JPH10169594A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH10169594A JPH10169594A JP8352293A JP35229396A JPH10169594A JP H10169594 A JPH10169594 A JP H10169594A JP 8352293 A JP8352293 A JP 8352293A JP 35229396 A JP35229396 A JP 35229396A JP H10169594 A JPH10169594 A JP H10169594A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- port side
- casing
- pump casing
- thread groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ステータの所定箇所において、状況に応じて
必要となる温度制御を効率的に行うことができるターボ
分子ポンプを提供する。 【解決手段】 ポンプケーシング６４内に、ロータＲ側
の回転翼３０とステータＳ側の固定翼３２が交互に配置
された翼排気部Ｌ1と、該翼排気部の下流の前記ステー
タ側またはロータ側の少なくとも一方にねじ溝３４ａを
有するねじ溝排気部Ｌ2とが設けられ、前記ポンプケー
シングは、前記翼排気部の周囲を覆う吸気口側ポンプケ
ーシング６０と、前記ねじ溝排気部の周囲を覆う排気口
側ポンプケーシング６２とを接続して構成されている。
必要となる温度制御を効率的に行うことができるターボ
分子ポンプを提供する。 【解決手段】 ポンプケーシング６４内に、ロータＲ側
の回転翼３０とステータＳ側の固定翼３２が交互に配置
された翼排気部Ｌ1と、該翼排気部の下流の前記ステー
タ側またはロータ側の少なくとも一方にねじ溝３４ａを
有するねじ溝排気部Ｌ2とが設けられ、前記ポンプケー
シングは、前記翼排気部の周囲を覆う吸気口側ポンプケ
ーシング６０と、前記ねじ溝排気部の周囲を覆う排気口
側ポンプケーシング６２とを接続して構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速回転する回転
翼により気体の排気を行うようにしたターボ分子ポンプ
に係わり、特に、低流量から高流量まで広い流量域で排
気が可能な、いわゆる広域型ターボ分子ポンプに関す
る。
翼により気体の排気を行うようにしたターボ分子ポンプ
に係わり、特に、低流量から高流量まで広い流量域で排
気が可能な、いわゆる広域型ターボ分子ポンプに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】広域型ターボ分子ポンプの従来の一般的
な構造を図３に示す。これは、主軸１０及びこれと一体
に回転する回転筒状部１２とを有するロータＲと、該回
転筒状部１２を取り囲む筒状のケーシング１４と、主軸
１０を取り囲む固定筒状部１６を有するステータ本体１
７とが、ベースＢ上に組み上げられて構成されている。
これらケーシング１４とステータ本体１７がステータＳ
を構成している。
な構造を図３に示す。これは、主軸１０及びこれと一体
に回転する回転筒状部１２とを有するロータＲと、該回
転筒状部１２を取り囲む筒状のケーシング１４と、主軸
１０を取り囲む固定筒状部１６を有するステータ本体１
７とが、ベースＢ上に組み上げられて構成されている。
これらケーシング１４とステータ本体１７がステータＳ
を構成している。
【０００３】そして、主軸１０と固定筒状部１６の間に
駆動用モータ１８が設置され、この駆動用モータ１８の
上下には上部ラジアル軸受２０及び下部ラジアル軸受２
２が設けられている。そして、主軸１０の下部には、主
軸１０の下端のターゲットディスク２４ａと、ステータ
Ｓ側の上下のコイル２４ｂからなるアキシャル軸受２４
がそれぞれ配置されている。これによって、駆動用モー
タ１８の駆動に伴ってロータ１４が５軸の能動制御を受
けながら高速回転するようになっている。
駆動用モータ１８が設置され、この駆動用モータ１８の
上下には上部ラジアル軸受２０及び下部ラジアル軸受２
２が設けられている。そして、主軸１０の下部には、主
軸１０の下端のターゲットディスク２４ａと、ステータ
