JP2000073986A - ターボ分子ポンプの振動抑制器 - Google Patents
ターボ分子ポンプの振動抑制器Info
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- JP2000073986A JP2000073986A JP10243068A JP24306898A JP2000073986A JP 2000073986 A JP2000073986 A JP 2000073986A JP 10243068 A JP10243068 A JP 10243068A JP 24306898 A JP24306898 A JP 24306898A JP 2000073986 A JP2000073986 A JP 2000073986A
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明はターボ分子ポンプの振動抑制器に関
し、振動（特にターボ分子ポンプのファンに起因する振
動）を小さくすることができるターボ分子ポンプの振動
抑制器を提供することを目的としている。 【解決手段】 ターボ分子ポンプと試料室とをダンパで
結合し、該ターボ分子ポンプと該ダンパとの接続部近傍
に重りを取り付け、該重りを調整して、該重りを含むタ
ーボ分子ポンプの運転時の重心が、前記ターボ分子ポン
プのファンの存在する位置の中央近傍になるように固定
する構成とする。
し、振動（特にターボ分子ポンプのファンに起因する振
動）を小さくすることができるターボ分子ポンプの振動
抑制器を提供することを目的としている。 【解決手段】 ターボ分子ポンプと試料室とをダンパで
結合し、該ターボ分子ポンプと該ダンパとの接続部近傍
に重りを取り付け、該重りを調整して、該重りを含むタ
ーボ分子ポンプの運転時の重心が、前記ターボ分子ポン
プのファンの存在する位置の中央近傍になるように固定
する構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はターボ分子ポンプの
振動抑制器に関する。
振動抑制器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のターボ分子ポンプは、ファンを回
転することにより、試料室を排気するようになってい
る。この場合において、ファンの回転に起因する振動が
固定端に直接伝わらないように、また逆に固定端から吸
気口を通じてファンに外部振動が加わることでファンの
寿命を短かくしないように、吸気口に取り付けた金属ベ
ローズとゴムダンパを取り付けている。
転することにより、試料室を排気するようになってい
る。この場合において、ファンの回転に起因する振動が
固定端に直接伝わらないように、また逆に固定端から吸
気口を通じてファンに外部振動が加わることでファンの
寿命を短かくしないように、吸気口に取り付けた金属ベ
ローズとゴムダンパを取り付けている。
【０００３】図８は従来装置の概念図である。図におい
て、１は試料室、２はダンパ、３はダンパ２と試料室１
間を接続する接続部、４は接続部５を介してダンパ２と
接続されるターボ分子ポンプである。前述したように、
ファンの回転に起因する振動が固定端に直接伝わらない
ように、また逆に固定端から吸気口を通じてファンに外
部振動が加わることでファンの寿命を短かくしないよう
に、吸気口に取り付けた金属接続部３、５とゴムダンパ
２が取り付けられている。
て、１は試料室、２はダンパ、３はダンパ２と試料室１
間を接続する接続部、４は接続部５を介してダンパ２と
接続されるターボ分子ポンプである。前述したように、
ファンの回転に起因する振動が固定端に直接伝わらない
ように、また逆に固定端から吸気口を通じてファンに外
部振動が加わることでファンの寿命を短かくしないよう
に、吸気口に取り付けた金属接続部３、５とゴムダンパ
２が取り付けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】電子顕微鏡等の性能の
向上に伴い、試料ステージ等の極微小振動を少なくする
必要に迫られており、試料室の真空をひく主ポンプにタ
ーボ分子ポンプを使用する場合に、ファンの回転に起因
する振動が現在のダンパでは未だ十分に小さくできてい
ない。
向上に伴い、試料ステージ等の極微小振動を少なくする
必要に迫られており、試料室の真空をひく主ポンプにタ
ーボ分子ポンプを使用する場合に、ファンの回転に起因
する振動が現在のダンパでは未だ十分に小さくできてい
ない。
