JPS636889A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、切断、溶接、穴あけ等の加工用に用いられる
中〜大型出力のガスレーザ装置に関するものである。

従来の技術 ガスレーザ装置は第２図に示すように、レーザ管１にル
ーツブロア等のガス循環用の送風装置２を接続してレー
ザ管１内のレーザ媒質を高速循環させるようになってお
９、またレーザ媒質供給部３よｐ新鮮なレーザ媒質を一
部補給しながら真空ポンプ４を用いて一部排気してレ−
ザ管１内を一定減圧状態にし、上記送風装置２よりレー
ザ管１内に一定状態にしてガス流を流し、レーザ管１内
の電極５，５′に直接電流Ｅを印加し放電させてレーザ
発振を行なっている。

ところで上記送風装置２は一般に第３図に示すようなル
ーツブロアが用いられているが、従来のこのルーツブロ
アにあっては、ロータ７α。

７ｂを収納するロータ室８と、このロータ室８の両側に
位置し、かつオイルを入れた駆動室（ギヤボックス）９
α、９ｂとの間にロータ室８内の気密を保持するオイル
シール１ｏα、１０ｂが介装しである。また入力軸ＩＩ
がカバー１２から外部へ突出されてお９、この入力軸１
１に図示しないモータが連結されるようになっている。

そしてこの入力軸１１の突出部にはカバー１２との間に
オイルシール１０Ｃが介装しである。

このようなルーツブロアを用いた場合、第２図に示すよ
うに、ガスレーザ装置のレーザガス循環系６内の汚染（
コンタミネーション）を防ぐために、ロータ室ｇの両側
の駆動室９　ａ、ｑ　ｂはレーザガス循環系６と同一の
真空ポンプ４（あるいは別の真空ポンプ）にて減圧状態
にしている（例えば特開昭６１−１４７７５号公報）。

発明が解決しようとする問題点 上記従来の送風装置２にあっては、駆動室９α。

９ｂが運転中には真空ポンプ４によシ減圧状態が保たれ
ておシ、駆動室９α、９ｂ内のオイルミスト等がレーザ
ガス循環系６内への混入が防止されるが、上記従来の送
風装置２の入力軸１１がカバー１２よシ外部にオイルシ
ール１０Ｃを介゛して突出されているため、入力側の駆
動室９ｂ内に大気からの空気がオイルシール１０Ｃｅ通
って侵入してしまうことがある。

運転中は上記したように入力側の駆動室９ｂも減圧され
ているので、たとえこの入力側の駆動室９ｂに大気が侵
入したとしても問題ないが、運転停止時には真空ポンプ
も停止するので、上記駆動室９ｂに汚染された大気が侵
入すると、この駆動室９ｂ内の圧力がロータ室８の圧力
より高くなシ、上記汚染された大気がロータ室６に侵入
し、これがレーザガス循環系６を汚染することになる。

このため従来にあっては、運転停止時にはレーザガス循
環系６に大気圧以上のガス、例えばＨ−ガスを封入して
レーザガス循環系６内の大気による汚染を防止するよう
にしているが、この運転停止中における封入ガスが余分
に消費され、ランニングコストがかさむといった問題が
あった。

問題点を解決するための手段及び作用 本発明は上記のことにかんがみなてれたもので、送風機
の入力軸部からの大気の侵入がなくなり、従って送風装
置からのレーザガス循環等への大気汚染をなくし、運転
停止時におけるレーザガス循環系へのガス封入をなくす
ることができ、ランニングコストを低減できるようにし
たガスレーザ装置を提供しエリとするものであり、′そ
の構成は、レーザ管と、このレーザ管に接続されたレー
ザガス循環系と、レーザガス循環系に介装されたガス循
環用の送風装置と、上記レーザガス循環系の排気を行な
う真空ポンプとを具備し、上記送風装置を駆動するモー
タの外囲器を気密構造にすると共に、上記モータの外囲
器と送風装置の入力軸側の、駆動室とを静的なシール構
造を介して結合した構成となっており、送風装置と、こ
れを駆動するモータのそれぞれの回転部は大気にざらさ
れることがなくなシ、送風装置の入力軸側の駆動室が真
空引きによシ減圧されてもここで大気が侵入することが
ない。

