JPH11145531A - ガス循環器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】外部にガスを排出する必要がなく、ガス消費量
の小さい、ガス循環器を提供する。 【解決手段】ターボブロワ１００、真空ポンプＰを運転
するとともに、開閉弁Ｖ３、Ｖ４の開度を調整すること
によって、第２ガス循環経路ＲＴ２１にガスを循環させ
る。具体的に混合ガスは、ガス循環経路ＲＴから、ガス
圧縮室５１、シール機構８を通過し、軸受保持室５２に
流入する。そして、外部ポート７からオイルミストフィ
ルタＦＴに至り、ここでオイル等の不純物を取り除かれ
た後、開閉弁Ｖ３、真空ポンプＰ、開閉弁Ｖ４を経由し
てガス循環経路ＲＴに戻ることとなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＯ２ガスレーザ
等に適用されるガス循環器に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＣＯ２ガスレーザ等に適用されるガス循
環器は、レーザ発振部に常にガスを循環させておくよう
にするため、ガス循環経路とこのガス循環経路上に配設
されるガス循環用のガス圧縮機とを備えてなる。このガ
ス圧縮機とは回転翼を保持しガスを循環させる機能を有
するガス圧縮室と、回転翼に直結された回転翼駆動軸を
保持する軸受保持室とを備えてなるものが知られてい
る。しかして従来、軸受に転がり軸受等の接触型のもの
を用い潤滑用オイルを必要とするガス圧縮機を使用する
ガス循環器においては、このオイルが、前記回転翼駆動
軸に沿って軸受保持室からガス圧縮室を介しガス循環経
路内に混入しないように、ラビリンスシール等のシール
機構を配するとともに、軸受保持室内をガス圧縮室より
低圧にすべく、真空ポンプを軸受保持室に接続し、真空
ポンプによりガスを吸引するとともに、この吸引したガ
スを大気中に排出していた。また、ガス循環経路からガ
ス圧縮室、軸受保持室を介して排出されるガス量に見合
うガス量をガス循環経路に設けた混合ガスボンベから供
給し、ガス循環経路内の圧力低下を防止していた。

【０００３】一方、軸受に、動圧ガス軸受を用いたガス
圧縮機を使用するガス循環器においては、軸受に常にガ
スを供給しなければならないため、混合ガスボンベを軸
受保持室に接続して軸受保持室にガスを導入するととも
に、軸受保持室からガス圧縮室を介しガス循環経路内に
流入するガス量に見合うガス量をガス循環経路に設けた
真空ポンプ等により大気中に排出し、ガス循環経路内の
圧力が上昇しないようにする必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなものでは、いずれにしても、大気中に排出したガス
量に相当するガス量を、常に混合ガスボンベから供給し
続けなければならないため、ガス消費量が大きくランニ
ングコストがかさむという問題点があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明は、ガス循環経路と、このガス循環経路
上に配設されるガス圧縮機およびレーザ発振部とを備え
てなり、ガス圧縮機が、回転翼を保持しガスを循環させ
る機能を有するガス圧縮室と、前記回転翼に直結された
回転翼駆動軸を保持する軸受保持室とを備えてなるもの
であるガス循環器において、前記ガス循環経路からガス
圧縮室、軸受保持室を介して再びガス循環経路に至る第
２ガス循環経路を設け、この第２ガス循環経路にもガス
を循環させるように構成したことを特徴とするものであ
る。

【０００６】このようなものであれば、ガス循環経路上
のガスを軸受保持室に流入させ、再びガス循環経路上に
戻すこととなり、外部にガスを排出する必要がなくなる
ので、混合ガスボンベからは、レーザ発振部において消
費される微量のガス量のみを供給するだけで良くなる。
すなわち、ガス消費量を低減してランニングコストを下
げることが可能になる。

【０００７】

【実施例】以下本発明の第１実施例を、図１〜図３を参
照して説明する。本実施例のガス循環器は、図１に示す
ように、ガス循環経路ＲＴと、ガス循環経路ＲＴ上に設
けたレーザ発振部ＬＲと、レーザ発振部ＬＲに直列にガ
ス循環経路ＲＴ上に設けたガス圧縮機たるターボブロワ
１００と、ターボブロワ１００の下流に設けた熱交換器
ＲＤと、ガス循環経路ＲＴを循環するガスを供給する混
合ガスボンベＢと、ドライタイプの真空ポンプＰとを備
えてなる。

