JP5065225B2 - アクティブ除振ユニット - Google Patents
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Description
6 エアベローズ 8 変位センサ
10 微小変位アクチュエータ機構 12,14 微小変位アクチュエータ
16 鉄ブロック 18 微小変位センサ
18a 水平方向加速度センサ 18b 鉛直方向加速度センサ 20 水平ダイヤフラムアクチュエータ 22 支持板
24 鉛直ダイヤフラムアクチュエータ 26 有底筒状ハウジング
28 ダイヤフラム 28a 厚肉板状部位
28b 薄肉湾曲部位 30 圧力プレート
32 押さえ板 34 圧力空気室 36 給排口 38 補強板
40 取付け孔 42 固定ピン 44 永久磁石 46,48 すべり板 50a〜c 増幅器 52a〜c A/Dコンバータ 54 制御装置 56a,b D/Aコンバータ
58a,b高域フィルタ 58c 低域フィルタ
60a〜c バルブドライバ 62a〜c バルブ
64 ばね
Claims (12)
- 除振台と床との間に介装されて、かかる除振台を防振、支持するようにした除振ユニットにして、該除振台の重量を支える弾性支持体と、該除振台における少なくとも水平方向の微小変位を検出する微小変位センサと、該微小変位センサにて検出される微小変位に基づいて、該除振台における少なくとも水平方向の微小変位を除去する微小変位アクチュエータ機構とを含み、
且つ該微小変位アクチュエータ機構が、空気圧の導入・排出によってピストン移動せしめられるダイヤフラムに永久磁石を取り付けてなる第一のシリンダを、前記除振台及び床の何れか一方から鉛直方向に延びる支持部に、該第一のシリンダによるピストン移動の方向が水平方向となるように配設する一方、該除振台及び床の何れか他方から鉛直方向に延びる、前記永久磁石が磁着可能な第一の磁着部を設けてなる、水平方向の微小変位を除去するための第一の微小変位アクチュエータを少なくとも有し、更に、前記第一のシリンダに取り付けた永久磁石と前記第一の磁着部とが、それらの鉛直方向の相互の摺動を許容する第一のすべり板を介して、磁着可能とされていることを特徴とするアクティブ除振ユニット。 - 前記微小変位アクチュエータ機構が、空気圧の導入・排出によってピストン移動せしめられるダイヤフラムに永久磁石を取り付けてなる第二のシリンダを、前記除振台及び床の何れか一方に、該第二のシリンダによるピストン移動の方向が鉛直方向となるように配設する一方、該除振台及び床の何れか他方に、前記永久磁石が磁着可能な第二の磁着部を設けてなる、鉛直方向の微小変位を除去するための第二の微小変位アクチュエータを更に有し、そして、前記第二のシリンダに取り付けられた永久磁石と前記第二の磁着部とが、それらの水平方向の相互の摺動を許容する第二のすべり板を介して、磁着可能とされている請求項1に記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記第一及び第二の微小変位アクチュエータにおける前記第一及び第二のシリンダが、何れも、前記床の側に配設されている請求項1又は請求項2に記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記除振台の下面に、矩形の鉄ブロックが固設され、該鉄ブロックの鉛直方向の側面及び水平な下面にて、前記第一及び第二の磁着部が、それぞれ構成されている請求項3に記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記第一及び第二のシリンダが、それぞれ、浅底の有底筒状ハウジングと、該ハウジングの開口部を覆蓋するように取り付けられた、中央部側の部位が厚肉板状とされたダイヤフラムと、該ダイヤフラムの厚肉板状の部位に取り付けられた圧力プレートとを含んで構成され、且つそれぞれの圧力プレートに対して、前記永久磁石が固設されている請求項1乃至請求項4の何れか一つに記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記微小変位センサが、前記除振台と前記床との間で伝達される振動の水平方向及び鉛直方向の加速度をそれぞれ検出する加速度センサである請求項1乃至請求項5の何れか一つに記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記加速度センサが、前記除振台の下面に固設された矩形の鉄ブロックに取り付けられている請求項6に記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記微小変位センサから入力される検出信号に応じて、前記第一及び第二の微小変位アクチュエータに対する空気圧の導入・排出を制御する制御装置が、設けられている請求項1乃至請求項7の何れか一つに記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記弾性支持体が、コイルスプリング及び/又は柱状の粘弾性体である請求項1乃至請求項8の何れか一つに記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記弾性支持体が、空気圧の導入・排出によって高さを変化させる空気ばねである請求項1乃至請求項8の何れか一つに記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記床に対する前記除振台の高さ変化を検出する変位センサが設けられ、該変位センサの検出信号が、前記微小変位センサの検出信号と共に、制御装置に入力されて、それらの検出信号に基づいて、該制御装置から前記第一及び第二の微小変位アクチュエータ並びに前記空気ばねに対して制御信号がそれぞれ出力せしめられる請求項10に記載のアクティブ除振ユニット。
- 前記制御装置の制御信号から、低域フィルタを通じて、前記空気ばねの制御信号が取り出される一方、高域フィルタを通じて、前記第一の微小変位アクチュエータの制御信号が取り出される請求項11に記載のアクティブ除振ユニット。
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