JP2011169165A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】ポンプケーシング固定用のボルトに剪断力が作用した際の、ロータ回転方向のボルト変形量をより大きくすることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数のボルト孔２１０が形成された吸気口フランジ２１ｂを有するポンプケーシングと、ポンプケーシング内に設けられた固定翼と、回転翼が形成されるとともにポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、吸気口フランジ２１ｂのシール面側にボルト孔２１０毎に設けられ、底部を貫通するようにボルト孔２１０が形成された円形凹部２１２と、を備え、円形凹部２１２は、ボルト孔２１０に対して径方向内側および外側に形成される径方向ボルト変形スペースＳ２と、ボルト孔２１０に対してロータ回転逆方向に形成され、径方向ボルト変形スペースＳ２よりも大きな周方向ボルト変形スペースＳ１とを有する。
【選択図】図３

Description

本発明は、ターボ分子ポンプに関する。

ターボ分子ポンプのロータは数万ｒｐｍの高速で回転しており、ポンプ運転中は、ロータは常に大きなエネルギーを持っている。何らかの強い外乱が印加されたときや、設計時の想定を超える条件下での連続運転等によりロータが破壊した場合、ロータ破片がポンプケーシングに衝突して大きな破壊トルク（急停止トルク）を与える。ところで、ターボ分子ポンプは、その吸気口フランジを装置側チャンバのフランジにボルト固定することにより、装置側チャンバに取り付けられている。そのため、このようなロータ破壊による急停止トルクが起こると、固定用ボルトが破断するおそれがある。

このような問題に対して、吸気口フランジのボルト孔の一部を長穴としたり、径の異なる複数の座グリをボルト孔に対して同心円状に設けて階段状の座グリ穴を形成したりする技術が知られている（例えば、特許文献１および２参照）。このような長穴や座グリ穴を設けることで、ボルト破断や、装置側に大きな衝撃が伝わるのを防止するようにしている。

また、ロータ破壊時には、上述した急停止トルクという問題のほかに、ロータ破片衝突によるポンプケーシングの変形によって、吸気口フランジが楕円状に変形してしまうことがある。この場合には、固定用ボルトに対してフランジ径方向に剪断力が作用する。このような径方向の剪断力に対して、特許文献３に記載の技術では、ボルト孔に対して同心円状の大きな座グリを形成することで、ボルト破断を防止するようにしている。なお、上述した特許文献１に記載の技術ではこのように径方向の破断には対応できないが、特許文献２に記載の技術の場合には、同心円状の座グリを形成しているので対応することが可能である。

特許第３４２６７３４号公報 特開２００３−１４８３８８号公報 特開２００５−５３７４１８号公報

ところで、上述した急停止トルクに対するロータ回転方向のボルト塑性変形量は、吸気口フランジの変形による径方向のボルト塑性変形量よりも大きい。そのため、ロータ回転方向の塑性変形量に合わせて座グリ径を設定する必要がある。

一方、吸気口フランジのボルト孔よりも内周側のフランジ面領域はＯリングシール等のシール面に利用されるので、特許文献２や特許文献３のように同心円状に座グリを形成する場合、座グリがシール面と干渉しないように座グリ径を設定する必要がある。

そのため、ボルト破断防止や衝撃低減に必要な径寸法の座グリを形成するとシール面と干渉し、シール面に干渉しないように座グリ径を設定すると、充分なボルト塑性変形を得られるような座グリ径が形成できないという問題があった。

