JPH079410Y2 - 炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワー - Google Patents
炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワーInfo
- Publication number
- JPH079410Y2 JPH079410Y2 JP1989052729U JP5272989U JPH079410Y2 JP H079410 Y2 JPH079410 Y2 JP H079410Y2 JP 1989052729 U JP1989052729 U JP 1989052729U JP 5272989 U JP5272989 U JP 5272989U JP H079410 Y2 JPH079410 Y2 JP H079410Y2
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- Japan
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- carbon dioxide
- laser beam
- roots blower
- rotor shaft
- beam oscillator
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Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワー
に係り、炭酸ガスレーザー光線発振器を通る炭酸ガス循
環の閉回路中に介置し、ロータ軸を伝わつて外気がケー
シングに侵入し、オイルとか、炭化物、グリスミスト等
がレーザー光線発振器の光線反射レンズ表面に付着して
汚染するのを一層有効に遮断し、前記の汚染を防止する
ものである。
に係り、炭酸ガスレーザー光線発振器を通る炭酸ガス循
環の閉回路中に介置し、ロータ軸を伝わつて外気がケー
シングに侵入し、オイルとか、炭化物、グリスミスト等
がレーザー光線発振器の光線反射レンズ表面に付着して
汚染するのを一層有効に遮断し、前記の汚染を防止する
ものである。
（従来の技術） 炭酸ガスレーザー光線発振器用ブロワーは、油封回転式
真空ポンプを使用するとき、吸込圧が約30Torr、出力圧
力が約180Torrであると、炭酸ガス中に油滴を混合して
レーザー光線発振器内のレンズ面と反応し、鋼材等の被
切断物の切断作業をする場合に切断不良等のトラブルを
発生するおそれがあり、このためドライ運転が可能でし
かも小型であつても強力な真空が得られるルーツブロワ
ーが着目されている。しかして本考案と同種目的の炭酸
ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワーは特開昭62-3
0387号公報に開示されている。
真空ポンプを使用するとき、吸込圧が約30Torr、出力圧
力が約180Torrであると、炭酸ガス中に油滴を混合して
レーザー光線発振器内のレンズ面と反応し、鋼材等の被
切断物の切断作業をする場合に切断不良等のトラブルを
発生するおそれがあり、このためドライ運転が可能でし
かも小型であつても強力な真空が得られるルーツブロワ
ーが着目されている。しかして本考案と同種目的の炭酸
ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワーは特開昭62-3
0387号公報に開示されている。
前記開示のものはハウジングの軸挿孔に通したルーツロ
ータ軸に、該軸挿孔内周に対応するラビリンスを形成
し、ハウジングには軸挿孔に続けて前記のロータ軸を取
り巻く環形のチヤンバー溝を軸挿孔を拡径して設け、ハ
ウジングに四弗化エチレン樹脂からなるリツプ状のシー
ル材をロータ軸に接触状をなさせて設け、それからルー
ツローター軸を支持するベアリングを設置することを特
徴とするものであり、この構成の炭酸ガスレーザー光線
発振装置について研究を続けた結果、最近に至りようや
く実用化できるに至つた。
ータ軸に、該軸挿孔内周に対応するラビリンスを形成
し、ハウジングには軸挿孔に続けて前記のロータ軸を取
り巻く環形のチヤンバー溝を軸挿孔を拡径して設け、ハ
ウジングに四弗化エチレン樹脂からなるリツプ状のシー
ル材をロータ軸に接触状をなさせて設け、それからルー
ツローター軸を支持するベアリングを設置することを特
徴とするものであり、この構成の炭酸ガスレーザー光線
発振装置について研究を続けた結果、最近に至りようや
く実用化できるに至つた。
しかるにベアリングの潤滑に理想的と目されるグリスを
使用するとき、ルーツローターによる圧縮によりグリス
が気化状になりつたり、外気中の塵がケーシング内に吸
い込まれ、グリスミストとか、オイルとか、炭化物等が
炭酸ガスレーザ光線発振装置のミラーに付着し普通３カ