Ｓ側の上下のコイル２４ｂからなるアキシャル軸受２４
がそれぞれ配置されている。これによって、駆動用モー
タ１８の駆動に伴ってロータ１４が５軸の能動制御を受
けながら高速回転するようになっている。
【０００４】回転筒状部１２の上部外周には回転翼３０
が一体に設けられて羽根車を構成し、一方、ケーシング
１４の内面には、回転翼３０と交互に配置される固定翼
３２が設けられている。これによって、高速回転する回
転翼３０と静止している固定翼３２との相互作用によっ
て排気を行う翼排気部Ｌ1 が形成されている。
が一体に設けられて羽根車を構成し、一方、ケーシング
１４の内面には、回転翼３０と交互に配置される固定翼
３２が設けられている。これによって、高速回転する回
転翼３０と静止している固定翼３２との相互作用によっ
て排気を行う翼排気部Ｌ1 が形成されている。
【０００５】更に、回転筒状部１２には、固定筒状部１
６の外周に沿って下方に延出するねじ溝部３４が一体に
設けられているとともに、このねじ溝部３４の外周面に
ねじ溝３４ａが設けられている。一方、ステータＳに
は、このねじ溝部３４の外周を囲繞するねじ溝部スペー
サ３６が配置されている。これによって、高速回転する
ねじ溝部３４のねじ溝３４ａのドラッグ作用によって排
気を行うねじ溝排気部Ｌ2 が翼排気部Ｌ1 の下流側に形
成されている。
６の外周に沿って下方に延出するねじ溝部３４が一体に
設けられているとともに、このねじ溝部３４の外周面に
ねじ溝３４ａが設けられている。一方、ステータＳに
は、このねじ溝部３４の外周を囲繞するねじ溝部スペー
サ３６が配置されている。これによって、高速回転する
ねじ溝部３４のねじ溝３４ａのドラッグ作用によって排
気を行うねじ溝排気部Ｌ2 が翼排気部Ｌ1 の下流側に形
成されている。
【０００６】このようなターボ分子ポンプを組み立てる
には、固定筒状部１６を有するステータ本体１７上にね
じ溝部スペーサ３６を取り付ける。そして、ロータＲを
仮固定し、ねじ溝部スペーサ３６の上面に固定翼３２と
固定翼スペーサ３８を交互に積み上げて固定し、ポンプ
ケーシング１４を被せて固定する。ステータ本体１７に
は排気を排出する排気口４０が設けられ、この排気口４
０の反対側にはコネクタ４２が装着されている。
には、固定筒状部１６を有するステータ本体１７上にね
じ溝部スペーサ３６を取り付ける。そして、ロータＲを
仮固定し、ねじ溝部スペーサ３６の上面に固定翼３２と
固定翼スペーサ３８を交互に積み上げて固定し、ポンプ
ケーシング１４を被せて固定する。ステータ本体１７に
は排気を排出する排気口４０が設けられ、この排気口４
０の反対側にはコネクタ４２が装着されている。
【０００７】このようなターボ分子ポンプでは、稼働に
伴う発熱を吸収して内部の部品等を保護するために、ス
テータ本体１７の下部に水冷配管４６を設けて冷却水を
導入してポンプ内部を強制的に冷却する場合がある。
伴う発熱を吸収して内部の部品等を保護するために、ス
テータ本体１７の下部に水冷配管４６を設けて冷却水を
導入してポンプ内部を強制的に冷却する場合がある。
【０００８】一方、排気ガス中の成分には、例えば、図
４にその昇華線図を示すように、ＡｌＣｌ3 のような昇
華温度が低いものがある。このような成分は、特に、圧
力が高く温度が低いターボ分子ポンプの下流側部分で固
相になり易く、これにより詰まりや摺動部の損傷を生じ
る。これを防止するために、図５に示すように、ねじ溝
排気部Ｌ2 及びその下流側のポンプケーシング１４及び
ステータ本体１７の排気口近傍の外周面にヒータ４８，
５０を配置する場合がある。
４にその昇華線図を示すように、ＡｌＣｌ3 のような昇
華温度が低いものがある。このような成分は、特に、圧
力が高く温度が低いターボ分子ポンプの下流側部分で固
相になり易く、これにより詰まりや摺動部の損傷を生じ
る。これを防止するために、図５に示すように、ねじ溝
排気部Ｌ2 及びその下流側のポンプケーシング１４及び
ステータ本体１７の排気口近傍の外周面にヒータ４８，
５０を配置する場合がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の技術においては、底部側から強制冷却を行ってお
り、ステータＳの冷却効率は良いが、これと非接触ある