請求項１の発明によるターボ分子ポンプは、複数のボルト孔が形成された吸気口フランジを有するポンプケーシングと、ポンプケーシング内に設けられた固定翼と、回転翼が形成されるとともにポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、吸気口フランジのシール面側にボルト孔毎に設けられ、底部を貫通するようにボルト孔が形成された凹部と、を備え、凹部は、ボルト孔に対して径方向内側に形成される第１の径方向空間と、ボルト孔に対して径方向外側に形成される第２の径方向空間と、ボルト孔に対してロータ回転逆方向に形成され、第１および第２の径方向空間よりも大きな周方向空間とを有することを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、凹部を、ボルト孔に対してロータ回転逆方向に偏心した円形凹部としたものである。
請求項３の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、凹部は、ボルト孔に対してロータ回転逆方向に偏心した径の異なる複数の円形凹部を、シール面側から径が段階的に小さくなるように階段状に形成した、階段状凹部であって、階段状凹部を構成する最下段の円形凹部の底部を貫通するようにボルト孔を形成したものである。
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のターボ分子ポンプにおいて、固定翼が積層載置されるとともに、ポンプケーシングが固定されるポンプベースと、ポンプケーシングに設けられ、ポンプベースにボルト固定するための複数の固定用ボルト孔が形成された固定用フランジと、を備え、複数の固定用ボルト孔の各々に対して、ロータ回転逆方向に偏心した円形凹部を固定用フランジのベース対向面側に形成するとともに、該円形凹部の底部を貫通するように固定用ボルト孔を形成したものである。

本発明によれば、ポンプケーシング固定用のボルトに剪断力が作用した際の、ロータ回転方向のボルト変形量をより大きくすることができる。

本発明に係るターボ分子ポンプのポンプ本体１の断面図である。 吸気口フランジ２１ｂを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図である。 ロータ回転方向に衝撃力が作用した場合を説明する図であり、（ａ）はボルト締結部の断面図、（ｂ）はＣ−Ｃ断面図である。 吸気口フランジ２１ｂが変形した場合を説明する図であり、（ａ）はフランジ変形を示す図、（ｂ）は円形凹部２１２を示す図である。 円形凹部２１２をキリ加工した場合の断面図である。 円形凹部２１２の変形例を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 円形凹部２１２ａ，２１２ｂを形成した場合のボルト４１の塑性変形を説明する図である。 円形凹部２１３を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 装置側の架台４２に固定されたポンプ本体１を示す図である。

以下、図を参照して本発明の実施するための形態について説明する。図１は本発明に係るターボ分子ポンプを構成するポンプ本体１の断面図である。ターボ分子ポンプは、図１に示すポンプ本体１と不図示のコントロールユニットとで構成される。

図１に示したターボ分子ポンプは磁気浮上式のターボ分子ポンプであって、ロータ３０は、ラジアル方向の磁気軸受３７およびスラスト方向の磁気軸受３８によって非接触支持される。ロータ３０の浮上位置は、ラジアル変位センサ２７およびアキシャル変位センサ２８によって検出される。磁気軸受によって回転自在に磁気浮上されたロータ３０は、モータ３６により高速回転駆動される。２６，２９は非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受が作動していない時にはこれらのメカニカルベアリング２６，２９によりロータ３０は支持される。

ロータ３０には、複数段の回転翼３２と円筒状のネジロータ３１とが形成されている。一方、固定側には、軸方向に対して回転翼３２と交互に配置された複数段の固定翼２２と、ネジロータ３１の外周側に設けられたネジステータ２４とが設けられている。なお、ネジロータ３１およびネジステータ２４の無い全翼タイプのターボ分子ポンプに対しても、本発明は適用することができる。

各固定翼２２は、スペーサリング２３を介してベース２０上に載置される。ポンプケーシング２１の固定フランジ２１ｃをボルトによりベース２０に固定すると、積層されたスペーサリング２３がベース２０とポンプケーシング２１との間に挟持され、固定翼２２が位置決めされる。ベース２０には排気ポート２５が設けられ、この排気ポート２５にバックポンプが接続される。ロータ３０を磁気浮上させつつモータ３６により高速回転駆動することにより、吸気口２１ａ側の気体分子は排気ポート２５側へと排気される。

ポンプケーシング２１の吸気口側には吸気口フランジ２１ｂが形成されており、吸気口フランジ２１ｂに形成された吸気口２１ａから気体分子がポンプ内に流入する。ポンプ本体１を真空装置に取り付ける場合には、一般的に吸気口フランジ２１ｂを装置側のフランジにボルト固定する。吸気口フランジ２１ｂには、ボルトを通すためのボルト孔２１０が複数形成されている。ボルト孔２１０の数や穴径は、フランジの規格により定められている。

