KR20200133329A - 진공 펌프 및 진공 펌프용 댐퍼 - Google Patents

Abstract

간단한 구조이고, 또한, 비틀림 방향의 제진성을 높일 수 있음과 더불어, 마주 향하는 플랜지끼리의 어긋남을 규제하여 O링이나 탄성체의 파단, 손상을 방지하는 것이 가능한 진공 펌프 및 진공 펌프용 댐퍼를 제공한다. 서로 대향해서 배치되며, 환상인 제1 플랜지(13) 및 제2 플랜지(14)와, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에 배치되어 있는 O링(16) 및 중간 링(15)과, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이에 각각 배치되어 있는 O링(16)과, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에 있어서, 중앙 개구(13a, 14a)의 둘레 방향으로 점재하여 배치되어 있는 복수 개의 탄성체(17)와, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14)에 각각 형성된 위치 결정 구멍(13e, 15e, 14e) 내를 순서대로 통과해서 배치된 위치 결정 핀(41)을 갖는 기밀 유지 수단(51)을 구비한다.

Description

진공 펌프 및 진공 펌프용 댐퍼

본 발명은, 진공 펌프 및 진공 펌프용 댐퍼에 관한 것이며, 특히, 전자현미경 등의 기기, 용기 등에 접속되어, 당해 기기 등 내의 기체를 흡인하는 진공 펌프 및 진공 펌프용 댐퍼에 관한 것이다.

종래, 전자현미경 등의 기기, 용기 등 내의 기체를 배기하기 위해 사용되는 진공 펌프는, 배기 기능부를 수용한 케이싱의 일단에 흡기구를 갖는 흡기구부를 형성하고 타단측에 배기구부를 형성하고 있고, 상기 흡기구부를 외부 기기 등에 배관 등을 개재하여 접속하여, 외부의 기체가 흡기구부로부터 케이싱의 내부로 도입되도록 되어 있다.

케이싱의 내부에 수용되어 있는 상기 배기 기능부로서는, 예를 들면 로터부 및 스테이터부를 배치하고, 로터부와 스테이터부 중 한쪽의 외주면을 다른 쪽의 내주면에 대향시켜서, 로터부와 스테이터부 사이로 기체가 이송되는 기체 이송부를 형성한 것을 들 수 있다. 그리고, 로터부를 모터 등의 구동 수단에 의해 회전시켜서, 기체 이송부의 기체를 배기측으로 이송함으로써 외부의 기체를 흡인하도록 되어 있다.

진공 펌프의 일종인 터보 분자 펌프에서는, 예를 들면, 스테이터부에 로터부를 향해 돌출하는 스테이터 날개를 배치하고 있다. 한편, 로터부에는, 스테이터 날개 사이에 돌출하는 로터 날개를 배치한다. 그리고, 로터 날개를 회전함으로써 기체 분자를 두드려 이송한다. 또, 나사홈식 펌프에 있어서는, 로터부와 스테이터부가 서로 대향하는 둘레면 중의 한쪽에 나사홈이 형성되어 있고, 로터를 회전함으로써, 기체의 점성을 이용하여 기체를 이송한다. 또, 이들을 조합한 터보 분자 펌프도 있다.

그런데, 상기 진공 펌프에서는, 로터부를 회전 구동함으로써 기체 흡인력을 얻고 있고, 그 회전에 수반하여 적잖이 진동이 발생한다. 이 진동은, 케이싱으로부터 흡기구부나 배관 등을 통해 외부 기기에 전파된다. 외부 기기에서는, 진동에 의해 기능이나 내구성에 악영향을 받는 일이 있고, 예를 들면 전자현미경에서는 미소한 진동에 의해서도 현미경 화상에 큰 영향을 받는다. 이러한 진동이 진공 펌프로부터 외부 기기 등으로 전파되는 것을 방지하기 위해 각종 개선책이 강구되어 있으며, 예를 들면 특허문헌 1, 특허문헌 2가 알려져 있다.

특허문헌 1에서 알려지는 기술에서는, 배기 기능부로서 스테이터부, 스테이터 날개, 로터부, 로터 날개 등이 수납된 케이싱과 외부로부터 기체를 흡입하는 흡기구가 형성된 흡기구부 사이를, 스테인리스(SUS)제 벨로우즈로 형성한 탄성 부재에 의해 봉지(封止)한 상태로 접속함과 더불어, 케이싱과 흡기구부 사이에, 케이싱과 흡기구부의 상대적인 이동에 의해 변화하는 이격량을 규제하는 이동 규제 부재를 설치하고 있다. 이 기술에서는, 탄성 부재는, 이동 규제 부재에 의해 적정한 탄성력을 유지하여 양호한 진동 저감성을 항상 얻을 수 있음과 더불어, 외부 기기 등에 진동이 전파되어 기능이나 내구성을 해치는 것을 방지할 수 있다. 또, 탄성 부재나 시일 부재의 소성 변형이나 손상을 방지하고, 또한, 불의의 사고로 진공 펌프가 심하게 흔들리는 것을 저지할 수 있도록 하고 있다.

특허문헌 2에서 알려지는 기술에서는, 진공 펌프와 접속되는 제1 플랜지와, 리시버와 접속되는 제2 플랜지 사이에 O링과 고정 요소를 배치하고, 진공화되어 있는 운전 상태에 있어서 양쪽의 플랜지가 기계적 및/또는 전기적으로 서로 분리되고, 진공화되어 있지 않은 조립 상태에 있어서는, O링이 진공 기밀하도록 사전 부하를 부여해 두도록 하고 있다.

일본국 특허공개 2003-3988호 공보 일본국 특허 제6133919호 공보

그러나, 특허문헌 1에서 알려진 기술에서는, 케이싱과 흡기구부 사이에 있어서의 진동 저감성을 얻는 수단으로서, 스테인리스(SUS)제 벨로우즈로 이루어지는 탄성 부재를 사용하고 있다. 이 스테인리스제 벨로우즈는, 비틀림 방향의 강성이 높기 때문에, 비틀림 방향에 있어서의 제진 효과가 충분하지 않다는 문제점이 있었다. 또, 스테인리스(SUS)제 벨로우즈는, 제조 비용이 높아, 고가라는 문제점도 있었다.

한편, 특허문헌 2에서 알려진 기술에서는, 진공 챔버를 진공화했을 때의 외부로부터의 대기압을 모두 O링으로 유지하기 때문에, 표준의 O링에서는 지나치게 찌그러져버리는 경우가 있어, 고가인 특수의 O링이 필요하여 제조 비용이 높아진다는 문제점이 있었다. 또, O링을 사이에 두고 마주 향하는 플랜지면의 어긋남을 규제하기 위해, 그 플랜지 사이를 고정하는 나사와 플랜지 사이를 간접 접촉시키기 위한 분리 요소가 필요하여, 구조가 번잡하고, 제조 비용이 더욱 높아진다는 문제점도 있었다.