【０００８】このターボブロワ１００は、図２に示すよ
うに、ケーシング５と、回転翼駆動軸２と、この回転翼
駆動軸２の上端に固着した回転翼１と、この回転翼駆動
軸２を回動可能に支承する転がり軸受３と、この回転翼
駆動軸２を回転させる電動モータ４とを具備してなる遠
心式のものである。なお、本実施例のものは回転翼駆動
軸２を起立させて使用する。

【０００９】ケーシング５は、回転翼１を内蔵するガス
圧縮室５１と、これらガス圧縮室５１の下端から連続し
て設けられ、回転翼駆動軸２を遊嵌させる軸受保持室５
２とを備えてなる。ガス圧縮室５１は、各回転翼１の頂
部方向に開口するガス導入ポート５３と、回転翼１の側
方に開口するガス導出ポート５４とを備えてなる。軸受
保持室５２は、その中央近傍に設けられ後述する電動モ
ータ４を支持するモータ配設部５５と、このモータ配設
部５５の上下方にそれぞれ設けられ転がり軸受３を支持
する軸受支持部５６と、下端部に設けたオイルだめ部２
２と備えてなる。また、この軸受保持室５２と外部ポー
ト７を接続する外部接続経路６を設けている。さらに、
軸受保持室５２とガス圧縮室５１とは、例えば回転翼駆
動軸２の上端に周設したラビリンスシール等のシール機
構８により区切っている。

【００１０】回転翼１は、切頭円錐状の基体１１の斜面
部に螺旋状に複数の翼体１２を立設したもので一般に知
られているものである。回転翼駆動軸２は、例えば、内
部に図示しないオイル供給路を有し、このオイル供給路
の一端をオイルだめ部２２に開口させるとともに、他端
を転がり軸受の上側に開口させたものである。さらに、
オイル供給路の下端に一体に設けられオイルだめ２２か
らオイルを吸い上げる図示しない遠心ポンプ部とを備え
ている。

【００１１】転がり軸受３は、軸受支持部５６に支持さ
せたもので、本実施例では、アンギュラタイプのものを
採用し、ジャーナル方向、スラスト方向に作用する両荷
重を支持しうるようにしている。電動モータ４は、ロー
タ４１を回転翼駆動軸２に外嵌させて固着するととも
に、ロータ４１の周囲にケーシング５に支持させてステ
ータ４２を配設した例えばＤＣブラシレス式のものであ
って、回転翼駆動軸２と一体的に設け、直接的に回転翼
駆動軸２を駆動させるものである。本実施例では電動モ
ータ４の駆動源としてインバータ４３を用いている。

【００１２】しかして、本実施例の特徴であるガス循環
器の配管構成は、図１に示すように、真空ポンプＰの吸
気ポートをガス循環経路ＲＴとターボブロワ１００の外
部ポート７とにそれぞれ開閉弁Ｖ２、Ｖ３を介して接続
し、真空ポンプＰの排気ポートをガス循環経路ＲＴと大
気とにそれぞれ開閉弁Ｖ４、Ｖ５を介して接続したもの
である。また、開閉弁Ｖ３とターボブロワ１００の外部
ポート７との間には、軸受保持室５２内からでる潤滑オ
イル等の不純物を除去するオイルミストフィルタＦＴを
設けている。すなわち、本実施例では、ガス循環経路Ｒ
Ｔ、ガス圧縮室５１、シール機構８、軸受保持室５２、
外部ポート７、オイルミストフィルタＦＴ、開閉弁Ｖ
３、真空ポンプＰ、および開閉弁Ｖ４から再びガス循環
経路ＲＴに戻る配管経路が、第２ガス循環経路ＲＴ２１
に相当することとなる。また、混合ガスボンベＢは、開
閉弁Ｖ１を介してガス循環経路ＲＴに接続している。

【００１３】このように構成したガス循環器の使用方法
について以下に述べる。循環器稼働時においては、事前
にガス循環経路ＲＴ内を所定圧力の混合ガスで充満する
必要がある。このために、最初、開閉弁Ｖ１〜Ｖ５を全
て閉じた状態から開閉弁Ｖ２、Ｖ３、Ｖ５を開くととも
に真空ポンプＰを駆動してガス循環経路ＲＴ内を真空状
態にした後、開閉弁Ｖ２、Ｖ３、Ｖ５を閉止する。しか
る後、開閉弁Ｖ１を開いて混合ガスボンベＢからガスパ
ージし、ガス循環経路ＲＴのガス圧が所定圧になれば開
閉弁Ｖ１を閉止する。実際にはこの操作を何回か繰り返
し、ガス純度を所定以上にする。そして、再び開閉弁Ｖ
１〜Ｖ５を全て閉じた状態にする。