図２は吸気口フランジ２１ｂを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図である。図２（ａ）に示すように、吸気口フランジ２１ｂの吸気口２１ａには、異物流入防止用の保護ネット１９が設けられている。吸気口フランジ２１ｂにはボルト孔２１０が８つ形成されている。さらに、吸気口フランジ２１ｂの装置側フランジ面（シール面側）には、各ボルト孔２１０を囲むように円形凹部２１２がそれぞれ形成されている。すなわち、円形凹部２１２の底部を貫通するようにボルト孔２１０が形成されている。

円形凹部２１２の径寸法ｄ２はボルト孔２１０の径寸法ｄ１よりも大きく、円形凹部２１２の内側にボルト孔２１０が配置されるような大きさに設定されている。また、円形凹部２１２の中心線の径はボルト孔２１０の中心線の径と同一であるが、円形凹部２１２の中心位置は、ボルト孔２１０の中心位置に対してロータ回転方向と逆方向にεだけ偏心している。円形凹部２１２の深さ寸法は、ボルト孔周囲の肉厚ｔ２がフランジ厚さｔ１の１／２〜１／３よりも大きくなるように設定するのが好ましい。

ハッチングを施した領域Ｂ、すなわち円形凹部２１２よりも内周側のフランジ面領域は、シール領域となっている。図１に示す例では、このシール領域ＢにＯリング２１１を配置するためのＯリング溝が形成されている。なお、真空装置側にフランジにＯリングシールが設けられている場合には、シール領域Ｂは平らなシール面とされる。

ところで、定常運転時にはターボ分子ポンプのロータ３０は数万ｒｐｍで高速回転している。そのような高速回転時に、異常外乱等の影響によってロータ３０とステータ側（例えば、ネジステータ２４）とが接触したり、接触の衝撃によりロータ３０が破壊したりすることがある。また、設計時の想定を越える条件下で連続運転された場合には、ロータが破壊するおそれもある。そのような場合、大きな運動エネルギーを有するロータ破片がポンプケーシング２１に衝突し、大きな破壊トルク（急停止トルク）を与えることになる。その結果、吸気口フランジ２１ｂを装置側フランジに固定しているボルトに対してロータ回転方向に大きな剪断力が加わり、ボルトが破断してしまうおそれがあった。

また、ロータ破片の衝撃力によってポンプケーシング２１が変形し、吸気口フランジ２１ｂが楕円状に変形する場合もある。この場合には、ボルトはロータ回転方向だけでなく半径方向にも剪断力を受けることになる。そこで、本実施形態のターボ分子ポンプでは、図２に示すような円形凹部２１２を設けることにより、回転方向および径方向の剪断力をボルトの曲げ力と引っ張り力とに分散させ、剪断エネルギーをボルトの歪みエネルギーとして吸収できるようにした。

図３は、ロータ回転方向の衝撃力に対する円形凹部２１２の機能を説明する図である。一方、図４は吸気口フランジ２１ｂが楕円状に変形した場合の、円形凹部２１２の機能を説明する図である。

図３（ａ）は、ロータ回転方向の衝撃力が加わったときの吸気口フランジ２１ｂと装置側フランジ４１とのボルト締結部の断面図であり、図２（ａ）のＡ−Ａ断面と同様の断面を示している。図３（ｂ）はＣ−Ｃ断面図である。図３（ａ），（ｂ）いずれの場合も、図示左方向がロータ回転方向である。

図３（ｂ）に示すように、吸気口フランジ２１ｂのフランジ面側に形成された円形凹部２１２は、ボルト孔２１０に対してロータ回転逆方向に偏心して形成されている。そのため、円形凹部２１２内において、ボルト４１のロータ回転逆方向に最も大きな周方向ボルト変形スペースＳ１が形成されることになる。この場合、ボルト４１の径方向の内外周両側に形成される径方向ボルト変形スペースＳ２は、周方向ボルト変形スペースＳ１よりも小さくなる。

上述したように、ロータ破壊によりロータ破片がポンプケーシング２１に衝突すると、ロータ回転方向に回そうとする大きな衝撃力がポンプケーシング２１に加わる。従来のようにボルト孔２１０のみが形成されている吸気口フランジの場合には、ボルト４１のフランジ境界付近に剪断応力が集中して、ボルト４１が破断してしまうおそれがあった。