이에, 간단한 구조이고, 또한, 비틀림 방향의 제진성을 높일 수 있음과 더불어, 마주 향하는 플랜지끼리의 어긋남을 규제하여 O링이나 탄성체의 파단, 손상을 방지하는 것이 가능한 진공 펌프 및 진공 펌프용 댐퍼를 제공하기 위해 해결해야 할 기술적 과제가 발생하는 것이며, 본 발명은 이 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 제안된 것이며, 청구항 1에 기재된 발명은, 각각 중앙이 개구되는 형상을 가지고, 서로 대향해서 배치되며, 환상인 제1 플랜지 및 제2 플랜지와, 상기 제1 플랜지의 개구부 및 상기 제2 플랜지의 개구부와 대응하여, 중앙이 개구되는 형상을 가지고, 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 사이에 배치된 중간 링과, 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이 및 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각 배치된 O링과, 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이 및 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각 둘레 방향으로 점재하여 배치된 복수 개의 탄성체와, 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지에 각각 형성된 위치 결정 구멍 내를 순서대로 통과해서 배치된 위치 결정 부재를 갖는 기밀 유지 수단을 구비하고 있는, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 진공 챔버 내를 진공화하면, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이는, 대기압에 의해 눌려, O링과 탄성체를 압축시켜 간격이 줄어들고, 제2 플랜지 또는 제1 플랜지와 위치 결정 부재가 비접촉 상태가 되며, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이는 O링과 탄성체와 중간 링만으로 접속된 상태가 된다. 이 상태가 되면, 벨로우즈를 사용한 댐퍼에 비해, 비틀림 방향의 스프링 상수가 작으므로 제진 효과가 높아진다. 또, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이는 전기적/기계적으로 절연된 상태가 되어, 진공 펌프에 바람직하지 않은 전기적인 노이즈가 발생해도, 양쪽 플랜지를 개재한 진공 챔버측에는 노이즈가 전달되지 않게 된다. 또한, 탄성체는, 제1 플랜지의 중앙 개구의 둘레 방향과 제2 플랜지의 중앙 개구의 둘레 방향으로, 각각 점재하여 배치되어 있으므로, 각 플랜지의 중앙 개구를 각각 일주(一周)하는 링형상의 탄성체를 사용한 경우에 비해 횡방향의 스프링 상수를 낮게 할 수 있어, 횡방향의 제진 성능을 높일 수 있다. 또, O링과 복수 개의 탄성체는, 적어도 제1 플랜지와 중간 링 사이에 1단과, 제2 플랜지와 중간 링 사이에 1단의, 각각 합계 2단씩 배치되어 있다. 즉, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이는, 중간 링을 설치함으로써 2단의 O링과 2단의 탄성체에 의해 2자유도계가 되어, 고주파의 진동의 감쇠를 대폭 개선할 수 있다. 또한, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에 배치되는 중간 링의 단 수를 증가시킴과 더불어, 각각의 사이에 O링을 부가하면, 고주파의 진동을 더욱 감쇠할 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 구성에 있어서, 상기 탄성체는, 개략 원기둥체 또는 각기둥체인, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 개략 원기둥체 또는 각기둥체인 탄성체를 기둥형상으로 하여 O링의 주위에 배치하면, 진공 챔버를 진공화했을 때에 O링에 적절한 가중이 걸리도록, 하중의 배분을 하기 쉽게 할 수 있다. 또, 비틀림 방향의 제진 성능이 높아진다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 구성에 있어서, 상기 O링은, 실리콘 고무로 형성한 심재의 외주면을 불소 고무로 피복하여 이루어지는 복합재로 형성한, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 제진 성능이 높고, 비교적 저렴한 실리콘 고무로 형성한 심재의 외주면을, 진공 시일 성능이 높은 불소 고무로 피복한 O링을 사용함으로써, 진공 시일 성능이 높고, 또한 제진 성능이 높은 O링이 얻어진다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 O링 및 상기 탄성체가 각각 배치된, 상기 제1 플랜지 및 상기 제2 플랜지의 각 개소에는, 대응하는 상기 O링 및 상기 탄성체를 각각 위치 결정하는 오목부를 형성하고 있는, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 제1 플랜지 및 제2 플랜지의 각 개소에는, 대응하는 O링 및 탄성체를 각각 위치 결정하는 오목부가 형성되어 있으므로, 그 대응하는 오목부에 O링 및 탄성체를 각각 배치하여 위치 결정함으로써, 플랜지끼리가 횡방향으로 어긋나는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 플랜지끼리가 횡방향으로 어긋나는 것을 방지하는 부재를 별도 설치할 필요가 없어져, 제조 비용을 억제할 수 있다.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이에 설치되는 상기 O링을 위치 결정하는 위치 결정 오목부와, 상기 제2 플랜지와 상기 중간 링 사이에 설치되는 상기 O링을 위치 결정하는 위치 결정 오목부 중, 한쪽의 상기 위치 결정 오목부는 상기 O링을 경방향의 스프링 상수에 비해 축방향의 스프링 상수가 낮아지도록 하여 위치 결정하고, 다른 쪽의 상기 위치 결정 오목부는 상기 O링을 상기 축방향의 스프링 상수에 비해 상기 경방향의 스프링 상수가 낮아지도록 하여 위치 결정한, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 축방향의 스프링 상수가 낮아지도록 하여 위치 결정된 위치 결정 오목부 내의 O링에서는 축선 방향의 제진 성능을 높이고, 경방향의 스프링 상수가 낮아지도록 하여 위치 결정된 위치 결정 오목부 내의 O링에서는 경방향의 제진 성능을 높인다. 이에 의해, 축방향의 제진과 폭방향의 제진이 효과적으로 행해진다.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 제1 플랜지 또는 상기 제2 플랜지는, 진공 챔버에 고정하는 고정용 나사가 장착되는 장착 구멍을 갖고, 상기 장착 구멍과 대향하는 상기 중간 링은, 상기 장착 구멍과 대응하는 개소에, 상기 고정용 나사의 장착 시에 상기 고정용 나사의 머리부를 내보내는 절결부를 갖는, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 제1 플랜지 또는 제2 플랜지를 진공 챔버 또는 진공 펌프에 고정용 나사로 장착할 때, 중간 링에는 고정용 나사의 머리부를 내보내는 절결부가 형성되어 있으므로, 중간 링이 고정용 나사의 머리부와 부딪치는 일 없이, 원활하게 장착할 수 있어, 조립 작업성이 향상된다.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 제1 플랜지는, 추가로, 상기 중간 링의 외주면을 덮어 배치되는 내주면을 가진 환상부와, 상기 환상부의 일단면으로부터 외측을 향해 연장되어 상기 탄성체와 상기 위치 결정 부재가 배치되는 플랜지부를 구비하고 있는, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 제1 플랜지의 하면으로부터 하방향으로 연장하여 형성된 환상부에 의해, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에 큰 스페이스가 만들어진다. 그리고, 제1 플랜지를 진공 챔버에 고정용 나사로 장착할 때, 그 스페이스를 고정용 나사의 장착 공간으로서 사용하여, 간단하게 작업을 행할 수 있다.

청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 7 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 제1 플랜지의 일부에, 상기 제1 플랜지의 축방향으로 적층하여 복수 장 배치된 상기 중간 링의 외주면을 덮어 배치되는 내주면을 가진 환상부를 설치하고, 상기 중간 링의 상기 외주면과 상기 환상부의 상기 내주면 사이에 제2 O링을 배치한, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 진공 챔버 내를 진공화하면, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이는, 대기압에 의해 눌려, O링과 탄성체를 압축시켜 간격이 줄어들고, 제2 플랜지 또는 제1 플랜지와 고정 부재가 비접촉 상태가 되며, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이는 O링과 탄성체로 접속된 상태가 된다. 동시에, 중간 링의 외주면과 환상부의 내주면 사이를 제2 O링으로 위치를 잡고, 제2 O링이 중간 링과 제1 플랜지 사이에 있어서의 횡방향의 제진 성능을 높인다.

청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 8 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 제1 플랜지의 축방향으로 적층하여 복수 장 배치되는 상기 중간 링 중의, 상측의 상기 중간 링의 일부에, 당해 중간 링의 하측에 배치되는 상기 중간 링의 외주면을 덮어 배치되는 내주면을 가진 환상부를 설치하고, 상기 하측에 배치되는 중간 링의 상기 외주면과 상기 환상부의 상기 내주면 사이에 제2 O링을 배치한, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 진공 챔버 내를 진공화하면, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이는, 대기압에 의해 눌려, O링과 탄성체를 압축시켜 간격이 줄어들고, 제2 플랜지 또는 제1 플랜지와 위치 결정 부재가 비접촉 상태가 되며, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이는 O링과 탄성체로 접속된 상태가 된다. 동시에, 중간 링의 외주면과 환상부의 내주면 사이를 제2 O링으로 위치를 잡고, 제2 O링이 중간 링과 제1 플랜지 사이에 있어서의 횡방향의 제진 성능을 높인다.

청구항 10에 기재된 발명은, 청구항 8 또는 7에 기재된 구성에 있어서, 상기 환상부의 상기 내주면에, 상기 제2 O링을 향해 돌출된 돌기를, 상기 내주면의 둘레 방향으로 점재하여 복수 개 형성하고 있는, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 제2 O링의 외주면에 돌기가 맞닿아, 환상부 또는 중간 링의 내주면에 대해 제2 O링이 어긋나는 것을 저지하고, 제2 O링의 위치를 유지해서 횡방향의 제진 성능을 높인다.

청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 10 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 중간 링의 외주면에, 상기 외주면의 일부를 상기 외주 방향을 따라 돌출시킨 테두리형상부를 구비하고, 상기 탄성체를, 상기 테두리형상부의 외주면에 맞닿게 하여 배치한, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 탄성체와 테두리형상부의 외주면이 맞닿아, 중간 링이 횡방향으로 어긋나는 것을 방지할 수 있다.

청구항 12에 기재된 발명은, 진공 챔버와 상기 진공 챔버 내를 진공화하는 진공 펌프 사이를 기밀하게 유지하는 진공 펌프용 댐퍼로서, 각각 중앙이 개구되는 형상을 가지고, 서로 대향해서 배치되며, 환상인 제1 플랜지 및 제2 플랜지와, 상기 제1 플랜지의 개구부 및 상기 제2 플랜지의 개구부와 대응하여, 중앙이 개구되는 형상을 가지고, 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 사이에 배치된 중간 링과, 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이 및 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각 배치된 O링과, 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이 및 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각 둘레 방향으로 점재하여 배치된 복수 개의 탄성체와, 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지에 각각 형성된 위치 결정 구멍 내를 순서대로 통과해서 배치된 위치 결정 부재를 갖는 기밀 유지 수단을 구비하고 있는, 진공 펌프용 댐퍼를 제공한다.

이 구성에 의하면, 진공 펌프에 이용함으로써, 진공 펌프에 있어서의 비틀림 방향의 제진성을 높일 수 있음과 더불어, 마주 향하는 플랜지면의 어긋남을 규제하여 O링이나 탄성체의 파단, 손상을 방지하는 것을 가능하게 한다.

발명에 의하면, 진공 챔버 내를 진공화하면, 제1 플랜지와 중간 링과 제2 플랜지 사이가, O링과 탄성체의 기둥만으로 접속되므로, 종래의 벨로우즈 방식의 댐퍼 등을 사용한 진공 펌프에 비해, 비틀림 방향의 스프링 상수가 작아져 제진 효과를 높인 진공 펌프가 얻어진다. 또, 탄성체는, 흡기구인 중앙 개구를 일주하는 링형상인 탄성체를 사용하는 것이 아니라, 흡기구의 주위에 점재하여 기둥형상으로 하여 설치하고 있으므로, O링형상인 탄성체를 사용한 경우에 비해, 횡방향의 스프링 상수를 낮게 할 수 있어, 횡방향의 제진 성능도 높아진다. 또한, 마주 향하는 플랜지면의 어긋남을 규제하여 O링이나 탄성체의 파단, 손상을 방지할 수 있는 진공 펌프 및 진공 펌프용 댐퍼가 얻어진다. 또, 진공 챔버 내를 진공화하면, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이가 전기적/기계적으로 절연된 상태가 되므로, 진공 펌프에 바람직하지 않은 전기적인 노이즈가 발생해도, 노이즈가 진공 챔버측에 전파되지 않는다.