月程度でオイルの定期点検を行つているのに、次回の定
期点検までに前記のグリスミスト等が漏れて、定期点検
前に分解修理をしなければならないものがあることが明
らかになつた。しかしてこのトラブルはレーザー光線に
よる被切断物の切断中に不時に起こる微妙な事故である
ばかりでなく、被切断物の切断作業を中止して点検修理
を行わねばならないため切断作業に手持ち時間が多い欠
点があることが判明した。尤もこの欠点は全部のルーツ
ブロワーに出るものでなく、前記の公開発明の構成でも
役立つこともあるが、全部が前記の欠点に対応できるル
ーツブロワーの使用が望ましい。
使用するとき、ルーツローターによる圧縮によりグリス
が気化状になりつたり、外気中の塵がケーシング内に吸
い込まれ、グリスミストとか、オイルとか、炭化物等が
炭酸ガスレーザ光線発振装置のミラーに付着し普通３カ
月程度でオイルの定期点検を行つているのに、次回の定
期点検までに前記のグリスミスト等が漏れて、定期点検
前に分解修理をしなければならないものがあることが明
らかになつた。しかしてこのトラブルはレーザー光線に
よる被切断物の切断中に不時に起こる微妙な事故である
ばかりでなく、被切断物の切断作業を中止して点検修理
を行わねばならないため切断作業に手持ち時間が多い欠
点があることが判明した。尤もこの欠点は全部のルーツ
ブロワーに出るものでなく、前記の公開発明の構成でも
役立つこともあるが、全部が前記の欠点に対応できるル
ーツブロワーの使用が望ましい。
（考案が解決しようとする問題点・考案の目的） 本考案は前記の発見に基き、これに対する対案を緊急に
得ることを問題として取り上げ、前記の欠点を解決する
こと課題とし、本考案の目的とするものであつて、鋭意
研究し実験を重ねた結果これを解決することができた。
得ることを問題として取り上げ、前記の欠点を解決する
こと課題とし、本考案の目的とするものであつて、鋭意
研究し実験を重ねた結果これを解決することができた。
（問題点を解決するための手段） 本考案は前記した目的に合致するもので、ルーツブロワ
ー１は密封駆動方式とし、軸受ベアリング14の潤滑をグ
リスによつて行うもので、数種のガスを混合した混合炭
酸ガスを空気を駆逐した前記のルーツブロワー１の吸込
口側から送込み、該ブロワー１により差圧をかけて吐出
口側から吐出し、該吐出ガスを炭酸ガスレーザー光線発
振器32の入口に送込み、同発振器内で差圧を失つた炭酸
ガスを再び前記ブロワー１の吸込口側に送込む循環を生
じさせる閉回路中に設ける炭酸ガスレーザー光線発振器
用ルーツブロワーにおいて、ロータ軸４のハウジング６
に形成した軸挿孔７内に密接状を以て突出する部分にラ
ビリンス17を設け、そのラビリンスの外方にロータ軸４
を取巻く大型のチヤンバー溝12を形成し、ロータ軸４を
支持する前記の軸受ベアリング14の内側に四弗化エチレ
ン樹脂からなるリツプ状のシール材13を前記のロータ軸
４に接触状をなさせて固定し、さらに軸受ベアリング14
の内面にミストの外側への振切り装置21をロータ軸４に
固嵌して設けたことを特徴とする炭酸ガスレーザー光線
発振器用ルーツブロワーに係り、炭酸ガスレーザー用と
用途が限定されているため、他の用途に使用するルーツ
ブロワーとは異なつて未知の部分が多く、思考錯誤を繰
り返さねば実用に供しえないルーツブロワーの、前記し
た欠点を完全に除くことができた。
ー１は密封駆動方式とし、軸受ベアリング14の潤滑をグ
リスによつて行うもので、数種のガスを混合した混合炭
酸ガスを空気を駆逐した前記のルーツブロワー１の吸込
口側から送込み、該ブロワー１により差圧をかけて吐出
口側から吐出し、該吐出ガスを炭酸ガスレーザー光線発
振器32の入口に送込み、同発振器内で差圧を失つた炭酸
ガスを再び前記ブロワー１の吸込口側に送込む循環を生
じさせる閉回路中に設ける炭酸ガスレーザー光線発振器
用ルーツブロワーにおいて、ロータ軸４のハウジング６
に形成した軸挿孔７内に密接状を以て突出する部分にラ
ビリンス17を設け、そのラビリンスの外方にロータ軸４
を取巻く大型のチヤンバー溝12を形成し、ロータ軸４を
支持する前記の軸受ベアリング14の内側に四弗化エチレ
ン樹脂からなるリツプ状のシール材13を前記のロータ軸
４に接触状をなさせて固定し、さらに軸受ベアリング14
の内面にミストの外側への振切り装置21をロータ軸４に
固嵌して設けたことを特徴とする炭酸ガスレーザー光線
発振器用ルーツブロワーに係り、炭酸ガスレーザー用と
用途が限定されているため、他の用途に使用するルーツ
ブロワーとは異なつて未知の部分が多く、思考錯誤を繰
り返さねば実用に供しえないルーツブロワーの、前記し
た欠点を完全に除くことができた。
（実施例） 第１図は本考案を施したルーツブロワーを使用した炭酸
ガスレーザー光線発生装置の配置図、第２図は本考案の
ルーツブロワーの中心部縦断側面図、第３図はさらに要
部を示した拡大切断側面図である。
