JP2001200886A5 - - Google Patents
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Description
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、支持機構で防振支持され電磁アクチュエータで制動力が加えられる除振台と、前記除振台の鉛直方向と水平方向の位置及び振動をそれぞれ検出する変位センサ及び加速度センサと、前記変位センサの検出信号を複数の自由度の運動モードに分解する第１のモード生成器と、前記加速度センサの検出信号を複数の自由度の運動モードに分解する第２のモード生成器と、前記第１のモード生成器の出力から各自由度における位置に関する補償値を生成する位置補償器と、前記第２のモード生成器の出力から各自由度における加速度に関する補償値を生成する加速度補償器とを有し、前記位置に関する補償値と前記加速度に関する補償値を合成した信号から前記除振台或いは該除振台に搭載した搭載物の弾性モードの固有振動数にあたる周波数成分を減衰させることを特徴とする能動除振装置である。
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、支持機構で防振支持され電磁アクチュエータで制動力が加えられる除振台と、前記除振台の鉛直方向と水平方向の位置及び振動をそれぞれ検出する変位センサ及び加速度センサと、前記変位センサの検出信号を複数の自由度の運動モードに分解する第１のモード生成器と、前記加速度センサの検出信号を複数の自由度の運動モードに分解する第２のモード生成器と、前記第１のモード生成器の出力から各自由度における位置に関する補償値を生成する位置補償器と、前記第２のモード生成器の出力から各自由度における加速度に関する補償値を生成する加速度補償器とを有し、前記位置に関する補償値と前記加速度に関する補償値を合成した信号から前記除振台或いは該除振台に搭載した搭載物の弾性モードの固有振動数にあたる周波数成分を減衰させることを特徴とする能動除振装置である。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記位置に関する補償値と前記加速度に関する補償値を合成した信号から前記除振台或いは該除振台に搭載した搭載物の弾性モードの固有振動数にあたる周波数成分を減衰させて前記電磁アクチュエータに制御信号を送るノッチフィルタを有することを特徴とする請求項１または２記載の能動除振装置である。
請求項４に記載の発明は、前記ノッチフィルタは、鉛直方向の振動制御モード信号に対してフィルタリングすることを特徴とする請求項３記載の能動除振装置である。
請求項３に記載の発明は、前記位置に関する補償値と前記加速度に関する補償値を合成した信号から前記除振台或いは該除振台に搭載した搭載物の弾性モードの固有振動数にあたる周波数成分を減衰させて前記電磁アクチュエータに制御信号を送るノッチフィルタを有することを特徴とする請求項１または２記載の能動除振装置である。
請求項４に記載の発明は、前記ノッチフィルタは、鉛直方向の振動制御モード信号に対してフィルタリングすることを特徴とする請求項３記載の能動除振装置である。
Claims (4)
- 支持機構で防振支持され電磁アクチュエータで制動力が加えられる除振台と、
前記除振台の鉛直方向と水平方向の位置及び振動をそれぞれ検出する変位センサ及び加速度センサと、
前記変位センサの検出信号を複数の自由度の運動モードに分解する第１のモード生成器と、
前記加速度センサの検出信号を複数の自由度の運動モードに分解する第２のモード生成器と、
前記第１のモード生成器の出力から各自由度における位置に関する補償値を生成する位置補償器と、
前記第２のモード生成器の出力から各自由度における加速度に関する補償値を生成する加速度補償器とを有し、
前記位置に関する補償値と前記加速度に関する補償値を合成した信号から前記除振台或いは該除振台に搭載した搭載物の弾性モードの固有振動数にあたる周波数成分を減衰させることを特徴とする能動除振装置。 - 前記固有振動数は、設計時の構造解析や実測試験で弾性モードの解析を行って求めたものであることを特徴とする請求項１記載の能動除振装置。
- 前記位置に関する補償値と前記加速度に関する補償値を合成した信号から前記除振台或いは該除振台に搭載した搭載物の弾性モードの固有振動数にあたる周波数成分を減衰させて前記電磁アクチュエータに制御信号を送るノッチフィルタを有することを特徴とする請求項１または２記載の能動除振装置。
- 前記ノッチフィルタは、鉛直方向の振動制御モード信号に対してフィルタリングすることを特徴とする請求項３記載の能動除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000009355A JP2001200886A (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | 能動除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000009355A JP2001200886A (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | 能動除振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001200886A JP2001200886A (ja) | 2001-07-27 |
| JP2001200886A5 true JP2001200886A5 (ja) | 2004-12-09 |
Family
ID=18537520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000009355A Pending JP2001200886A (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | 能動除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001200886A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7817243B2 (en) | 2004-04-12 | 2010-10-19 | Asml Netherlands B.V. | Vibration isolation system |
| JP4802839B2 (ja) * | 2006-04-18 | 2011-10-26 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | アクティブ制振装置及びアクティブ制振装置の制御方法 |
| JP4802838B2 (ja) * | 2006-04-18 | 2011-10-26 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | アクティブ制振装置及びアクティブ制振装置の制御方法 |
| JP5163798B2 (ja) * | 2011-10-07 | 2013-03-13 | 三菱電機株式会社 | 免振装置 |
-
2000
- 2000-01-18 JP JP2000009355A patent/JP2001200886A/ja active Pending
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