いは接触の少ないロータＲの冷却が不充分であるという
問題があった。ロータＲに近接する翼排気部Ｌ1 やねじ
溝排気部Ｌ2 の周囲に外部ジャケットを設けることも考
えられるが、構造の複雑化とポンプの大径化を招いて好
ましくない。
来の技術においては、底部側から強制冷却を行ってお
り、ステータＳの冷却効率は良いが、これと非接触ある
いは接触の少ないロータＲの冷却が不充分であるという
問題があった。ロータＲに近接する翼排気部Ｌ1 やねじ
溝排気部Ｌ2 の周囲に外部ジャケットを設けることも考
えられるが、構造の複雑化とポンプの大径化を招いて好
ましくない。
【００１０】ポンプケーシング１４からの放熱による冷
却もあるが、吸気口側の回転翼の外径寸法（図３中φＡ
寸法）より、ねじ溝部３４のロータ外径寸法（図３中φ
Ｂ寸法）の方が小さく、前記のようにこの部分にねじ溝
スペーサ３６が配置されているから、放射による熱伝達
も少なくなり、ねじ溝部３４の冷却効率が低くなる。
却もあるが、吸気口側の回転翼の外径寸法（図３中φＡ
寸法）より、ねじ溝部３４のロータ外径寸法（図３中φ
Ｂ寸法）の方が小さく、前記のようにこの部分にねじ溝
スペーサ３６が配置されているから、放射による熱伝達
も少なくなり、ねじ溝部３４の冷却効率が低くなる。
【００１１】このような問題は、図５に示すねじ溝部３
４をヒータで加熱する場合にも同様に存在する。この場
合は、放射による加熱効率が低いだけではなく、ケーシ
ング１４が一体であるために本来加熱する必要がない翼
排気部Ｌ1 まで熱が伝達されてしまい、ヒータ４８，５
０のエネルギー効率が低い、又は精度のよい制御が難し
いという問題があった。
４をヒータで加熱する場合にも同様に存在する。この場
合は、放射による加熱効率が低いだけではなく、ケーシ
ング１４が一体であるために本来加熱する必要がない翼
排気部Ｌ1 まで熱が伝達されてしまい、ヒータ４８，５
０のエネルギー効率が低い、又は精度のよい制御が難し
いという問題があった。
【００１２】本発明は、上記に鑑み、ステータの所定箇
所において、状況に応じて必要となる温度制御を効率的
に行うことができるターボ分子ポンプを提供することを
目的とする。
所において、状況に応じて必要となる温度制御を効率的
に行うことができるターボ分子ポンプを提供することを
目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ポンプケーシング内に、ロータ側の回転翼とステー
タ側の固定翼が交互に配置された翼排気部と、該翼排気
部の下流の前記ステータ側またはロータ側の少なくとも
一方にねじ溝を有するねじ溝排気部とが設けられ、前記
ポンプケーシングは、前記翼排気部の周囲を覆う吸気口
側ポンプケーシングと、前記ねじ溝排気部の周囲を覆う
排気口側ポンプケーシングとを接続して構成されている
ことを特徴とするターボ分子ポンプである。
は、ポンプケーシング内に、ロータ側の回転翼とステー
タ側の固定翼が交互に配置された翼排気部と、該翼排気
部の下流の前記ステータ側またはロータ側の少なくとも
一方にねじ溝を有するねじ溝排気部とが設けられ、前記
ポンプケーシングは、前記翼排気部の周囲を覆う吸気口
側ポンプケーシングと、前記ねじ溝排気部の周囲を覆う
排気口側ポンプケーシングとを接続して構成されている
ことを特徴とするターボ分子ポンプである。
【００１４】このように構成した本発明では、ターボ分
子ポンプを組み立てるには、ステータに排気口側ポンプ
ケーシングを取り付けた後、ロータを仮固定し、さらに
固定翼を組み付け、吸気側ポンプケーシングを被せる工
程が採用できる。これにより、組立工程に支障を与える
ことなく、排気口側ポンプケーシングの内径を自由に設
定することができる。
子ポンプを組み立てるには、ステータに排気口側ポンプ
ケーシングを取り付けた後、ロータを仮固定し、さらに
固定翼を組み付け、吸気側ポンプケーシングを被せる工
程が採用できる。これにより、組立工程に支障を与える
ことなく、排気口側ポンプケーシングの内径を自由に設
定することができる。
【００１５】従って、排気口側ポンプケーシングの内径
をロータ外径より小さく設定することができ、これによ
って、ねじ溝排気部におけるロータと排気口側ポンプケ
ーシングとの距離を小さくして、排気口側ポンプケーシ
