JP4141525B2 - クリーンルーム機器用モーター - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム用機器に用いる最適なモーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年クリーンルーム用機器のモーターにおいては、その内部のダストやガスの流出の抑制が求められており、特開平９−２２５２４０号公報に記載されたものが知られている。
【０００３】
以下、その構成について図６を参照しながら説明する。
図に示すように、送風機１０１のファンモーター１０２のモーターケーシング１０３に吸引枝管１０４を接続し、吸引枝管１０４に接続した真空ポンプでモーターケーシング１０３内を所定の負圧度に保つように設け、これによってモーターケーシング１０３とシャフト１０５や軸受１０６との隙間を通ってモーターケーシング１０３の外から内へと空気の流れを生じせしめていた。
【０００４】
そして、ファンモーター１０２の運転により軸受１０６や１０７のベアリンググリースがガス状不純物となっても、これは吸入枝管１０４を通って系外に排出され、クリーンルームの空気中に拡散することのないようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のクリーンルーム機器用モーターでは、吸入枝管１０４に接続した真空ポンプでモーターケーシング１０３内を所定の負圧度に保っておかないと、シャフト１０５や軸受１０６および固定子１０８からの引出線１０９の引出口１１０や、モーターケーシング１０３を形成するための筒状の胴部１０３ｃを下蓋１０３ａと上蓋１０３ｂで挟みこれらを締結するボルトナット１０３ｄの隙間から汚染ガスが漏れるため、常に真空ポンプを運転しておかなければならないのでランニングコストが高くつくという課題があり、真空ポンプを常に運転しなくてもよいクリーンルーム機器用モーターが要求されている。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するもので、上下分割式のモーターハウジングを密閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供することを第１の目的としている。
【０００７】
第２の目的は、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化した構成としたものである。
【０００９】
上記手段によれば、モーターハウジングを密閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００１０】
また、他の手段は上下分割式のモーターハウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気誘導するチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えた構成としたものである。
【００１１】
本発明によれば、モーターハウジングを密閉化し、内部が発熱により圧力が上昇してもチューブの後端に空気溜め袋を備えているので、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００１２】
また、他の手段は上下分割式モーターハウジングに空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けた構成としたものである。
【００１３】
そして本発明によれば、上下分割式モーターハウジングに空気誘導用と空気抜き用の孔を備え、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けた構成としたものである。
【００１４】
本発明によれば、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器モーター用を提供できる。
【００１５】
また、他の手段は上下分割式モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けた構成としたものである。
【００１６】
本発明によれば、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明は、上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化したものであり、内部のクリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないようにできるという作用を有する。
【００１８】
また、上下分割式モーターハウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えたものであり、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないようにできるという作用を有する。
【００１９】
また、上下分割式モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができるという作用を有する。
【００２０】
また、上下分割式のモーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができるという作用を有する。
【００２１】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
【実施例】
（実施例１）
図１に示すように、クリーンルーム機器用のモーター１は、ベアリング２が装着されたシャフト３を備えたローター４と、巻き線５を巻装したステーター６と、巻き線のリード線取り出し用の孔７と、ベアリング２を受けるベアリングハウス８とシャフト貫通用孔９を備えた上下分割式モーターハウジング１０と、下側モーターハウジング１０ａと上側モーターハウジング１０ｂを締結するボルト１１とナット１２で構成されており、巻き線のリード線取り出し用の孔７と下側モーターハウジング１０ａと上側モーターハウジング１０ｂの合わせ目にはクリーンルームに有害でない接着剤２０で、シャフト貫通用孔９はクリーンルームに有害でないグリース２１でそれぞれシールされている。
【００２３】
上記構成において、巻き線のリード線取り出し用の孔７と下側モーターハウジング１０ａと上側モーターハウジング１０ｂの合わせ目にはクリーンルームに有害でない接着剤２０で、シャフト貫通用孔９にはクリーンルームに有害でないグリース２１でそれぞれシールして密閉化しているので、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないことができる。
【００２４】
（実施例２）
図２に示すように、上下分割式のモーターハウジング１０ａのいずれかに空気抜き用の孔１３を設け、空気抜き用の孔１３に機器外部へ誘導するチューブ１４とチューブ１４の後端に空気溜め袋１５を備える。
【００２５】
上記構成において、空気抜き用の孔１３に機器外部へ誘導するチューブ１４と、チューブ１４の後端に空気溜め袋１５を備えているので、上下分割式モーターハウジング１０ａの発熱により内部の圧力が上昇しても有害なガスやダストが空気溜め袋１５へ誘導されクリーンルームに漏らさないことができる。
【００２６】
（実施例３）
図３および図５に示すように、上下分割式モーターハウジング１０ｂに空気誘導用の孔１６と空気抜き用の孔１３を設け、空気誘導用の孔１６にモーターハウジング１０ｂへクリーンルームダーティー側１８のダストを含んだ空気を誘導するチューブ１７を設ける。
【００２７】
上記構成において、クリーンルームダーティー側１８のダストを含んだ空気をチューブ１７を介して空気誘導用の孔１６に誘導し、モーターハウジング１０ｂ内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔１３より機器外部へ誘導することができる。また、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる。
