JPH11266560A - クリーンルーム機器用モーター - Google Patents
クリーンルーム機器用モーターInfo
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- JPH11266560A JPH11266560A JP6804798A JP6804798A JPH11266560A JP H11266560 A JPH11266560 A JP H11266560A JP 6804798 A JP6804798 A JP 6804798A JP 6804798 A JP6804798 A JP 6804798A JP H11266560 A JPH11266560 A JP H11266560A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 密閉化することで、クリーンルームに有害な
ガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モータ
ーを提供することを目的としている。 【解決手段】 上下分割式のモータハウジング１０に、
ローターシャフト貫通用の孔９と巻き線のリード線取り
出し用の孔７を備え、巻き線のリード線取り出し用の孔
７と上下分割式のモータハウジング１０の合わせ目をク
リーンルームに有害でない接着剤２０を用いてシール
し、ローターシャフト貫通用の孔９をクリーンルームに
有害でないグリース２１を用いてシールをして密閉化す
ることで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏ら
さないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
ガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モータ
ーを提供することを目的としている。 【解決手段】 上下分割式のモータハウジング１０に、
ローターシャフト貫通用の孔９と巻き線のリード線取り
出し用の孔７を備え、巻き線のリード線取り出し用の孔
７と上下分割式のモータハウジング１０の合わせ目をク
リーンルームに有害でない接着剤２０を用いてシール
し、ローターシャフト貫通用の孔９をクリーンルームに
有害でないグリース２１を用いてシールをして密閉化す
ることで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏ら
さないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム用
機器に用いる最適なモーターに関する。
機器に用いる最適なモーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年クリーンルーム用機器のモーターに
おいては、その内部のダストやガスの流出の抑制が求め
られており、特開平９−２２５２４０号公報に記載され
たものが知られている。
おいては、その内部のダストやガスの流出の抑制が求め
られており、特開平９−２２５２４０号公報に記載され
たものが知られている。
【０００３】以下、その構成について図６を参照しなが
ら説明する。図に示すように、送風機１０１のファンモ
ーター１０２のモーターケーシング１０３に吸引枝管１
０４を接続し、吸引枝管１０４に接続した真空ポンプで
モーターケーシング１０３内を所定の負圧度に保つよう
に設け、これによってモーターケーシング１０３とシャ
フト１０５や軸受１０６との隙間を通ってモーターケー
シング１０３の外から内へと空気の流れを生じせしめて
いた。
ら説明する。図に示すように、送風機１０１のファンモ
ーター１０２のモーターケーシング１０３に吸引枝管１
０４を接続し、吸引枝管１０４に接続した真空ポンプで
モーターケーシング１０３内を所定の負圧度に保つよう
に設け、これによってモーターケーシング１０３とシャ
フト１０５や軸受１０６との隙間を通ってモーターケー
シング１０３の外から内へと空気の流れを生じせしめて
いた。
【０００４】そして、ファンモーター１０２の運転によ
り軸受１０６や１０７のベアリンググリースがガス状不
純物となっても、これは吸入枝管１０４を通って系外に
排出され、クリーンルームの空気中に拡散することのな
いようにしていた。
り軸受１０６や１０７のベアリンググリースがガス状不
純物となっても、これは吸入枝管１０４を通って系外に
排出され、クリーンルームの空気中に拡散することのな
いようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のクリ
ーンルーム機器用モーターでは、吸入枝管１０４に接続
した真空ポンプでモーターケーシング１０３内を所定の
負圧度に保っておかないと、シャフト１０５や軸受１０
６および固定子１０８からの引出線１０９の引出口１１
０や、モーターケーシング１０３を形成するための筒状
の胴部１０３ｃを下蓋１０３ａと上蓋１０３ｂで挟みこ
れらを締結するボルトナット１０３ｄの隙間から汚染ガ
スが漏れるため、常に真空ポンプを運転しておかなけれ
ばならないのでランニングコストが高くつくという課題
があり、真空ポンプを常に運転しなくてもよいクリーン
ルーム機器用モーターが要求されている。
ーンルーム機器用モーターでは、吸入枝管１０４に接続
した真空ポンプでモーターケーシング１０３内を所定の
負圧度に保っておかないと、シャフト１０５や軸受１０
６および固定子１０８からの引出線１０９の引出口１１
０や、モーターケーシング１０３を形成するための筒状
の胴部１０３ｃを下蓋１０３ａと上蓋１０３ｂで挟みこ
れらを締結するボルトナット１０３ｄの隙間から汚染ガ
スが漏れるため、常に真空ポンプを運転しておかなけれ
ばならないのでランニングコストが高くつくという課題
があり、真空ポンプを常に運転しなくてもよいクリーン
ルーム機器用モーターが要求されている。
【０００６】本発明は、上記課題を解決するもので、上
下分割式のモーターハウジングを密閉化することで、ク
リーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリー
ンルーム機器用モーターを提供することを第１の目的と
している。
下分割式のモーターハウジングを密閉化することで、ク
リーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリー
ンルーム機器用モーターを提供することを第１の目的と
している。
【０００７】第２の目的は、万が一有害なガスやダスト
を漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるク
リーンルーム機器用モーターを提供できる。
を漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるク
リーンルーム機器用モーターを提供できる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
機器用モーターは上記目的を達成するために、上下分割
式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の
孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線の
リード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジ
ングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を
用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をク
リーンルームに有害でないグリースを用いてシールをし
て密閉化した構成としたものである。
機器用モーターは上記目的を達成するために、上下分割
式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の
孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線の
リード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジ
ングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を