도 1은, 본 발명의 실시형태의 진공 펌프를 나타내는 축선 방향 단면도이다.
도 2는, 상기 진공 펌프에 사용되고 있는 진공 펌프용 댐퍼의 조립 사시도이다.
도 3은, 도 2에 나타내는 진공 펌프용 댐퍼의 분해 사시도이다.
도 4는, 도 2의 A-A선 방향 단면도이며, (a)는 진공 챔버 내를 진공화하고 있지 않을 때의 도면, (b)는 진공 챔버 내를 진공화했을 때의 도면이다.
도 5는, 도 2의 B-B선 방향 단면도이다.
도 6은, 상기 진공 펌프용 댐퍼에서 사용하기에 적합한 각종 O링의 단면도이며, (a)는 본 실시예에서 실제로 사용하고 있는 O링의 단면도, (b) 및 (c)는 본 실시예에서 사용 가능한 다른 O링의 단면도이다.
도 7은, 상기 진공 펌프용 댐퍼에서 사용하는 탄성체의 사시도이며, (a)는 본 실시예에서 사용하고 있는 탄성체의 외관 사시도, (b)~(e)는 본 실시예에서 사용하기에 적합한 다른 탄성체의 외관 사시도이다.
도 8은, 도 2의 C-C선 방향 단면도이며, (a)는 상기 진공 펌프용 댐퍼의 실시예에서 적용하고 있는 구조도이고, (b)는 (a)에 나타내는 본 실시예 구조의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는, 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼를 사용한 경우와, 종래의 벨로우즈 방식의 댐퍼를 사용한 경우의 진동 가속도의 실험 데이터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은, 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼의 제1 변형예를 나타내는 단면도이며, 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면이다.
도 11은, 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼의 제2 변형예를 나타내는 단면도이며, 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면이다.
도 12는, 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼의 제3 변형예를 나타내는 단면도이며, (a)는 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면, (b)는 도 2의 B-B선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면이다.
도 13은, 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼의 제4 변형예를 나타내는 단면도이며, (a)는 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면, (b)는 도 2의 B-B선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면이다.
도 14는, 도 13의 D-D선 방향 단면도이다.
도 15는, 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼의 제5 변형예를 나타내는 단면도이며, (a)는 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면, (b)는 도 2의 B-B선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면이다.

본 발명은, 간단한 구조이고, 또한, 비틀림 방향의 제진성을 높일 수 있음과 더불어, 마주 향하는 플랜지끼리의 어긋남을 규제하여 O링이나 탄성체의 파단, 손상을 방지하는 것이 가능한 진공 펌프 및 진공 펌프용 댐퍼를 제공한다는 목적을 달성하기 위해, 진공 챔버와 상기 진공 챔버 내를 진공화하는 진공 펌프 사이를 기밀하게 유지하는 진공 펌프용 댐퍼로서, 진공 챔버와 상기 진공 챔버 내를 진공화하는 진공 펌프 사이를 기밀하게 유지 각각 중앙 개구를 가지고, 서로 대향해서 배치되어 있는 환상인 제1 플랜지 및 제2 플랜지와, 상기 제1 플랜지의 상기 중앙 개구 및 상기 제2 플랜지의 상기 중앙 개구와 대응하는 중앙 개구를 가지고 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 사이에 배치된 중간 링과, 상기 중앙 개구의 외주를 둘러싸고 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이와 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각 배치되어 있는 O링과, 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이와 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각, 상기 중앙 개구의 둘레 방향으로 점재하여 각각 배치되어 있는 복수 개의 탄성체와, 상기 제1 플랜지와 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지에 각각 형성된 위치 결정 구멍 내를 순서대로 통과해서 배치된 위치 결정 부재를 갖는 기밀 유지 수단을 구비하는 구성으로서 실현되었다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 첨부 도면에 의거하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 실시형태의 설명 전체를 통해 같은 요소에는 같은 부호를 달고 있다. 또, 이하의 설명에서는, 상하나 좌우 등의 방향을 나타내는 표현은, 절대적인 것은 아니고, 본 발명의 진공 펌프의 각 부가 그려져 있는 자세인 경우에 적절하지만, 그 자세가 변화된 경우에는 자세의 변화에 따라 변경해서 해석되어야 하는 것이다.

실시예

도 1은 본 발명에 따른 진공 펌프(10)의 전체 구성을 나타내는 축선 방향 단면도이다. 또한, 이 실시예에서는, 진공 펌프(10)로서 터보 분자 펌프를 일례로 하고 있다.

진공 펌프(10)는, 도시되지 않는 외부의 용기(이하, 「진공 챔버」라고 한다)와 케이싱 본체(11) 사이에 기밀 상태를 유지하여 배치되는 진공 펌프용 댐퍼(12)를 구비하고 있다.

케이싱 본체(11)는, 동일하게 스테인리스강(SUS)제로 원통형상으로 형성되어 있고, 후술하는 바와 같이 배기 기능부를 내장한다. 케이싱 본체(11)의 일단측(상단측)에는, 진공 펌프용 댐퍼(12)가 연접되고, 진공 펌프용 댐퍼(12)와 케이싱 본체(11) 사이가 볼트(18)로 고정되어 있다. 진공 펌프용 댐퍼(12)는, 케이싱 본체(11)측의 회전에 의한 진동이 진공 챔버측에 전파되는 것을 방지하기 위한 것이다.

케이싱 본체(11)의 타단측(하단측)에는, 베이스(19)가 연접되고, 베이스(19)와 케이싱 본체(11) 사이가 볼트(20)로 고정되어 있다. 베이스(19)는, 케이싱 본체(11) 및 진공 펌프용 댐퍼(12)와 함께, 흡기구(12a)를 통해 진공 챔버 내와 연통하는 중공부(21)를 형성한다. 또, 베이스(19)에는, 중공부(21) 내의 기체를 배출하는 배기구(22)를 가진 배기구부(23)가 장착되어 있다.

또한, 케이싱 본체(11) 내에는, 배기 기능부의 일부를 이루고, 베이스(19)에 지지되며, 또한 중공부(21) 내에 수납되는 스테이터부(24)와, 중공부 내에 수납되는 로터부(25)를 구비하고 있다. 또, 로터부(25)를 스테이터부(24)에 대해 회전 가능하게 받치는 자기 베어링부(26, 27)와, 자기 베어링부(26, 27)에 받쳐지는 로터부(25)를, 로터축(25a)을 개재하여 스테이터부(24)에 대해 회전시키는 모터(28)를 구비하고 있다.

로터부(25)는 통형상 벽부(29)를 갖고 있고, 통형상 벽부(29)의 외주에 다수의 로터 날개(30)가 방사형상으로, 또한 축선 방향으로 다단으로 설치되어 있다. 이 로터 날개(30)는, 흡기구측(도면 상측)이 회전 방향측이 되도록 축선 방향에 대해 소정 각도로 경사져 있다. 한편, 스테이터부(24)에는, 로터 날개(30)의 각 단 사이에 배치되는 스테이터 날개(31)를 구비하고 있다. 스테이터 날개(31)는, 축선 방향에 대해 소정 각도로 경사져 있다. 그리고, 로터부(25)가 모터(28)에 의해 회전 구동되면, 로터 날개(30)와 스테이터 날개(31)의 작용에 의해 기체 분자를 배기구(22)측으로 두드려 떨어뜨리도록 되어 있다.

로터부(25)를 자력에 의해 지지하는 자기 베어링은, 3축 제어의 자기 베어링이며, 로터부(25)는, 자기 베어링부(26)에 의해 래디얼 방향(로터축(25a)의 경방향)으로 자기 부상하여 비접촉으로 지지되고, 자기 베어링부(27)에 의해 스러스트 방향(로터축(25a)의 축방향)으로 자기 부상하여 비접촉으로 지지된다.

자기 베어링부(26)에서는, 4개의 반경방향 전자석(32)이 로터축(25a) 주위에, 90도씩 대향하도록 배치되어 있다(도면에서는 2개를 도시). 이들 반경방향 전자석(32)에 대향하는 로터축(25a)은 고투자율재에 의해 형성되고, 이들 반경방향 전자석(32)의 자력을 받는다.

로터축(25a)의 하부에는, 자성체로 형성된 원반형상의 금속 디스크(33)가 고정되어 있으며, 이 금속 디스크(33)의 상방에는, 축방향 전자석(34)이 베이스(19)에 고정 배치되어 있다. 그리고, 반경방향 전자석(32)과 축방향 전자석(34)에 각각 여자 전류가 공급됨으로써, 로터부(25)가 자기 부상된다.