【００１４】次に、ターボブロワ１００、真空ポンプＰ
を運転するとともに、開閉弁Ｖ３、Ｖ４の開度を調整す
ることによって、第２ガス循環経路ＲＴ２１にガスを循
環させる。具体的に混合ガスは、ガス循環経路ＲＴか
ら、ガス圧縮室５１、シール機構８を通過し、軸受保持
室５２に流入する。そして、外部ポート７からオイルミ
ストフィルタＦＴに至り、ここでオイル等の不純物を取
り除かれた後、開閉弁Ｖ３、真空ポンプＰ、開閉弁Ｖ４
を経由してガス循環経路ＲＴに戻ることとなる。本実施
例の場合は、ガス循環経路ＲＴを真空にする場合と、第
２ガス循環系路ＲＴ２１にガスを循環させる場合とで真
空ポンプＰを共用しているが、前者と後者とで真空ポン
プＰの圧縮比性能を変える必要があるため、真空ポンプ
Ｐの回転数を後者の場合に遅くして圧縮比性能を落とし
て用いている。また、レーザ発振部ＬＲにより消費され
るガス分量に見合うガス量を供給して、ガス循環経路Ｒ
Ｔ内のガス量を一定に保つべく、開閉弁Ｖ１を若干開い
て、混合ガスボンベＢからガス循環経路ＲＴにガスを供
給している。

【００１５】真空ポンプＰにロータリポンプなどのオイ
ルを使用するタイプのものを用いる場合には、図３に示
すように、開閉弁Ｖ４と真空ポートＰの排気ポートとの
間にさらにオイルミストフィルタＦＴ２を設けたり、あ
るいはオイルミストフィルタ内蔵の真空ポンプを用いれ
ばよい。次に、本発明の第２実施例を、図４〜図６を参
照して説明する。なお、第１実施例と同様の部材につい
ては、同一の符号を付すこととする。

【００１６】本実施例のガス循環器は、図４に示すよう
に、ガス循環経路ＲＴと、ガス循環経路ＲＴ上に設けた
レーザ発振部ＬＲと、レーザ発振部ＬＲに直列にガス循
環経路ＲＴ上に設けたガス圧縮機たるターボブロワ１０
１と、ターボブロワ１０１の下流に設けた熱交換器ＲＤ
と、ガス循環経路ＲＴを循環するガスを供給する混合ガ
スボンベＢと、ドライタイプの真空ポンプＰとを備えて
なる。

【００１７】第１実施例との差異は、ターボブロワ１０
１が動圧ガス軸受を有するものである点であり、このタ
ーボブロワ１０１について以下に簡単に説明しておく。
このターボブロワ１０１は、図５に示すように、ケーシ
ング５と、回転翼駆動軸１０２と、この回転翼駆動軸２
の上端に固着した回転翼１と、この回転翼駆動軸１０２
を回動可能に支承する動圧ガス軸受１３１、１３２と、
この回転翼駆動軸２を回転させる電動モータ４とを具備
してなる遠心式のものである。なお、本実施例のものは
回転翼駆動軸１０２を起立させて使用する。

【００１８】本実施例のターボブロワ１０１は、第１実
施例の転がり軸受に代えて動圧ガス軸受を採用したもの
である。したがって、回転翼やガス圧縮室の構成は第１
実施例と同様であるが、軸受の違いにより、回転翼駆動
軸、軸受保持室、シール機構の構成に差異を生じる。差
異部分を図５に基づいて個々に説明すると、回転翼駆動
軸１０２は下端部近傍に設けた円盤体１２１を一体に備
えてなる。

【００１９】軸受保持室１５２には、その中央近傍に電
動モータ４を配設し得るモータ配設部５５と、その下端
近傍に後述するスラスト軸受１３２を配設するスラスト
軸受配設部１５６とを設けている。さらに、ケーシング
５の外面に開口する外部ポート７と連通させる外部接続
経路６を設けている。また、軸受保持室１５２とガス圧
縮室５１とは、回転翼駆動軸１０２の両端端に周設した
シール機構１０８により区切っている。このシール機構
１０８は軸受保持室１５２とガス圧縮室５１とを完全に
分離してしまうものではなく、若干の隙間をもって連通
させるとともに絞り機能を有するものである。

