JP4940472B2 - アクティブ除振装置及び制振装置 - Google Patents
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こうすれば、正確に求めることの難しい除振対象物の質量や減衰係数等を含めず、既知の制振機構の質量、減衰及びばね定数のみによって、操作量u2を求めることができる。
以下に、制振ユニット3の構造について説明する。図1には実際よりも大きく示すが、この実施形態の制振ユニット3は、円筒状ケース30の基端(図の下端)に例えば矩形状の基板30aが配設されて、その4隅を機器Dの上部に締結される一方、ケース30の先端(上端)には円板状の蓋部材30bが取り付けられている。ケース30の周壁部分は、基端側の概略半分である基半部材30cと、残りの部分のうちの先端側を構成する先端部材30dと、それらの中間の中間部材30eとに3分割されている。
次に、制振ユニット3の制御について具体的に説明する。この実施形態では制振ユニット3の作動、即ちリニアモータ32の制御による可動質量33の駆動がコントローラ4によって行われる。コントローラ4は、図1に模式的に示すように、制振ユニット3の加速度センサ31からの信号を受けてリニアモータ32を作動させ、可動質量33を駆動する反力として機器Dの振動を減殺するような制御力を得るための基本制御部4a(制御手段)と、制振ユニット3の構成する付加振動系の共振による制御の不安定化を防止するための補正制御部4b(補正手段)と、を備えている。
尚、本発明に斯かる除振台Aや制振ユニット3の構成は、前記した実施形態のものには限定されず、それ以外の種々の構成も包含する。すなわち、例えば前記実施形態では、制振機構を加速度センサ31と共にケース30に収容して、一体の制振ユニット3を構成しているが、これに限らず、加速度センサ31やリニアモータ32をそれぞれ機器Dに直接、配設することもできる。また、加速度センサ31に代えて例えば速度センサや変位センサを用いることもできるし、リニアモータ32以外に例えばサーボ弁で内圧を制御する空気ばねや圧電素子等のアクチュエータを用いることもできる。
D 機器(除振対象物)
1 定盤(除振対象物)
3 制振ユニット(制振機構)
31 加速度センサ(振動センサ)
32 リニアモータ(アクチュエータ)
33 可動質量
34 板ばね(ばね要素)
4 コントローラ
4a 基本制御部(制御手段)
4b 補正制御部(補正手段)
Claims (6)
- 基礎に対して弾性支持した除振対象物に制振機構を取り付けて、所定方向の振動を減殺するような制御力を付加するようにしたアクティブ除振装置であって、
前記除振対象物にはその振動状態を検出するための振動センサが配設されており、
前記制振機構は、前記除振対象物にばね要素を介して前記所定方向に移動可能に取り付けられた可動質量と、前記除振対象物に取り付けられて、前記可動質量を前記所定方向に駆動し、その反力を当該除振対象物に作用させるアクチュエータと、を有し、
前記振動センサからの信号により検出される除振対象物の振動状態に応じて、前記可動質量の駆動反力が前記除振対象物の振動を減殺する制御力となるように、前記アクチュエータを制御する制御手段と、
前記除振対象物の振動状態のうち、前記可動質量からばね要素を介して付加される力による振動分を無視するように、前記制御手段によるアクチュエータの制御を補正する補正手段と、を備え、
前記制御手段による、前記除振対象物の加速度のフィードバック、速度のフィードバック及び変位のフィードバックの少なくとも1つ、又は、前記除振対象物の振動状態に基づいて、前記制御手段によるLQ制御若しくはH∞制御、により求められるアクチュエータの操作量をu 1 とし、
前記補正手段は、前記操作量u 1 に基づいて、以下の(式A)により操作量u 2 を求める
- 基礎に対して弾性支持した除振対象物に制振機構を取り付けて、所定方向の振動を減殺するような制御力を付加するようにしたアクティブ除振装置であって、
前記除振対象物にはその振動状態を検出するための振動センサが配設されており、
前記制振機構は、前記除振対象物にばね要素を介して前記所定方向に移動可能に取り付けられた可動質量と、前記除振対象物に取り付けられて、前記可動質量を前記所定方向に駆動し、その反力を当該除振対象物に作用させるアクチュエータと、を有し、