또, 본 실시형태의 진공 펌프(10)에서는, 로터부(25)의 상부 및 하부측에, 보호용 베어링(35A, 35B)이 배치되어 있다. 그리고, 통상 시, 로터부(25)는, 회전하고 있는 동안, 자기 베어링부(26, 27)에 의해 비접촉 상태에서 축지지된다. 한편, 보호용 베어링(35A, 35B)은, 터치다운이 발생한 경우에 자기 베어링부(26, 27)를 대신하여 로터부(25)를 축지지함으로써 장치 전체를 보호한다. 또한, 이 실시형태에 있어서는, 로터부(25)는 자기 베어링부(26, 27)에 의해 축지지되어 있는데, 이것으로 한정되는 것은 아니며, 동압 베어링, 정압 베어링, 그 외의 베어링이어도 된다.

도 2~도 5, 및 도 8은, 도 1에 나타내는 진공 펌프용 댐퍼(12)의 구조를 상세하게 나타내는 것이며, 도 2는 진공 펌프용 댐퍼(12)의 조립 사시도, 도 3은 도 2에 나타내는 진공 펌프용 댐퍼(12)의 분해 사시도, 도 4는 도 2의 A-A선 방향 단면도, 도 5는 도 2의 B-B선 방향 단면도, 도 8은 도 2의 C-C선 방향 단면도이다. 이하, 도 1에 도 2~도 5, 및 도 8을 더하여, 진공 펌프용 댐퍼(12)의 세부 구조를 상세하게 설명한다.

도 1~도 8에 있어서, 진공 펌프용 댐퍼(12)는, 진공 챔버와 기밀 상태를 유지하여 상면측이 접속되는 제1 플랜지(13)와, 도 1에 나타내는 바와 같이 케이싱 본체(11)와 기밀 상태를 유지하여 하면측이 접속되는 제2 플랜지(14)와, 제1 플랜지(13)의 하면과 제2 플랜지(14)의 상면에 끼워져 배치된 중간 링(15)을 구비한다. 또한, 이들 제2 플랜지(14)와 중간 링(15)과 제1 플랜지(13)는, 각각 스테인리스강(SUS)으로 형성되어 있다. 또, 제2 플랜지(14)와 중간 링(15)과 제1 플랜지(13)는, 각각 중앙에 진공 챔버 내의 기체를 흡입하는 흡기구(12a)를 형성하며 환상으로 형성되어 있다. 그리고, 진공 펌프용 댐퍼(12)는, 도 1, 도 2, 도 3에 나타내는 바와 같이, 제2 플랜지(14)와 중간 링(15)과 제1 플랜지(13)를 축선 방향으로 순서대로 적층함으로써 서로 대향시키고, 일체화된 상태로 하여 진공 챔버와 케이싱 본체(11) 사이에 배치된다.

또, 진공 펌프용 댐퍼(12)에는, 흡기구(12a)가 되는 중앙 개구의 외측을 각각 둘러싸고, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15)의 상면, 및 제2 플랜지(14)의 하면 사이에 O링(16)이 각각 배치되어 있다. 또한, O링(16)의 외측을 둘러싸고, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15)의 상면, 및, 중간 링(15)의 하면과 제2 플랜지(14)의 상면 사이에는, 각각 복수 개의 탄성체(17)를 점재시켜 배치하고 있다.

또한, O링(16)이 배치되는 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15)의 상면 사이, 및 중간 링(15)의 하면과 제2 플랜지(14)의 상면 사이에는, 이들 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 및 중간 링(15)과 제2 플랜지(14)가 각각, 서로 대향한 상태에서 O링(16)을 끼우고, 이 끼운 O링(16)을 중앙 개구의 외측에 각각 위치 결정 유지하는 위치 결정 오목부(36)가 링형상으로 형성되어 있다.

또, O링(16)은, 전기 절연성을 갖고, 또한 탄성 변형 가능한 불소 고무로 형성되어 있으며, 단면 형상은 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이 개략 원형으로 형성되어 있다. 또한, O링(16)은, 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이 전체가 불소 고무로 형성된 구조뿐만 아니라, 예를 들면 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 실리콘 고무로 형성된 심재(코어)(16a)의 외주면을 불소계의 이종 재료(16b)로 피복하여 일체화된 전기 절연성의 복합재 구조로 해도 된다. 또한, 이종 재료(16b)는 심재(16a)의 외주면 전체를 피복하지 않고, 예를 들면 도 6의 (c)에 나타내는 바와 같이, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15)의 상면으로 끼워지는 부분, 및 중간 링(15)의 하면과 제2 플랜지(14)의 상면으로 끼워지는 부분에만, 이종 재료(16b)로 덮은 복합재 구조로 해도 된다.

더욱 상세하게 설명하면, 제1 플랜지(13)는, 중앙에 흡기구(12a)가 되는, 개구부로서의 중앙 개구(13a)를 형성한 통형상의 플랜지 본체부(13b)와, 플랜지 본체부(13b)의 상단 주연으로부터 수평으로 외측을 향해 테두리형상으로 연장되는 상측 플랜지부(13c)와, 플랜지 본체부(13b)의 하단 주연으로부터 수평으로 외측을 향해 테두리형상으로 연장되는 하측 플랜지부(13d)를 일체로 갖고 있다.

또, 제1 플랜지(13)의 상측 플랜지부(13c)에는, 제1 플랜지(13)와 진공 챔버 사이를 고정하는 고정용 나사(37)(도 8 참조)를 장착하는 장착 구멍(38)이 상하로 관통해 형성되어 있다. 장착 구멍(38)은, 통상, 대략 등간격으로 복수 개(본 실시예에서는 8개) 형성된다.

한편, 제1 플랜지(13)의 하측 플랜지부(13d)에는, 하측 플랜지부(13d)의 하면측에 중앙 개구(13a)의 외측을 둘러싸도록 하여, 링형상으로 형성된 오목홈(39)이 형성되어 있다. 이 오목홈(39)은, 중간 링(15)과 함께 제1 플랜지(13)측에 배치되는 O링(16)을 위치 결정하는 위치 결정 오목부(36)를 형성한다. 그리고, 제1 플랜지(13)측에 배치되는 O링(16)은, 오목홈(39) 내에 일부를 수납하고, 나머지 일부를 오목홈(39) 내로부터 돌출시킨 상태에서 배치된다. 또, 하측 플랜지부(13d)에는, 상측 플랜지부(13c)에 형성되어 있는 장착 구멍(38)과 대응하는 각각의 개소, 즉 8개의 장착 구멍(38)과 대응하는 8개의 개소에, 고정용 나사(37)의 머리부(37a)를 내보내기 위한 절결부(40)가, 하측 플랜지부(13d)의 외주로부터 내측(중앙 개구(13a)측)을 향해 각각 형성되어 있다. 이 절결부(40)의 역할은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 고정용 나사(37)를 장착 구멍(38)에 통과시켜, 진공 펌프용 댐퍼(12)를 진공 챔버에 장착할 때, 절결부(40)를 형성하고 있지 않은 동 도 (b)의 경우에서는, 고정용 나사(37)의 머리부(37a)가 하측 플랜지부(13d)의 외주연(13da)에 부딪쳐 고정용 나사(37)의 장착 작업이 어렵다. 그러나, 절결부(40)를 형성하고 있는 동 도 (a)의 경우에서는, 고정용 나사(37)의 머리부(37a)가 절결부(40)에서 내보내어져, 하측 플랜지부(13d)의 외주연(13da)에 부딪치는 일 없이 원활하게 장착된다. 즉, 절결부(40)를 형성함으로써 고정용 나사(37)의 장착 작업을 하기 쉽게 한다.

또, 제1 플랜지(13)의 하측 플랜지부(13d)에는, 절결부(40)와의 사이에 위치 결정 부재로서의 위치 결정 핀(41)의 선단부(41a)가 삽입되는 위치 결정 구멍(13e)과, 탄성체(17)를 위치 결정하는 오목부(패임)(13f)가 형성되어 있다. 또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 구멍(13e)은, 서로 이웃하는 2개의 절결부(40, 40)와의 대략 중간의 개소에 1개씩, 합계 8개 형성되어 있으며, 오목부(13f)는 서로 이웃하는 2개의 절결부(40)와 위치 결정 구멍(13e)의 대략 중간의 개소에 각각 1개씩, 합계 16개 형성되어 있다. 또한, 절결부(40)와 위치 결정 구멍(13e)과 오목부(13f)의 개수는, 이것으로 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 변경 가능한 것이다. 또, 도시되지 않으나, 위치 결정 구멍(13e)의 내주면에는 암나사가 설치되고, 위치 결정 핀(41)의 선단부(41a)의 외주면에는, 위치 결정 구멍(13e)의 내주면의 암나사와 결합하는 수나사가 설치되어 있다.

제2 플랜지(14)는, 중앙에 흡기구(12a)가 되는, 개구부로서의 중앙 개구(14a)를 형성하고, 링판형상으로 형성되어 있다. 제2 플랜지(14)의 상면(제1 플랜지(13) 및 중간 링(15)과 대향하는 면)에는, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 중앙 개구(14a)의 외측을 둘러싸도록 하여 환상으로 형성된 제1 구릉부(14b)와, 제1 구릉부(14b)의 외측에 당해 제1 구릉부(14b)보다 한 단 내려간 상태에서 환상으로 형성된 제2 구릉부(14c)와, 제2 구릉부(14c)의 외측에 당해 제2 구릉부(14c)보다 한 단 더 내려간 상태에서 환상으로 형성된 제3 구릉부(14d)가 형성되어 있다. 제1 구릉부(14b)와 제2 구릉부(14c)는, 서로 대향하는 중간 링(15)과 함께 제2 플랜지(14)측에 배치되어 있는 O링(16)을 위치 결정하는 위치 결정 오목부(36)를 형성한다. 그리고, 제2 플랜지(14)측에 배치되는 O링(16)은, 제1 구릉부(14b)의 외주에 접하여 제2 구릉부(14c) 상에 배치되어 있다.