本実施の形態の場合、図３（ｂ）に示すような周方向ボルト変形スペースＳ１が、ボルト４１に対してロータ回転逆方向に形成されるので、ボルト４１は図３（ａ）に示すように塑性変形することができる。ボルト孔２１０の部分は隙間が小さいのでボルト４１の変形は非常に少なく、ボルト４１は円形凹部２１２内においては右側に大きく変形している。なお、図３（ｂ）では、装置側フランジ４０におけるボルト４１の位置を二点差線で示した。このときの変形には、単にボルト４１の軸が曲げられるような変形だけでなく、ボルト４１の軸が伸びるような変形も生じており、ボルト４１に働く剪断エネルギーの一部は曲げおよび伸びの塑性変形によって吸収される。そのため、装置側に伝達される衝撃トルクを低減することができる。

また、ボルト４１が塑性変形することで、衝撃トルクによる剪断力をボルト４１の広い範囲で受け止めることができるため、ボルト強度を有効に活用することができ、ボルト４１の破断を防止することができる。

次に、図４を参照して、吸気口フランジ２１ｂがロータ破壊の衝撃で楕円状に変形した場合について説明する。図４（ａ）は、衝撃による吸気口フランジ２１ｂの変形を説明する図であり、変形前の吸気口フランジ２１ｂを二点差線で示した。図４（ａ）に示す例では、ポンプケーシング２１へのロータ破片の衝突により、吸気口フランジ２１ｂの上下領域が外周方向に変形した場合を示す。この場合、吸気口フランジ２１ｂの左右領域は内周側に変形することになる。

このように変形した場合、吸気口フランジ２１ｂの上下位置にあるボルト孔２１０（例えば、図４（ａ）の符号２１０Ａで示すボルト孔）は、ほぼ径方向の外側へと移動する。そのため、固定用ボルト４１の吸気口フランジ側の部分もボルト孔２１０の移動と共に外側へと変形する。これは、図３（ａ）で図示左方向を外周側（径方向外側）と見なした場合に相当し、ボルト４１は図３（ａ）の場合と同様な形態に変形する。

ボルト孔２１０および円形凹部２１２を基準に見ると、ボルト４１の装置側フランジ４０にねじ込まれた部分（ボルト４１の先端部分）は、図４（ｂ）の二点差線４１Ａで示すように、ボルト孔２１０に対して相対的に図示上側（内周側）に移動することになる。なお、図４（ｂ）において、図の上下方向が径方向を表しており、上側が内周側で、下側が外周側である。

一方、吸気口フランジ２１ｂの左右領域にあるボルト孔２１０は、図４（ｂ）の符号２１０Ｂで示すボルト孔２１０のように、内周側に移動することになる。この場合には、装置側フランジ４０にねじ込まれたボルト４１の先端部分は、図４（ｂ）の二点差線４１Ｂで示すように、ボルト孔２１０に対して相対的に図示下側（外周側）に移動することになる。

図３，４に示す例では、ボルト孔２１０に対して円形凹部２１２をロータ回転逆方向に偏心して形成したことが特徴である。一般的に、ロータ破片衝突で吸気口フランジ２１ｂが変形することによるボルト４１の変形は、ロータ回転方向の急停止トルクによるボルト変形よりも小さい。また、ロータ３０は一方向にしか回転されないので、ボルト４１のロータ回転方向にはボルト変形スペースを形成する必要がない。

そこで、円形凹部２１２をロータ回転逆方向に偏心させることで、ロータ回転方向のスペースをほぼゼロ程度まで小さくして、ロータ回転逆方向の周方向ボルト変形スペースＳ１の大きさを可能な限り大きくするようにした。そのため、円形凹部２１２をボルト孔２１０に対して同心円状とした場合に比べて、径方向ボルト変形スペースＳ２の大きさが若干小さくなる。しかし、上述したように径方向のボルト変形はロータ回転逆方向のボルト変形に比べて小さいので、径方向のボルト変形に対しても円形凹部２１２は十分対応することができる。