【００２０】軸受は、動圧ガス軸受と称されるもので、
本実施例では、ジャーナル方向に作用する負荷に対して
回転翼駆動軸１０２を支持するジャーナル軸受１３１
と、スラスト方向に作用する負荷に対して回転翼駆動軸
２を支持するスラスト軸受１３２とから構成している。
ジャーナル軸受１３１は、回転翼駆動軸１０２の中間よ
り上方よりおよび下方よりの２カ所に配設したもので、
例えば、矩形状の薄板を丸めて形成するとともにその一
端を後述する軸受保持室１５２の内壁面に支持させ、回
転翼駆動軸１０２の周囲に配置したジャーナル支持板１
３３と、このジャーナル支持板１３３の外方に周設さ
れ、ジャーナル支持板１３３を内方に弾性付勢して回転
翼駆動軸１０２に押接させる複数の板ばね材１３４とか
ら構成したものである。スラスト軸受１３２は、例え
ば、円盤体１２１の上下にそれぞれ配設したスラスト支
持板１３６と、これらスラスト支持板１３６の上下に配
設されスラスト支持板１３６を弾性付勢して円盤体１２
１に押接させる板ばね材１３７とから構成している。そ
して、回転翼駆動軸１０２が静止もしくは一定回転数以
下の場合には、前記弾性付勢力により回転翼駆動軸１０
２をがたなく支承し、一定回転数以上になると回転翼駆
動軸１０２の回転により巻き込まれるガスを利用して、
回転翼駆動軸１０２の周囲および円盤体１２１の上下面
に動圧を発生させ、この動圧によりジャーナル支持板１
３３およびスラスト支持板１３６を後退させて気体膜を
形成し、回転翼駆動軸１０２を非接触に支持する機能を
有するものである。

【００２１】しかして、本実施例の特徴であるガス循環
器の配管構成は、第１実施例とほぼ同様で、真空ポンプ
Ｐの吸気ポートをガス循環経路ＲＴとターボブロワ１０
１の外部ポート７とにそれぞれ開閉弁Ｖ２、Ｖ３を介し
て接続し、真空ポンプＰの排気ポートをガス循環経路Ｒ
Ｔと大気とにそれぞれ開閉弁Ｖ４、Ｖ５を介して接続し
たものである。しかして、軸受保持室１５２内は潤滑オ
イル等を用いずクリーンであるため、開閉弁Ｖ３とター
ボブロワ１０１の外部ポート７とは直結している。すな
わち、本実施例では、ガス循環経路ＲＴ、ガス圧縮室５
１、シール機構１０８、軸受保持室１５２、外部ポート
７、開閉弁Ｖ３、真空ポンプＰ、および開閉弁Ｖ４から
再びガス循環経路ＲＴに戻る配管経路が、第２ガス循環
経路ＲＴ２２に相当することとなる。また、混合ガスボ
ンベＢは、開閉弁Ｖ１を介してガス循環経路ＲＴに接続
している。

【００２２】このように構成したガス循環器の使用方法
について図４に基づいて以下に述べる。循環器稼働時に
おいては、事前にガス循環経路ＲＴ内を所定圧力の混合
ガスで充満する必要がある。このために、最初、開閉弁
Ｖ１〜Ｖ５を全て閉じた状態から開閉弁Ｖ２、Ｖ３、Ｖ
５を開くとともに真空ポンプＰを駆動してガス循環経路
ＲＴ内を真空状態にした後、開閉弁Ｖ２、Ｖ３、Ｖ５を
閉止する。しかる後、開閉弁Ｖ１を開いて混合ガスボン
ベＢからガスパージし、ガス循環経路ＲＴのガス圧が所
定圧になれば開閉弁Ｖ１を閉止する。実際にはこの操作
を何回か繰り返し、ガス純度を所定以上にする。そし
て、再び開閉弁Ｖ１〜Ｖ５を全て閉じた状態にする。