ングからポンプ内部への熱伝導を良くすることができ
る。
をロータ外径より小さく設定することができ、これによ
って、ねじ溝排気部におけるロータと排気口側ポンプケ
ーシングとの距離を小さくして、排気口側ポンプケーシ
ングからポンプ内部への熱伝導を良くすることができ
る。
【００１６】請求項２に記載の発明は、前記排気口側ポ
ンプケーシングの内部に冷却媒体用流路を形成したこと
を特徴とする請求項１記載のターボ分子ポンプである。
すなわち、排気口側ポンプケーシングの内径を小さく設
定することができるので、これを利用してねじ溝排気部
の外側に排気口側ポンプケーシングと一体の冷却媒体用
流路を設け、ロータから近接した位置に冷却媒体を流す
ことでポンプ内部を効率的に冷却することができる。
ンプケーシングの内部に冷却媒体用流路を形成したこと
を特徴とする請求項１記載のターボ分子ポンプである。
すなわち、排気口側ポンプケーシングの内径を小さく設
定することができるので、これを利用してねじ溝排気部
の外側に排気口側ポンプケーシングと一体の冷却媒体用
流路を設け、ロータから近接した位置に冷却媒体を流す
ことでポンプ内部を効率的に冷却することができる。
【００１７】請求項３に記載の発明は、前記排気口側ポ
ンプケーシングの外周面に前記ねじ溝排気部を加熱する
ための加熱手段を設けたことを特徴とする請求項１に記
載のターボ分子ポンプである。すなわち、排気口側ポン
プケーシングの外径を小さく設定し、ねじ溝排気部の外
側の位置に加熱手段を設け、ロータにより近接した位置
からねじ溝排気部を効率良く加熱する。
ンプケーシングの外周面に前記ねじ溝排気部を加熱する
ための加熱手段を設けたことを特徴とする請求項１に記
載のターボ分子ポンプである。すなわち、排気口側ポン
プケーシングの外径を小さく設定し、ねじ溝排気部の外
側の位置に加熱手段を設け、ロータにより近接した位置
からねじ溝排気部を効率良く加熱する。
【００１８】請求項４に記載の発明は、前記吸気口側ポ
ンプケーシングと前記排気口側ポンプケーシングとを断
熱的に接合したことを特徴とする請求項３に記載のター
ボ分子ポンプである。これにより、加熱が必要な箇所だ
け加熱するのでエネルギー効率が良くなるとともに、熱
容量が小さいので温度制御を迅速に行うことができる。
ンプケーシングと前記排気口側ポンプケーシングとを断
熱的に接合したことを特徴とする請求項３に記載のター
ボ分子ポンプである。これにより、加熱が必要な箇所だ
け加熱するのでエネルギー効率が良くなるとともに、熱
容量が小さいので温度制御を迅速に行うことができる。
【００１９】なお、温度制御が必要な箇所に温度センシ
ングのための手段を設けて、冷却又は加熱手段へのエネ
ルギー入力を制御し、より精密な温度制御を行うように
しても良い。
ングのための手段を設けて、冷却又は加熱手段へのエネ
ルギー入力を制御し、より精密な温度制御を行うように
しても良い。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
及び図２を参照して説明する。なお、図３ないし図５で
説明した従来例と同一の部材には同一符号を付してその
説明を省略する。図１は、ポンプ内部、特にロータを効
率良く冷却できるようにした実施の形態を示すもので、
以下、従来例と異なる点について説明する。
及び図２を参照して説明する。なお、図３ないし図５で
説明した従来例と同一の部材には同一符号を付してその
説明を省略する。図１は、ポンプ内部、特にロータを効
率良く冷却できるようにした実施の形態を示すもので、
以下、従来例と異なる点について説明する。
【００２１】ケーシング６４は、吸気口側ケーシング６
０と排気口側ケーシング６２の上下に分割されている。
すなわち、吸気口側ケーシング６０は、高速回転する回
転翼３０と固定翼３２の相互作用により排気を行う翼排
気部Ｌ1 の周囲を覆う円筒状に形成され、上端に吸気口
６０ａが設けられている。排気口側ケーシング６２は、
回転筒状部１２のねじ溝部３４の外周面に設けたねじ溝
３４ａのドラッグ作用により排気を行うねじ溝排気部Ｌ
2 を覆っている。
０と排気口側ケーシング６２の上下に分割されている。
すなわち、吸気口側ケーシング６０は、高速回転する回
転翼３０と固定翼３２の相互作用により排気を行う翼排