このようなことから、従来の座グリと同一径の円形凹部２１２であっても、ロータ回転逆方向のボルト変形スペースをより大きくすることができる。言い換えれば、ロータ回転逆方向のボルト変形スペースを同心円座グリの場合と同に設定した場合には、円形凹部２１２の径寸法は従来の座グリ径よりも小さくすることができ、図３（ｂ）の径方向寸法Ｌ１は従来よりも小さくなる。そのため、円形凹部２１２がＯリングシールやそのシール面と干渉するのを避けることができると共に、座グリ径が従来よりも小さくなる分だけ吸気口フランジ２１ｂの機械的強度の低下を抑えることができる。

例えば、型式ＩＳＯ２５０の吸気口フランジの場合には、ボルト４１の直径は１０ｍｍ、ボルト孔２１０の中心間の直径は３１０ｍｍ、Ｏリング溝の外径は２９０ｍｍである。そのため、同心円座グリの場合には、座グリ径の最大値は２０ｍｍで、図３（ｂ）に示すボルト４１のロータ回転逆方向の隙間Ｌ１は５ｍｍとなる。一方、座グリ径の最大値と同一の直径２０ｍｍを有する円形凹部２１２の場合、偏心量εを約４ｍｍとすると、隙間Ｌ１は９ｍｍとなる。

なお、加工作業面では、ボルト孔２１０の加工、偏心、円形凹部２１２の加工（座グリ加工）の順で作業が行われ、特許文献１に記載のように長穴加工をする場合に比べ非常に簡単である。また、ボルト孔２１０および円形凹部２１２の加工は、キリ加工でも良いし、エンドミル加工であっても良く、汎用機械で加工が可能である。円形凹部２１２をキリ加工した場合には、円形凹部２１２の底面が図５に示すように円錐面となるが、機能的に問題ない。

図６は円形凹部２１２の変形例を示す図である。上述した実施の形態では、ボルト孔２１０に対して円形凹部を一つ形成したが。図６に示す変形例では、二段の円形凹部２１２ａ，２１２ｂを形成した。いずれの円形凹部２１２ａ，２１２ｂも、ボルト孔２１０に対してロータ回転逆方向に偏心している。Ｏ１〜Ｏ３はボルト孔２１０，円形凹部２１２ａ，２１２ｂの軸心であり、二段目の円形凹部２１２ｂの偏心量ε２は、一段目の円形凹部２１２ａの偏心量ε１よりも大きく設定されている。ボルト孔２１０は、最下段である一段目の円形凹部２１２ａの底部を貫通するように形成されている。

このように円形凹部を複数段とすることで、ボルト４１は、図７に示すようにボルト孔２１０，円形凹部２１２ａおよび円形凹部２１２ｂの周面や角部に当接しながら塑性変形することになる。時系列的には、最初にボルト孔２１０の角部を接触点として剪断応力が生じてボルト４１は曲げられ、次に円形凹部２１２ａの角部を接触点として曲げられ、最後に、円形凹部２１２ｂの角部を接触点として曲げられる。

この変形例の構成では、円形凹部２１２ａ，２１２ｂを偏心させたことによる上述の効果に加えて、曲げモーメントが時系列的に複数箇所で発生して塑性変形することにより、従来のように剪断応力が一箇所に集中することがなく、ボルト４１の破断を防止することができる。また、装置側への衝撃をさらに低減することができる。なお、ここでは円形凹部を２段設けた階段状凹部について例示したが、３段以上の階段状凹部としても良い。

また、図３，４に示す例では、ボルト孔２１０に対して円形凹部２１２をロータ回転逆方向に偏心させることで、１つの周方向ボルト変形スペースＳ１と２つの径方向ボルト変形スペースＳ２を同時に形成した。しかし、加工工数は増えるが、図８に示すように円形凹部２１２よりも径の小さな円形凹部２１３０ａ〜２１３０ｃを、径方向内側および外側とロータ回転逆方向にずらして形成することで、全体的にロータ回転逆方向に偏った凹部２１３を形成するようにしても良い。

