JPWO2015079514A1 - エッジ位置検出センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】真空雰囲気中であってもアウトガスが問題となることはなく、腐食ガス雰囲気中であっても腐食が問題となることのないようにする。【解決手段】センサ本体110の筐体とケーブル引出部140と光学系を除く投射/受光部190を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、ケーブル引出部140と投射/受光部190のセンサ本体110への結合部および投射/受光部190自体を密閉構造に構成して、光/電気処理部180および投射/受光部190の内部を外部に対して空間的に遮蔽する。また、光反射板122を光透過可能な密閉構造にする光反射部120を形成して、光反射板122を外部に対して空間的に遮蔽する。【選択図】図4
Description
本発明は、走行するウェブの蛇行の規制制御のためにそのウェブのエッジ位置を検出するエッジ位置検出センサに関する。
紙、フィルム、セロファン、織物、箔、ゴム、銅等のウェブ(可撓性をもつ透明又は不透明の長尺物)の巻き取りや巻き戻しを行う場合、そのウェブが走行途中で蛇行すると、巻き取りを正常に行うことができなくなり、また走行の途中において例えば印刷を行う場合は、印刷ズレを引き起こす。
そこで従来では、ウェブのエッジ位置をエッジ位置検出センサによって検出し、得られたエッジ位置と正規位置とのズレ量を求め、得られたズレ量に応じて、巻き戻し側のリール、あるいは巻き取り側のリール、あるいは巻き戻しリールと巻き取りリールの間の中間ガイドロールを、ウェブ走行方向と直交する方向で且つ前記ズレ量が減少する方向にアクチュエータによって動かす制御を行うエッジ位置制御システムが採用されている。
図5に従来のエッジ位置検出センサ400の概略を示した(例えば、非特許文献1)。このエッジ位置検出センサ400は、内部で発生させた測定光(白色光)を投射/受光部411から投射し反射光を受光して処理することでウェブ300のエッジ301の位置を検出するセンサ本体410と、投射/受光部411から投射された測定光を反射させる光反射板421が設けられた光反射部420と、その光反射部420をセンサ本体410に対して取り付けるブラケット430と、センサ本体410の内部回路に接続されるケーブル440とを備える。
このエッジ位置検出センサ400は、投射/受光部411から測定光を投射させたとき、走行しているウェブ300のエッジ301の領域で反射された反射光と光反射板421で反射された反射光とを受光して、両反射光の合計光量から、そのエッジ301の位置を検出するものある。すなわち、エッジ位置検出センサ400は、その合計光量と閾値に基づいて、ウェブ300のエッジ301の正規位置からの差分を示す正又は負の極性をもつ信号を演算処理によって生成して、その信号をエッジ位置検出信号として出力する。
ところで、現在では、ロール状に巻かれた長さ数百m〜数kmのフィルム基板を巻き戻す過程において、蒸着、スパッタリング、コーティング等の処理を行って、そのフィルム基板上に連続的に成膜することで機能性薄膜を製造するロール to ロール方式の生産技術が採用されている。この方式を利用して、スマートフォンやタブレットのプラスチック基板、有機ELやタッチパネルディスプレイ、半導体装置、太陽光パネル等の製造が行われている。このようなロール to ロールによる生産技術においても、ウェブであるフィルム基板の走行時の蛇行の規制制御が必要不可欠となってきている。
ウェブ制御装置、センサ本体PH22、株式会社ニレコ、[2013年8月1日検索]、インターネット<URL:http://www.nireco.jp/prod/web/epc/ph22.html>
上記したロール to ロール方式によって機能性薄膜を製造する際は、その製造が真空雰囲気中で行われる場合があり、このような真空雰囲気中でウェブの蛇行の規制制御を行うときは、その真空雰囲気中に設置したエッジ位置検出センサ400のセンサ本体410の内部の接着剤やプリント基板等から出る有機材料がアウトガスとして真空雰囲気中に引き出されて、製造ラインに悪影響を与えるおそれがある。また、このアウトガスが引き出されることによってエッジ位置検出センサ400自体の寿命が短くなる恐れもある。