気部Ｌ1 の周囲を覆う円筒状に形成され、上端に吸気口
６０ａが設けられている。排気口側ケーシング６２は、
回転筒状部１２のねじ溝部３４の外周面に設けたねじ溝
３４ａのドラッグ作用により排気を行うねじ溝排気部Ｌ
2 を覆っている。
【００２２】吸気口側ポンプケーシング６０の胴部の内
径ｄ1 は、固定翼３０及び固定翼スペーサ３８の外径と
ほぼ等しく、また排気口側ポンプケーシング６２の内径
ｄ2は、回転筒状部１２のねじ溝部３４の外径より僅か
に大きい。従って、排気口側ポンプケーシング６２の胴
部の内径ｄ2 は、吸気口側ポンプケーシング６０の胴部
内径ｄ1 より小さい（ｄ2 ＜ｄ1 ）。さらに、排気口側
ポンプケーシング６２の内径ｄ2 は、回転翼３０の外径
ｒより小さい（ｄ2 ＜ｒ ）。
径ｄ1 は、固定翼３０及び固定翼スペーサ３８の外径と
ほぼ等しく、また排気口側ポンプケーシング６２の内径
ｄ2は、回転筒状部１２のねじ溝部３４の外径より僅か
に大きい。従って、排気口側ポンプケーシング６２の胴
部の内径ｄ2 は、吸気口側ポンプケーシング６０の胴部
内径ｄ1 より小さい（ｄ2 ＜ｄ1 ）。さらに、排気口側
ポンプケーシング６２の内径ｄ2 は、回転翼３０の外径
ｒより小さい（ｄ2 ＜ｒ ）。
【００２３】排気口側ポンプケーシング６２は二重壁と
なっており、これとステータ本体１７とが液密に接合さ
れて、内部に円筒状の空間である冷却水流路６６が構成
されている。また、この冷却水流路６６の内部に冷却水
を導入する冷却水配管（図示略）が設けられている。
なっており、これとステータ本体１７とが液密に接合さ
れて、内部に円筒状の空間である冷却水流路６６が構成
されている。また、この冷却水流路６６の内部に冷却水
を導入する冷却水配管（図示略）が設けられている。
【００２４】この実施の形態のターボ分子ポンプを組み
立てるには、ステータ本体１７上に排気口側ポンプケー
シング６２を接合した後、間に冷却水流路６６を形成す
る。次に、ロータＲを仮固定し、排気口側ポンプケーシ
ング６２の上面に固定翼３２と固定翼スペーサ３８を交
互に積み上げて固定し、吸気側ポンプケーシング６０を
被せて固定する。このように、上下分割型のケーシング
であるので、排気側ポンプケーシング６２の内径ｄ2 が
ロータの外径ｒより小さくても、組立に支障がない。
立てるには、ステータ本体１７上に排気口側ポンプケー
シング６２を接合した後、間に冷却水流路６６を形成す
る。次に、ロータＲを仮固定し、排気口側ポンプケーシ
ング６２の上面に固定翼３２と固定翼スペーサ３８を交
互に積み上げて固定し、吸気側ポンプケーシング６０を
被せて固定する。このように、上下分割型のケーシング
であるので、排気側ポンプケーシング６２の内径ｄ2 が
ロータの外径ｒより小さくても、組立に支障がない。
【００２５】そして、このように排気口側ポンプケーシ
ング６２の内径を小さくすることができるので、ねじ溝
排気部Ｌ2 の周囲に、従来例のようなねじ溝部スペーサ
３６（図３及び図５参照）を設ける必要がなく、ねじ溝
排気部Ｌ2 が排気口側ポンプケーシング６２と直接に、
しかも近接して配置され、排気口側ポンプケーシング６
２とねじ溝部３４との間の放射による熱伝導を良くする
ことができる。
ング６２の内径を小さくすることができるので、ねじ溝
排気部Ｌ2 の周囲に、従来例のようなねじ溝部スペーサ
３６（図３及び図５参照）を設ける必要がなく、ねじ溝
排気部Ｌ2 が排気口側ポンプケーシング６２と直接に、
しかも近接して配置され、排気口側ポンプケーシング６
２とねじ溝部３４との間の放射による熱伝導を良くする
ことができる。
【００２６】また、ねじ溝部スペーサ３６が存在した空
間を利用して、排気口側ポンプケーシング６２の内面に
一体に冷却水流路６６を形成することができ、これによ
って、簡単でコンパクトな構成を維持しながら、ロータ
Ｒを近接した位置からより効率的に冷却することができ
る。
間を利用して、排気口側ポンプケーシング６２の内面に
一体に冷却水流路６６を形成することができ、これによ
って、簡単でコンパクトな構成を維持しながら、ロータ
Ｒを近接した位置からより効率的に冷却することができ
る。
【００２７】図２は、この発明の他の実施の形態を示す
もので、ねじ溝排気部Ｌ2 を加熱してこの部分での排気
ガス中の低蒸気圧成分の析出を防止するようにしたもの