【００２３】次に、ターボブロワ１０１、真空ポンプＰ
を運転するとともに、開閉弁Ｖ３、Ｖ４の開度を調整す
ることによって、第２ガス循環経路ＲＴ２２にガスを循
環させる。具体的に混合ガスは、ガス循環経路ＲＴか
ら、ガス圧縮室５１、シール機構１０８を通過し、軸受
保持室１５２に流入する。そして、外部ポート７から開
閉弁Ｖ３、真空ポンプＰ、開閉弁Ｖ４を経由してガス循
環経路ＲＴに戻ることとなる。本実施例の場合は、ガス
循環経路ＲＴを真空にする場合と、第２ガス循環系路Ｒ
Ｔ２２にガスを循環させる場合とで真空ポンプＰを共用
しているが、第１実施例同様、前者と後者とで真空ポン
プＰの圧縮比性能を変える必要があるため、真空ポンプ
Ｐの回転数を後者の場合に遅くして圧縮比性能を落とし
て用いている。また、レーザ発振部ＬＲにより消費され
るガス量に見合うガス量を供給して、ガス循環経路ＲＴ
内のガス量を一定に保つべく、開閉弁Ｖ１を若干開い
て、混合ガスボンベＢからガス循環経路ＲＴにガスを供
給している。

【００２４】真空ポンプＰにロータリポンプなどのオイ
ルを使用するタイプのものを用いる場合には、図示しな
いが、開閉弁Ｖ４と真空ポートＰの排気ポートとに間に
オイルミストフィルタを設けたり、あるいは真空ポンプ
にオイルミストフィルタ内蔵のものを用いればよい。ま
た、第２実施例の配管の変形例として、図６に示すガス
循環器について説明する。図６では、配管構成として、
真空ポンプＰの吸気ポートをガス循環経路ＲＴに開閉弁
Ｖ７を介して接続し、真空ポンプＰの排気ポートをター
ボブロワ１０１の外部ポート７と大気とにそれぞれ開閉
弁Ｖ８、Ｖ９を介して接続したものである。なお、真空
ポンプＰにオイル使用タイプのものを用いる場合には、
真空ポンプＰの排気ポートと開閉弁Ｖ８との間にオイル
ミストフィルタを設ければよい。しかして、この場合
は、ガス循環経路ＲＴ、開閉弁Ｖ７、真空ポンプＰ、開
閉弁Ｖ８、外部ポート７、軸受保持室１５２、シール機
構１０８、およびガス圧縮室５１から再びガス循環経路
ＲＴに戻る配管経路が第２ガス循環経路ＲＴ２３に相当
することとなる。また、混合ガスボンベＢは、開閉弁Ｖ
６を介してガス循環経路ＲＴに接続している。

【００２５】このように構成したガス循環器の使用方法
について以下に述べる。循環器稼働時においては、事前
にガス循環経路ＲＴ内を所定圧力の混合ガスで充満する
必要がある。このために、最初、開閉弁Ｖ６〜Ｖ９を全
て閉じた状態から開閉弁Ｖ７、Ｖ９を開くとともに真空
ポンプＰを駆動してガス循環経路ＲＴ内を真空状態にし
た後、開閉弁Ｖ７、Ｖ９を閉止する。しかる後、開閉弁
Ｖ６を開いて混合ガスボンベＢからガスパージし、ガス
循環経路ＲＴのガス圧が所定圧になれば開閉弁Ｖ６を閉
止する。実際にはこの操作を何回か繰り返し、ガス純度
を所定以上にする。そして、再び開閉弁Ｖ６〜Ｖ９を全
て閉じた状態にする。

【００２６】次に、ターボブロワ１０１、真空ポンプＰ
を運転するとともに、開閉弁Ｖ７、Ｖ９の開度を調整す
ることによって、第２ガス循環経路ＲＴ２３にガスを循
環させる。具体的に混合ガスは、ガス循環経路ＲＴか
ら、開閉弁Ｖ７、真空ポンプＰ、開閉弁Ｖ８、外部ポー
ト７を通過し、軸受保持室１５２に流入する。そして、
シール機構１０８からガス圧縮室５１を経由してガス循
環経路ＲＴに戻ることとなる。なお、本変形例の場合も
ガス循環経路ＲＴを真空にする場合と、第２ガス循環系
路ＲＴ２３にガスを循環させる場合とで真空ポンプＰを
共用しているため、真空ポンプＰの回転数を後者の場合
に遅くして圧縮比性能を落として用いている。また、レ
ーザ発振部ＬＲにより消費されるガス量に見合うガス量
を供給して、ガス循環経路ＲＴ内のガス量を一定に保つ
べく、開閉弁Ｖ６を若干開いて、混合ガスボンベＢから
ガス循環経路ＲＴにガスを供給している。