用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をク
リーンルームに有害でないグリースを用いてシールをし
て密閉化した構成としたものである。
【０００９】本発明によれば、モーターハウジングを密
閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダスト
を漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供でき
る。
閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダスト
を漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供でき
る。
【００１０】また、他の手段は上下分割式のモーターハ
ウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空
気抜き用の孔に機器外部へ空気誘導するチューブと、こ
のチューブの後端に空気溜め袋を備えた構成としたもの
である。
ウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空
気抜き用の孔に機器外部へ空気誘導するチューブと、こ
のチューブの後端に空気溜め袋を備えた構成としたもの
である。
【００１１】本発明によれば、モーターハウジングを密
閉化し、内部が発熱により圧力が上昇してもチューブの
後端に空気溜め袋を備えているので、クリーンルームに
有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用
モーターを提供できる。
閉化し、内部が発熱により圧力が上昇してもチューブの
後端に空気溜め袋を備えているので、クリーンルームに
有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用
モーターを提供できる。
【００１２】また、他の手段は上下分割式モーターハウ
ジングに空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導
用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルーム
ダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設
けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導
するチューブを設けた構成としたものである。
ジングに空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導
用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルーム
ダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設
けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導
するチューブを設けた構成としたものである。
【００１３】そして本発明によれば、上下分割式モータ
ーハウジングに空気誘導用と空気抜き用の孔を備え、前
記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリ
ーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導す
るチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導す
るチューブを設けた構成としたものである。
ーハウジングに空気誘導用と空気抜き用の孔を備え、前
記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリ
ーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導す
るチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導す
るチューブを設けた構成としたものである。
【００１４】本発明によれば、万が一有害なガスやダス
トを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできる
クリーンルーム機器モーター用を提供できる。
トを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできる
クリーンルーム機器モーター用を提供できる。
【００１５】また、他の手段は上下分割式モーターハウ
ジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空
気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーン
ルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するチュ
ーブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチュ
ーブを設けた構成としたものである。
ジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空
気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーン
ルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するチュ
ーブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチュ
ーブを設けた構成としたものである。
【００１６】本発明によれば、万が一有害なガスやダス
トを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできる
クリーンルーム機器用モーターを提供できる。
トを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできる
クリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明は、上下分割式のモーター
ハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリ
ード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り
出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ
目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシール
し、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルーム
に有害でないグリースを用いてシールをして密閉化した
ものであり、内部のクリーンルームに有害なガスやダス
トを漏らさないようにできるという作用を有する。
ハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリ
ード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り
出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ
目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシール
し、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルーム
に有害でないグリースを用いてシールをして密閉化した
ものであり、内部のクリーンルームに有害なガスやダス
トを漏らさないようにできるという作用を有する。
【００１８】また、上下分割式モーターハウジングのい
ずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔
に機器外部へ空気を誘導するチューブと、このチューブ