である。この実施の形態においても、図１の場合と同様
に、ケーシング１４は、吸気口側ケーシング６０と排気
口側ケーシング６２の上下に分割されている。
もので、ねじ溝排気部Ｌ2 を加熱してこの部分での排気
ガス中の低蒸気圧成分の析出を防止するようにしたもの
である。この実施の形態においても、図１の場合と同様
に、ケーシング１４は、吸気口側ケーシング６０と排気
口側ケーシング６２の上下に分割されている。
【００２８】この実施の形態では、図１に示すような排
気側ポンプケーシング６２の内部の冷却水用流路６６は
設けられておらず、図１に比較して排気口側ポンプケー
シング６２はその外径がその分小径になっている。また
図１と同様に、その内面とねじ溝部３４との距離が近接
している。そして、この排気側ポンプケーシング６２の
外周面には、円筒状のヒータ６８が配置されている。ヒ
ータ６８としては、電気抵抗加熱によるもの、あるいは
ジャケット形式のものなど適宜に採用可能である。ま
た、吸気口側ケーシング６０と排気口側ケーシング６２
の間の接合面には、両者を気密に接合する断熱性パッキ
ン７０が挟み込まれている。
気側ポンプケーシング６２の内部の冷却水用流路６６は
設けられておらず、図１に比較して排気口側ポンプケー
シング６２はその外径がその分小径になっている。また
図１と同様に、その内面とねじ溝部３４との距離が近接
している。そして、この排気側ポンプケーシング６２の
外周面には、円筒状のヒータ６８が配置されている。ヒ
ータ６８としては、電気抵抗加熱によるもの、あるいは
ジャケット形式のものなど適宜に採用可能である。ま
た、吸気口側ケーシング６０と排気口側ケーシング６２
の間の接合面には、両者を気密に接合する断熱性パッキ
ン７０が挟み込まれている。
【００２９】この実施の形態では、ヒータ６８の加熱に
よりまず排気口側ポンプケーシング６２が加熱される。
この熱は断熱性パッキン７０により吸気口側ケーシング
６０には伝達されにくくなっており、従って、主に排気
口側ポンプケーシング６２から放射によりねじ溝部３４
に伝達され、両者の間のねじ溝排気部Ｌ2 を流れるガス
を効率的に昇温させる。そして、このように、ヒータ６
８で加熱される部分の熱容量が小さいので、これらの部
分の温度制御も遅れがなく、精度良く行うことができ
る。
よりまず排気口側ポンプケーシング６２が加熱される。
この熱は断熱性パッキン７０により吸気口側ケーシング
６０には伝達されにくくなっており、従って、主に排気
口側ポンプケーシング６２から放射によりねじ溝部３４
に伝達され、両者の間のねじ溝排気部Ｌ2 を流れるガス
を効率的に昇温させる。そして、このように、ヒータ６
８で加熱される部分の熱容量が小さいので、これらの部
分の温度制御も遅れがなく、精度良く行うことができ
る。
【００３０】なお、上述した実施の形態において、必要
な箇所に温度センサを設けて、このセンサの測定値に基
づいてヒータへ供給する電力や冷却媒体流路の熱媒体の
温度・流量を制御して、安定な稼働状態を得るようにし
てもよい。
な箇所に温度センサを設けて、このセンサの測定値に基
づいてヒータへ供給する電力や冷却媒体流路の熱媒体の
温度・流量を制御して、安定な稼働状態を得るようにし
てもよい。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、排気口側ポンプケーシ
ングの内径をロータ外径にとらわれず任意に設定するこ
とができ、従って、排気口側ポンプケーシングの内部に
温度調整用のジャケットを形成したり、排気口側ポンプ
ケーシングの外径を小さく設定してケーシングへの熱移
動を容易にすることにより、状況に応じて必要となる温
度制御を効率的に行うことができる。
ングの内径をロータ外径にとらわれず任意に設定するこ
とができ、従って、排気口側ポンプケーシングの内部に
温度調整用のジャケットを形成したり、排気口側ポンプ
ケーシングの外径を小さく設定してケーシングへの熱移
動を容易にすることにより、状況に応じて必要となる温
度制御を効率的に行うことができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図３】従来のターボ分子ポンプを示す断面図である。
【図４】半導体製造工程における排ガス中に含まれるＡ
