JP4355536B2 - 除振台のアクティブ振動制御装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態に係る精密除振台Aの一例を示し、この除振台Aは、例えば、半導体関連の試験機器、検査機器や原子間力顕微鏡(AFM)、レーザ顕微鏡等の精密計測機器のように、振動の影響を受けやすい精密機器1(仮想線で示す)を搭載するためのものである。この除振台Aは、高さ調整用のレベラー2,2,…を介して図示しない専用のテーブルや台等の上面に設置される矩形板状の基礎部材3と、その基礎部材3の上面の4隅にそれぞれ配設された空気ばね式のアイソレータ4,4,…と、該4つのアイソレータ4,4,…の上部に搭載された定盤5とを備えている。この定盤5及び搭載機器1が(厳密には以下に述べるアイソレータ4のトッププレート9も含めて)除振対象物になるが、この実施形態の除振台Aは主に実験や研究等に用いられる比較的小型の精密機器1を搭載するためのものであり、使用者の都合によって搭載機器1が変更されれば、除振対象物の質量は大きく変化することになる。
そこで、この実施形態に係る除振台Aのアクティブ振動制御装置Sでは、本発明の特徴として、予めフィードバック制御ゲインGcの最適値を除振対象物の質量Mに対応付けて設定したゲイン・質量マップを作成し、これをコントローラ20のメモリ21に記憶させておく。そして、実際に機器1を除振台Aに搭載したときには、この機器1の質量が自動で検出されて、前記ゲイン・質量マップに基づいてフィードバック制御ゲインGcが自動で設定されるようにしている。
本発明は、前記実施形態の構成に限定されるものではなく、それ以外の種々の構成を包含するものである。すなわち、例えば前記実施形態のアクティブ振動制御装置Sでは、デジタルコントローラ20により振動低減のためにフィードフォワード制御及びフィードバック制御の両方を行うようにしているが、これに限らず、例えばフィードフォワード制御は行わないようにしてもよい。また、必ずしもデジタルコントローラ20を採用する必要はなく、本発明はアナログコントローラによっても実現可能である。
S アクティブ振動制御装置
1 搭載機器(除振対象物)
4 アイソレータ
5 定盤(除振対象物)
7 空気ばね(ばね要素)
8 リニアモータ(加振アクチュエータ)
9 トッププレート(除振対象物)
18 加速度センサ(センサ)
19 空気圧センサ(質量情報提供手段)
20 コントローラ
20a フィードバック制御部
20b 質量演算部(質量情報提供手段)
20c ゲイン演算部(最適ゲイン決定手段)
20d ゲイン設定部(ゲイン設定手段)
21 メモリ(記憶手段)
Claims (4)
- 基礎に対しばね要素で支持した除振対象物の振動状態を検出するセンサと、該除振対象物にその振動を低減するような制御振動を付加するための加振アクチュエータとを備え、前記センサからの信号をコントローラに入力して前記アクチュエータを制御するようにした除振台のアクティブ振動制御装置において、
前記除振対象物は、矩形板状の定盤とこれに搭載される機器とからなり、該定盤の4隅がそれぞれ前記ばね要素によって支持されており、
前記コントローラは、前記センサからの信号によって除振対象物の加速度若しくは速度を求め、これにフィードバック制御ゲインを乗算してアクチュエータの制御量を決定するものであり、
前記フィードバック制御ゲインの値と前記除振対象物の質量との対応関係に係るマップを記憶した記憶手段と、
前記除振対象物の実際の質量に関する情報を入力され、この情報と前記記憶手段のマップに設定されている対応関係とに基づいて、フィードバック制御ゲインの値を決定する最適ゲイン決定手段と、
前記最適ゲイン決定手段により決定された値になるようにフィードバック制御ゲインを設定するゲイン設定手段と、
を備えており、
前記マップは、予め所定範囲内に設定した前記除振対象物の複数の質量値に対応して、それぞれ最適なフィードバック制御ゲインの値を実験により求めて設定したものであり、
前記最適ゲイン決定手段は、前記マップにおいて除振対象物の実際の質量よりも小さく且つ最も近い質量値に対応して設定されている最適値を、フィードバック制御ゲインの値とするものである
ことを特徴とする除振台のアクティブ振動制御装置。 - 除振対象物の質量を検出して、質量情報として最適ゲイン決定手段に提供する質量情報提供手段をさらに備えることを特徴とする請求項1のアクティブ振動制御装置。
- 質量情報提供手段は、除振対象物を支持するばね要素の変位量を測定し、これに基づいて該除振対象物の質量を演算するように構成されていることを特徴とする請求項2のアクティブ振動制御装置。
- 除振対象物を支持するばね要素は空気ばねであり、
質量情報提供手段は、前記空気ばねの内圧を測定し、これに基づいて該除振対象物の質量を演算するように構成されていることを特徴とする請求項2のアクティブ振動制御装置。
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