JP2002081397A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002081397A5 JP2002081397A5 JP2000270654A JP2000270654A JP2002081397A5 JP 2002081397 A5 JP2002081397 A5 JP 2002081397A5 JP 2000270654 A JP2000270654 A JP 2000270654A JP 2000270654 A JP2000270654 A JP 2000270654A JP 2002081397 A5 JP2002081397 A5 JP 2002081397A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- vacuum pump
- main shaft
- rotors
- gas exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の真空ポンプは、ポンプケーシング内部にロータとステータにより気体排気部が構成された真空ポンプにおいて、前記気体排気部を構成するロータが、軸方向、及び／又は、径方向に吸気側ロータと排気側ロータとに２つ以上に分割され、該分割された２つ以上のロータは、主軸との結合部において、それぞれのロータが結合され、少なくとも吸気側ロータは、前記主軸と軸方向に締結部材により締結されていることを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
本発明の真空ポンプは、ポンプケーシング内部にロータとステータにより気体排気部が構成された真空ポンプにおいて、前記気体排気部を構成するロータが、軸方向、及び／又は、径方向に吸気側ロータと排気側ロータとに２つ以上に分割され、該分割された２つ以上のロータは、主軸との結合部において、それぞれのロータが結合され、少なくとも吸気側ロータは、前記主軸と軸方向に締結部材により締結されていることを特徴とする。
【００１１】
ここで、前記２つ以上に分割されたロータは、主軸との結合部において、それぞれが結合されている。これにより、ロータが腐食やクリープ等の原因により破壊した場合でも、主軸との結合部においてロータが複数のロータに分割されているため、破壊は初期破壊の起こった部分のロータに限られる。
またロータが破壊した場合、破片は遠心力により外方に飛ぶので主軸の損傷は限られ、主軸と結合されている初期破壊の起こらなかったロータは、初期破壊の起こったロータの一部分が飛散するのを阻止できる。特に、破壊の可能性が高い排気側ロータが破損した場合、吸気側ロータと主軸の損傷は限定されるので、破損したロータの破片が吸気口側へ飛び出すのを、吸気側ロータと主軸によって阻止できる。
ここで、前記２つ以上に分割されたロータは、主軸との結合部において、それぞれが結合されている。これにより、ロータが腐食やクリープ等の原因により破壊した場合でも、主軸との結合部においてロータが複数のロータに分割されているため、破壊は初期破壊の起こった部分のロータに限られる。
またロータが破壊した場合、破片は遠心力により外方に飛ぶので主軸の損傷は限られ、主軸と結合されている初期破壊の起こらなかったロータは、初期破壊の起こったロータの一部分が飛散するのを阻止できる。特に、破壊の可能性が高い排気側ロータが破損した場合、吸気側ロータと主軸の損傷は限定されるので、破損したロータの破片が吸気口側へ飛び出すのを、吸気側ロータと主軸によって阻止できる。
【００１２】
また、前記２つ以上に分割されたロータはそれぞれの気体排気部が、同一材料で構成されていることが好ましい。これにより、ロータの気体排気部全体を比強度の高い同一材料で構成して、異なる材料による温度変化に伴なう寸法変化の違い等に起因するロータ結合部における強度の低下を阻止できる。このため、ロータの高速回転が可能となり、排気性能の良いポンプを提供できる。
また、前記２つ以上に分割されたロータはそれぞれの気体排気部が、同一材料で構成されていることが好ましい。これにより、ロータの気体排気部全体を比強度の高い同一材料で構成して、異なる材料による温度変化に伴なう寸法変化の違い等に起因するロータ結合部における強度の低下を阻止できる。このため、ロータの高速回転が可能となり、排気性能の良いポンプを提供できる。
【００１３】
また、前記ロータが破壊した時に前記ロータの破片が、前記ロータの吸気口側に飛散するのを防止する飛散防止部材が設けられていることが好ましい。これにより排気側ロータの破壊の程度が激しく、更に吸気側ロータが破壊・損傷した場合でも、損傷したロータの破片は飛散防止部材によって吸気口に接続された処理装置のチャンバ内への飛散を阻止される。また飛散防止部材の形状を吸気側ロータが破壊しにくい形状及び組立状態に設定しておけば、吸気側ロータが吸気口側へ飛び出した場合にも、その影響によるチャンバ内等の破壊を阻止、または破壊の程度を軽減することがでる。
また、前記ロータが破壊した時に前記ロータの破片が、前記ロータの吸気口側に飛散するのを防止する飛散防止部材が設けられていることが好ましい。これにより排気側ロータの破壊の程度が激しく、更に吸気側ロータが破壊・損傷した場合でも、損傷したロータの破片は飛散防止部材によって吸気口に接続された処理装置のチャンバ内への飛散を阻止される。また飛散防止部材の形状を吸気側ロータが破壊しにくい形状及び組立状態に設定しておけば、吸気側ロータが吸気口側へ飛び出した場合にも、その影響によるチャンバ内等の破壊を阻止、または破壊の程度を軽減することがでる。
【００１４】
また、前記飛散防止部材が、高強度材、又は高エネルギ吸収材で構成されているか、又は衝撃吸収構造を有していることが好ましい。これにより吸気側ロータがより激しく破壊して、破損したロータの破片が吸気口から処理装置のチャンバ内等へ飛び出そうとした場合でも、飛散防止部材が高強度材料及び／又は高エネルギ吸収材で構成されているか、又は衝撃吸収構造を有しているので、破損したロータの破片の飛散を効率的に阻止することができる。また衝撃吸収構造を設けることにより、破損したロータ破片の飛散の大きな衝撃を有効に吸収できるので、破損したロータの破片の飛散防止がよりいっそう確実になる。
また、前記飛散防止部材が、高強度材、又は高エネルギ吸収材で構成されているか、又は衝撃吸収構造を有していることが好ましい。これにより吸気側ロータがより激しく破壊して、破損したロータの破片が吸気口から処理装置のチャンバ内等へ飛び出そうとした場合でも、飛散防止部材が高強度材料及び／又は高エネルギ吸収材で構成されているか、又は衝撃吸収構造を有しているので、破損したロータの破片の飛散を効率的に阻止することができる。また衝撃吸収構造を設けることにより、破損したロータ破片の飛散の大きな衝撃を有効に吸収できるので、破損したロータの破片の飛散防止がよりいっそう確実になる。
