にガス状の組成物を再循環させる装置及び燃料電池システム |
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| JPH0571153B2 (ja) | 1993-10-06 |
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