【０００５】金属ベローズとゴムダンパを複数重ねる方
法も行われているが、ポンプの真上に余分な排気空間を
設けることや、試料室そのものがその分だけ高くなると
いう問題や、ゴムダンパそのものの性能上（小振幅、高
振動数では損失係数が小さい）大きな改善効果は期待で
きず好ましい結果は得られていない。
法も行われているが、ポンプの真上に余分な排気空間を
設けることや、試料室そのものがその分だけ高くなると
いう問題や、ゴムダンパそのものの性能上（小振幅、高
振動数では損失係数が小さい）大きな改善効果は期待で
きず好ましい結果は得られていない。
【０００６】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであって、振動（特にターボ分子ポンプのファンに
起因する振動）を小さくすることができるターボ分子ポ
ンプの振動抑制器を提供することを目的としている。
ものであって、振動（特にターボ分子ポンプのファンに
起因する振動）を小さくすることができるターボ分子ポ
ンプの振動抑制器を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
本発明は、 （１）ターボ分子ポンプと試料室とをダンパで結合し、
前記ターボ分子ポンプと前記ダンパとの接続部近傍に重
りを取り付け、該重りを調整して、該重りを含むターボ
分子ポンプの運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプの
ファンの存在する位置の中央近傍になるように固定する
ことを特徴としている。
本発明は、 （１）ターボ分子ポンプと試料室とをダンパで結合し、
前記ターボ分子ポンプと前記ダンパとの接続部近傍に重
りを取り付け、該重りを調整して、該重りを含むターボ
分子ポンプの運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプの
ファンの存在する位置の中央近傍になるように固定する
ことを特徴としている。
【０００８】この発明の構成によれば、ターボ分子ポン
プの運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプのファンの
存在する位置の中央近傍になるように重みを固定するこ
とで、ターボ分子ポンプの運転時の振動を小さくするこ
とができる。
プの運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプのファンの
存在する位置の中央近傍になるように重みを固定するこ
とで、ターボ分子ポンプの運転時の振動を小さくするこ
とができる。
【０００９】（２）この場合において、前記重りの構成
を、リング形状又は軸対称系から部分的に切り欠いた変
形形状にし、これら重りを１／Ｎ（Ｎは整数）に分割し
たものを全て或いは一部を用いることを特徴としてい
る。
を、リング形状又は軸対称系から部分的に切り欠いた変
形形状にし、これら重りを１／Ｎ（Ｎは整数）に分割し
たものを全て或いは一部を用いることを特徴としてい
る。
【００１０】この発明の構成によれば、重りの形状を分
割形状にして、必要に応じてこれら重りのブロックを用
いることにより、ターボ分子ポンプの運転時の振動を小
さくすることができる。
割形状にして、必要に応じてこれら重りのブロックを用
いることにより、ターボ分子ポンプの運転時の振動を小
さくすることができる。
【００１１】（３）また、ターボ分子ポンプと試料室と
の間に複数のダンパを取り付けた構成において、前記タ
ーボ分子ポンプとこれと直近の前記ダンパとの接続部に
重りを取り付けたことを特徴としている。
の間に複数のダンパを取り付けた構成において、前記タ
ーボ分子ポンプとこれと直近の前記ダンパとの接続部に
重りを取り付けたことを特徴としている。
【００１２】この発明の構成によれば、試料室とターボ
分子ポンプの間に複数のダンパを設け、これらダンパの
結合部材として重りを用いることにより、ターボ分子ポ
ンプ運転時の振動をより小さくすることができる。
分子ポンプの間に複数のダンパを設け、これらダンパの
結合部材として重りを用いることにより、ターボ分子ポ
ンプ運転時の振動をより小さくすることができる。
【００１３】（４）また、前記重心系のバランスを考慮
して重りを配置するのと同様の性能を、ターボ分子ポン
プの本体の重量バランスで実現することを特徴としてい
る。この発明の構成によれば、重りを別途設けることな
くターボ分子ポンプの運転時の振動を抑制することがで
きる。