ガスレーザー光線発生装置の配置図、第２図は本考案の
ルーツブロワーの中心部縦断側面図、第３図はさらに要
部を示した拡大切断側面図である。
第１、２図において、１はビルトインモーター２を備え
る密閉型真空タイプの炭酸ガス発振器用ルーツブロワー
で、その吐出口を炭酸ガスレーザー光線発振器32の入口
32aに接続した閉回路31により接続し、前記装置32の出
口32bに接続した閉回路33を前記ルーツブロワー１の吸
込口に接続する。
る密閉型真空タイプの炭酸ガス発振器用ルーツブロワー
で、その吐出口を炭酸ガスレーザー光線発振器32の入口
32aに接続した閉回路31により接続し、前記装置32の出
口32bに接続した閉回路33を前記ルーツブロワー１の吸
込口に接続する。
閉回路31、炭酸ガスレーザー光線発振器32、閉回路33、
及び前記の炭酸ガス発振器用ルーツブロワー１によつて
構成された閉回路には、数種を混合した公知の炭酸ガス
をルーツブロワー１により差圧を生じさせて循環させ
る。
及び前記の炭酸ガス発振器用ルーツブロワー１によつて
構成された閉回路には、数種を混合した公知の炭酸ガス
をルーツブロワー１により差圧を生じさせて循環させ
る。
モーター２の回転子３により駆動されるロータ軸４、４
は、ケーシング５及びその両側をハウジング６、６に通
し、かつ一端をタイミングキヤ室８に突出して夫々に噛
合うタイミングギヤ９、９を取付け、ハウジング６、６
に夫々設けた軸挿孔７、７に高速回転可能に通す。10は
ラビリンス17にほぼ合致させた軸孔の長さの範囲内で一
部を拡径して設けた第１チヤンバー溝である。
は、ケーシング５及びその両側をハウジング６、６に通
し、かつ一端をタイミングキヤ室８に突出して夫々に噛
合うタイミングギヤ９、９を取付け、ハウジング６、６
に夫々設けた軸挿孔７、７に高速回転可能に通す。10は
ラビリンス17にほぼ合致させた軸孔の長さの範囲内で一
部を拡径して設けた第１チヤンバー溝である。
ハウジング６、６の各軸挿孔７は第２図の左側のラビリ
ンス17の左端、及び右端のラビリンス17の右端付近から
拡径してロータ軸４、４を取り巻く大型チヤンバー溝1
2、12を軸方向に長く形成し、そのチヤンバー溝12、12
の内周壁からロータ軸４、４の周りにほぼ接触する四弗
化エチレン樹脂からなるリツプ状のシール材13、13を突
出する。
ンス17の左端、及び右端のラビリンス17の右端付近から
拡径してロータ軸４、４を取り巻く大型チヤンバー溝1
2、12を軸方向に長く形成し、そのチヤンバー溝12、12
の内周壁からロータ軸４、４の周りにほぼ接触する四弗
化エチレン樹脂からなるリツプ状のシール材13、13を突
出する。
該シール材13、13はロータ軸４、４に緊密状に接触する
と、高熱を発生して溶解温度に達し変形してシール機能
を失うから、温度を発生しないようにロータ軸との間に
0.1m/m〜0.3m/m程度のクリアランスを生じさせる。
と、高熱を発生して溶解温度に達し変形してシール機能
を失うから、温度を発生しないようにロータ軸との間に
0.1m/m〜0.3m/m程度のクリアランスを生じさせる。
14、14はシリコングリスを潤滑剤として充填した軸受ベ
アリングであつて、ロータ軸４、４と共に回転する内輪
15の内側々面に振切りリング19を挟んで、該リング19を
大形のチヤンバー溝12の溝周壁方向に突出し、軸受ベア
リング14の外輪16に前記の振切りリング19の内側に位置
させたカバーリング20を不動に固定し、以上の振切りリ
ングとカバーリングとによつて振切り装置とする。カバ
ーリングに受けられたグリスミスト等は図示しない真空
ポンプで吸引して処理するか又は約１ケ年毎の定期点検
時に回収する。
アリングであつて、ロータ軸４、４と共に回転する内輪
15の内側々面に振切りリング19を挟んで、該リング19を
大形のチヤンバー溝12の溝周壁方向に突出し、軸受ベア
リング14の外輪16に前記の振切りリング19の内側に位置
させたカバーリング20を不動に固定し、以上の振切りリ
ングとカバーリングとによつて振切り装置とする。カバ
ーリングに受けられたグリスミスト等は図示しない真空
ポンプで吸引して処理するか又は約１ケ年毎の定期点検
時に回収する。
軸受ベアリング14が約65℃以上になると、30Torr位の真
空度で該ベアリングの潤滑に使用するグリスがミスト化
して炭酸ガスレーザー光線発振器内部のミラーに作用す
る。この欠点については今まで気付かれなかつた炭酸ガ
スレーザー光線発振器用ルーツブロワーに特有な欠点で
あるが、それを研究した結果、それがハウジング６内で
ロータ軸４が回転することによつて生じる脈流乱流によ
るものであることと、外気の圧力が高いことが原因であ
ることが判明とたが、これは通常のルーツブロワーは考
えられないことである。本考案の振切り装置21はこの欠
点に対処できるもので、グリスのミスト化とか外気圧力
が高いこととによりその外気に混入するオイルとか、炭