また、前記ロール to ロール方式による成膜が特殊な腐食性ガス雰囲気中で行われる場合は、その腐食性ガスによってエッジ位置検出センサ400が劣化し、あるいは汚染されて、最悪の場合は破損を招き、ウェブの蛇行の規制制御が機能不全に陥って、製造された機能性薄膜に不良品が出るおそれがある。
以上はセンサ本体410についての問題点であるが、光反射板421についても、その光反射板421の鏡面として金属蒸着等で形成した薄膜を使用する場合には、真空雰囲気中でその薄膜が剥がれて飛散したりあるいは腐食性雰囲気でその薄膜が変化する問題がある。
本発明は以上のような点に鑑みてなされたものであり、その目的は、真空雰囲気中であってもアウトガスが問題となることはなく、また腐食ガス雰囲気中であっても腐食が問題となることのないよう対策を施したエッジ位置検出センサを提供することである。
上記目的を達成するために、請求項1にかかる発明のエッジ位置検出センサは、測定光を発生すると共に該測定光に基づく反射光を受光し該反射光に基づいてエッジ位置を算出する光/電気信号処理部、および前記測定光を外部に投射させると共に外部から入射する前記反射光を前記光/電気信号処理部に取り込む光学系を含む投射/受光部を有するセンサ本体と、該センサ本体の前記光/電気信号処理部に先端部分が接続されるケーブルを引き出すケーブル引出部と、前記センサ本体の前記投射/受光部対して測定空間を介在して対向するよう配置され、前記投射/受光部から投射された測定光を反射する光反射板と、を備えたエッジ位置検出センサにおいて、前記センサ本体の筐体と前記ケーブル引出部と前記光学系を除く前記投射/受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、前記ケーブル引出部と前記投射/受光部の前記センサ本体に対する結合部および前記投射/受光部自体を密閉構造に構成して、前記光/電気処理部および前記投射/受光部の内部を外部に対して空間的に遮蔽したことを特徴とする。
請求項2にかかる発明は、請求項1に記載のエッジ位置検出センサにおいて、耐腐食性を持つ材質により前記光反射板を光透過可能な密閉構造にする光反射部を形成して、前記光反射板を外部に対して空間的に遮蔽したことを特徴とする。
請求項3にかかる発明は、請求項1に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記センサ本体の前記筐体を、前記光/電気信号処理部が搭載されたベースプレートと、前記光/電気信号処理部の全てを覆うように前記ベースプレートに対して密閉構造で結合されたケースとで構成し、前記ベースプレートに第1の開口を形成すると共に前記ケースに第2の開口を形成して、前記第1の開口に対して前記投射/受光部を密閉構造で結合し、前記第2の開口に対して前記ケーブル引出部を密閉構造で結合したことを特徴とする。
請求項4にかかる発明は、請求項3に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記投射/受光部は、前記光/前記信号処理部から投射される測定光を集光すると共に前記反射光を集光するレンズと、該レンズを保持し前記第1の開口に対して密閉構造で結合されるレンズホルダと、前記レンズの外側に配置された第1のカバーガラスと、該第1のカバーガラスが前記レンズホルダに密閉構造で結合するように前記カバーガラスを保持する第1のカバーガラスホルダと、を備えることを特徴とする。
請求項5にかかる発明は、請求項2に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記光反射部は、前記光反射板を保持しブラケットによって前記センサ本体に取り付けられる光反射板ホルダと、該光反射板ホルダで保持された前記光反射板の光入射側に配置された第2のカバーガラスと、該第2のカバーガラスを前記光反射板に対して押し付ける第2のカバーガラスホルダとを備え、前記第2のカバーガラスは前記光反射板ホルダに対して密閉構造で結合されていることを特徴とする。
請求項6にかかる発明は、請求項3に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記ケーブル引出部は、前記ケーブルをガイドするフランジ付きベローズと、アウター付きセンターリングと、前記フランジ付きベローズのフランジ部分を前記アウター付きセンターリングを介在して前記ケースの前記第2の開口の周囲に押し付けるバルクヘッドクランプとで構成され、前記フランジ付きベローズの前記フランジ部分が前記アウター付きセンターリングを介在して前記ケースの前記第2の開口に密閉構造で結合されていることを特徴とする。
