JP2007504415A - 慣性基準質量を有する能動型防振用アクチュエータ構成 - Google Patents
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Abstract
Description
P.G.Nelson,"An active vibration isolation system for inertial reference and precision measurement",Rev.Sci.Instrum.62,(9),1991年9月,2,069〜2,075頁
・望まれていない基準質量22の動きにより、本制御システムの性能が劣化する:物体は、位置に関してできる限り安定した基準質量22を持つべきである;
・アクチュエータ8によって生み出された力の伝達により、制御ループが不安定となり得る。基準質量22が変位すると、センサ26によって測定されるz2の値が変化し、よってアクチュエータ8により生み出される力も変化してしまう。このような不安定な制御ループとならないようにするためには、図3の構成において、制御ループの帯域幅を低減することが必要となるが、これは性能劣化をもたらす。
Claims (13)
- アクチュエータと、
基準質量と、
少なくとも1自由度を持った所定のバネ特性を少なくとも持つ第一のサスペンションと、
第一のセンサとを有し、
前記アクチュエータは、第一の物体と第二の物体の間に力を加えるように構成され、
前記基準質量は、前記第一のサスペンションによって、第三の物体に支持されるように構成され、
前記第一のセンサは、前記基準質量と前記第一の物体の間の第一の距離に応じた第一の距離信号を生成して、この第一の距離信号を前記アクチュエータを動かすコントローラへ供給するように構成される、アクチュエータ構成。 - 請求項1記載のアクチュエータ構成であって、
前記アクチュエータは、ローレンツ・アクチュエータである、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項1又は2記載のアクチュエータ構成であって、
前記第一の物体と前記第二の物体の間の第二の距離を測定する第二のセンサと、
前記第一のセンサに接続され、前記コントローラに入力される第一のフィルタ出力信号を生成する第一のフィルタと、
前記第二のセンサに接続され、前記コントローラに入力される第二のフィルタ出力信号を生成する第二のフィルタとを更に有する、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項1乃至3のいずれか一項記載のアクチュエータ構成であって、
前記基準質量及び前記第一のサスペンションを保護するように構成されたハウジングを更に有し、
前記ハウジングは、その一面が前記第一の物体と前記基準質量の間に位置するように設けられ、
前記第一のセンサは、第一のサブセンサと、第二のサブセンサとを有し、
前記第一のサブセンサは、前記基準質量と前記ハウジングの一面の間の第三の距離を測定するように構成され、
前記第二のサブセンサは、前記ハウジングの一面と前記第一の物体の間の第四の距離を測定するように構成される、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項1乃至3のいずれか一項記載のアクチュエータ構成であって、
前記第一のセンサは、第一のサブセンサと、第二のサブセンサとを有し、
前記第一のサブセンサは、前記第一の物体と前記第三の物体の間の第三の距離を測定して、第三の出力信号を生成するように構成され、
前記第二のサブセンサは、前記基準質量と前記第三の物体の間の第四の距離を測定して、第四の出力信号を生成するように構成され、
前記第三の出力信号は、前記第四の出力信号を差し引いてから、前記コントローラへ供給される、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項5記載のアクチュエータ構成であって、
前記基準質量及び前記第一のサスペンションを保護するハウジングを更に有する、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項1乃至6のいずれか一項記載のアクチュエータ構成であって、
別のセンサと、フィルタとを更に有し、
前記別のセンサは、前記基準質量と前記第三の物体の間の距離を測定して、前記フィルタへの出力信号を生成するように構成され、
前記フィルタは、前記コントローラが前記第二の物体の振動の前記第一の物体への伝達を補償できるように、フィルタ出力信号を生成して、前記コントローラへ送るように構成される、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項1乃至7のいずれか一項記載のアクチュエータ構成であって、
前記第一のサスペンションは、
第二のアクチュエータと、
前記基準質量と前記第三の物体の間の距離を測定する更に別のセンサと、
前記更に別のセンサから出力信号を受信して、前記第二のアクチュエータを動かすように構成された別のコントローラとによって実現される、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項1乃至8のいずれか一項記載のアクチュエータ構成であって、
前記第二の物体及び前記第三の物体は、1つの同じ物体である、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項1乃至8のいずれか一項記載のアクチュエータ構成であって、
前記第三の物体は、第二のサスペンションによって、前記第二の物体に支持され、
前記アクチュエータは、第四の物体によって支持され、
前記第四の物体は、第三のサブペンションによって、前記第二の物体に支持される、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項1乃至10のいずれか一項記載のアクチュエータ構成であって、
前記第一の物体の変位を制御するスカイフック制御構成を更に有する、ことを特徴とするアクチュエータ構成。 - 請求項1乃至11のいずれか一項記載のアクチュエータ構成を少なくとも1つ有する能動型防振システム構成であって、
少なくとも前記アクチュエータを制御する前記コントローラを有する、ことを特徴とする能動型防振システム構成。 - 請求項9記載の能動型防振システム構成であって、
前記第一の物体を支持する少なくとも1つの空気バネを有する、ことを特徴とする能動型防振システム構成。
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