JP5632992B2 - ターボ分子ポンプの接続装置 - Google Patents
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Description
1)TMPを排気対象の装置に接続する接続排気管の前記吸気口側端部の周囲を取り巻くようにリング状のおもりを配置すると共に、前記接続排気管の前記吸気口側端部とおもりの間に粘弾性部材を介在させて動吸振器を構成したことにより、ターボ分子ポンプの発生する排気対象装置にとって敏感な比較的低周波数域の振動が排気対象装置に伝達されるのを効果的に抑制することのできるターボ分子ポンプの接続装置が提供される。
2)また、おもりの固有振動に起因する吸振力特性の低下が排気対象装置にとって好ましくない振動数範囲に発生する場合には、おもりを分割することによって、その固有振動数を高め、吸振力特性の低下が排気対象装置にとって好ましくない振動数範囲に発生することを避けることができる。
3)また、TMPの周囲を取り巻くようにリング状のおもりを配置すると共に、TMPとおもりの間に粘弾性部材を介在させて動吸振器を構成したことにより、TMP1が発生する振動を、動吸振器による吸振によりTMP1自体で抑制することのできるTMPが提供される。
2 吸気フランジ
3 本体側フランジ
4 ベローズ
5 ゴム
6 除振器
8 クランプb
9a Oリング
9b Oリング
21 ステータ
22 おもり(ウエイト)
23 粘弾性材a
24 粘弾性材b
25 プレート
26 接続ボルト
27 クランプボルト
28 ボルト
30 ケーシング
31 ロータ(回転翼)
32 吸気口
33 排気口
Claims (5)
- ロータと、ロータを収容するケーシングと、前記ケーシングに設けられる吸気口及び排気口を備え、前記ケーシング内でロータを高速回転させることにより前記吸気口からガスを吸引し前記排気口からガスを排出するターボ分子ポンプの吸気口を排気対象の真空容器の排気口に接続するための接続排気管を備えたターボ分子ポンプの接続装置において、前記接続排気管の前記吸気口側端部の周囲を取り巻くようにリング状のおもりを配置すると共に、前記接続排気管の前記吸気口側端部とおもりの間に粘弾性部材を介在させたことを特徴とするターボ分子ポンプの接続装置。
- 前記接続排気管の中間部にはべローズが設けられており、該ベローズと前記吸気口との間に前記おもりが配置されることを特徴とする請求項1記載のターボ分子ポンプの接続装置。
- 前記接続排気管の前記吸気口側端部とおもりの間に前記粘弾性部材が存在しない空間が設けられるようにしたことを特徴とする請求項1又は2記載のターボ分子ポンプの接続装置。
- 前記粘弾性部材は複数の小片に分けられ、該小片が前記接続排気管の前記吸気口側端部とおもりの間に互いに間隔を置いて配置されることを特徴とする請求項3記載のターボ分子ポンプの接続装置。
- 前記おもりは、複数の小片から成り、該小片を間に粘弾性部材を介在させて一体に組み立ててリング状に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のターボ分子ポンプの接続装置。
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