請求項7にかかる発明は、請求項6に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記第2に開口は、前記ケースの異なった2以上の箇所に形成され、そのうちの1つに前記ケーブル引出部が密閉構造で結合され、残余はブラインドプレートによって密閉構造で閉じられていることを特徴とする。
請求項8にかかる発明は、請求項1ないし7のいずれか1つに記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記密閉構造の形成はOリングを利用して実現されていることを特徴とする。
本発明のエッジ位置検出センサは、センサ本体の筐体とケーブル引出部と光学系を除く投射/受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、ケーブル引出部と投射/受光部のセンサ本体に対する結合部および投射/受光部自体を密閉構造に構成して、光/電気処理部および投射/受光部の内部を外部に対して空間的に遮蔽したので、そのセンサ本体を真空雰囲気中に配置したときでも、センサ本体内の接着剤やプリント基板等からアウトガスが発生してロール to ロール方式による製造ラインに悪影響を与えることを防止できる。また、腐食性ガスの雰囲気中に配置したときでも腐食が生じる恐れはなくなる。
また、光反射板の鏡面に薄膜を使用する場合には、耐腐食性を持つ材質により前記光反射板を光透過可能な密閉構造にする光反射部を形成して、前記光反射板を外部に対して空間的に遮蔽することにより、その薄膜の飛散物が製造ラインに対する悪影響を与えたり光反射板が腐食されることを防止できる。
よって、本発明のエッジ位置検出センサは、ロール to ロール方式による製造ラインのウェブの蛇行の規制制御に好適となる。
以下、図1〜図4を使用して本発明の1つの実施例のエッジ位置検出センサについて詳しく説明する。本実施例のエッジ位置検出センサ100は、測定光をウェブ300のエッジ301に向けて投射してその反射光を受信することでエッジ位置のズレ量を検出するセンサ本体110と、測定光を反射する光反射部120と、光反射部120をセンサ本体110に対して取り付けるブラケット130と、センサ本体110の内部回路に接続されるケーブルを引き出すケーブル引出部140とを備える。
センサ本体110において、150は四角形状のベースプレートであり、第1の開口としての貫通したねじ穴151が形成され、下面には六角穴付きボルト25によってブラケット130が取り付けられている。160はケースであり、第2の開口としてケーブル引出部140の取り付け用の貫通した開口161,162が形成され、ベースプレート150の上面を閉じる大きさと形状に形成されている。これらベースプレート150とケース160は、センサ本体110の筐体を構成する。170はケース160の開口162を閉じるブラインドプレート170である。180は光/電気信号処理部であり、ベースプレート150とケース160とで閉じられる内部に搭載されている。190は測定光を投射し反射光を受光する光学系を含む投射/受光部であり、ベースプレート150のねじ穴151に取り付けられている。
ケース160は、9個の六角穴付きボルト21をベースプレート150の側からケース160に対して締め付けることで、ベースプレート150との間に介在させたOリング11によって、ベースプレート150に対する接合部が密閉構造となっている。
また、ブラインドプレート170も、6個の六角穴付きボルト22をブラインドプレート17の側からケース160に対して締め付けることで、ケース160との間に介在させたOリング12によって、ケース160に対する接合部が密閉構造となり、ケース160の開口162が外部に対して密閉されている。
投射/受光部190において、191はベースプレート150のねじ穴151に螺合されるレンズホルダ、192はそのレンズホルダ191の空洞191aに装填された集光用のレンズ、193はそのレンズ192の外側(下側)に位置する透明のカバーガラス、194はそのカバーガラス193を取り付けるためにレンズホルダ191の外側に螺合されるカバーガラスホルダである。カバーガラスホルダ194の中央部分には光透過用の開口194aが形成されている。そして、ベースプレート150のねじ穴151とレンズホルダ191の間は、ねじ穴151の下部に形成された段差部に嵌め込まれたOリング13によって密閉構造となっている。また、カバーガラス193とレンズホルダ191の間は、Oリング14によって密閉構造となっている。