図８に示す例では、円形凹部２１３０ａ〜２１３０ｃは全て同一径で、ロータ回転逆方向のずらし量をより大きく設定することで、ロータ回転逆方向にボルトがより大きく変形できるようにしている。なお、径方向の円形凹部２１３０ａ，２１３０ｂの径寸法とロータ回転逆方向の円形凹部２１３０ｃの径寸法とが異なっていても良い。

このように、本実施の形態では、図３，４のようにボルト孔２１０に対してロータ回転逆方向に円形凹部２１２を偏心させたり、図８のように円形凹部２１３０ａ〜２１３０ｃを径方向およびロータ回転逆方向にずらすことで、全体的にロータ回転逆方向に偏った凹部２１３を形成したりすることで、ボルト孔２１０に対して径方向内側および外側に配置される径方向ボルト変形スペースＳ２と、ボルト孔２１０に対してロータ回転逆方向に配置され、径方向ボルト変形スペースＳ２よりも大きな周方向ボルト変形スペースＳ１と、を形成するようにした。

その結果、ポンプケーシング固定用のボルトに剪断力が作用した際に、ボルト４１はロータ回転方向に従来よりも大きく塑性変形することができる。

上述した本実施の形態では、吸気口フランジのボルト孔２１０について説明したが、ポンプケーシング２１をベース２０に固定するための固定フランジ２１ｃに設けられたボルト孔に対しても同様に適用することができる。

例えば、ターボ分子ポンプを装置に固定する場合に、チャンバ側の強度の関係上、図９に示すようにポンプ本体１のベース２０を装置側に設けられた架台４３に固定する場合がある。このような構成の場合には、ポンプケーシング２１をベース２０に固定しているボルト４２に対しても急停止による過大なトルクが作用することになり、また、装置側の架台４３に衝撃が伝達される。そのため、ボルト４３用のボルト孔に関しても上述のような円形凹部を形成することで、ボルト４３を塑性変形させて衝撃エネルギーの吸収を行わせ、ボルト４３の破断防止や装置側への衝撃伝達の抑制を図ることができる。

上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。

１：ポンプ本体、２０：ベース、２１：ポンプケーシング、２１ｂ：吸気口フランジ、２１ｃ：固定フランジ、２２：固定翼、３０：ロータ、３２：回転翼、４１，４２：ボルト、４３：架台、２１０：ボルト孔、２１２，２１２ａ，２１２ｂ，２１３０ａ〜２１３０ｃ：円形凹部、２１３：凹部、Ｓ１：周方向ボルト変形スペース、Ｓ２：径方向ボルト変形スペース

Claims (4)

1. 複数のボルト孔が形成された吸気口フランジを有するポンプケーシングと、
   前記ポンプケーシング内に設けられた固定翼と、
   回転翼が形成されるとともに前記ポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、
   前記吸気口フランジのシール面側に前記ボルト孔毎に設けられ、底部を貫通するように前記ボルト孔が形成された凹部と、を備え、
   前記凹部は、前記ボルト孔に対して径方向内側に形成される第１の径方向空間と、前記ボルト孔に対して径方向外側に形成される第２の径方向空間と、前記ボルト孔に対してロータ回転逆方向に形成され、前記第１および第２の径方向空間よりも大きな周方向空間とを有することを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. 請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記凹部は、前記ボルト孔に対してロータ回転逆方向に偏心した円形凹部であることを特徴とするターボ分子ポンプ。
3. 請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記凹部は、前記ボルト孔に対してロータ回転逆方向に偏心した径の異なる複数の円形凹部を、前記シール面側から径が段階的に小さくなるように階段状に形成した、階段状凹部であって、
   前記階段状凹部を構成する最下段の円形凹部の底部を貫通するように前記ボルト孔を形成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記固定翼が積層載置されるとともに、前記ポンプケーシングが固定されるポンプベースと、
   前記ポンプケーシングに設けられ、前記ポンプベースにボルト固定するための複数の固定用ボルト孔が形成された固定用フランジと、を備え、
   前記複数の固定用ボルト孔の各々に対して、ロータ回転逆方向に偏心した円形凹部を前記固定用フランジのベース対向面側に形成するとともに、該円形凹部の底部を貫通するように前記固定用ボルト孔を形成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。

Images