JP6772721B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
さらに好ましい実施形態では、前記弾性支持体は、前記外輪の半径方向の変位を規制する第1の弾性支持体と、前記外輪のポンプロータ側とは反対方向の変位を規制する第2の弾性支持体とを含み、前記一対のシール部品の内、第1のシール部品は、前記第1の弾性支持体よりもポンプロータ側で前記閉鎖空間をシールし、第2のシール部品は、前記第2の弾性支持体よりも内径側に配置されて、または前記第2の弾性支持体と前記第1の弾性支持体との間の前記外輪の外周に配置されて前記閉鎖空間をシールする。
また、本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、 回転軸を有するポンプロータと、前記回転軸を支持するボールベアリングと、前記ボールベアリングの外輪が収納されるベアリングハウジングと、前記外輪と前記ベアリングハウジングの隙間をシールして閉鎖空間を形成する一対のシール部品と、前記一対のシール部品、前記外輪および前記ベアリングハウジングとで囲まれた前記閉鎖空間に封入される流動性熱伝導材と、前記流動性熱伝導材が封入された前記閉鎖空間に配置され、前記外輪を弾性的に支持する弾性支持体と、を備え、前記弾性支持体は、前記外輪の半径方向の変位を規制する第1の弾性支持体と、前記外輪のポンプロータ側とは反対方向の変位を規制する第2の弾性支持体とを含み、前記一対のシール部品の内、第1のシール部品は、前記第1の弾性支持体よりもポンプロータ側で前記閉鎖空間をシールし、第2のシール部品は、前記第2の弾性支持体よりも内径側配置されて、または前記第2の弾性支持体と前記第1の弾性支持体との間の前記外輪の外周に配置されて前記閉鎖空間をシールする。
また、本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、回転軸を有するポンプロータと、前記回転軸を支持するボールベアリングと、前記ボールベアリングの外輪が収納されるベアリングハウジングと、前記外輪と前記ベアリングハウジングの隙間をシールして閉鎖空間を形成する一対のシール部品と、前記一対のシール部品、前記外輪および前記ベアリングハウジングとで囲まれた前記閉鎖空間に封入される流動性熱伝導材と、前記流動性熱伝導材が封入された前記閉鎖空間に配置され、前記外輪を弾性的に支持する弾性支持体と、を備え、前記弾性支持体は、前記外輪のポンプロータ側方向の変位を規制する第3の弾性支持体を有する。
また、本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、回転軸を有するポンプロータと、前記回転軸を支持するボールベアリングと、前記ボールベアリングの外輪が収納されるベアリングハウジングと、前記ベアリングハウジングに収納された前記ボールベアリングの外輪を軸方向から押さえる押さえ部材と、前記外輪の前記ポンプロータ側の一方の端面と前記ベアリングハウジングとの間に配置され、前記押さえ部材の締め付け力により前記外輪の前記一方の端面に接触する面圧が調整される第1の弾性支持体と、前記外輪の他方の端面と前記押さえ部材との間に配置され、前記押さえ部材の締め付け力により前記外輪の前記他方の端面に接触する面圧が調整される第2の弾性支持体と、前記第1および第2の弾性支持体、前記外輪、前記ベアリングハウジングおよび前記押さえ部材とで囲まれた閉鎖空間に封入される流動性熱伝導材と、を備え、前記第1の弾性支持体と前記外輪との間および前記第1の弾性支持体と前記ベアリングハウジングとの間には、撥油性を有するコート剤の層が設けられ、前記第2の弾性支持体と前記外輪との間および前記第2の弾性支持体と前記押さえ部材との間には、撥油性を有するコート剤の層が設けられている。
さらに好ましい実施形態では、前記コート剤は、常温で硬化するフッ素コーティング剤である。
さらに好ましい実施形態では、前記外輪の前記他方の端面と前記ベアリングハウジングとの間に配置される環状部材をさらに備え、前記第2の弾性支持体は、前記環状部材と前記押さえ部材との間に配置され、前記第2の弾性支持体と前記環状部材との間および前記第2の弾性支持体と前記押さえ部材との間には、撥油性を有するコート剤の層が設けられている。
さらに好ましい実施形態では、前記環状部材の内周と前記外輪の外周との間には、前記環状部材の内周面と前記外輪の外周面との隙間をシールするシール部品が設けられている。
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図1は本発明に係る真空ポンプの第1の実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプ1の断面図である。なお、ターボ分子ポンプ1には電力を供給する電源ユニットが接続されるが、図1では図示を省略した。
図7,8を参照して、本発明に係る真空ポンプの第2の実施の形態を説明する。以下の説明では、第1の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第1の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、弾性支持体に撥油性を有するコート剤を塗布することで流動性熱伝導材120の流出を防止する点で、第1の実施の形態と異なる。
