JP4982272B2 - アクティブ除振マウント機構 - Google Patents
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Description
3 補正アジャスタ 4 ばね圧アジャスタ固定ねじ
5 下端ホルダ 6 上端ホルダ
7 下限ブロック 8 上限ブロック
9 ケース 10 搭載物
11 床 12 圧力センサ
13 補助ばね 14 加速度センサ
15 圧力センサアンプ 16 加速度センサアンプ
17 A/D回路 18 コントローラ
19 D/A回路 20 バルブコントローラ
21 電空レギュレータ 22 エアー供給路
23 制御エアー通路 24 エアー排気路
25 乗算ブロック 26 微分ブロックA
27 微分ブロックB 28 ローパスフィルタ
29 加算ブロックA 30 レベリング制御器
31 搭載物除振フィードバック制御器 32 床振動フィードフォワード制御器
34 微分ブロック 35 積分ブロック
43 変位センサ 44 センサブロック
45 変位センサアンプ 50,52 ブラケット
60 パッシブ型除振装置 70 圧力センサ
72 補助ばね 74 破損防止ばね
76 高さ調整ねじ 200 ラバーチューブ
202 上側閉塞体 204 下側閉塞体
206 上側取付けブラケット 208 下側取付けブラケット
210 上側ばね座 212 下側ばね座
214 長さ調節スリーブ 216 スペーサ
218 上側挿入プラグ 220 上側スリーブ
222 下側挿入プラグ 224 下側スリーブ
226 加圧孔 230 エアー供給口
232 エアー排出口 234 オリフィス
Claims (6)
- 搭載物と床との間に介装されて、かかる搭載物を防振、支持するようにしたマウント機構にして、
振動入力方向に変位して、搭載物と床との間の微振動を除去する微小変位アクチュエータと、搭載物の荷重を支持するコイルばねとを並列に組み合わせてなるアクティブ除振装置を含み、且つ該微小変位アクチュエータを、チューブ内への空気圧の導入による膨張によって軸方向に収縮し、その軸方向長さを変化させるラバーチューブにて構成すると共に、該ラバーチューブの軸方向が前記コイルばねの軸方向と同方向となるように配置せしめ、該ラバーチューブの推力と該コイルばねの推力とが中立状態となる形態において、前記搭載物と前記床との間に介装する一方、それら搭載物と床との間の変位を直接的に若しくは間接的に検知する変位センサと該搭載物の加速度を検知する加速度センサとにおける検知信号に基づき、該床から該搭載物に伝わる振動を抑制するための制御信号を出力する制御器を設け、更に外部から該ラバーチューブ内に空気圧を導入するエアー通路上にレギュレータを設けて、前記制御器からの制御信号により該レギュレータにて制御された空気圧が導入せしめられるように構成したことを特徴とするアクティブ除振マウント機構。 - 前記微小変位アクチュエータを中心にして、その周りに、同心的に前記コイルばねが配置され、それらの軸方向両端部がそれぞれ前記搭載物及び床に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載のアクティブ除振マウント機構。
- 前記コイルばねの軸方向長さに対して前記微小変位アクチュエータの軸方向長さを相対的に変化せしめ得る長さ調節機構が設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のアクティブ除振マウント機構。
- 前記変位センサとして、前記搭載物と前記床との間の変位を荷重変化として検出する圧力センサが設けられ、該圧力センサにおける検知信号に基づき、かかる搭載物と床との間の振動に基づくところの変位が測定されるようになっている請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載のアクティブ除振マウント機構。
- 前記搭載物と床との間に、該搭載物の重量を支える弾性支持体が、更に設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか一つに記載のアクティブ除振マウント機構。
- 搭載物と床との間に介装されて、かかる搭載物を防振、支持するようにしたマウント機構にして、
振動入力方向に変位して、搭載物と床との間の微振動を除去する微小変位アクチュエータと、搭載物の荷重を支持するコイルばねとを並列に組み合わせてなるアクティブ除振装置を含み、且つ該微小変位アクチュエータを、チューブ内への空気圧の導入による膨張によって軸方向に収縮し、その軸方向長さを変化させるラバーチューブにて構成すると共に、該ラバーチューブの軸方向が前記コイルばねの軸方向と同方向となるように配置せしめ、更に該ラバーチューブを膨張させて軸方向に収縮せしめる加圧空気が、該ラバーチューブの軸方向の一端側からチューブ内に導入され、そして該ラバーチューブ内を軸方向に流通せしめられて、該ラバーチューブの軸方向の他端側からチューブ外に排出されるように構成されていることを特徴とするアクティブ除振マウント機構。
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JP2007177298A JP4982272B2 (ja) | 2007-07-05 | 2007-07-05 | アクティブ除振マウント機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007177298A JP4982272B2 (ja) | 2007-07-05 | 2007-07-05 | アクティブ除振マウント機構 |
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JP4982272B2 true JP4982272B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2007177298A Expired - Fee Related JP4982272B2 (ja) | 2007-07-05 | 2007-07-05 | アクティブ除振マウント機構 |
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2007
- 2007-07-05 JP JP2007177298A patent/JP4982272B2/ja not_active Expired - Fee Related
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