ケース160の内部に搭載される光/電気信号処理部180は、白色LEDを光源とする発光部181と、その発光部181で発生した測定光をレンズ192の方向に反射すると共に、レンズ192の方向から入射してきた反射光を受光素子としてのSPD(シリコンフォトダイオード)に導くハーフミラーを備えた受光部182と、プリント基板183を備える。プリント基板183には、発光部181を制御するための制御回路や受光部182で受光された光信号を電気信号に変換してウェブのエッジの正規位置からのズレを算出する演算回路等が搭載されている。
光反射部120において、121はブラケット130に対して4個の六角穴付きボルト23によって取り付けられた光反射板ホルダ、122はその光反射板ホルダ121内に装填された鏡面の光反射板、123はその光反射板122の上面を覆う透明のカバーガラス、124は光反射板ホルダ121の外側にねじ込むことによりカバーガラス123を光反射板122に対して押し付けるカバーガラスホルダである。カバーガラスホルダ124には、光透過用の開口124aが形成されている。光反射板122とカバーガラス123との間は、Oリング15によって密閉構造となっている。また、光反射板ホルダ121と光反射板122との間にもOリング16が介在され、これによって光反射板122のガタツキが防止され、レンズ192に対する光反射板122の角度が変動しないようになっている。
ケーブル引出部140において、141は電源供給および信号取出し用のために光/電気信号処理部180のプリント基板183に接続される4芯シールドケーブル、142はそのケーブル141をフレキシブルに覆うフランジ付きベローズである。143はOリングが組み込まれたアウター付きセンターリングであり、フランジ付きベローズ142のフランジ分142aの先端側の径大の鍔部分142bとケース160の開口161の周囲との間に介在する。144は2分割されたバルクヘッドクランプであり、フランジ付きベローズ142の鍔部分142bがアウター付きセンターリング143を介在してケース160の開口161の周囲の方向に押し付けられるように、合計で6個の六角穴付きボルト24によって、ケース160に締め付けられている。このアウター付きセンターリング143によって、ケース160の開口161とフランジ付きベローズ142のフランジ部142aとの間が密閉構造となっている。そして、フランジ付きベローズ142の他端が大気に通じていれば、光/電気信号処理部180の部分も、開口161、アウター付きセンターリング144、フランジ付きベローズ142を通じて大気圧となる。
以上において、光/電気信号処理部180、レンズ192、カバーガラス193,123、光反射板122、ケーブル141等以外の構成部材は、耐腐食性剛性をもつ材質、たとえばアルミニウム合金やステンレス等で形成されている。
以上のように構成されたエッジ位置検出センサ100は、図1に示すように、ケース160の左側に4個の六角穴付きボルト26で取り付けたアーム200によって、図示しないエッジ位置制御システムに取り付けられる。そして、発光部181の白色LEDで測定光を発生させると、その測定光は受光部182のハーフミラーによって90度だけ下方向に進路を変更されてから、レンズ192で所定の断面積の光束に集光され、カバーガラス193を通過して測定空間Aに投射される。さらに光反射部120のカバーガラス123を通過して光反射板122で反射され、再度、測定空間Aと投射/受光部190を経由して受光部182のハーフミラーを通過し受光部182内のSPDに入射する。
このとき、測定空間Aにウェブ300のエッジ301が存在している場合は、その測定空間Aに存在するエッジ301の面積に応じて、受光部182のSPDに入射する光量が減少する。よって、その受光した光量を電気信号に変換してから、プリント基板183上の演算回路によってその電気信号をウェブ300のエッジ301が正規位置にあるときの閾値と比較することにより、現在のエッジ301の正規位置からのズレ量を示す検出信号を得ることができる。これについては本発明には直接関係がないのでこれ以上詳しい説明は省略する。