前記振動センサからの信号により検出される除振対象物の振動状態に応じて、前記可動質量の駆動反力が前記除振対象物の振動を減殺する制御力となるように、前記アクチュエータを制御する制御手段と、
前記除振対象物の振動状態のうち、前記可動質量からばね要素を介して付加される力による振動分を無視するように、前記制御手段によるアクチュエータの制御を補正する補正手段と、を備え、
前記制御手段による、前記除振対象物の加速度のフィードバック、速度のフィードバック及び変位のフィードバックの少なくとも1つ、又は、前記除振対象物の振動状態に基づいて、前記制御手段によるLQ制御若しくはH∞制御、により求められるアクチュエータの操作量をu1とし、
前記補正手段は、前記操作量u1に基づいて、以下の(式B)により操作量u2を求める
- 補正手段は制御信号を、ハイパスフィルタを通過させてアクチュエータに出力する、請求項1又は2のいずれかに記載のアクティブ除振装置。
- 制振機構には、可動質量の移動方向における位置を検出するための位置センサが配設され、
制御手段は、前記位置センサからの信号を受けて、前記可動質量の位置を加味してアクチュエータの操作量を求めるように構成されている、請求項1〜3のいずれか1つに記載のアクティブ除振装置。 - 対象物に取り付けて所定方向の振動を減殺するような制御力を付加するようにした制振装置であって、
前記対象物の振動状態を検出するための振動センサと、
前記対象物にばね要素を介して前記所定方向に移動可能に取り付けられた可動質量と、 前記対象物に取り付けられて、前記可動質量を前記所定方向に駆動し、その反力を当該対象物に作用させるアクチュエータと、
前記振動センサからの信号により検出される対象物の振動状態に基づき、前記可動質量の駆動反力が前記対象物の振動を減殺する制御力となるように、前記アクチュエータを制御する制御手段と、
前記対象物の振動状態のうち、前記可動質量からばね要素を介して付加される力による振動分を無視するように、前記制御手段によるアクチュエータの制御を補正する補正手段と、を備え、
前記制御手段による、前記除振対象物の加速度のフィードバック、速度のフィードバック及び変位のフィードバックの少なくとも1つ、又は、前記除振対象物の振動状態に基づいて、前記制御手段によるLQ制御若しくはH∞制御、により求められるアクチュエータの操作量をu 1 とし、
前記補正手段は、前記操作量u 1 に基づいて、以下の(式A)により操作量u 2 を求める
- 対象物に取り付けて所定方向の振動を減殺するような制御力を付加するようにした制振装置であって、
前記対象物の振動状態を検出するための振動センサと、
前記対象物にばね要素を介して前記所定方向に移動可能に取り付けられた可動質量と、 前記対象物に取り付けられて、前記可動質量を前記所定方向に駆動し、その反力を当該対象物に作用させるアクチュエータと、
前記振動センサからの信号により検出される対象物の振動状態に基づき、前記可動質量の駆動反力が前記対象物の振動を減殺する制御力となるように、前記アクチュエータを制御する制御手段と、
前記対象物の振動状態のうち、前記可動質量からばね要素を介して付加される力による振動分を無視するように、前記制御手段によるアクチュエータの制御を補正する補正手段と、を備え、
前記制御手段による、前記除振対象物の加速度のフィードバック、速度のフィードバック及び変位のフィードバックの少なくとも1つ、又は、前記除振対象物の振動状態に基づいて、前記制御手段によるLQ制御若しくはH∞制御、により求められるアクチュエータの操作量をu 1 とし、
前記補正手段は、前記操作量u 1 に基づいて、以下の(式B)により操作量u 2 を求める
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JP2007152520A JP4940472B2 (ja) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | アクティブ除振装置及び制振装置 |
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