JP6225213B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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- F04D19/02—Multi-stage pumps
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- F04D27/02—Surge control
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
12 ハウジング
13 静的なコンポーネント
14 ポンプ室
15 流れパス
16a,16b,16c ポンプ段
17 独立したターボ分子ポンプの為のインレット
18 インレット
19 ハウジングコンポーネント
20 インレット領域
22 ローター軸
24 ステーターディスク/ローターディスクの対
26 分子ポンプ段
28 真空引きすべきチャンバー、レシーバー(容器)
30 分離壁
31 中空シリンダー
32 間隙
34 流れ抵抗部
36 アウトレット
37 ポンプアウトレット
38 別のインレット
40 チャネル、孔
42 管、ホース
44 予真空ポンプ
46 独立したターボ分子ポンプ
50,52 真空ポンプシステム
Claims (13)
- 真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、ハウジング(12)を有し、このハウジングが、ポンピングすべきガスの為のポンプ室(14)を取り囲み、このポンプ室内に、連続して接続され、かつ同じ方向に作用する複数のポンプ段(16a,16b)が設けられており、
その際、ポンプ段(16a,16n)が、ハウジング(12)の内部に置かれたインレット領域(20)を有する各一つのインレット(18)を有し、
その際、これらインレット(18)が各ポンプ段(16a,16b)に前置されており、及びこれらインレット(18)の間に別のインレットが設けられておらず、そして、
その際、少なくとも一つの転向手段(30,34,38,40,42)が設けられており、この転向手段が、ポンピングすべきガスの為の、前接続されたポンプ段(16a)から出発する少なくとも一つの流れパス(15)を提供し、この流れパスが、後接続されたポンプ段(16b)のインレット領域(20)をから離れるよう案内されることを特徴とする真空ポンプ。 - 転向手段が、二つのポンプ段(16a,16b)の間に設けられた分離壁(30)を有し、この分離壁と通って、ポンプ段(16a,16b)に割り当てられたローター軸(22)が延在していることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- ローター軸(22)が、間隙(32)を形成しつつ、分離壁(30)内の開口部を貫通していることを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ。
- 間隙(32)を通って流れパス(15)が推移していることを特徴とする請求項3に記載の真空ポンプ。
- 分離壁(30)が、ローター軸(22)の領域において軸方向に、後接続されたポンプ段(16b)内部へと延長されていることを特徴とする請求項3または4に記載の真空ポンプ。
- 間隙(32)が、ポンプ効果を発する構造によって画成されていることを特徴とする請求項3から5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 間隙(32)に、転向手段として流れ抵抗部(34)が設けられていることを特徴とする請求項3から6のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 転向手段が、ポンプ室(14)から導き出される流れパスを定義することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 転向手段が、前接続されたポンプ段(16a)のアウトレット(36)を有し、これが、導管(40,42)によって、後接続されたポンプ段(16b)の別のインレット(38)と接続されている、及び/又は外部の装置に接続可能であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 導管(40)が、ハウジング(12)の内部及びポンプ室(14)の外部を推移していることを特徴とする請求項9に記載の真空ポンプ。
- 導管(42)が、ハウジング(12)の外部を推移していることを特徴とする請求項9に記載の真空ポンプ。
- アウトレット(36)に、少なくとも一つの分子ポンプ段(26)が設けられていることを特徴とする請求項9から11のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 真空引きすべき複数のチャンバー(28)を有する装置と、請求項1から12のいずれか一項に記載の真空ポンプを有する真空システムであって、
その際、チャンバー(28)が、連続して設けられており、そして各一つのガスアウトレットを有し、これが、ポンプの運転中、真空ポンプ(10)のポンプ段(16a,16b,16c)のうちの一つのインレット(18)と接続されていることを特徴とする真空システム。
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