또, 제2 플랜지(14)의 제3 구릉부(14d)에는, 도 2, 도 3, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 플랜지(13)의 위치 결정 구멍(13e)에 각각 대응하여 8개의 위치 결정 구멍(14e)이 대략 등간격으로 형성되어 있음과 더불어, 동일하게 제1 플랜지(13)의 오목부(13f)에 각각 대응하여, 탄성체(17)를 위치 결정하는 16개의 오목부(패임)(14f)가 형성되어 있다.

중간 링(15)은, 내측에 흡기구(12a)가 되는 개구부로서의 중앙 개구(15a)를 형성하며 링판형상으로 형성되어 있다. 중간 링(15)의 하면(제2 플랜지(14)와 대향하는 면)에는, 도 1, 도 3, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 플랜지(13) 및 제2 플랜지의 위치 결정 구멍(13e, 14e)에 각각 대응하여 8개의 위치 결정 구멍(15e)이 대략 등간격으로 형성되어 있음과 더불어, 동일하게 제1 플랜지(13) 및 제2 플랜지(14)의 오목부(13f, 14f)에 각각 대응하여, 탄성체(17)를 위치 결정하는 16개의 오목부(패임)(15f)이 형성되어 있다. 또, 중간 링(15)의 상면(제1 플랜지(13)와 대향하는 면)에도, 도 1, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 플랜지(13) 및 제2 플랜지(14)의 오목부(13f, 14f)와 중간 링(15)의 하면에 형성한 오목부(15f)에 각각 대응하여, 탄성체(17)를 위치 결정하는 16개의 오목부(패임)(15f)가 형성되어 있다.

탄성체(17)는, 도 2, 도 3 및 도 7(a)에 나타내는 바와 같이, 실리콘 고무 등의 탄성 부재로 원기둥체로서 형성되어 있다. 따라서, 상술한 제1 플랜지(13)의 오목부(13f), 제2 플랜지(14)의 오목부(14f), 중간 링(15)의 오목부(15f)는, 탄성체(17)의 상하의 단면의 원형상에 맞춰 평면에서 봤을 때 대략 원형으로 형성되고, 오목부(13f, 14f, 15f)에 배치된 탄성체가 수평 방향으로 가로로 어긋나지 않는 역할을 한다. 또한, 탄성체(7)는, 원기둥체로 한정되지 않고, 예를 들면 도 7(b)에 나타내는 바와 같이 각기둥체여도 된다. 또, 이외에 동 도 (c)에 나타내는 중공 원기둥체, 동 도 (d)에 나타내는 중간 부분이 팽출해 있는 맥주통형상인 원기둥체, 동 도 (e)에 나타내는 중간 부분이 잘록한 형상을 이루는 원기둥체 등이어도 되는 것이다. 그리고, 탄성체(17)의 기둥체의 형상을 바꾼 경우에는, 탄성체(17)의 상하 단면의 형상에 맞춰 오목부(13f, 14f, 15f)의 형상도 바꾸는 것이 바람직하다.

위치 결정 부재로서의 위치 결정 핀(41)은, 수나사가 설치된 선단부(41a)와 반대측의 하단부에 머리부(41b)를 갖는다. 또, 위치 결정 핀(41)의 외주에는, 일단(하단)에 테두리부(42a)를 갖는 전도성을 갖는 슬리브(42)가 장착되어 있다. 이 슬리브(42)는, 위치 결정 핀(41)의 선단부(41a)측으로부터 테두리부(42a)를 하측으로 하고, 테두리부(42a)가 머리부(41b)와 부딪칠 때까지 위치 결정 핀(41)에 장착된다.

그리고, 슬리브(42)를 장착한 위치 결정 핀(41)은, 진공 챔버가 진공 펌프(10)에 의해 진공화되어 있지 않을 때, O링(16)에 의한 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이의 기밀을 유지하고, 진공화되면, O링(16)과 탄성체(17)가 각각 압축되어 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14)의 한쪽(본 실시예에서는 제2 플랜지(14))이 각 플랜지(13, 14)의 축방향으로 이동하고, 위치 결정 핀(41)을 각 플랜지(13, 14)의 한쪽으로부터 전기적 및 기계적(이하 「전기적/기계적」이라고 한다)으로 분리하는 기밀 유지 수단(51)을 구성한다. 슬리브(42)가 장착된 상태에서, 제2 플랜지(14)의 하면측으로부터, 제2 플랜지(14)의 위치 결정 구멍(14e)과 중간 링(15)의 위치 결정 구멍(15e)을 순서대로 통과해서 삽입되고, 그 후, 위치 결정 핀(41)의 선단부(41a)의 수나사를, 제1 플랜지(13)의 위치 결정 구멍(13e)의 암나사에 결합시켜, 슬리브(42)의 길이로 규제될 때까지 체결 고정되어 장착된다.

또, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14)를 순서대로 겹쳐 위치 결정 핀(41)으로 고정할 때, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15)의 상면, 및 중간 링(15)의 하면과 제2 플랜지(14)의 상면 사이에는 각각, 위치 결정 오목부(36) 내에 약간 탄성 압축된 상태에서 O링(16)이 각각 배치됨과 더불어, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15)의 상면 사이에 16개의 탄성체(17), 및 제2 플랜지(14)의 상면과 중간 링(15)의 하면 사이에 16개의 탄성체(17)가, 오목부(13f, 14f, 15f)에서 각각 약간 탄성 압축된 상태에서 위치 결정 배치된다. 그리고, 이들 복수 개의 O링(16)과 복수 개의 탄성체(17)는, 위치 결정 핀(41)의 고정에 의해, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이, 및 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이에 각각 끼워져, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14)와 일체화된다.

이와 같이 하여 일체화된 진공 펌프용 댐퍼(12)는, 진공 챔버가 진공화되어 있지 않을 때, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14)의 거리는 슬리브(42)로 설정되고, O링(16)과 탄성체(17)의 반발력으로, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이, 및, 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이는, 각각 O링(16)으로 봉지된 상태에서 멀어져 있다. 또, 이 상태에서는 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 슬리브(42)의 테두리부(42a)와 제2 플랜지(14)의 하면 사이가 조밀하게 전기적/기계적으로 접촉하고, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이는, 도전성을 갖는 슬리브(42)를 개재하여 전기적으로 도통되어 있다.

한편, 진공 챔버 내를 진공 펌프(10)에 의해 진공화하면, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이는, 대기압에 의해 눌려 O링(16) 및 탄성체(17)를 각각 탄성 압축시켜 간격이 줄어들고, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 제2 플랜지(14)의 하면과 슬리브(42)의 테두리부(42a) 사이는 기계적으로 멀어져서 간극(S)이 만들어지고, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이가 전기적으로 절연되어, 진공 펌프(10)에 바람직하지 않은 전기적인 노이즈가 발생해도, 양쪽 플랜지(13, 14)를 개재한 진공 챔버측에는 노이즈가 전달되지 않게 되도록 되어 있다.

그리고, 이와 같이 형성되어 있는 진공 펌프용 댐퍼(12)는, 도 1에 있어서는, 케이싱 본체(11)의 일단측(상단측)에, 기밀 상태를 유지하여 볼트(18)로 고정해서 장착되어, 케이싱 본체(11)와 일체화된다. 이렇게 해서 케이싱 본체(11)와 일체화된 진공 펌프용 댐퍼(12)는, 그 후, 도 8(a)에 나타내는 바와 같이, 제1 플랜지(13)의 장착 구멍(38)에 고정용 나사(37)를 통과시켜, 고정용 나사(37)를 진공 챔버측에 나사 고정함으로써, 진공 챔버와 기밀 상태를 유지하여 고정해서 장착되어, 진공 펌프(10)로서 장착할 수 있다.

다음에, 이와 같이 진공 펌프용 댐퍼(12)를 진공 챔버와의 사이에 배치하여 이루어지는 진공 펌프(10)의 작용에 대해 설명한다. 진공 펌프(10)는, 상술한 바와 같이 진공 펌프용 댐퍼(12)를 개재하여 외부의 진공 챔버에 고정되고, 이 상태에서 진공 펌프(10)의 모터(28)가 구동된다. 모터(28)의 구동에 의해, 로터부(25)와 함께 로터 날개(30)가 고속 회전한다. 이에 의해, 흡기구(12a)로부터의 기체가, 로터 날개(30) 및 스테이터 날개(31)에 의해 이송되고, 배기구(22)로부터 배출된다. 즉, 진공 챔버 내가 진공화된다.

진공 챔버 내가 진공화되기 전, 즉 진공화되어 있지 않을 때의 진공 펌프용 댐퍼(12)는, O링(16)과 탄성체(17)의 반발력으로, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이, 및, 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이가, 각각 O링(16)으로 봉지된 상태에서 멀어져 있다. 그리고, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 슬리브(42)의 테두리부(42a)와 제2 플랜지(14)의 하면 사이는 조밀하게 접촉하고, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이가 도전성을 갖는 슬리브(42)를 개재하여 전기적으로 도통되어 있다.

