JPS6065288A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPS6065288A JPS6065288A JP17291283A JP17291283A JPS6065288A JP S6065288 A JPS6065288 A JP S6065288A JP 17291283 A JP17291283 A JP 17291283A JP 17291283 A JP17291283 A JP 17291283A JP S6065288 A JPS6065288 A JP S6065288A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- cryopump
- flange
- vacuum
- refrigerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ヘリウム冷凍機を用いたクライオポンプに関
するものである。
するものである。
近年、ヘリウム冷凍機Ｃ以下、冷凍機と略）の改良に伴
い安価で信頼性の高いクライオポンプが市販されるよう
になっており、しかもクライオポンプはクリーンな高真
空が容易に得られることから益々需用が拡大している。
い安価で信頼性の高いクライオポンプが市販されるよう
になっており、しかもクライオポンプはクリーンな高真
空が容易に得られることから益々需用が拡大している。
しかしながら、クライオポンプはその構造上冷凍機から
発生する振動が大きいため、振動を嫌う精密な装置に用
いることができない、あるいは装置性能の劣化を犠牲に
しなければ用いることができなかった。こうした欠点を
改善したクライオポンプの一例が特開昭５７−１８８７
８７号公報で示されている。このクライオポンプを第１
図により説明する。第１図で。
発生する振動が大きいため、振動を嫌う精密な装置に用
いることができない、あるいは装置性能の劣化を犠牲に
しなければ用いることができなかった。こうした欠点を
改善したクライオポンプの一例が特開昭５７−１８８７
８７号公報で示されている。このクライオポンプを第１
図により説明する。第１図で。
定盤１は防振ゴム２を介して架台３に乗せられ、定盤１
の上に真空容器４．５が置かれている。クライオポンプ
６の吸気口にバルブ７を介してベローズ８が取付けられ
真空容器４との間はパイプ９で連通されている。クライ
オポンプ６の下面にバランスウェイトＩＯが設けられて
いる。車輪１１およびクランプ機構１２がバランスウェ
イトｌＯの下面に設けられ、装置全体が床に置かれる。
の上に真空容器４．５が置かれている。クライオポンプ
６の吸気口にバルブ７を介してベローズ８が取付けられ
真空容器４との間はパイプ９で連通されている。クライ
オポンプ６の下面にバランスウェイトＩＯが設けられて
いる。車輪１１およびクランプ機構１２がバランスウェ
イトｌＯの下面に設けられ、装置全体が床に置かれる。
以上の構成における機能は次の通りである。クライオポ
ンプ６を作動してバルブ７を開は真空容器４．５内を真
空引すると大気圧との差圧が生じベローズ８の内断面積
に相当する上向の吸引力が生じる。この吸引力は約１０
０〜３ｏｏＫｕ にもなるのに対しクライオポンプ６自
重は１０〜５０Ｋｇと軽量のため吸引力に打勝つべく１
００〜３００Ｋｇなる重量の大きいバランスウェイトｌ
Ｏをクライオポンプ６に取付けて浮上を防止している。
ンプ６を作動してバルブ７を開は真空容器４．５内を真
空引すると大気圧との差圧が生じベローズ８の内断面積
に相当する上向の吸引力が生じる。この吸引力は約１０
０〜３ｏｏＫｕ にもなるのに対しクライオポンプ６自
重は１０〜５０Ｋｇと軽量のため吸引力に打勝つべく１
００〜３００Ｋｇなる重量の大きいバランスウェイトｌ
Ｏをクライオポンプ６に取付けて浮上を防止している。
これによりベローズ８より下側の総重量が極めて大きい
のでクライオポンプ６の冷凍機（図示省略）から発生す
るり 振動はベローズ８より上側にはほとんど伝達されないの
で真空容器４．５は防振されることになる。
のでクライオポンプ６の冷凍機（図示省略）から発生す
るり 振動はベローズ８より上側にはほとんど伝達されないの
で真空容器４．５は防振されることになる。