ｌＣｌ3 の昇華曲線を示すグラフである。
ｌＣｌ3 の昇華曲線を示すグラフである。
【図５】他の従来のターボ分子ポンプを示す断面図であ
る。
る。
１０ 主軸 １２ 回転筒状部 １４ ケーシング １７ ステータ本体 １８ 駆動用モータ ３０ 回転翼 ３２ 固定翼 ３４ ねじ溝部 ３４ａ ねじ溝 ６０ 吸気口側ポンプケーシング ６２ 排気口側ポンプケーシング ６４ ポンプケーシング ６６ 冷却水用流路 ６８ ヒータ ７０ 断熱性パッキン Ｂ ベース Ｒ ロータ Ｓ ステータ
Claims (4)
- 【請求項１】 ポンプケーシング内に、ロータ側の回転
翼とステータ側の固定翼が交互に配置された翼排気部
と、該翼排気部の下流の前記ステータ側またはロータ側
の少なくとも一方にねじ溝を有するねじ溝排気部とが設
けられ、 前記ポンプケーシングは、前記翼排気部の周囲を覆う吸
気口側ポンプケーシングと、前記ねじ溝排気部の周囲を
覆う排気口側ポンプケーシングとを接続して構成されて
いることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記排気口側ポンプケーシングの内部に
冷却媒体用流路を形成したことを特徴とする請求項１記
載のターボ分子ポンプ。 - 【請求項３】 前記排気口側ポンプケーシングの外周面
に前記ねじ溝排気部を加熱するための加熱手段を設けた
ことを特徴とする請求項１記載のターボ分子ポンプ。 - 【請求項４】 前記吸気口側ポンプケーシングと前記排
気口側ポンプケーシングとを断熱的に接合したことを特
徴とする請求項３に記載のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8352293A JPH10169594A (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8352293A JPH10169594A (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10169594A true JPH10169594A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18423083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8352293A Pending JPH10169594A (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10169594A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001032789A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-06 | Anelva Corp | 分子ポンプ |
| US6793466B2 (en) | 2000-10-03 | 2004-09-21 | Ebara Corporation | Vacuum pump |
| JP2006037951A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-02-09 | Osaka Vacuum Ltd | 複合分子ポンプの断熱構造 |
| JP2008157257A (ja) * | 1999-02-19 | 2008-07-10 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
-
1996
- 1996-12-12 JP JP8352293A patent/JPH10169594A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008157257A (ja) * | 1999-02-19 | 2008-07-10 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
| JP2001032789A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-06 | Anelva Corp | 分子ポンプ |