の後端に空気溜め袋を備えたものであり、クリーンルー
ムに有害なガスやダストを漏らさないようにできるとい
う作用を有する。
ずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔
に機器外部へ空気を誘導するチューブと、このチューブ
の後端に空気溜め袋を備えたものであり、クリーンルー
ムに有害なガスやダストを漏らさないようにできるとい
う作用を有する。
【００１９】また、上下分割式モーターハウジングに設
けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の
孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダー
ティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けた
チューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導する
チューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダス
トを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる
という作用を有する。
けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の
孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダー
ティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けた
チューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導する
チューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダス
トを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる
という作用を有する。
【００２０】また、上下分割式のモーターハウジングに
設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用
の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームク
リーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けた
チューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導する
チューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダス
トを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる
という作用を有する。
設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用
の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームク
リーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けた
チューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導する
チューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダス
トを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる
という作用を有する。
【００２１】以下、本発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００２２】
【実施例】（実施例１）図１に示すように、クリーンル
ーム機器用のモーター１は、ベアリング２が装着された
シャフト３を備えたローター４と、巻き線５を巻装した
ステーター６と、巻き線のリード線取り出し用の孔７
と、ベアリング２を受けるベアリングハウス８とシャフ
ト貫通用孔９を備えた上下分割式モーターハウジング１
０と、下側モーターハウジング１０ａと上側モーターハ
ウジング１０ｂを締結するボルト１１とナット１２で構
成されており、巻き線のリード線取り出し用の孔７と下
側モーターハウジング１０ａと上側モーターハウジング
１０ｂの合わせ目にはクリーンルームに有害でない接着
剤２０で、シャフト貫通用孔９はクリーンルームに有害
でないグリース２１でそれぞれシールされている。
ーム機器用のモーター１は、ベアリング２が装着された
シャフト３を備えたローター４と、巻き線５を巻装した
ステーター６と、巻き線のリード線取り出し用の孔７
と、ベアリング２を受けるベアリングハウス８とシャフ
ト貫通用孔９を備えた上下分割式モーターハウジング１
０と、下側モーターハウジング１０ａと上側モーターハ
ウジング１０ｂを締結するボルト１１とナット１２で構
成されており、巻き線のリード線取り出し用の孔７と下
側モーターハウジング１０ａと上側モーターハウジング
１０ｂの合わせ目にはクリーンルームに有害でない接着
剤２０で、シャフト貫通用孔９はクリーンルームに有害
でないグリース２１でそれぞれシールされている。
【００２３】上記構成において、巻き線のリード線取り
出し用の孔７と下側モーターハウジング１０ａと上側モ
ーターハウジング１０ｂの合わせ目にはクリーンルーム
に有害でない接着剤２０で、シャフト貫通用孔９にはク
リーンルームに有害でないグリース２１でそれぞれシー
ルして密閉化しているので、クリーンルームに有害なガ
スやダストを漏らさないことができる。
出し用の孔７と下側モーターハウジング１０ａと上側モ
ーターハウジング１０ｂの合わせ目にはクリーンルーム
に有害でない接着剤２０で、シャフト貫通用孔９にはク
リーンルームに有害でないグリース２１でそれぞれシー
ルして密閉化しているので、クリーンルームに有害なガ
スやダストを漏らさないことができる。
【００２４】（実施例２）図２に示すように、上下分割
式のモーターハウジング１０ａのいずれかに空気抜き用
の孔１３を設け、空気抜き用の孔１３に機器外部へ誘導
するチューブ１４とチューブ１４の後端に空気溜め袋１
５を備える。
式のモーターハウジング１０ａのいずれかに空気抜き用
の孔１３を設け、空気抜き用の孔１３に機器外部へ誘導
するチューブ１４とチューブ１４の後端に空気溜め袋１
５を備える。
【００２５】上記構成において、空気抜き用の孔１３に
機器外部へ誘導するチューブ１４と、チューブ１４の後
端に空気溜め袋１５を備えているので、上下分割式モー
ターハウジング１０ａの発熱により内部の圧力が上昇し
ても有害なガスやダストが空気溜め袋１５へ誘導されク
リーンルームに漏らさないことができる。
機器外部へ誘導するチューブ１４と、チューブ１４の後
端に空気溜め袋１５を備えているので、上下分割式モー
ターハウジング１０ａの発熱により内部の圧力が上昇し
ても有害なガスやダストが空気溜め袋１５へ誘導されク
リーンルームに漏らさないことができる。
【００２６】（実施例３）図３および図５に示すよう
に、上下分割式モーターハウジング１０ｂに空気誘導用
の孔１６と空気抜き用の孔１３を設け、空気誘導用の孔
１６にモーターハウジング１０ｂへクリーンルームダー
ティー側１８のダストを含んだ空気を誘導するチューブ
１７を設ける。
に、上下分割式モーターハウジング１０ｂに空気誘導用
の孔１６と空気抜き用の孔１３を設け、空気誘導用の孔
１６にモーターハウジング１０ｂへクリーンルームダー
ティー側１８のダストを含んだ空気を誘導するチューブ
１７を設ける。
【００２７】上記構成において、クリーンルームダーテ
ィー側１８のダストを含んだ空気をチューブ１７を介し
て空気誘導用の孔１６に誘導し、モーターハウジング１
０ｂ内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔１３より
機器外部へ誘導することができる。また、万が一有害な
ガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めるこ
とができる。