実施例 本発明の実施例を第１図に基づいて説明する。

なおこの実施例において、従来例と同一部材は同一符号
を付して説明を省略する。

第１図は本発明の要部である送風装ｆｔ１５を示すもの
であ夛、この送風装置１５はルーツブロアであり、１６
はその入力軸、１７は入力側の駆動室９ｂを構成する側
板である。この側板１７の両面はフランジ状となってい
て、その−方がロータ室８の側面にＯリング１８を介し
て固着されている。１９はモータ、２０ｉ’！このモー
タ１９の外囲器で６ｐ、この外囲器２０はモータ１９の
出力軸２１側以外の周囲を密封状に囲繞するものであり
、出力軸２１側の開放部には７ランジ２２が設けてあり
、このフランジ２２が上記側板１７の外側端面に０リン
グ２３を介して固着されるようになっている。そしてこ
の固着状態でモータ１９の出力軸２１が送風機１５の入
力軸１６に連結されるようになっている。

上記ルーツブロアのロータ室ｇは第２図に示スヨウにガ
スレーザ装置のレーザガス循環系６に介装されている。

そしてロータ室８の両側の、駆動室９α、９ｂは上記し
〜ザガス循環系６と共に、真空ポンプにて真空引きが可
能になっている。

上記構成により、送風装置１５とこれを駆動するモータ
１９の回転部は大気にさらされることがなくなり、駆動
室９邊が真空引きによシ減圧されてもここへ大気が侵入
されない。

上記第１図に示す実施例にあっては従来例と同様に両駆
動室ｑａ　、９ｂとロータ室８との間の軸部にオイルシ
ール２４α、２４ｂを介装シタが、本発明によれはモー
タ１９との連結部からのリークが無くなることによシ、
上記オイルシール２４α、２４ｂはなくてもよい。また
駆動室９α。

９．６の潤滑方法もグリース潤滑ができる。また第２図
にて示す実施例ではレーザガス循環系６と送風装置１５
の両、駆動室９α、９ｂの双方を真空ポンプ４にて減圧
するようにしたが、これは送風装置１５の駆動室ｑｃＬ
、ｑｂだけを真空引きを行なうようにして、駆動室９α
、９ｂを介してレーザガス循環系６のガスフロー動作を
行なうことができる。なおこの場合、真空ポンプ４と駆
動室９α、９ｂを接続する配管の途中にパルプを入れて
おき、停止時にはこれを閉じて空気の逆流を防止する。

なお上記送風装置１５は、容積式圧縮器、容積式ブロア
、容積式送風機、さらに遠心式圧縮器、遠心式ブロア、
遠心式送風機等を用いる。そして上記容積式プロアの一
例としてルーツブロアを、ま六遠心式プロアとしてター
ボブロアを用いる。

発明の効果 本発明によれば、送風装置１５の入力軸部からの大気の
侵入がなくなり、従って送風装置１５からのレーザガス
循環系６への大気汚染がなくなり、運転停止時のレーザ
ガス循環系６・＼のガス封入をなくすことができ、ラン
ニングコストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の要部を示す断面図、第２図はガスレー
ザ装置の概念図、第３図は従来例を示す断面図である。 １はレーザ管、４は真空ポンプ、６Ｖｉレーザガス循環
系、９ｂは駆動室、１６は入力軸、１５は送風装置、１
９はモータ、２０は外囲器。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザ管１と、このレーザ管１に接続されたレー
   ザガス循環系６と、レーザガス循環系６に介装されたガ
   ス循環用の送風装置１５と、上記レーザガス循環系６の
   排気を行なう真空ポンプ４とを具備し、上記送風装置１
   ５を駆動するモータ１９の外囲器２０を気密構造にする
   と共に、上記モータ１９の外囲器２０と送風装置１５の
   入力軸１６側の駆動室９ｂとを静的なシール構造を介し
   て結合したことを特徴とするガスレーザ装置。
2. （２）上記送風装置１５を容積式圧縮機または容積式ブ
   ロアまたは容積式送風機等容積式を用いたことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置。
3. （３）上記送風装置１５を遠心式圧縮機または遠心式ブ
   ロアまたは遠心式送風機等の遠心式を用いたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載のレーザガス装置。
4. （４）上記容積式ブロアとしてルーツブロアを用いたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のガスレーザ
   装置。
5. （５）上記遠心式ブロアとしてターボブロアを用いたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第３項記載のガスレーザ
   装置。