して重りを配置するのと同様の性能を、ターボ分子ポン
プの本体の重量バランスで実現することを特徴としてい
る。この発明の構成によれば、重りを別途設けることな
くターボ分子ポンプの運転時の振動を抑制することがで
きる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態例を詳細に説明する。図１は本発明の一実施の
形態例を示す構成図である。図８と同一のものは、同一
の符号を付して示す。図の側面図において、２はダン
パ、３、５は接続部、４はターボ分子ポンプである。１
０はターボ分子ポンプ４のファンの近傍に取り付けられ
た振動抑制器としての重りである。重り１０はターボ分
子ポンプ４の運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプの
ファンの存在する位置の中央近傍になるように固定配置
される。そして、重り１０は、上面図に示すようにここ
では４分割されたものを用いている。
施の形態例を詳細に説明する。図１は本発明の一実施の
形態例を示す構成図である。図８と同一のものは、同一
の符号を付して示す。図の側面図において、２はダン
パ、３、５は接続部、４はターボ分子ポンプである。１
０はターボ分子ポンプ４のファンの近傍に取り付けられ
た振動抑制器としての重りである。重り１０はターボ分
子ポンプ４の運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプの
ファンの存在する位置の中央近傍になるように固定配置
される。そして、重り１０は、上面図に示すようにここ
では４分割されたものを用いている。
【００１５】このように、振動抑制器１０をダンパ結合
部に設けることにより、ファンの回転に起因する振動を
抑制できる。図２はファンとモータの重心を中心とした
ふれまわりのイメージを示す図である。（ａ）は重心Ｇ
が下側にある場合の振れ量を、（ｂ）は重心Ｇが上側に
ある場合の振れ量をそれぞれ示している。図より明らか
なように、重心が下側にある場合の振れ量Δ１は、重心
が上側にある場合の振れ量Δ２よりも大きい。このこと
から、フォンとモータの重心が上側にある場合が振動が
少ないことが分かる。従って、重りを重心が上がるよう
に、ここでは図１に示すようにダンパ２との結合部分に
配置した。この点は、ターボ分子ポンプ４の運転時の重
心が、前記ターボ分子ポンプのファンの存在する位置の
中央近傍になるような位置である。
部に設けることにより、ファンの回転に起因する振動を
抑制できる。図２はファンとモータの重心を中心とした
ふれまわりのイメージを示す図である。（ａ）は重心Ｇ
が下側にある場合の振れ量を、（ｂ）は重心Ｇが上側に
ある場合の振れ量をそれぞれ示している。図より明らか
なように、重心が下側にある場合の振れ量Δ１は、重心
が上側にある場合の振れ量Δ２よりも大きい。このこと
から、フォンとモータの重心が上側にある場合が振動が
少ないことが分かる。従って、重りを重心が上がるよう
に、ここでは図１に示すようにダンパ２との結合部分に
配置した。この点は、ターボ分子ポンプ４の運転時の重
心が、前記ターボ分子ポンプのファンの存在する位置の
中央近傍になるような位置である。
【００１６】ここで、本体の固有振動数と危険速度が一
致しないように注意してダンパによるバネ定数ｋと重り
の重量を決定すれば、最適な条件で振れ回りの量を最小
にすることができる。
致しないように注意してダンパによるバネ定数ｋと重り
の重量を決定すれば、最適な条件で振れ回りの量を最小
にすることができる。
【００１７】また、真空の排気関係から大気圧バランス
により、ターボ分子ポンプのダンパは、ターボ分子ポン
プ本体の重量で下に伸びる力よりも試料室側に押しつけ
られる圧縮力の方が大きく、吸気口の口径が直径約１０
ｃｍ、ターボ分子ポンプの重量を約１０ｋｇとすると、
大気圧１．０１３×１０5Ｐａより、約７０ｋｇの力で
上に押しつけられていることが計算できる。ここから、
重りを追加することで、ダンパにかかる圧縮力を軽減
し、ダンパの寿命を伸ばすと共に、ダンパでの振動の減
衰効果の向上が期待できる。
により、ターボ分子ポンプのダンパは、ターボ分子ポン
プ本体の重量で下に伸びる力よりも試料室側に押しつけ
られる圧縮力の方が大きく、吸気口の口径が直径約１０
ｃｍ、ターボ分子ポンプの重量を約１０ｋｇとすると、
大気圧１．０１３×１０5Ｐａより、約７０ｋｇの力で
上に押しつけられていることが計算できる。ここから、
重りを追加することで、ダンパにかかる圧縮力を軽減