化物等が、炭酸ガスレーザー光線発振器32のレンズに付
着してトラブルの原因になるのを殆んど完全に防止す
る。
空度で該ベアリングの潤滑に使用するグリスがミスト化
して炭酸ガスレーザー光線発振器内部のミラーに作用す
る。この欠点については今まで気付かれなかつた炭酸ガ
スレーザー光線発振器用ルーツブロワーに特有な欠点で
あるが、それを研究した結果、それがハウジング６内で
ロータ軸４が回転することによつて生じる脈流乱流によ
るものであることと、外気の圧力が高いことが原因であ
ることが判明とたが、これは通常のルーツブロワーは考
えられないことである。本考案の振切り装置21はこの欠
点に対処できるもので、グリスのミスト化とか外気圧力
が高いこととによりその外気に混入するオイルとか、炭
化物等が、炭酸ガスレーザー光線発振器32のレンズに付
着してトラブルの原因になるのを殆んど完全に防止す
る。
（作用及び効果） 本考案は前記実施例の説明により明らかにしたように、
ロータ軸４をハウジング６に設けた軸挿孔７に高速回転
可能に通す部分に該軸挿孔との間を迷路状に軸封するラ
ビリンス17を形成するとか、ロータ軸４を取り巻く大型
のチヤンバー溝12を形成し、そのチヤンバー溝12の内周
壁からロータ軸４の周りにほぼ接触する四弗化エチレン
樹脂製のリツプ状のシール材13を突出する等の公知の手
段を用いるの他、さらに軸受ベアリング14の内側面にお
いて、ロータ軸４の外周から振切り装置21を突出してい
るので、ロータ軸４の大形のチヤンバー溝12の付近にお
いて今まで気付かれなかつた炭酸ガスレーザー光線発振
器用ルーツブロワーに特有な欠点である脈流乱流を究明
し、グリスミストとか、外気圧力が高いこととにより外
気に混入するオイルとか、炭化物等が、炭酸ガスレーザ
ー光線発振器32のレンズに付着してトラブルの原因にな
るのを殆んど完全に防ぐ作用効果がある。
ロータ軸４をハウジング６に設けた軸挿孔７に高速回転
可能に通す部分に該軸挿孔との間を迷路状に軸封するラ
ビリンス17を形成するとか、ロータ軸４を取り巻く大型
のチヤンバー溝12を形成し、そのチヤンバー溝12の内周
壁からロータ軸４の周りにほぼ接触する四弗化エチレン
樹脂製のリツプ状のシール材13を突出する等の公知の手
段を用いるの他、さらに軸受ベアリング14の内側面にお
いて、ロータ軸４の外周から振切り装置21を突出してい
るので、ロータ軸４の大形のチヤンバー溝12の付近にお
いて今まで気付かれなかつた炭酸ガスレーザー光線発振
器用ルーツブロワーに特有な欠点である脈流乱流を究明
し、グリスミストとか、外気圧力が高いこととにより外
気に混入するオイルとか、炭化物等が、炭酸ガスレーザ
ー光線発振器32のレンズに付着してトラブルの原因にな
るのを殆んど完全に防ぐ作用効果がある。
添付図面は本考案の実施例を示し、第１図は本考案を施
したルーツブロワーを使用した炭酸ガスレーザー光線発
生装置の配置図、第２図は本考案のルーツブロワーの中
心部縦断側面図、第３図はさらに要部を示した拡大切断
側面図である。 １……レーザー光線発振器用ルーツブロワー ４……ロータ軸、５……ケーシング ６……ハウジング、７……軸挿孔 ９……タイミングギヤ 12……大形チヤンバー溝 13……シール材（リツプ） 14……軸受ベアリング、15……内輪 16……外輪、17……ラビリンス 19……振切りリング、21……振切り装置 31……閉回路 32……炭酸ガスレーザー光線発振器 32a……入口、32b……出口、33……閉回路
したルーツブロワーを使用した炭酸ガスレーザー光線発
生装置の配置図、第２図は本考案のルーツブロワーの中
心部縦断側面図、第３図はさらに要部を示した拡大切断
側面図である。 １……レーザー光線発振器用ルーツブロワー ４……ロータ軸、５……ケーシング ６……ハウジング、７……軸挿孔 ９……タイミングギヤ 12……大形チヤンバー溝 13……シール材（リツプ） 14……軸受ベアリング、15……内輪 16……外輪、17……ラビリンス 19……振切りリング、21……振切り装置 31……閉回路 32……炭酸ガスレーザー光線発振器 32a……入口、32b……出口、33……閉回路
Claims (1)
- 【請求項１】ルーツブロワー１は密封駆動方式とし、軸
受ベアリング14の潤滑をグリスによつて行うもので、数
種のガスを混合した混合炭酸ガスを空気を駆逐した前記
のルーツブロワー１の吸込口側から送込み、該ブロワー
１により差圧をかけて吐出口側から吐出し、該吐出ガス
を炭酸ガスレーザー光線発振器32の入口に送込み、同発
振器内で差圧を失つた炭酸ガスを再び前記ブロワー１の
吸込口側に送込む循環を生じさせる閉回路中に設ける炭
酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワーにおいて、 ロータ軸４のハウジング６に形成した軸挿孔７内に密接
状を以て突出する部分にラビリンス17を設け、そのラビ