コート剤には、流動性熱伝導材120に用いられるオイルやグリースの基油等に対する撥油性を有する成分が含まれている。たとえば、常温で硬化するフッ素コーティング剤で薄膜(0.1μm程度)を形成することで、フッ素オイルやエステル系オイルに対して撥油能力を発揮する。
膜131,132は、たとえばコート剤の噴霧や塗布などによって弾性支持体112,113の上面および下面に形成される。
なお、外輪81の外周面とプレート114Aの内周面との間からの流動性熱伝導材120の漏洩は、上述したようにOリングシール106によって防止される。外乱や共振等によりシャフト10が振動すると、弾性支持体110,112,113により弾性支持された外輪81も振動することになる。このとき、外輪81とプレート114Aとは一体となって振動するので、外輪81とプレート114Aとの相対位置は不変であり、Oリングシール106の潰し代も不変である。したがって、外乱や共振等によりシャフト10が振動しても、Oリングシール106によるシールが保たれる。
第2の実施の形態において、Oリングシール106を設けず、プレート114Aと外輪81との接触部分に撥油性を有するコート剤の膜を形成してもよい。また、撥油性を有する材料を用いてOリングシール102,104,106を形成してもよい。
Claims (8)
- 回転軸を有するポンプロータと、
前記回転軸を支持するボールベアリングと、
前記ボールベアリングの外輪が収納されるベアリングハウジングと、
前記外輪と前記ベアリングハウジングの隙間をシールして閉鎖空間を形成する一対のシール部品と、
前記一対のシール部品、前記外輪および前記ベアリングハウジングとで囲まれた前記閉鎖空間に封入される流動性熱伝導材と、
前記流動性熱伝導材が封入された前記閉鎖空間に配置され、前記外輪を弾性的に支持する弾性支持体と、を備え、
前記シール部品は、外乱の衝撃または共振により生じる前記外輪の最大変位時に、シール部に隙間が生じないように設けられている、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記弾性支持体は、前記外輪の半径方向の変位を規制する第1の弾性支持体と、前記外輪のポンプロータ側とは反対方向の変位を規制する第2の弾性支持体とを含み、
前記一対のシール部品の内、第1のシール部品は、前記第1の弾性支持体よりもポンプロータ側で前記閉鎖空間をシールし、第2のシール部品は、前記第2の弾性支持体よりも内径側に配置されて、または前記第2の弾性支持体と前記第1の弾性支持体との間の前記外輪の外周に配置されて前記閉鎖空間をシールする、真空ポンプ。 - 回転軸を有するポンプロータと、
前記回転軸を支持するボールベアリングと、
前記ボールベアリングの外輪が収納されるベアリングハウジングと、
前記外輪と前記ベアリングハウジングの隙間をシールして閉鎖空間を形成する一対のシール部品と、
前記一対のシール部品、前記外輪および前記ベアリングハウジングとで囲まれた前記閉鎖空間に封入される流動性熱伝導材と、
前記流動性熱伝導材が封入された前記閉鎖空間に配置され、前記外輪を弾性的に支持する弾性支持体と、を備え、
前記弾性支持体は、前記外輪の半径方向の変位を規制する第1の弾性支持体と、前記外輪のポンプロータ側とは反対方向の変位を規制する第2の弾性支持体とを含み、
前記一対のシール部品の内、第1のシール部品は、前記第1の弾性支持体よりもポンプロータ側で前記閉鎖空間をシールし、第2のシール部品は、前記第2の弾性支持体よりも内径側配置されて、または前記第2の弾性支持体と前記第1の弾性支持体との間の前記外輪の外周に配置されて前記閉鎖空間をシールする、真空ポンプ。 - 回転軸を有するポンプロータと、
前記回転軸を支持するボールベアリングと、
前記ボールベアリングの外輪が収納されるベアリングハウジングと、
前記外輪と前記ベアリングハウジングの隙間をシールして閉鎖空間を形成する一対のシール部品と、
前記一対のシール部品、前記外輪および前記ベアリングハウジングとで囲まれた前記閉鎖空間に封入される流動性熱伝導材と、
前記流動性熱伝導材が封入された前記閉鎖空間に配置され、前記外輪を弾性的に支持する弾性支持体と、を備え、
前記弾性支持体は、前記外輪のポンプロータ側方向の変位を規制する第3の弾性支持体を有する、真空ポンプ。 - 回転軸を有するポンプロータと、
前記回転軸を支持するボールベアリングと、
前記ボールベアリングの外輪が収納されるベアリングハウジングと、
前記ベアリングハウジングに収納された前記ボールベアリングの外輪を軸方向から押さえる押さえ部材と、
前記外輪の前記ポンプロータ側の一方の端面と前記ベアリングハウジングとの間に配置され、前記押さえ部材の締め付け力により前記外輪の前記一方の端面に接触する面圧が調整される第1の弾性支持体と、
前記外輪の他方の端面と前記押さえ部材との間に配置され、前記押さえ部材の締め付け力により前記外輪の前記他方の端面に接触する面圧が調整される第2の弾性支持体と、