한편, 진공 챔버 내가 진공화되면, 진공 펌프용 댐퍼(12)에 있어서의, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이는, 대기압에 의해 눌려, O링(16) 및 탄성체(17)를 각각 탄성 압축시켜 간격이 줄어든다. 그리고, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 제2 플랜지(14)의 하면과 슬리브(42)의 테두리부(42a) 사이에 간극(S)이 만들어지고, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이는 전기적/기계적으로 절연되어, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이가 O링(16)과 탄성체(17)의 기둥만으로 접속된 상태가 된다. 따라서, 여기서의 진공 펌프(10)는, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이의 절연에 의해, 진공 펌프(10)에 바람직하지 않은 전기적인 노이즈가 발생해도, 양쪽 플랜지(13, 14)를 개재한 진공 챔버측에는 노이즈가 전달되지 않게 된다.

또, 진공 펌프(10)에 있어서의 모터(28)의 구동 중, 로터부(25)의 불균형, 모터(28)의 코깅 등에 기인하여 진동이 발생한다. 이들 진동은 케이싱 본체(11) 및 진공 펌프용 댐퍼(12)에 전파된다. 또한, 이 진공 펌프(10)의 배기구(22)에 백 펌프가 접속되어 있는 경우 등에는, 백 펌프의 진동 등이 접속 배관 등을 개재하여 동일하게 케이싱 본체(11) 및 진공 펌프용 댐퍼(12)에 전파된다.

그러나, 여기서의 진공 펌프용 댐퍼(12)는, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14)의 간격이, 대기압에 의해 눌려 O링(16) 및 탄성체(17)를 각각 탄성 압축시켜 줄어들고, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이가, O링(16)과 탄성체(17)의 기둥만으로 접속된 상태에 있으므로, 진공 챔버측에 전파되는 진동이 O링(16)과 탄성체(17)로 제진되어 매우 작아진다.

특히, 이 실시예의 구조와 같이, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이가, O링(16)과 탄성체(17)의 기둥만으로 접속된 상태에서는, 종래의 특허문헌 1에서 알려지는 벨로우즈 방식을 사용한 댐퍼 등에 비해, 비틀림 방향의 스프링 상수가 작으므로 제진 효과가 높아진다.

또, 본 실시예에서는, 탄성체(17)는, 흡기구(12a)를 일주하는 링형상인 탄성체를 사용하는 것이 아니라, 흡기구(12a)의 주위에 점재하여 기둥형상으로 설치하고 있다. 이에 의해, O링형상인 탄성체를 사용한 경우에 비해, 횡방향의 스프링 상수를 낮게 할 수 있으므로 횡방향의 제진 성능이 높아진다.

또한, 위치 결정 구멍(13e, 14e, 15e) 및 오목부(13f, 14f, 15f)의 수 등은, 본 실시예의 수로 한정되는 것은 아니다. 또, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이에 배치되는 O링(16)과, 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이에 배치되는 O링은, 각각 상이한 강성을 가진 O링을 사용해도 된다.

또한, 본 실시예에서는, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에 중간 링(15)을 배치하고, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이와, 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이에, O링(16) 및 탄성체(17)를 각각 설치한 구조를 개시했다. 그러나, 중간 링(15)을 생략하여, O링(16) 및 탄성체(17)를, 중간 링(15)을 개재하지 않고 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에 배치하는 것도 가능하다.

도 9는, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이를, O링(16)과 탄성체(17)의 기둥으로 접속한 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼(12)와, 특허문헌 1에서 알려지는 종래의 벨로우즈 방식을 사용한 댐퍼로 행한, 진공 펌프로부터 제진대(진공 케이싱)에 전달하는 경방향 진동 가속도의 실험 데이터이다. 도면 중, 실선은 본 발명의 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이를 O링(16)과 탄성체(17)의 기둥으로 접속한 구조의 경우이며, 점선은 종래의 벨로우즈 방식의 경우이다. 또한, 세로축은 진동 가속도(mm/SA2), 가로축은 주파수(Hz)이다. 도 9에 나타내는 실험 데이터로부터, 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼(12)의 경우에서는 종래의 벨로우즈 방식을 사용한 경우에 비해, 11Hz부터 서서히 진동 가속도가 저하되고, 15Hz 이후는 진동 가속도가 크게 저하되어, 제진되어 있음을 알 수 있다.

도 10은, 도 1~도 8에 나타낸 진공 펌프용 댐퍼(12)의 제1 변형예를 나타내는 도면이며, (a)는 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면, (b)는 도 2의 B-B선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면이다. 도 10에 나타내는 제1 변형예는, 축선 방향(상하 방향)의 제진 성능을 경방향(좌우 방향)의 제진 성능에 비해 높이는 경우의 구조이다. 즉, 도 10에 나타내는 진공 펌프용 댐퍼(12)는, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이에 형성되는 위치 결정 오목부(36)의 경방향(좌우 방향)의 폭을 O링(16)의 직경보다 작게 형성하고, 제2 플랜지(14)와 중간 링(15) 사이에 형성되는 위치 결정 오목부(36)의 축선 방향(높이 방향)의 폭을 O링(16)의 직경보다 작게 형성하고 있다. 그리고, 제1 변형예의 진공 펌프용 댐퍼(12)에서는, 진공 챔버가 진공 펌프(10)에 의해 진공화되어 있지 않을 때, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이의 위치 결정 오목부(36) 내에 위치 결정되어 있는 O링(16)은, 위치 결정 오목부(36)의 경방향(좌우 방향)에 있어서의 좌우 양측의 내벽면으로 찌그러뜨린 시일 상태에서 배치되고, 제2 플랜지(14)와 중간 링(15) 사이의 위치 결정 오목부(36) 내에 위치 결정되어 있는 O링(16)은, 제2 플랜지(14)의 상면과 중간 링(15)의 하면으로 찌그러뜨린 시일 상태에서 배치되어 있다.

여기서, O링(16)의 스프링 상수는, 찌그러뜨리는 방향이, 전단하는 방향보다 수 배 크고 단단하다. 따라서, 축방향의 스프링 상수를 작게 하고 싶을 때에는, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이의 위치 결정 오목부(36) 내에 위치 결정되어 있는 O링(16)과 같이, 위치 결정 오목부(36)의 좌우 양측의 내벽면으로 찌그러뜨려 시일하도록 하면 된다. 반대로, 축방향의 스프링 상수를 크게, 경방향의 스프링 상수를 작게 하고 싶을 때에는, 제2 플랜지(14)와 중간 링(15) 사이의 위치 결정 오목부(36) 내에 위치 결정되어 있는 O링(16)과 같이, 제2 플랜지(14)의 상면과 중간 링(15)의 하면으로 찌그러뜨려 시일하도록 하면 된다.

따라서, 제1 변형예의 구조에서는, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이의 위치 결정 오목부(36) 내에 위치 결정되어 있는 O링(16)은, 축선 방향의 제진 성능을 높이고, 제2 플랜지(14)와 중간 링(15) 사이의 위치 결정 오목부(36) 내에 위치 결정되어 있는 O링(16)은, 경방향의 제진 성능을 높인 구조가 된다. 또한, O링(16)을 각각 위치 결정하는 2개의 위치 결정 오목부(36)는, 도 10에 나타낸 구조와는 반대로, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이에 설치하는 O링(16)을 경방향의 제진 성능을 높이도록 하여 위치 결정하는 구조로 하고, 제2 플랜지(14)와 중간 링(15) 사이에 설치하는 O링을 축방향의 제진 성능을 높이도록 하여 위치 결정하는 구조로 해도 된다.

도 11은, 도 1~도 8에 나타낸 진공 펌프용 댐퍼(12)의 제2 변형예를 나타내는 도면이며, 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있다. 도 10에 나타내는 제1 변형예는, 중간 링(15)에 있어서의 위치 결정 구멍(15e)의 내경을 위치 결정 부재로서의 위치 결정 핀(43)의 외경과 대략 동일하게 형성함과 더불어, 제1 플랜지(13)에 있어서의 위치 결정 구멍(13e)의 내경과 제2 플랜지(14)에 있어서의 위치 결정 구멍(14e)의 내경을 위치 결정 핀(43)의 외경보다 크게 형성하고 있다.

그리고, 이 제2 변형예에서는, 위치 결정 부재인 위치 결정 핀(43)의 중간 부분을 중간 링(15)의 위치 결정 구멍(15e)에 압입 고정시킨 상태에서, 위치 결정 핀(43)을 중간 링(15)에 고정한다. 또한, 중간 링(15)의 상하에, 각각 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14)를 배치한다. 그 때, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이와, 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이에 O링(16) 및 탄성체(17)를 배치함과 더불어, 위치 결정 구멍(13e), 위치 결정 구멍(14e)에 각각 위치 결정 핀(43)을 비접촉 상태에서 삽입 배치하고, 그 후, 도시되지 않는 부재에 의해 제1 플랜지(13)와 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이를 유지하여 일체화한 것이다.

제2 변형예의 진공 펌프용 댐퍼(12) 구조에서는, 진공 챔버 내가 진공화되면, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15) 사이, 및, 중간 링(15)과 제2 플랜지(14) 사이가, 각각 대기압에 의해 눌려, O링(16) 및 탄성체(17)를 각각 탄성 압축시켜 간격이 줄어든다. 따라서, 이 제2 변형예의 경우에서는, 위치 결정 핀(41)에 장착하고 있는 슬리브를 생략할 수 있다. 그 때문에, 적은 스페이스에서 위치 결정 핀(43)을 배치할 수 있다. 이 위치 결정 핀(43)에는 로터부(25)가 어떠한 원인에 의해 파괴되어 진공 펌프(10)에 큰 비틀림 토크가 발생한 경우, 그 토크를 흡수하여 진공 펌프용 댐퍼(12)가 비틀려 파괴되는 것을 방지하는 효과가 있다.