図1に示すように、ウェブ300は例えば矢印B方向に走行するとき、その走行方向Bに直交する方向B1,B2に蛇行することがある。ウェブ300のエッジ301の位置が、エッジ位置検出装置100の測定空間Aにおいて、正規位置よりも内側に入り込んでいるときはB1方向にずれている場合であり、そのズレ量が例えば正の値として検出される。また、正規位置よりも外側に離れているときはB2方向にずれている場合であり、そのズレ量が例えば負の値として検出される。そして、そのズレ量を示す検出信号に応じて、エッジ位置制御システムにより蛇行の規制制御が行われる。
以上のように、本実施例のエッジ位置検出センサ100は、少なくとも外部に露出する構成部分が耐腐食性で剛性をもつ材質で構成され、さらに、ベースプレート150とケース160の接合部がOリング11で、ケース160とブラインドプレート170の接合部がOリング12で、レンズホルダ192とベースプレート150の接合部がOリング13で、レンズホルダ192とカバーガラス193と接合部がOリング14で、ケース160とフランジ143の接合部がアウター付きセンターリング143で、それぞれ密閉されるので、内部の光/電気信号処理部180やレンズ192の部分は、空間的に外界から完全に遮断されることになる。また、光反射部120においても、光反射板122が光反射板ホルダ121とカバーレンズ123によって密閉され、空間的に外界から完全に遮断されることになる。
このように、そのエッジ位置検出センサ100の内部や光反射板122が外部雰囲気に対して完全に遮蔽されることになるので、このエッジ位置検出センサ100を真空雰囲気中に配置しても、エッジ位置検出センサ100に搭載された光/電気信号処理部180の接着剤やプリント基板等からアウトガスが発生してロール to ロール方式による製造ラインに悪影響を与えることを防止できる。また、エッジ位置検出センサ100を腐食性ガスの雰囲気中に配置したときでも、そのエッジ位置検出センサ100に腐食が生じる恐れはなくなる。よって、ロール to ロール方式による製造ラインのウェブの蛇行の規制制御に好適なエッジ位置検出センサを実現することができる。
なお、上記した例では、その光反射板122をカバーガラス123で覆うと共に、その光反射板122を耐腐食性で剛性を持つ材質で密閉構造としたので、光反射板122の鏡面として金属蒸着等で形成した薄膜を使用する場合には、真空雰囲気中でその薄膜が剥がれて飛散したりあるいは腐食性雰囲気でその薄膜が変化することを防止することができる。しかし、光反射板122の鏡面を金属面研磨等の堅牢な鏡面とした場合には、カバーガラス123による被覆や密閉構造等の対策をとらなくてもよい。
また、上記した例ではケーブル引出部140をケース160の背面の開口161に取り付けているが、上面の開口162の部分に同様の手法によって密閉構造で取り付けることもできる。この場合は、開口161をブラインドプレート170とOリング12と六角穴付きボルト22によって密閉状態に閉じる必要がある。また、開口161,162以外にも別の開口を設けておけば、エッジ位置検出センサ100に対するケーブル引出部140の取り付け可能箇所がより多くなり、エッジ位置検出センサ100を狭い空間に配置しなければならないとき、その取り付け箇所の選択肢が多くなる。ただし、ケーブル引出部140を取り付けない開口はすべてブラインドプレートによって密閉する必要がある。
11〜16:Oリング
21〜26:六角穴付きボルト
110:センサ本体
120:光反射部、121:光射板ホルダ、122:光反射板、123:カバーガラス、124:カバーガラスホルダ、142a:開口
130:ブラケット、131:開口
140:ケーブル引出部、141:4芯シールドケーブル、142:フランジ付きベローズ、143:アウター付きセンターリング、144:バルクヘッドクランプ
150:ベースプレート、151:ねじ穴
160:ケース、161,162:開口
170:ブラインドプレート
180:光/電気信号処理部、181:発光部、182:受光部、183:プリント基板
190:投射/受光部、191:レンズホルダ、192:レンズ、193:カバーガラス、194:カバーガラスホルダ、194a:開口
200:アーム
300:ウェブ、301:エッジ
21〜26:六角穴付きボルト
110:センサ本体
120:光反射部、121:光射板ホルダ、122:光反射板、123:カバーガラス、124:カバーガラスホルダ、142a:開口
