JP4141525B2 - クリーンルーム機器用モーター - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム用機器に用いる最適なモーターに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年クリーンルーム用機器のモーターにおいては、その内部のダストやガスの流出の抑制が求められており、特開平9−225240号公報に記載されたものが知られている。
【0003】
以下、その構成について図6を参照しながら説明する。
図に示すように、送風機101のファンモーター102のモーターケーシング103に吸引枝管104を接続し、吸引枝管104に接続した真空ポンプでモーターケーシング103内を所定の負圧度に保つように設け、これによってモーターケーシング103とシャフト105や軸受106との隙間を通ってモーターケーシング103の外から内へと空気の流れを生じせしめていた。
【0004】
そして、ファンモーター102の運転により軸受106や107のベアリンググリースがガス状不純物となっても、これは吸入枝管104を通って系外に排出され、クリーンルームの空気中に拡散することのないようにしていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のクリーンルーム機器用モーターでは、吸入枝管104に接続した真空ポンプでモーターケーシング103内を所定の負圧度に保っておかないと、シャフト105や軸受106および固定子108からの引出線109の引出口110や、モーターケーシング103を形成するための筒状の胴部103cを下蓋103aと上蓋103bで挟みこれらを締結するボルトナット103dの隙間から汚染ガスが漏れるため、常に真空ポンプを運転しておかなければならないのでランニングコストが高くつくという課題があり、真空ポンプを常に運転しなくてもよいクリーンルーム機器用モーターが要求されている。
【0006】
本発明は、上記課題を解決するもので、上下分割式のモーターハウジングを密閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供することを第1の目的としている。
【0007】
第2の目的は、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【0008】
【課題を解決するための手段】
記目的を達成するために、上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化した構成としたものである。
【0009】
上記手段によれば、モーターハウジングを密閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【0010】
また、他の手段は上下分割式のモーターハウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気誘導するチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えた構成としたものである。
【0011】
本発明によれば、モーターハウジングを密閉化し、内部が発熱により圧力が上昇してもチューブの後端に空気溜め袋を備えているので、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【0012】
また、他の手段は上下分割式モーターハウジングに空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けた構成としたものである。
【0013】
そして本発明によれば、上下分割式モーターハウジングに空気誘導用と空気抜き用の孔を備え、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けた構成としたものである。
【0014】
本発明によれば、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器モーター用を提供できる。
【0015】
また、他の手段は上下分割式モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けた構成としたものである。
【0016】
本発明によれば、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明は、上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化したものであり、内部のクリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないようにできるという作用を有する。
【0018】
また、上下分割式モーターハウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えたものであり、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないようにできるという作用を有する。
【0019】
また、上下分割式モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができるという作用を有する。
【0020】
また、上下分割式のモーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたものであり、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができるという作用を有する。
【0021】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【0022】
【実施例】
(実施例1)
図1に示すように、クリーンルーム機器用のモーター1は、ベアリング2が装着されたシャフト3を備えたローター4と、巻き線5を巻装したステーター6と、巻き線のリード線取り出し用の孔7と、ベアリング2を受けるベアリングハウス8とシャフト貫通用孔9を備えた上下分割式モーターハウジング10と、下側モーターハウジング10aと上側モーターハウジング10bを締結するボルト11とナット12で構成されており、巻き線のリード線取り出し用の孔7と下側モーターハウジング10aと上側モーターハウジング10bの合わせ目にはクリーンルームに有害でない接着剤20で、シャフト貫通用孔9はクリーンルームに有害でないグリース21でそれぞれシールされている。
【0023】
上記構成において、巻き線のリード線取り出し用の孔7と下側モーターハウジング10aと上側モーターハウジング10bの合わせ目にはクリーンルームに有害でない接着剤20で、シャフト貫通用孔9にはクリーンルームに有害でないグリース21でそれぞれシールして密閉化しているので、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないことができる。
