JP5632701B2 - アクティブ除振装置 - Google Patents
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Description
F(s)=(s2+2ζωns+ωn 2)/s2 …(1)
により表されるものであり、前記式(1)中のsはラプラス演算子であり、前記式(1)中のωnは、前記ノッチフィルタのノッチ周波数である前記特定周波数に相当する振動数(単位:rad/s)であって、前記除振対象物の前記所定方向の固有振動数をωaとし、前記アクティブ・マスダンパの前記所定方向の固有振動数をωとして、
ωa<ωn<ω
を満たし、
前記式(1)中のζは、前記ノッチフィルタの減衰比であって、0.005以上0.1以下の値に設定される、ことが好ましい。
F(s)=(s2+2ζωns+ωn 2)/s2 …(1)
により表されるものである。
ωa<ωn<ω
を満たす。
D 機器(除振対象物)
1 定盤(除振対象物)
3 制振ユニット(アクティブ・マスダンパ)
4 コントローラ
4a 基本制御部
4b 補正部
31 加速度センサ(振動状態検出センサ)
32 リニアモータ(アクチュエータ)
33 可動質量
Claims (2)
- 除振対象物に取り付けられたアクティブ・マスダンパによって、該除振対象物の所定方向の振動を減殺する制御力を該除振対象物に付加するアクティブ除振装置であって、
前記除振対象物に前記アクティブ・マスダンパが取り付けられた状態で、該アクティブ・マスダンパの前記所定方向の固有振動数が、該除振対象物の前記所定方向の固有振動数よりも高くされ、
前記アクティブ・マスダンパは、前記除振対象物にばね要素を介して前記所定方向に移動可能に取り付けられた可動質量と、前記除振対象物に取り付けられて、前記可動質量を前記所定方向に駆動し、その駆動反力を該除振対象物に作用させるアクチュエータとを有しており、
前記除振対象物の前記所定方向の振動状態を検出する振動状態検出センサと、
前記振動状態検出センサにより検出される前記除振対象物の振動状態に応じて、前記可動質量の駆動反力が前記除振対象物の所定方向の振動を減殺する制御力となるように、前記アクチュエータを制御する基本制御部と、
前記基本制御部による前記アクチュエータの制御を補正する補正部とを備え、
前記補正部は、前記基本制御部からのアクチュエータ制御信号の位相であって、前記除振対象物の前記所定方向の固有振動数と前記アクティブ・マスダンパの前記所定方向の固有振動数との間に相当する特定周波数以上の周波数における位相を、該特定周波数よりも低い周波数における位相に対して、180°進ませるように構成されていることを特徴とするアクティブ除振装置。 - 請求項1記載のアクティブ除振装置において、
前記補正部は、ノッチフィルタで構成されていて、その伝達関数F(s)が、
F(s)=(s2+2ζωns+ωn 2)/s2 …(1)
により表されるものであり、
前記式(1)中のsはラプラス演算子であり、
前記式(1)中のωnは、前記ノッチフィルタのノッチ周波数である前記特定周波数に相当する振動数(単位:rad/s)であって、前記除振対象物の前記所定方向の固有振動数をωaとし、前記アクティブ・マスダンパの前記所定方向の固有振動数をωとして、
ωa<ωn<ω
を満たし、
前記式(1)中のζは、前記ノッチフィルタの減衰比であって、0.005以上0.1以下の値に設定されることを特徴とするアクティブ除振装置。
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JP2010235182A JP5632701B2 (ja) | 2010-10-20 | 2010-10-20 | アクティブ除振装置 |
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JP2010235182A JP5632701B2 (ja) | 2010-10-20 | 2010-10-20 | アクティブ除振装置 |
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JP2012087880A JP2012087880A (ja) | 2012-05-10 |
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Family Applications (1)
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JP2010235182A Active JP5632701B2 (ja) | 2010-10-20 | 2010-10-20 | アクティブ除振装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4665634B2 (ja) * | 2005-07-13 | 2011-04-06 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 振動吸収装置 |
JP4940472B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2012-05-30 | 倉敷化工株式会社 | アクティブ除振装置及び制振装置 |
-
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