ィー側１８のダストを含んだ空気をチューブ１７を介し
て空気誘導用の孔１６に誘導し、モーターハウジング１
０ｂ内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔１３より
機器外部へ誘導することができる。また、万が一有害な
ガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めるこ
とができる。
【００２８】（実施例４）図４および図５に示すよう
に、上下分割式モーターハウジング１０ｃに空気誘導用
の孔１６と空気抜き用の孔１３を設け、空気誘導用の孔
１６にモーターハウジング１０ｃへクリーンルームクリ
ーン側１９のダストの少ない空気を誘導するチューブ１
７を設ける。
に、上下分割式モーターハウジング１０ｃに空気誘導用
の孔１６と空気抜き用の孔１３を設け、空気誘導用の孔
１６にモーターハウジング１０ｃへクリーンルームクリ
ーン側１９のダストの少ない空気を誘導するチューブ１
７を設ける。
【００２９】上記構成において、クリーンルームクリー
ン側１９のダストの少ない空気をチューブ１７を介して
空気誘導用の孔１６に誘導し、モーターハウジング１０
ｃ内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔１３より機
器外部へ誘導することができる。また、万が一有害なガ
スやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めること
ができる。
ン側１９のダストの少ない空気をチューブ１７を介して
空気誘導用の孔１６に誘導し、モーターハウジング１０
ｃ内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔１３より機
器外部へ誘導することができる。また、万が一有害なガ
スやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めること
ができる。
【００３０】
【発明の効果】以上の実施例からも明らかなように、本
発明によれば上下分割式のモーターハウジングに、ロー
ターシャフト貫通用の孔と巻き線のリード線取り出し用
の孔を備え、前記巻き線のリード線取り出し用の孔と上
下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンル
ームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ロータ
ーシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグ
リースを用いてシールをして密閉化することで、クリー
ンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンル
ーム機器用モーターを提供することができる。
発明によれば上下分割式のモーターハウジングに、ロー
ターシャフト貫通用の孔と巻き線のリード線取り出し用
の孔を備え、前記巻き線のリード線取り出し用の孔と上
下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンル
ームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ロータ
ーシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグ
リースを用いてシールをして密閉化することで、クリー
ンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンル
ーム機器用モーターを提供することができる。
【００３１】また、本発明によれば上下分割式のモータ
ーハウジング用のいずれかに設けた空気抜き用の孔と、
この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するチュー
ブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えること
で、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさない
クリーンルーム機器用モーターを提供できる。
ーハウジング用のいずれかに設けた空気抜き用の孔と、
この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するチュー
ブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えること
で、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさない
クリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００３２】また、本発明によれば上下分割式のモータ
ーハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、
前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へク
リーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導
するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機
器外部へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害な
ガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めるこ
とのできるクリーンルーム機器用モーターを提供でき
る。
ーハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、
前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へク
リーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導
するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機
器外部へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害な
ガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めるこ
とのできるクリーンルーム機器用モーターを提供でき
る。
【００３３】また、本発明によれば上下分割式のモータ
ーハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と前
記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリ
ーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導する
ように設けたチューブと前記空気抜き用の孔に機器外部
へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害なガスや
ダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることので
きるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
ーハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と前
記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリ
ーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導する
ように設けたチューブと前記空気抜き用の孔に機器外部
へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害なガスや
ダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることので
きるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【図１】本発明の実施例１のクリーンルーム機器用モー