リンスの外方にロータ軸４を取巻く大型のチヤンバー溝
12を形成し、ロータ軸４を支持する前記の軸受ベアリン
グ14の内側に四弗化エチレン樹脂からなるリツプ状のシ
ール材13を前記のロータ軸４に接触状をなさせて固定
し、さらに軸受ベアリング14の内面にミストの外側への
振切り装置21をロータ軸４に固嵌して設けたことを特徴
とする炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989052729U JPH079410Y2 (ja) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | 炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989052729U JPH079410Y2 (ja) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | 炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325264U JPH0325264U (ja) | 1991-03-15 |
| JPH079410Y2 true JPH079410Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=31573282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989052729U Expired - Lifetime JPH079410Y2 (ja) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | 炭酸ガスレーザー光線発振器用ルーツブロワー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079410Y2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5114721A (ja) * | 1974-07-24 | 1976-02-05 | Kubota Ltd | Tatemonoyobanzai |
| JPS5314071B2 (ja) * | 1973-04-17 | 1978-05-15 | ||
| JPS61199687A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-04 | Mitsubishi Electric Corp | ガス循環型レ−ザ発信装置 |
| JPS6230387A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-02-09 | Anretsuto:Kk | 炭酸ガスレ−ザ光線発振器用ル−ツブロワ− |
| JPS62186073A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Ulvac Corp | 回転型真空ポンプの密封装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314071U (ja) * | 1976-07-20 | 1978-02-06 |
-
1989
- 1989-05-08 JP JP1989052729U patent/JPH079410Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314071B2 (ja) * | 1973-04-17 | 1978-05-15 | ||
| JPS5114721A (ja) * | 1974-07-24 | 1976-02-05 | Kubota Ltd | Tatemonoyobanzai |
| JPS61199687A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-04 | Mitsubishi Electric Corp | ガス循環型レ−ザ発信装置 |
| JPS6230387A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-02-09 | Anretsuto:Kk | 炭酸ガスレ−ザ光線発振器用ル−ツブロワ− |
| JPS62186073A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Ulvac Corp | 回転型真空ポンプの密封装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0325264U (ja) | 1991-03-15 |
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