도 12는, 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼의 제3 변형예를 나타내는 단면도이며, (a)는 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면, (b)는 도 2의 B-B선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면이다. 도 12에 나타내는 제3 변형예에서는, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에, 중간 링(15A)과 중간 링(15B)과 중간 링(15C)으로 이루어지는, 3장의 중간 링을 적층하여 순서대로 배치하고 있다.

또, 중간 링(15A) 및 중간 링(15C)은, 그 외주 중간 부분으로부터 외측을 향해 연장되는 테두리형상부(15Aa, 15Ca)가 형성되어 있다. 또한, 테두리형상부(15Aa, 15Ca)의 외경의 크기는, 도 12에 나타내는 바와 같이 탄성체(17)로 둘러싸이는 영역까지 연장되어, 탄성체(17)의 외주면과 대략 접하는 위치까지 각각 연장된 크기로 하고 있다. 중간 링(15B)은, 제1 플랜지(13)의 위치 결정 구멍(13e)과 제2 플랜지(14)의 위치 결정 구멍(14e)에 각각 대응하고 있는 복수 개의 위치 결정 구멍(15e)과, 제1 플랜지(13)의 오목부(13f)와 제2 플랜지(14)의 오목부(14f)에 각각 대응하고 있는 복수 개의 오목부(15f)가 형성되어 있다.

그리고, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15A), 중간 링(15B), 중간 링(15C), 및 제2 플랜지(14)를, 순서대로 겹쳐 위치 결정 핀(41)으로 고정할 때, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15A)의 상면 사이, 및 중간 링(15A)의 하면과 중간 링(15B)의 상면 사이와, 중간 링(15B)의 하면과 중간 링(15C)의 상면과, 중간 링(15C)의 하면과 제2 플랜지(14)의 상면 사이에는 각각, 위치 결정 오목부(36) 내에 약간 탄성 압축된 상태에서, O링(16)이 각각 배치된다. 또, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15A)의 상면 사이와, 제2 플랜지(14)의 상면과 중간 링(15B)의 하면 사이에, 각각 16개의 탄성체(17)가, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15B), 및 제2 플랜지(14)의 오목부(13f, 14f, 15f)에 위치 결정되고, 약간 탄성 압축된 상태에서, 또한 중간 링(15)의 테두리형상부(15Aa) 및 중간 링(15C)의 테두리형상부(15Ca)와 대략 접한 상태에서 배치된다. 이들 복수 개의 O링(16)과 복수 개의 탄성체(17)는, 위치 결정 핀(41)의 고정에 의해, 제1 플랜지(13), 중간 링(15A), 중간 링(15B), 제2 플랜지(14)와 일체화된다.

이 제3 변형예의 경우에서는, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에, 각각 사이에 O링(16)을 끼워 중간 링(15A)과 중간 링(15B)과 중간 링(15C)을 순서대로 배치시키고, 그 O링(16)을 4단 배치한 구조로 함과 더불어, 탄성체(17)를 제1 플랜지(13)와 중간 링(15B)과 제2 플랜지(14) 사이에 각각 끼워 탄성체(17)를 2단 구조로 하고 있다. 이 구조에서도 중간 링(15) 및 탄성체(17)를 각각 다단 구조로 해도 높이가 낮은 진공 펌프용 댐퍼(12)를 얻을 수 있다. 그리고, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에 배치되는 중간 링의 수를 다단으로 늘리고 있으므로, 고주파 진동의 감쇠를 더욱 개선할 수 있다. 또한, 중간 링(15A)의 테두리형상부(15Aa) 및 중간 링(15C)의 테두리형상부(15Ca)가 탄성체(17)의 외주면과 대략 접한 상태에서 배치되어 있으므로, 테두리형상부(15Aa, 15Ca)와 탄성체(17)의 접촉으로 횡방향의 제진이 얻어져, 횡방향의 제진 성능이 향상된다.

도 13은, 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼의 제4 변형예를 나타내는 단면도이며, (a)는 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면, (b)는 도 2의 B-B선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면이다. 도 13에 나타내는 제4 변형예에서는, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에, 중간 링(15A)과 중간 링(15B)과 중간 링(15C)으로 이루어지는, 3장의 중간 링을 적층하여 순서대로 배치하고 있다.

또, 제1 플랜지(13)에 있어서의 상측 플랜지부(13c)의 외경을 하측 플랜지부(13d)의 외경보다 작게 형성함과 더불어, 상측 플랜지부(13c)의 외주 하면에 걸어맞춤 오목홈(44)을 형성하고 있다. 걸어맞춤 오목홈(44)은, 진공 펌프용 댐퍼(12)와 진공 챔버를 고정할 때, 걸어맞춤 훅(45)의 클로(45a)를 걸어 진공 펌프용 댐퍼(12)를 진공 챔버에 고정할 수 있도록 되어 있다.

또한, 중간 링(15A) 전체를 제1 플랜지(13)에 있어서의 플랜지 본체부(13b)의 공간(46) 내에 배치함과 더불어, 중간 링(15B)의 일부도 플랜지 본체부(13b)의 공간(46) 내에 배치하고 있다. 또, 중간 링(15B)의 외주부를 하방으로 단면 대략 L자형상으로 절곡하고, 그 절곡에 의해 중간 링(15B)에 있어서의 외주부의 하면측에 중간 링(15C)을 수용 가능한 공간(47)을 형성하고, 그 공간(47) 내에 중간 링(15C)을 배치하고 있다. 또한, 중간 링(15B)의 외주부의 상하 양면측에, 탄성체(17)를 기둥형상으로 하여 유지하는 오목부(15f)를 각각 형성하고 있다.

또, 중간 링(15A)의 외주면과 중간 링(15C)의 외주면에는 각각, 제2 O링(48)이 장착되는 장착 홈(49)이 중간 링(15A, 15B)을 각각 일주하여 형성되어 있다. 한편, 장착 홈(49)과 대응하여, 플랜지 본체부(13b)의 내주면과 중간 링(15B)의 공간(47)의 내주면에는, 단면 대략 반원형상인 상하 방향으로 연장되는 복수 개의 소돌기(50)를 대략 등간격으로 형성하고 있다. 이 소돌기(50)는, 제2 O링(48)을 맞닿게 한 상태로 하여, 횡방향의 어긋남을 방지하고, 제2 O링(48)의 강성을 유지한다. 또한, 제2 O링(48)은, O링(16)과 마찬가지로, 탄성 변형 가능한 실리콘 고무, 혹은 실리콘 고무로 형성된 심재(코어)(16a)의 외주면을 불소계의 이종 재료(16b)로 피복하여 일체화한 복합재여도 된다.

그리고, 이 제4 변형예에 의한 진공 펌프용 댐퍼(12)에서는, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15A)과 중간 링(15B)과 중간 링(15C)과 제2 플랜지(14)가, 순서대로 겹쳐져 위치 결정 핀(41)으로 고정된다. 또, 그 때, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15A)의 상면 사이, 및, 중간 링(15A)의 하면과 중간 링(15B)의 상면 사이, 중간 링(15B)의 하면과 중간 링(15C)의 상면과, 중간 링(15C)의 하면과 제2 플랜지(14)의 상면 사이에는, 각각 위치 결정 오목부(36) 내에 약간 탄성 압축된 상태에서 O링(16)이 각각 배치된다. 또, 중간 링(15A)의 외주면과 중간 링(15B)의 외주면에 각각 형성된 장착 홈(49) 내에, 제2 O링(48)이 소돌기(50)에 맞닿은 상태에서 각각 배치된다. 또한, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15B)의 상면 사이와, 중간 링(15B)의 상면과 제2 플랜지(14)의 하면 사이에, 각각 8개씩의 탄성체(17)가 약간 탄성 압축된 상태에서 위치 결정 배치된다.

이 제4 변형예의 진공 펌프용 댐퍼(12)의 구조에서는, 중간 링(15A)의 전체와 중간 링(15B)의 일부를, 플랜지 본체부(13b)의 공간(46) 내에 배치함과 더불어, 중간 링(15C)의 대략 전체를 중간 링(15B)의 공간(47) 내에 배치한 상태에서 조립하므로, O링(16)을 다단 방식으로 배치해도 높이가 낮은 진공 펌프용 댐퍼(12)를 얻을 수 있다. 또, 중간 링(15A)의 외주면과 중간 링(15B)의 외주면에 각각 형성된 장착 홈(49) 내에, 도 13 및 도 14에 나타내는 바와 같이 제2 O링(48)을 소돌기(50)에 맞닿게 한 상태에서 배치시키고 있으므로, 제2 O링(48)에 의해 횡방향의 제진이 얻어져, 횡방향의 제진 성능이 향상된다.

도 15는 본 발명의 진공 펌프용 댐퍼의 제5 변형예를 나타내는 단면도이며, (a)는 도 2의 A-A선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면, (b)는 도 2의 B-B선 방향 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있는 도면이다.