| JP4504476B2 (ja) * | 1999-07-23 | 2010-07-14 | キヤノンアネルバ株式会社 | 分子ポンプ |
| US6793466B2 (en) | 2000-10-03 | 2004-09-21 | Ebara Corporation | Vacuum pump |
| JP2006037951A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-02-09 | Osaka Vacuum Ltd | 複合分子ポンプの断熱構造 |
| JP4703279B2 (ja) * | 2004-06-25 | 2011-06-15 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 複合分子ポンプの断熱構造 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102214002B1 (ko) | 진공 펌프 | |
| CN1326239C (zh) | 冷却装置 | |
| WO2019188732A1 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP6040928B2 (ja) | ターボチャージャ | |
| JPH0972293A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP4594689B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2003269367A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPH04229050A (ja) | 回転子液冷式の回転電気機械 | |
| CN100460687C (zh) | 冷却用流体泵 | |
| JP2003254285A5 (ja) | ||
| JPH10169594A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2003269369A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2002021775A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2013057286A (ja) | 電動送風機およびそれを用いた電気掃除機 | |
| JP2002048088A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2597671Y2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2002303293A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2003083282A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| EP3808983B1 (en) | Vacuum pump with heater in the side cover | |
| JP2004270692A (ja) | 分子ポンプの断熱構造 | |
| JP3484371B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP3084622B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPS62258186A (ja) | 多段型ドライ真空ポンプ | |
| JP4503947B2 (ja) | 分子ポンプ | |
| JP2617849B2 (ja) | 真空ポンプ駆動用キャンドモータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070725 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080725 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080725 |