【0024】
(実施例2)
図2に示すように、上下分割式のモーターハウジング10aのいずれかに空気抜き用の孔13を設け、空気抜き用の孔13に機器外部へ誘導するチューブ14とチューブ14の後端に空気溜め袋15を備える。
【0025】
上記構成において、空気抜き用の孔13に機器外部へ誘導するチューブ14と、チューブ14の後端に空気溜め袋15を備えているので、上下分割式モーターハウジング10aの発熱により内部の圧力が上昇しても有害なガスやダストが空気溜め袋15へ誘導されクリーンルームに漏らさないことができる。
【0026】
(実施例3)
図3および図5に示すように、上下分割式モーターハウジング10bに空気誘導用の孔16と空気抜き用の孔13を設け、空気誘導用の孔16にモーターハウジング10bへクリーンルームダーティー側18のダストを含んだ空気を誘導するチューブ17を設ける。
【0027】
上記構成において、クリーンルームダーティー側18のダストを含んだ空気をチューブ17を介して空気誘導用の孔16に誘導し、モーターハウジング10b内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔13より機器外部へ誘導することができる。また、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる。
【0028】
(実施例4)
図4および図5に示すように、上下分割式モーターハウジング10cに空気誘導用の孔16と空気抜き用の孔13を設け、空気誘導用の孔16にモーターハウジング10cへクリーンルームクリーン側19のダストの少ない空気を誘導するチューブ17を設ける。
【0029】
上記構成において、クリーンルームクリーン側19のダストの少ない空気をチューブ17を介して空気誘導用の孔16に誘導し、モーターハウジング10c内部のダスト濃度を薄め、空気抜き用の孔13より機器外部へ誘導することができる。また、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることができる。
【0030】
【発明の効果】
以上の実施例からも明らかなように、本発明によれば上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻き線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻き線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化することで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供することができる。
【0031】
また、本発明によれば上下分割式のモーターハウジング用のいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を備えることで、クリーンルームに有害なガスやダストを漏らさないクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【0032】
また、本発明によれば上下分割式のモーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【0033】
また、本発明によれば上下分割式のモーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けたチューブと前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたので、万が一有害なガスやダストを漏らしたとしても、その濃度を薄めることのできるクリーンルーム機器用モーターを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図2】本発明の実施例2のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図3】本発明の実施例3のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図4】本発明の実施例4のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【図5】本発明の実施例3および4におけるクリーンルームのシステム構成を示す断面図
【図6】従来のクリーンルーム機器用モーターの構成を示す断面図
【符号の説明】
7 巻き線のリード線取出用の孔
9 シャフト貫通用の孔
10 モーターハウジング
10a モーターハウジング
10b モーターハウジング
10c モーターハウジング
13 空気抜き用の孔
14 チューブ
15 空気溜め袋
16 空気誘導用の孔
17 チューブ
18 クリーンルームダーティー側
19 クリーンルームクリーン側
20 クリーンルームに有害でない接着剤
21 クリーンルームに有害でないグリース

Claims (3)

  1. 上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化し
    モーターハウジングのいずれかに設けた空気抜き用の孔と、この空気抜き用の孔に機器外部へ空気を誘導するように設けたチューブと、このチューブの後端に空気溜め袋を設けたクリーンルーム機器用モーター。
  2. 上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化し、
    モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームダーティー側のダストを含んだ空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたクリーンルーム機器用モーター。
  3. 上下分割式のモーターハウジングに、ローターシャフト貫通用の孔と巻線のリード線取り出し用の孔を備え、前記巻線のリード線取り出し用の孔と上下分割式のモーターハウジングの合わせ目をクリーンルームに有害でない接着剤を用いてシールし、前記ローターシャフト貫通用の孔をクリーンルームに有害でないグリースを用いてシールをして密閉化し、
    モーターハウジングに設けた空気誘導用と空気抜き用の孔と、前記空気誘導用の孔に前記モーターハウジング内部へクリーンルームクリーン側のダストの少ない空気を誘導するように設けたチューブと、前記空気抜き用の孔に機器外部へ誘導するチューブを設けたクリーンルーム機器用モーター。
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