제5 변형예는, 제4 변형예가 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에, 중간 링(15A)과 중간 링(15B)과 중간 링(15C)으로 이루어지는, 3장의 중간 링을 적층하여 순서대로 배치한 구조를 개시했는데, 이 제4 변형예에서는, 중간 링(15D)을 1장만 사용하고, 그 중간링(15D)을 제1 플랜지(13)에 있어서의 플랜지 본체부(13b)의 공간(46) 내에 배치한 것이다. 그 중간링(15D)의 외주면에는, 제2 O링(48)이 장착되는 장착 홈(49)을 형성하고, 공간(46)을 형성하고 있는 플랜지 본체부(13b)의 내주면에는, 상하 방향으로 연장되는 복수 개의 소돌기(50)를 형성하여 이루어지는 기어 가공이 실시되어 있다.

한편, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이의 고정은, 제1 플랜지(13)의 위치 결정 구멍(13g)측으로부터, 슬리브(42)를 장착한 위치 결정 핀(41)을 삽입하고, 위치 결정 핀(41)의 선단부(41a)의 외주면에 설치하고 있는 수나사를 제2 플랜지(14)의 위치 결정 구멍(14g)의 내주면에 설치하고 있는 암나사에 나사 고정하여 장착하고 있다.

그리고, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에 중간 링(15D)을 배치하여, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14)를 고정할 때, 제1 플랜지(13)의 하면과 중간 링(15D)의 상면 사이, 및, 중간 링(15D)의 하면과 제2 플랜지(14)의 상면 사이의 위치 결정 오목부(36) 내에 각각 O링(16)을 배치함과 더불어, 장착 홈(49) 내에 제2 O링(48)을 배치하고 있다.

이 제5 변형예의 진공 펌프용 댐퍼(12)에서는, 진공 챔버 내를 진공 펌프(10)에 의해 진공화하면, 제1 플랜지(13)와 중간 링(15D)과 제2 플랜지(14) 사이는, 대기압에 의해 눌려, O링(16) 및 탄성체(17)를 각각 탄성 압축시켜 간격이 줄어들고, 제1 플랜지(13)의 상면과 슬리브(42)의 테두리부(42a) 사이에 도시되지 않는 간극이 만들어지고, 제1 플랜지(13)와 제2 플랜지(14) 사이에 전기적/기계적인 절연 상태가 만들어진다.

또, 이 제5 변형예의 진공 펌프용 댐퍼(12)의 구조에서도, 중간 링(15D)을 플랜지 본체부(13b)의 공간(46) 내에 배치한 상태에서 조립하므로, 높이가 낮은 진공 펌프용 댐퍼(12)를 얻을 수 있다. 또한, 중간 링(15D)의 외주면에 형성된 장착 홈(49) 내에, 제2 O링(48)이 소돌기(50)에 맞닿아진 상태에서 배치되어 있으므로, 제2 O링(48)에 의해 횡방향의 제진이 얻어져, 횡방향의 제진 성능이 향상된다.

또한, 본 발명은, 본 발명의 정신을 일탈하지 않는 한 여러 가지 개변을 이룰 수 있고, 그리고, 본 발명이 당해 개변된 것에 이르는 것은 당연하다.

10: 진공 펌프 11: 케이싱 본체
12: 진공 펌프용 댐퍼 12a: 흡기구
13: 제1 플랜지 13a: 중앙 개구(개구부)
13b: 플랜지 본체부 13c: 상측 플랜지부
13d: 하측 플랜지부 13da: 외주연
13e: 위치 결정 구멍 13f: 오목부
14: 제2 플랜지 14a: 중앙 개구(개구부)
14b: 제1 구릉부 14c: 제2 구릉부
14d: 제3 구릉부 14e: 위치 결정 구멍
14f: 오목부 15: 중간 링
15a: 중앙 개구(개구부) 15e: 위치 결정 구멍
15f: 오목부 15A: 중간 링
15Aa: 테두리형상부 15B: 중간 링
15C: 중간 링 15Ca: 테두리형상부
15D: 중간 링 16: O링
16a: 심재 16b: 이종 재료
17: 탄성체 18: 볼트
19: 베이스 20: 볼트
21: 중공부 22: 배기구
23: 배기구부 24: 스테이터부
25: 로터부 25a: 로터축
26, 27: 자기 베어링부 28: 모터
29: 통형상 벽부 30: 로터 날개
31: 스테이터 날개 32: 반경방향 전자석
33: 금속 디스크 34: 축방향 전자석
34, 35: 보호용 베어링 36: 위치 결정 오목부
37: 고정용 나사 37a: 머리부
38: 장착 구멍 39: 오목홈
40: 절결부
41: 위치 결정 핀(위치 결정 부재) 41a: 선단부
41b: 머리부 42: 슬리브
42a: 테두리부
43: 위치 결정 핀(위치 결정 부재) 44: 걸어맞춤 오목홈
45: 걸어맞춤 훅 45a: 클로
46: 공간 47: 공간
48: 제2 O링 49: 장착 홈
50: 소돌기 51: 기밀 유지 수단
S: 간극

Claims (12)

1. 각각 중앙이 개구되는 형상을 가지고, 서로 대향해서 배치되며, 환상인 제1 플랜지 및 제2 플랜지와,
   상기 제1 플랜지의 개구부 및 상기 제2 플랜지의 개구부와 대응하여, 중앙이 개구되는 형상을 가지고, 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 사이에 배치된 중간 링과,
   상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이 및 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각 배치된 O링과,
   상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이 및 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각 둘레 방향으로 점재하여 배치된 복수 개의 탄성체와,
   상기 제1 플랜지와 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지에 각각 형성된 위치 결정 구멍 내를 순서대로 통과해서 배치된 위치 결정 부재를 갖는 기밀 유지 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 탄성체는, 개략 원기둥체 또는 각기둥체인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 O링은, 실리콘 고무로 형성한 심재의 외주면을 불소 고무로 피복하여 이루어지는 복합재로 형성한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 O링 및 상기 탄성체가 각각 배치된, 상기 제1 플랜지 및 상기 제2 플랜지의 각 개소에는, 대응하는 상기 O링 및 상기 탄성체를 각각 위치 결정하는 오목부를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이에 설치되는 상기 O링을 위치 결정하는 위치 결정 오목부와, 상기 제2 플랜지와 상기 중간 링 사이에 설치되는 상기 O링을 위치 결정하는 위치 결정 오목부 중, 한쪽의 상기 위치 결정 오목부는 상기 O링을 경방향의 스프링 상수에 비해 축방향의 스프링 상수가 낮아지도록 하여 위치 결정하고, 다른 쪽의 상기 위치 결정 오목부는 상기 O링을 상기 축방향의 스프링 상수에 비해 상기 경방향의 스프링 상수가 낮아지도록 하여 위치 결정한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 플랜지 또는 상기 제2 플랜지는, 진공 챔버에 고정하는 고정용 나사가 장착되는 장착 구멍을 갖고,
   상기 장착 구멍과 대향하는 상기 중간 링은, 상기 장착 구멍과 대응하는 개소에, 상기 고정용 나사의 장착 시에 상기 고정용 나사의 머리부를 내보내는 절결부를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 플랜지는,
   추가로, 상기 중간 링의 외주면을 덮어 배치되는 내주면을 가진 환상부와,
   상기 환상부의 일단면으로부터 외측을 향해 연장되어 상기 탄성체와 상기 위치 결정 부재가 배치되는 플랜지부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 플랜지의 일부에, 상기 제1 플랜지의 축방향으로 적층하여 복수 장 배치된 상기 중간 링의 외주면을 덮어 배치되는, 내주면을 가진 환상부를 설치하고,
   상기 중간 링의 상기 외주면과 상기 환상부의 상기 내주면 사이에 제2 O링을 배치한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
9. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 플랜지의 축방향으로 적층하여 복수 장 배치되는 상기 중간 링 중의, 상측의 상기 중간 링의 일부에, 당해 중간 링의 하측에 배치되는 상기 중간 링의 외주면을 덮어 배치되는 내주면을 가진 환상부를 설치하고,
   상기 하측에 배치되는 중간 링의 상기 외주면과 상기 환상부의 상기 내주면 사이에 제2 O링을 배치한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
10. 청구항 8 또는 청구항 9에 있어서,
    상기 환상부의 상기 내주면에, 상기 제2 O링을 향해 돌출된 돌기를, 상기 내주면의 둘레 방향으로 점재하여 복수 개 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
11. 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중간 링의 외주면에, 상기 외주면의 일부를 외주 방향을 따라 돌출시킨 테두리형상부를 구비하고,
    상기 탄성체를 상기 테두리형상부의 외주면에 맞닿게 하여 배치한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
12. 진공 챔버와 상기 진공 챔버 내를 진공화하는 진공 펌프 사이를 기밀하게 유지하는 진공 펌프용 댐퍼로서,
    각각 중앙이 개구되는 형상을 가지고, 서로 대향해서 배치되며, 환상인 제1 플랜지 및 제2 플랜지와,
    상기 제1 플랜지의 개구부 및 상기 제2 플랜지의 개구부와 대응하여, 중앙이 개구되는 형상을 가지고, 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 사이에 배치된 중간 링과,
    상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이 및 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각 배치된 O링과,
    상기 제1 플랜지와 상기 중간 링 사이 및 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지 사이에 각각 둘레 방향으로 점재하여 배치된 복수 개의 탄성체와,
    상기 제1 플랜지와 상기 중간 링과 상기 제2 플랜지에 각각 형성된 위치 결정 구멍 내를 순서대로 통과해서 배치된 위치 결정 부재를 갖는 기밀 유지 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프용 댐퍼.

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