Claims (4)
- ポンプケーシング内部にロータとステータにより気体排気部が構成された真空ポンプにおいて、前記気体排気部を構成するロータが、軸方向、及び／又は、径方向に吸気側ロータと排気側ロータとに２つ以上に分割され、該分割された２つ以上のロータは、主軸との結合部において、それぞれのロータが結合され、少なくとも吸気側ロータは、前記主軸と軸方向に締結部材により締結されていることを特徴とする真空ポンプ。
- 前記２つ以上に分割されたロータはそれぞれの気体排気部が、同一材料で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
- 前記ロータが破壊した時に前記ロータの破片が、前記ロータの吸気口側に飛散するのを防止する飛散防止部材が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空ポンプ。
- 前記飛散防止部材が、高強度材、又は高エネルギ吸収材で構成されているか、又は衝撃吸収構造を有していることを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000270654A JP3792112B2 (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000270654A JP3792112B2 (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 真空ポンプ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002081397A JP2002081397A (ja) | 2002-03-22 |
| JP2002081397A5 true JP2002081397A5 (ja) | 2004-12-24 |
| JP3792112B2 JP3792112B2 (ja) | 2006-07-05 |
Family
ID=18757062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000270654A Expired - Fee Related JP3792112B2 (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3792112B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4503947B2 (ja) * | 2003-07-16 | 2010-07-14 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 分子ポンプ |
| DE102009035812A1 (de) * | 2009-08-01 | 2011-02-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpenrotor |
| DE102016114983A1 (de) * | 2016-08-12 | 2018-02-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumsystem |
| JP7377640B2 (ja) * | 2019-07-22 | 2023-11-10 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプに用いられるロータ並びに回転翼 |
| GB2621837A (en) * | 2022-08-23 | 2024-02-28 | Leybold Gmbh | Rotor assembly and vacuum pump |
-
2000
- 2000-09-06 JP JP2000270654A patent/JP3792112B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101650977B1 (ko) | 댐핑 장치를 구비하고 언튠드 블레이드를 갖춘 터빈 휠 | |
| JP4088161B2 (ja) | ターボチャージャの半径流コンプレツサー用の裂損防止装置 | |
| US7448845B2 (en) | Gas turbine engine | |
| JP5069182B2 (ja) | 飛行物体との衝突から航空機の構成部品を保護する装置および方法 | |
| CN100538083C (zh) | 流体机械,特别是废气涡轮增压器 | |
| GB2322914A (en) | Gas turbine engine with emergency bearing support | |
| US5413456A (en) | Aircraft fan containment structure | |
| CN103261630A (zh) | 带有用于在压缩机叶轮破裂时轴向地固定轴的器件的废气涡轮增压器 | |
| EP0763164B1 (en) | Turbofan containment structure | |
| JPH08232683A (ja) | ターボエンジン用保護遮蔽物 | |
| JP2002081397A5 (ja) | ||
| WO2007105702A1 (ja) | ファンブレードの保持構造 | |
| JP3469055B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| CN102562671A (zh) | 轻质量型无叶片式压缩机安全壳设计 | |
| EP3073091B1 (en) | Compressor | |
| KR20120065537A (ko) | 터보블로워의 에어베어링 파손방지기구 | |
| JP3784250B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP3792112B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2002138988A5 (ja) | ||
| JP5998535B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2003269383A (ja) | 圧縮機のインペラーの構造 | |
| JP2012509432A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| KR20190138751A (ko) | 터보기계용 파열 보호 장치 | |
| JP2004156518A (ja) | ターボ分子ポンプおよびそのロータ | |
| WO2019171448A1 (ja) | 両回転スクロール型圧縮機 |