ターの構成を示す断面図
ターの構成を示す断面図
【図２】本発明の実施例２のクリーンルーム機器用モー
ターの構成を示す断面図
ターの構成を示す断面図
【図３】本発明の実施例３のクリーンルーム機器用モー
ターの構成を示す断面図
ターの構成を示す断面図
【図４】本発明の実施例４のクリーンルーム機器用モー
ターの構成を示す断面図
ターの構成を示す断面図
【図５】本発明の実施例３および４におけるクリーンル
ームのシステム構成を示す断面図
ームのシステム構成を示す断面図
【図６】従来のクリーンルーム機器用モーターの構成を
示す断面図
示す断面図
７ 巻き線のリード線取出用の孔 ９ シャフト貫通用の孔 １０ モーターハウジング １０ａ モーターハウジング １０ｂ モーターハウジング １０ｃ モーターハウジング １３ 空気抜き用の孔 １４ チューブ １５ 空気溜め袋 １６ 空気誘導用の孔 １７ チューブ １８ クリーンルームダーティー側 １９ クリーンルームクリーン側 ２０ クリーンルームに有害でない接着剤 ２１ クリーンルームに有害でないグリース
Claims (4)
- 【請求項１】 上下分割式のモーターハウジングに、ロ
ーターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用
の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下
分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルー
ムに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローター
シャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリ
ースを用いてシールをして密閉化したクリーンルーム機
器用モーター。 - 【請求項２】 上下分割式のモーターハウジングのいず
れかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に
機器外部へ空気を誘導するように設けたチューブと、こ
のチューブの後端に空気溜め袋を設けた請求項１記載の
クリーンルーム機器用モーター。 - 【請求項３】 上下分割式のモーターハウジングに設け
た空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔
に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーテ
ィー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチ
ューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチ
ューブを設けた請求項１記載のクリーンルーム機器用モ
ーター。 - 【請求項４】 上下分割式のモーターハウジングに設け
た空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔
に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリー
ン側のダストの少ない空気を誘導するように設けたチュ
ーブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチュ
ーブを設けた請求項３記載のクリーンルーム機器用モー
ター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06804798A JP4141525B2 (ja) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | クリーンルーム機器用モーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06804798A JP4141525B2 (ja) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | クリーンルーム機器用モーター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11266560A true JPH11266560A (ja) | 1999-09-28 |
| JP4141525B2 JP4141525B2 (ja) | 2008-08-27 |
Family
ID=13362495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06804798A Expired - Fee Related JP4141525B2 (ja) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | クリーンルーム機器用モーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4141525B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1179402A1 (en) * | 1999-01-29 | 2002-02-13 | Daikin Industries, Ltd. | Dust-free rubber mixer |
| JP2005282712A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 単動空気シリンダ弁およびそれを備えた基板処理装置 |
| JP2006187072A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Oriental Motor Co Ltd | アクチュエータにおけるダスト拡散防止装置 |
| WO2012073594A1 (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-07 | 栗田工業株式会社 | 超純水中の微粒子捕捉システム及び微粒子濃度測定方法 |
-
1998
- 1998-03-18 JP JP06804798A patent/JP4141525B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2012115810A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水中の微粒子捕捉システム及び微粒子濃度測定方法 |
| KR20130135857A (ko) * | 2010-12-03 | 2013-12-11 | 쿠리타 고교 가부시키가이샤 | 초순수 중의 미립자 포착 시스템 및 미립자 농도 측정 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4141525B2 (ja) | 2008-08-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20041220 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Effective date: 20050113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Effective date: 20050620 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070830 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071218 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080218 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080611 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620 Year of fee payment: 3 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |