JP5276548B2 - アクティブ防振方法及びこれに用いる防振装置 - Google Patents
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Description
一例としてAMD3は、その内部にマス部材4を収容し、これをリニアモータ5(アクチュエータ)によって駆動するものであり、その駆動力の反力が機器Dに対し振動を減殺する制御力として付加される。図の例では、マス部材4とリニアモータ5のハウジングとが一体化されており、この一体の質量体が軸線X方向に離れた2箇所にて板ばね6,6により支持されている。
図3には、除振台Aとその定盤1上に載置した機器DとAMD3とを、全体として3自由度の振動系として表したモデルを示す。ここで、従来一般にAMDの性能を評価、検証する場合には、対象物を擬似的に剛体とみなし、これをばね要素によって基礎に支持したもの(主振動系)に対して、AMDの可動質量及びばね要素が付加振動系を構成する2自由度の振動系として解析することが多かった。
1 定盤(架台の一部)
2 空気ばね
3 AMD
4 マス部材(可動質量)
5 リニアモータ(アクチュエータ)
9 錘(質量比調整部材)
D 機器
m0 第1質量部
m1 第2質量部
k0 第1ばね要素
k1 第2ばね要素
Claims (3)
- 対象物に移動可能に可動質量を取り付けるとともに、これをアクチュエータにより駆動して、その反力が前記対象物に振動を減殺する制御力として付加されるようにする、アクティブ防振方法であって、
前記対象物を、基礎に対し第1ばね要素を介して支持された第1質量部と、この第1質量部に対し第2ばね要素を介して支持されるとともに、前記可動質量の取り付けられる第2質量部と、によってモデル化し、
前記第1質量部の第2質量部に対する質量比を1.5〜3.0の範囲に設定する、ことを特徴とするアクティブ防振方法。 - 対象物に移動可能に可動質量を取り付けるとともに、これをアクチュエータにより駆動して、その反力が前記対象物に振動を減殺する制御力として付加されるようにしたアクティブ防振装置であって、
前記対象物を、基礎に対し第1ばね要素を介して支持された第1質量部と、この第1質量部に対し第2ばね要素を介して支持されるとともに、前記可動質量の取り付けられる第2質量部と、によってモデル化したとき、その第1質量部の第2質量部に対する質量比が1.5〜3.0の範囲になるように、前記対象物に質量比調整部材が取り付けられている、ことを特徴とするアクティブ防振装置。 - 前記対象物には、機器とこれが載置される架台の少なくとも一部とが含まれ、
前記第2質量部が前記機器の少なくとも一部を含み、
前記第1質量部は、前記架台の少なくとも一部を含み、この架台側に前記質量比調整部材として錘が取り付けられている、請求項2に記載のアクティブ防振装置。
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