130:ブラケット、131:開口
140:ケーブル引出部、141:4芯シールドケーブル、142:フランジ付きベローズ、143:アウター付きセンターリング、144:バルクヘッドクランプ
150:ベースプレート、151:ねじ穴
160:ケース、161,162:開口
170:ブラインドプレート
180:光/電気信号処理部、181:発光部、182:受光部、183:プリント基板
190:投射/受光部、191:レンズホルダ、192:レンズ、193:カバーガラス、194:カバーガラスホルダ、194a:開口
200:アーム
300:ウェブ、301:エッジ
以上はセンサ本体410についての問題点であるが、光反射板421についても、その光反射板421の鏡面として金属蒸着等で形成した薄膜を使用する場合には、真空雰囲気中でその薄膜が剥がれて飛散する問題がある。
本発明は以上のような点に鑑みてなされたものであり、その目的は、真空雰囲気中であってもアウトガスや薄膜飛散等が問題となることのないような対策を施したエッジ位置検出センサを提供することである。
上記目的を達成するために、請求項1にかかる発明のエッジ位置検出センサは、測定光を発生すると共に該測定光に基づく反射光を受光し該反射光に基づいてエッジ位置を算出する光/電気信号処理部、および前記測定光を外部に投射させると共に外部から入射する前記反射光を前記光/電気信号処理部に取り込む光学系を含む投射/受光部を有するセンサ本体と、該センサ本体の前記光/電気信号処理部に先端部分が接続されるケーブルを引き出すケーブル引出部と、前記センサ本体の前記投射/受光部に対して測定空間を介在して対向するよう配置され、前記投射/受光部から投射された測定光を反射する光反射板と、を備え、真空雰囲気中で使用されるエッジ位置検出センサであって、前記センサ本体の筐体と前記ケーブル引出部と前記光学系を除く前記投射/受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、前記ケーブル引出部と前記投射/受光部の前記センサ本体に対する結合部および前記投射/受光部自体を密閉構造に構成して、前記光/電気処理部および前記投射/受光部の内部からアウトガスが外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したことを特徴とする。
請求項2にかかる発明は、請求項1に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記光反射板の鏡面を金属蒸着で形成し、前記光反射板を光透過可能な密閉構造にする光反射部を形成して、前記光反射板から薄膜の飛散物が外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したことを特徴とする。
請求項3にかかる発明は、請求項1に記載のエッジ位置検出センサにおいて、前記センサ本体の前記筐体を、前記光/電気信号処理部が搭載されたベースプレートと、前記光/電気信号処理部の全てを覆うように前記ベースプレートに対して密閉構造で結合されたケースとで構成し、前記ベースプレートに第1の開口を形成すると共に前記ケースに第2の開口を形成して、前記第1の開口に対して前記投射/受光部を密閉構造で結合し、前記第2の開口に対して前記ケーブル引出部を密閉構造で結合し、前記第1の開口および前記第2の開口からアウトガスが外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したことを特徴とする。
本発明のエッジ位置検出センサは、センサ本体の筐体とケーブル引出部と光学系を除く投射/受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、ケーブル引出部と投射/受光部のセンサ本体に対する結合部および投射/受光部自体を密閉構造に構成して、光/電気処理部および投射/受光部の内部からアウトガスが外部の真空雰囲気中に引き出されることを防止したので、そのセンサ本体を真空雰囲気中に配置したときでも、センサ本体内の接着剤やプリント基板等からアウトガスが発生してロール to ロール方式による製造ラインに悪影響を与えることを防止できる。
また、光反射板の鏡面に薄膜を使用する場合でも、その薄膜の飛散物の製造ラインに対する悪影響を防止できる。
Claims (8)