も全体寸法が大きくなるので設置の場所、取付姿勢、運
搬移動が容易ではないのに加え、クライオポンプと真空
容器の間をベローズ、パイプで連通させていることによ
り、ベローズとパイプの合成コンダクタンスの影響によ
り真空容器の排気口位置での実効排気速度はクライオポ
ンプの排気速度に比して大幅に低下する。つまりクライ
オポンプ本来の性能をかなり犠牲にしなければならない
という欠点があった。さらにはクライオポンプ自体には
全（防振機能がないという欠点もある。
搬移動が容易ではないのに加え、クライオポンプと真空
容器の間をベローズ、パイプで連通させていることによ
り、ベローズとパイプの合成コンダクタンスの影響によ
り真空容器の排気口位置での実効排気速度はクライオポ
ンプの排気速度に比して大幅に低下する。つまりクライ
オポンプ本来の性能をかなり犠牲にしなければならない
という欠点があった。さらにはクライオポンプ自体には
全（防振機能がないという欠点もある。
又、他の例が特開昭５７−１１６９４７号公報で示され
ている。このクライオポンプを第２図により説明する。
ている。このクライオポンプを第２図により説明する。
第２図で、真空容器５１の排気孔５２の下側にベローズ
５３を取付け、ベローズ５３の下端にクライオポンプ８
をつり下げる。この状態では第１図で示した一例と同様
に真空引きをするとクライオポンプ刺が吸引力に較べて
軽量なので引上げられる。これを防止するため架台（も
しくは床）５５とクライオポンプ９をリンク機構５６（
５６ａ〜５６ｄ）で結合する構造となっている。リンク
機構間はジンバル方式を採用しているのでｘｙ面内のい
ずれの方向にも揺動できる。従って、クライオポンプ８
の振動はｘｙ力方向ついて防振される。このようなりラ
イオポンプでは、その構造上、クライオポンプから発生
する振動のうち最も優勢な２軸方向に対して防振効果が
得られないのみならず、大きな取付スペースを要し、か
つ重力を利用する関係から取付姿勢も限定される。また
リンク機構を効果的に作用させるためには構成部品の精
度を向上させる必要があるなどの欠点を有している。
５３を取付け、ベローズ５３の下端にクライオポンプ８
をつり下げる。この状態では第１図で示した一例と同様
に真空引きをするとクライオポンプ刺が吸引力に較べて
軽量なので引上げられる。これを防止するため架台（も
しくは床）５５とクライオポンプ９をリンク機構５６（
５６ａ〜５６ｄ）で結合する構造となっている。リンク
機構間はジンバル方式を採用しているのでｘｙ面内のい
ずれの方向にも揺動できる。従って、クライオポンプ８
の振動はｘｙ力方向ついて防振される。このようなりラ
イオポンプでは、その構造上、クライオポンプから発生
する振動のうち最も優勢な２軸方向に対して防振効果が
得られないのみならず、大きな取付スペースを要し、か
つ重力を利用する関係から取付姿勢も限定される。また
リンク機構を効果的に作用させるためには構成部品の精
度を向上させる必要があるなどの欠点を有している。
更に他の例を第３図により説明する。本例は、Ｊ、 Ｖ
ａｃ、 Ｓｃｉ、 Ｔｅｃｈｎｏｌ、 ＡＩ （２）
、Ａｐｒ、−Ｊｕｎｅ１９８３に掲載されたものであり
、クライオポンプ単体で防振機能を有する点で前記の例
より秀れたものとなっている。第３図で、クライオポン
プ６１を取付けた冷凍機６２は耐真空のケーシング６３
に納められ、両者が弾性のあるベローズ６で結ばれてい
る。冷凍機６２の下部外周にウェイト６が固着され、ケ
ーシング６３の内部が真空時に生じる吸引力と釣合うよ
うになっている。外枠６はウェイト６５を取囲んで上端
がケーシングＢに固着されている。冷凍Ｉａ６２下端に
固着された軸６７は外枠θで軸方向変位をガイドしてい
る。このようなりライオポンプでは、吸引力をウェイト
で打消す方式であるが、吸引力自体が小形機でも２０Ｋ
Ｐｆを超えることになりクライオポンプとしての重量が
従来機に較べ２〜３位にも増大する。また中形機、大形
機の吸引力は約５０〜１００に９ｆにも達するので、構
造面や＠肴面で′Ｓ施に難点がある。艷には、重力を利
用した防振方式のため吸気孔を上向き婆こした第３図の
姿勢以外では使用できない。これはクライオポンプ本来
の特徴的利点である自由な取付姿勢を犠牲にせざるをえ
ないものである。加えて冷凍機の軸直角方向の変位は、