し、ダンパの寿命を伸ばすと共に、ダンパでの振動の減
衰効果の向上が期待できる。
【００１８】従って、本発明によれば、ターボ分子ポン
プの運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプのファンの
存在する位置の中央近傍になるように重みを固定するこ
とで、ターボ分子ポンプの運転時の振動を小さくするこ
とができる。
プの運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプのファンの
存在する位置の中央近傍になるように重みを固定するこ
とで、ターボ分子ポンプの運転時の振動を小さくするこ
とができる。
【００１９】図３は振動抑制器１０の取り付け状態を示
す図である。この実施の形態例では、接続部５を構成す
るフランジ２０に振動抑制器としての重り１０が固定ネ
ジ１１で固着されている。図４は振動抑制器の取り付け
状態の他の説明図である。この例は、フランジ２０に振
動抑制器１０がクランプ１２により固定ネジ１１で固着
されている。
す図である。この実施の形態例では、接続部５を構成す
るフランジ２０に振動抑制器としての重り１０が固定ネ
ジ１１で固着されている。図４は振動抑制器の取り付け
状態の他の説明図である。この例は、フランジ２０に振
動抑制器１０がクランプ１２により固定ネジ１１で固着
されている。
【００２０】図５は振動抑制器１０の種々の形状例を示
す図である。重りの形状は、完全なリング形状では取り
付けが困難なので、２分割、３、４、５、６、８分割又
は軸対象に一部を欠く変形の分割のタイプにより分割し
て、全体として軸対象に取り付けることで、全体の重量
バランスに偏心が生じないように又適宜最適な重量に調
整を行なうことができる。
す図である。重りの形状は、完全なリング形状では取り
付けが困難なので、２分割、３、４、５、６、８分割又
は軸対象に一部を欠く変形の分割のタイプにより分割し
て、全体として軸対象に取り付けることで、全体の重量
バランスに偏心が生じないように又適宜最適な重量に調
整を行なうことができる。
【００２１】なお、分割数は偶数に限る必要はなく、奇
数でもよく、１／Ｎ（Ｎは整数）に分割されたものであ
ればよい。そして、分割されたブロックを全て使用して
もよいし、その一部のブロックを用いて重り（振動抑制
器）としてもよい。
数でもよく、１／Ｎ（Ｎは整数）に分割されたものであ
ればよい。そして、分割されたブロックを全て使用して
もよいし、その一部のブロックを用いて重り（振動抑制
器）としてもよい。
【００２２】図６は振動抑制器の他の形状例を示す図で
ある。この実施の形態例では、分割されたブロックを、
一部を欠く形状にしたものである。ターボ分子ポンプの
周囲に十分な空間が存在するとは限らないので、必要に
応じて重りの一部を対象形に削り出した構成にして、重
心系のバランスを保ちながら重りを取り付ける。そし
て、これら分割されたブロックを全て、又は一部を用い
て、状況に合わせて重り重量を変更することができる。
ある。この実施の形態例では、分割されたブロックを、
一部を欠く形状にしたものである。ターボ分子ポンプの
周囲に十分な空間が存在するとは限らないので、必要に
応じて重りの一部を対象形に削り出した構成にして、重
心系のバランスを保ちながら重りを取り付ける。そし
て、これら分割されたブロックを全て、又は一部を用い
て、状況に合わせて重り重量を変更することができる。
【００２３】この実施の形態例によれば、重りの形状を
分割形状にして、必要に応じてこれら重りのブロックを
用いることにより、ターボ分子ポンプの運転時の振動を
小さくすることができる。
分割形状にして、必要に応じてこれら重りのブロックを
用いることにより、ターボ分子ポンプの運転時の振動を
小さくすることができる。
【００２４】図７は本発明の他の実施の形態例を示す構
成図である。図１、図８と同一のものは、同一の符号を
付して示す。この実施の形態例は、ダンパを２ａと２ｂ
の２個直列に接続し、ダンパ２ａと２ｂの間に振動抑制
器１０を取り付けたものである。ターボ分子ポンプの自
己振動の減衰に対してターボ分子ポンプに直結されたダ
ンパへの本振動抑制器だけでは未だ振動抑制が不足する
場合には、複数のダンパを結合して、この間に必要な数
だけ本振動抑制器を追加して取り付け、動吸振器とする
ことで、更に高性能な振動の抑制が可能となる。
成図である。図１、図８と同一のものは、同一の符号を
付して示す。この実施の形態例は、ダンパを２ａと２ｂ