【００２７】したがって、第１、第２実施例に示したも
のであれば、ガス循環経路ＲＴ上のガスを軸受保持室５
２、１５２に流入させ、再びガス循環経路ＲＴ上に戻す
こととなり、外部にガスを排出する必要がなくなるの
で、混合ガスボンベＢからは、レーザ発振部ＬＲにおい
て消費される微量のガス量のみを供給するだけで良くな
る。すなわち、ガス消費量を低減してランニングコスト
を下げることが可能になる。また、真空ポンプＰをガス
循環経路ＲＴの真空排気用として、また、第２ガス循環
経路ＲＴ２１、ＲＴ２２、ＲＴ２３にガスを循環させる
ものとして共用できるように配管構成しているので、第
２ガス循環経路ＲＴ２１、ＲＴ２２、ＲＴ２３にガスを
循環させるガス圧縮機等を不要にして部品削減を図れ
る。

【００２８】特に第２実施例によれば、潤滑オイルを用
いないので、ガス循環経路ＲＴに潤滑オイルが混入する
ことがなく、レーザ発振部ＬＲ内の図示しない光学ミラ
ー表面にオイルが付着してレーザ出力値が低下するとい
った問題を抜本的に解決できる。また、動圧ガス軸受の
場合は一般的に放熱機構が必要であるが、第２ガス循環
経路ＲＴ２２、ＲＴ２３にガスを循環させていること
が、放熱機構を兼ねることとなり、別途放熱機構を設け
ずともすむ。さらに、第２実施例中変形例によれば、軸
受保持室１５２を高圧にしているので、気体膜の圧力を
容易に高めることができ、動圧ガス軸受３１、３２の支
持力を大きくして軸受性能を有効に高めることができ
る。

【００２９】なお、本発明は以上示した実施例のみに限
定されるものではない。例えば、第２ガス循環経路にガ
スを循環させるガス圧縮機を独立して設けても構わな
い。また混合ガスボンベから供給するガス量の調整は、
供給するガス量自体が非常に小さく、またボンベ内の圧
力変化等でも変化するため、ガス循環経路上に、別途排
気用バルブを設けておき、この排気バルブによりガス循
環経路内のガス圧を一定に保つようにしても良い。ま
た、ガス圧縮機は、遠心式のターボブロワに限定される
ものではなく、本発明の趣旨にそうものであれば、メカ
ニカルブースタポンプ等でも構わない。

【００３０】その他、各部の構成は図示例に限定される
ものではない。例えば、例えば真空ポンプや混合ガスボ
ンベの配設位置を適宣変えても構わない等、本発明の趣
旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

【００３１】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、ガス循環経路上のガスを軸受保持室に流入させ、再
びガス循環経路上に戻すこととなり、外部にガスを排出
する必要がなくなるので、混合ガスボンベからは、レー
ザ発振部において消費される微量のガス量のみを供給す
るだけで良くなる。すなわち、ガス消費量を低減してラ
ンニングコストを下げることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示すガス循環器の全体概
略回路図。

【図２】同実施例のターボブロワの概略断面図。

【図３】同実施例における回路変形例を示す全体概略回
路図。

【図４】本発明の第２実施例を示すガス循環器の全体概
略回路図。

【図５】同実施例のターボブロワの概略断面図。

【図６】同実施例における回路変形例を示す全体概略回
路図。

【符号の説明】

１００、１０１…ガス圧縮機（ターボブロワ） １…回転翼 ２、１０２…回転翼駆動軸 ５１…ガス圧縮室 ５２、１５２…軸受保持室 ＲＴ…ガス循環経路 ＬＲ…レーザ発振部 ＲＴ２１、ＲＴ２２、ＲＴ２３…第２ガス循環経路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ガス循環経路と、このガス循環経路上に配
   設されるガス圧縮機およびレーザ発振部とを備えてな
   り、ガス圧縮機が、回転翼を保持しガスを循環させる機
   能を有するガス圧縮室と、前記回転翼に直結された回転
   翼駆動軸を保持する軸受保持室とを備えてなるものであ
   るガス循環器において、前記ガス循環経路からガス圧縮
   室、軸受保持室を介して再びガス循環経路に至る第２ガ
   ス循環経路を設け、この第２ガス循環経路にもガスを循
   環させるように構成したことを特徴とするガス循環器。