前記第1および第2の弾性支持体、前記外輪、前記ベアリングハウジングおよび前記押さえ部材とで囲まれた閉鎖空間に封入される流動性熱伝導材と、を備え、
前記第1の弾性支持体と前記外輪との間および前記第1の弾性支持体と前記ベアリングハウジングとの間には、撥油性を有するコート剤の層が設けられ、
前記第2の弾性支持体と前記外輪との間および前記第2の弾性支持体と前記押さえ部材との間には、撥油性を有するコート剤の層が設けられた真空ポンプ。 - 請求項5に記載の真空ポンプにおいて、
前記コート剤は、常温で硬化するフッ素コーティング剤である、真空ポンプ。 - 請求項5または6に記載の真空ポンプにおいて、
前記外輪の前記他方の端面と前記ベアリングハウジングとの間に配置される環状部材をさらに備え、
前記第2の弾性支持体は、前記環状部材と前記押さえ部材との間に配置され、
前記第2の弾性支持体と前記環状部材との間および前記第2の弾性支持体と前記押さえ部材との間には、撥油性を有するコート剤の層が設けられた真空ポンプ。 - 請求項7に記載の真空ポンプにおいて、
前記環状部材の内周と前記外輪の外周との間には、前記環状部材の内周面と前記外輪の外周面との隙間をシールするシール部品が設けられた真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015209290 | 2015-10-23 | ||
JP2015209290 | 2015-10-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017082767A JP2017082767A (ja) | 2017-05-18 |
JP6772721B2 true JP6772721B2 (ja) | 2020-10-21 |
Family
ID=58711607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016185649A Active JP6772721B2 (ja) | 2015-10-23 | 2016-09-23 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6772721B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11709156B2 (en) | 2017-09-18 | 2023-07-25 | Waters Technologies Corporation | Use of vapor deposition coated flow paths for improved analytical analysis |
US11709155B2 (en) | 2017-09-18 | 2023-07-25 | Waters Technologies Corporation | Use of vapor deposition coated flow paths for improved chromatography of metal interacting analytes |
US11918936B2 (en) | 2020-01-17 | 2024-03-05 | Waters Technologies Corporation | Performance and dynamic range for oligonucleotide bioanalysis through reduction of non specific binding |
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GB2602028A (en) * | 2020-12-15 | 2022-06-22 | Edwards S R O | A pump and a bearing assembly for a pump |
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-
2016
- 2016-09-23 JP JP2016185649A patent/JP6772721B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017082767A (ja) | 2017-05-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190930 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191126 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200807 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200914 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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