- 測定光を発生すると共に該測定光に基づく反射光を受光し該反射光に基づいてエッジ位置を算出する光/電気信号処理部、および前記測定光を外部に投射させると共に外部から入射する前記反射光を前記光/電気信号処理部に取り込む光学系を含む投射/受光部を有するセンサ本体と、
該センサ本体の前記光/電気信号処理部に先端部分が接続されるケーブルを引き出すケーブル引出部と、
前記センサ本体の前記投射/受光部対して測定空間を介在して対向するよう配置され、前記投射/受光部から投射された測定光を反射する光反射板と、
を備えたエッジ位置検出センサにおいて、
前記センサ本体の筐体と前記ケーブル引出部と前記光学系を除く前記投射/受光部を耐腐食性で剛性をもつ材質で形成すると共に、前記ケーブル引出部と前記投射/受光部の前記センサ本体に対する結合部および前記投射/受光部自体を密閉構造に構成して、前記光/電気処理部および前記投射/受光部の内部を外部に対して空間的に遮蔽したことを特徴とするエッジ位置検出センサ。 - 請求項1に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
耐腐食性を持つ材質により前記光反射板を光透過可能な密閉構造にする光反射部を形成して、前記光反射板を外部に対して空間的に遮蔽したことを特徴とするエッジ位置検出センサ。 - 請求項1に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記センサ本体の前記筐体を、前記光/電気信号処理部が搭載されたベースプレートと、前記光/電気信号処理部の全てを覆うように前記ベースプレートに対して密閉構造で結合されたケースとで構成し、前記ベースプレートに第1の開口を形成すると共に前記ケースに第2の開口を形成して、前記第1の開口に対して前記投射/受光部を密閉構造で結合し、前記第2の開口に対して前記ケーブル引出部を密閉構造で結合したことを特徴とするエッジ位置検出センサ。 - 請求項3に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記投射/受光部は、前記光/前記信号処理部から投射される測定光を集光すると共に前記反射光を集光するレンズと、該レンズを保持し前記第1の開口に対して密閉構造で結合されるレンズホルダと、前記レンズの外側に配置された第1のカバーガラスと、該第1のカバーガラスが前記レンズホルダに密閉構造で結合するように前記カバーガラスを保持する第1のカバーガラスホルダと、を備えることを特徴とするエッジ位置検出センサ。 - 請求項2に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記光反射部は、前記光反射板を保持しブラケットによって前記センサ本体に取り付けられる光反射板ホルダと、該光反射板ホルダで保持された前記光反射板の光入射側に配置された第2のカバーガラスと、該第2のカバーガラスを前記光反射板に対して押し付ける第2のカバーガラスホルダとを備え、前記第2のカバーガラスは前記光反射板ホルダに対して密閉構造で結合されていることを特徴とするエッジ位置検出センサ。 - 請求項3に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記ケーブル引出部は、前記ケーブルをガイドするフランジ付きベローズと、アウター付きセンターリングと、前記フランジ付きベローズのフランジ部分を前記アウター付きセンターリングを介在して前記ケースの前記第2の開口の周囲に押し付けるバルクヘッドクランプとで構成され、前記フランジ付きベローズの前記フランジ部分が前記アウター付きセンターリングを介在して前記ケースの前記第2の開口に密閉構造で結合されていることを特徴とするエッジ位置検出センサ。 - 請求項6に記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記第2に開口は、前記ケースの異なった2以上の箇所に形成され、そのうちの1つに前記ケーブル引出部が密閉構造で結合され、残余はブラインドプレートによって密閉構造で閉じられていることを特徴とするエッジ位置検出センサ。 - 請求項1ないし7のいずれか1つに記載のエッジ位置検出センサにおいて、
前記密閉構造の形成はOリングを利用して実現されていることを特徴とするエッジ位置検出センサ。
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