の２個直列に接続し、ダンパ２ａと２ｂの間に振動抑制
器１０を取り付けたものである。ターボ分子ポンプの自
己振動の減衰に対してターボ分子ポンプに直結されたダ
ンパへの本振動抑制器だけでは未だ振動抑制が不足する
場合には、複数のダンパを結合して、この間に必要な数
だけ本振動抑制器を追加して取り付け、動吸振器とする
ことで、更に高性能な振動の抑制が可能となる。
【００２５】この実施の形態例によれば、試料室とター
ボ分子ポンプの間に複数のダンパを設け、これらダンパ
の結合部材として重りを用いることにより、ターボ分子
ポンプ運転時の振動をより小さくすることができる。
ボ分子ポンプの間に複数のダンパを設け、これらダンパ
の結合部材として重りを用いることにより、ターボ分子
ポンプ運転時の振動をより小さくすることができる。
【００２６】上述の実施の形態例では、ターボ分子ポン
プとは別に振動抑制器（重り）を設けた場合を示した
が、重心系のバランスを考慮して重りを配置するのと同
様の性能を、ターボ分子ポンプの本体の重量バランスで
実現することができる。
プとは別に振動抑制器（重り）を設けた場合を示した
が、重心系のバランスを考慮して重りを配置するのと同
様の性能を、ターボ分子ポンプの本体の重量バランスで
実現することができる。
【００２７】この実施の形態例によれば、重りを別途設
けることなくターボ分子ポンプの運転時の振動を抑制す
ることができる。
けることなくターボ分子ポンプの運転時の振動を抑制す
ることができる。
【００２８】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、 （１）ターボ分子ポンプと試料室とをダンパで結合し、
前記ターボ分子ポンプと前記ダンパとの接続部近傍に重
りを取り付け、該重りを調整して、該重りを含むターボ
分子ポンプの運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプの
ファンの存在する位置の中央近傍になるように固定する
ことにより、ターボ分子ポンプの運転時の重心が、前記
ターボ分子ポンプのファンの存在する位置の中央近傍に
なるように重みを固定することで、ターボ分子ポンプの
運転時の振動を小さくすることができる。
よれば、 （１）ターボ分子ポンプと試料室とをダンパで結合し、
前記ターボ分子ポンプと前記ダンパとの接続部近傍に重
りを取り付け、該重りを調整して、該重りを含むターボ
分子ポンプの運転時の重心が、前記ターボ分子ポンプの
ファンの存在する位置の中央近傍になるように固定する
ことにより、ターボ分子ポンプの運転時の重心が、前記
ターボ分子ポンプのファンの存在する位置の中央近傍に
なるように重みを固定することで、ターボ分子ポンプの
運転時の振動を小さくすることができる。
【００２９】（２）この場合において、前記重りの構成
を、リング形状又は軸対称系から部分的に切り欠いた変
形形状にし、これら重りを１／Ｎ（Ｎは整数）に分割し
たものを全て或いは一部を用いることにより、重りの形
状を分割形状にして、必要に応じてこれら重りのブロッ
クを用いて、ターボ分子ポンプの運転時の振動を小さく
することができる。
を、リング形状又は軸対称系から部分的に切り欠いた変
形形状にし、これら重りを１／Ｎ（Ｎは整数）に分割し
たものを全て或いは一部を用いることにより、重りの形
状を分割形状にして、必要に応じてこれら重りのブロッ
クを用いて、ターボ分子ポンプの運転時の振動を小さく
することができる。
【００３０】（３）また、ターボ分子ポンプと試料室と
の間に複数のダンパを取り付けた構成において、前記タ
ーボ分子ポンプとこれと直近の前記ダンパとの接続部に
重りを取り付けたことにより、試料室とターボ分子ポン
プの間に複数のダンパを設け、これらダンパの結合部材
として重りを用いて、ターボ分子ポンプ運転時の振動を
より小さくすることができる。
の間に複数のダンパを取り付けた構成において、前記タ
ーボ分子ポンプとこれと直近の前記ダンパとの接続部に
重りを取り付けたことにより、試料室とターボ分子ポン
プの間に複数のダンパを設け、これらダンパの結合部材
として重りを用いて、ターボ分子ポンプ運転時の振動を
より小さくすることができる。
【００３１】（４）また、前記重心系のバランスを考慮
して重りを配置するのと同様の性能を、ターボ分子ポン
プの本体の重量バランスで実現することにより、重りを
別途設けることなくターボ分子ポンプの運転時の振動を
抑制することができる。
して重りを配置するのと同様の性能を、ターボ分子ポン