【００２８】
（実施例４）
図４および図５に示すように、上下分割式モーターハウジング１０ｃに空気誘導用の孔１６と空気抜き用の孔１３を設け、空気誘導用の孔１６にモーターハウジング１０ｃへクリーンルームクリーン側１９のダストの少ない空気を誘導するチューブ１７を設ける。
【００２９】
上記構成において、クリーンルームクリーン側１９のダストの少ない空気をチューブ１７を介して空気誘導用の孔１６に誘導し、モーターハウジング１０ｃ内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔１３より機器外部へ誘導することができる。また、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる。
【００３０】
【発明の効果】
以上の実施例からも明らかなように、本発明によれば上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻き線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻き線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供することができる。
【００３１】
また、本発明によれば上下分割式のモーターハウジング用のいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えることで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００３２】
また、本発明によれば上下分割式のモーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００３３】
また、本発明によれば上下分割式のモーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けたチューブと前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図２】本発明の実施例２のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図３】本発明の実施例３のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図４】本発明の実施例４のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図５】本発明の実施例３および４におけるクリーンルームのシステム構成を示す断面図
【図６】従来のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【符号の説明】
７ 巻き線のリード線取出用の孔
９ シャフト貫通用の孔
１０ モーターハウジング
１０ａ モーターハウジング
１０ｂ モーターハウジング
１０ｃ モーターハウジング
１３ 空気抜き用の孔
１４ チューブ
１５ 空気溜め袋
１６ 空気誘導用の孔
１７ チューブ
１８ クリーンルームダーティー側
１９ クリーンルームクリーン側
２０ クリーンルームに有害でない接着剤
２１ クリーンルームに有害でないグリース
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム用機器に用いる最適なモーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年クリーンルーム用機器のモーターにおいては、その内部のダストやガスの流出の抑制が求められており、特開平９−２２５２４０号公報に記載されたものが知られている。
【０００３】
以下、その構成について図６を参照しながら説明する。
図に示すように、送風機１０１のファンモーター１０２のモーターケーシング１０３に吸引枝管１０４を接続し、吸引枝管１０４に接続した真空ポンプでモーターケーシング１０３内を所定の負圧度に保つように設け、これによってモーターケーシング１０３とシャフト１０５や軸受１０６との隙間を通ってモーターケーシング１０３の外から内へと空気の流れを生じせしめていた。
【０００４】
そして、ファンモーター１０２の運転により軸受１０６や１０７のベアリンググリースがガス状不純物となっても、これは吸入枝管１０４を通って系外に排出され、クリーンルームの空気中に拡散することのないようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のクリーンルーム機器用モーターでは、吸入枝管１０４に接続した真空ポンプでモーターケーシング１０３内を所定の負圧度に保っておかないと、シャフト１０５や軸受１０６および固定子１０８からの引出線１０９の引出口１１０や、モーターケーシング１０３を形成するための筒状の胴部１０３ｃを下蓋１０３ａと上蓋１０３ｂで挟みこれらを締結するボルトナット１０３ｄの隙間から汚染ガスが漏れるため、常に真空ポンプを運転しておかなければならないのでランニングコストが高くつくという課題があり、真空ポンプを常に運転しなくてもよいクリーンルーム機器用モーターが要求されている。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するもので、上下分割式のモーターハウジングを密閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供することを第１の目的としている。
【０００７】
第２の目的は、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化した構成としたものである。
【０００９】
上記手段によれば、モーターハウジングを密閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００１０】
また、他の手段は上下分割式のモーターハウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気誘導するチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えた構成としたものである。
【００１１】
本発明によれば、モーターハウジングを密閉化し、内部が発熱により圧力が上昇してもチューブの後端に空気溜め袋を備えているので、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００１２】
また、他の手段は上下分割式モーターハウジングに空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けた構成としたものである。
【００１３】
そして本発明によれば、上下分割式モーターハウジングに空気誘導用と空気抜き用の孔を備え、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けた構成としたものである。
【００１４】
本発明によれば、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器モーター用を提供できる。
【００１５】
また、他の手段は上下分割式モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けた構成としたものである。
【００１６】
本発明によれば、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明は、上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化したものであり、内部のクリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないようにできるという作用を有する。