プの本体の重量バランスで実現することにより、重りを
別途設けることなくターボ分子ポンプの運転時の振動を
抑制することができる。
【００３２】このように、本発明によれば、振動（特に
ターボ分子ポンプのファンに起因する振動）を小さくす
ることができるターボ分子ポンプの振動抑制器を提供す
ることができる。
ターボ分子ポンプのファンに起因する振動）を小さくす
ることができるターボ分子ポンプの振動抑制器を提供す
ることができる。
【図１】本発明の一実施の形態例を示す構成図である。
【図２】ファンとモータの重心を中心としたふれまわり
のイメージを示す図である。
のイメージを示す図である。
【図３】振動抑制器の取り付け状態の説明図である。
【図４】振動抑制器の取り付け状態の他の説明図であ
る。
る。
【図５】振動抑制器の形状例を示す図である。
【図６】振動抑制器の他の形状例を示す図である。
【図７】本発明の他の実施の形態例を示す構成図であ
る。
る。
【図８】従来装置の概念図である。
２ ダンパ ３、５ 接続部 ４ ターボ分子ポンプ １０ 振動抑制器
Claims (4)
- 【請求項１】 ターボ分子ポンプと試料室とをダンパで
結合し、前記ターボ分子ポンプと、前記ダンパとの接続
部近傍に重りを取り付け、 該重りを調整して、該重りを含むターボ分子ポンプの運
転時の重心が、前記ターボ分子ポンプのファンの存在す
る位置の中央近傍になるように固定することを特徴とす
るターボ分子ポンプの振動抑制器。 - 【請求項２】 前記重りの構成を、リング形状又は軸対
称系から部分的に切り欠いた変形形状にし、 これら重りを１／Ｎ（Ｎは整数）に分割したものを全て
或いは一部を用いることを特徴とする請求項１記載のタ
ーボ分子ポンプの振動抑制器。 - 【請求項３】 ターボ分子ポンプと試料室との間に複数
のダンパを取り付けた構成において、前記ターボ分子ポ
ンプとこれと直近の前記ダンパとの接続部に重りを取り
付けたことを特徴とする請求項１又は２の何れかに記載
のターボ分子ポンプの振動抑制器。 - 【請求項４】 前記重心系のバランスを考慮して重りを
配置するのと同様の性能を、ターボ分子ポンプの本体の
重量バランスで実現することを特徴とする請求項１乃至
３の何れかに記載のターボ分子ポンプの振動抑制器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10243068A JP2000073986A (ja) | 1998-08-28 | 1998-08-28 | ターボ分子ポンプの振動抑制器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10243068A JP2000073986A (ja) | 1998-08-28 | 1998-08-28 | ターボ分子ポンプの振動抑制器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000073986A true JP2000073986A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17098327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10243068A Withdrawn JP2000073986A (ja) | 1998-08-28 | 1998-08-28 | ターボ分子ポンプの振動抑制器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000073986A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003049771A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ |
| US6899529B2 (en) * | 2001-08-08 | 2005-05-31 | Boc Edwards Technologies Limited | Connecting structure for vacuum pump |
| WO2006120132A1 (de) * | 2005-05-07 | 2006-11-16 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuum-pumpenanordnung |
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