【００１８】
また、上下分割式モーターハウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えたものであり、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないようにできるという作用を有する。
【００１９】
また、上下分割式モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができるという作用を有する。
【００２０】
また、上下分割式のモーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができるという作用を有する。
【００２１】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
【実施例】
（実施例１）
図１に示すように、クリーンルーム機器用のモーター１は、ベアリング２が装着されたシャフト３を備えたローター４と、巻き線５を巻装したステーター６と、巻き線のリード線取り出し用の孔７と、ベアリング２を受けるベアリングハウス８とシャフト貫通用孔９を備えた上下分割式モーターハウジング１０と、下側モーターハウジング１０ａと上側モーターハウジング１０ｂを締結するボルト１１とナット１２で構成されており、巻き線のリード線取り出し用の孔７と下側モーターハウジング１０ａと上側モーターハウジング１０ｂの合わせ目にはクリーンルームに有害でない接着剤２０で、シャフト貫通用孔９はクリーンルームに有害でないグリース２１でそれぞれシールされている。
【００２３】
上記構成において、巻き線のリード線取り出し用の孔７と下側モーターハウジング１０ａと上側モーターハウジング１０ｂの合わせ目にはクリーンルームに有害でない接着剤２０で、シャフト貫通用孔９にはクリーンルームに有害でないグリース２１でそれぞれシールして密閉化しているので、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないことができる。
【００２４】
（実施例２）
図２に示すように、上下分割式のモーターハウジング１０ａのいずれかに空気抜き用の孔１３を設け、空気抜き用の孔１３に機器外部へ誘導するチューブ１４とチューブ１４の後端に空気溜め袋１５を備える。
【００２５】
上記構成において、空気抜き用の孔１３に機器外部へ誘導するチューブ１４と、チューブ１４の後端に空気溜め袋１５を備えているので、上下分割式モーターハウジング１０ａの発熱により内部の圧力が上昇しても有害なガスやダストが空気溜め袋１５へ誘導されクリーンルームに漏らさないことができる。
【００２６】
（実施例３）
図３および図５に示すように、上下分割式モーターハウジング１０ｂに空気誘導用の孔１６と空気抜き用の孔１３を設け、空気誘導用の孔１６にモーターハウジング１０ｂへクリーンルームダーティー側１８のダストを含んだ空気を誘導するチューブ１７を設ける。
【００２７】
上記構成において、クリーンルームダーティー側１８のダストを含んだ空気をチューブ１７を介して空気誘導用の孔１６に誘導し、モーターハウジング１０ｂ内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔１３より機器外部へ誘導することができる。また、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる。
【００２８】
（実施例４）
図４および図５に示すように、上下分割式モーターハウジング１０ｃに空気誘導用の孔１６と空気抜き用の孔１３を設け、空気誘導用の孔１６にモーターハウジング１０ｃへクリーンルームクリーン側１９のダストの少ない空気を誘導するチューブ１７を設ける。
【００２９】
上記構成において、クリーンルームクリーン側１９のダストの少ない空気をチューブ１７を介して空気誘導用の孔１６に誘導し、モーターハウジング１０ｃ内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔１３より機器外部へ誘導することができる。また、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる。
【００３０】
【発明の効果】
以上の実施例からも明らかなように、本発明によれば上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻き線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻き線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供することができる。
【００３１】
また、本発明によれば上下分割式のモーターハウジング用のいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えることで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００３２】
また、本発明によれば上下分割式のモーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【００３３】
また、本発明によれば上下分割式のモーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けたチューブと前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図２】本発明の実施例２のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図３】本発明の実施例３のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図４】本発明の実施例４のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図５】本発明の実施例３および４におけるクリーンルームのシステム構成を示す断面図
【図６】従来のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【符号の説明】
７ 巻き線のリード線取出用の孔
９ シャフト貫通用の孔
１０ モーターハウジング
１０ａ モーターハウジング
１０ｂ モーターハウジング
１０ｃ モーターハウジング
１３ 空気抜き用の孔
１４ チューブ
１５ 空気溜め袋
１６ 空気誘導用の孔
１７ チューブ
１８ クリーンルームダーティー側
１９ クリーンルームクリーン側
２０ クリーンルームに有害でない接着剤
２１ クリーンルームに有害でないグリース
Claims (3)
- 上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化し、
モーターハウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するように設けたチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を設けたクリーンルーム機器用モーター。 - 上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化し、
モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたクリーンルーム機器用モーター。 - 上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化し、
モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたクリーンルーム機器用モーター。
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