下端では軸で拘束されるが、上端部は自由になっている
ので極低温のクライオパネルと常温のケーシングの接触
によるポンプ機能の劣化を防止するためにフライ第１＜
ネルとケーシングの間隙を従来機より数倍大きくしなけ
ればならない。クライオパネルを小径化すると真空ポン
プの排気速度が減小し性能悪化を招く。他方ケーシング
な太き（することは取付フランジの大径化をもたらすこ
とになり、どちらにしても満足な結果が得られない。
ａｃ、 Ｓｃｉ、 Ｔｅｃｈｎｏｌ、 ＡＩ （２）
、Ａｐｒ、−Ｊｕｎｅ１９８３に掲載されたものであり
、クライオポンプ単体で防振機能を有する点で前記の例
より秀れたものとなっている。第３図で、クライオポン
プ６１を取付けた冷凍機６２は耐真空のケーシング６３
に納められ、両者が弾性のあるベローズ６で結ばれてい
る。冷凍機６２の下部外周にウェイト６が固着され、ケ
ーシング６３の内部が真空時に生じる吸引力と釣合うよ
うになっている。外枠６はウェイト６５を取囲んで上端
がケーシングＢに固着されている。冷凍Ｉａ６２下端に
固着された軸６７は外枠θで軸方向変位をガイドしてい
る。このようなりライオポンプでは、吸引力をウェイト
で打消す方式であるが、吸引力自体が小形機でも２０Ｋ
Ｐｆを超えることになりクライオポンプとしての重量が
従来機に較べ２〜３位にも増大する。また中形機、大形
機の吸引力は約５０〜１００に９ｆにも達するので、構
造面や＠肴面で′Ｓ施に難点がある。艷には、重力を利
用した防振方式のため吸気孔を上向き婆こした第３図の
姿勢以外では使用できない。これはクライオポンプ本来
の特徴的利点である自由な取付姿勢を犠牲にせざるをえ
ないものである。加えて冷凍機の軸直角方向の変位は、
下端では軸で拘束されるが、上端部は自由になっている
ので極低温のクライオパネルと常温のケーシングの接触
によるポンプ機能の劣化を防止するためにフライ第１＜
ネルとケーシングの間隙を従来機より数倍大きくしなけ
ればならない。クライオパネルを小径化すると真空ポン
プの排気速度が減小し性能悪化を招く。他方ケーシング
な太き（することは取付フランジの大径化をもたらすこ
とになり、どちらにしても満足な結果が得られない。
本発明の目的は、防振用のバランスウェイト、リンク機
構を不用にすることで、小形軽址化を図ることができる
クライオポンプを提供することにある。
構を不用にすることで、小形軽址化を図ることができる
クライオポンプを提供することにある。
本発明は、冷凍機のピストな往復駆動する駆動部の一端
と、該駆動部の一端に常温端が連結されたシリンダのコ
ールドヘッドに設けられたクライオパネル、バッフルを
収納するケーシングとに真空排気可能なベローズを跨設
すると共に、駆動部の他端と、該他端と対応して固定さ
れた部材とに真空排気可能な他のベローズを跨設したこ
とを特徴とするもので、ベローズでの吸引力と冷凍機自
重を含めた他のベローズでの吸引力とをバランスさせて
防振することで防振用のバランスウェイトリンク機構を
不用にしようとするものである。
と、該駆動部の一端に常温端が連結されたシリンダのコ
ールドヘッドに設けられたクライオパネル、バッフルを
収納するケーシングとに真空排気可能なベローズを跨設
すると共に、駆動部の他端と、該他端と対応して固定さ
れた部材とに真空排気可能な他のベローズを跨設したこ
とを特徴とするもので、ベローズでの吸引力と冷凍機自
重を含めた他のベローズでの吸引力とをバランスさせて
防振することで防振用のバランスウェイトリンク機構を
不用にしようとするものである。
以下、本発明の一実施例を第４図により説明する。第４
図で、冷凍機２１のシリンダ２１ ａのコールドヘッド
２２ａ＋２２ｂにクライオパネル２３ａ１２３ｂおよび
バッフル２３Ｃが設けらされ、これらはケーシング２４
ａに収納されている。ピストン２１ ｃは駆動部２１
ｂのメカニズムによりシリンダ２１ａ内を、この場合は
、上下に往復動する。ケーシング２４ａの下部フランジ
２４ｂと駆動部２１ ｂの一端、この場は、上端とには
、真空排気可能なベローズ２５ａがシール２６ ａ 、
２６ ｂを介してフランジ部で跨設されている。駆動
部２１ ｂの他端、この場合は、下端にはフランジｎが
設けられ、フランジｎと対応して。
図で、冷凍機２１のシリンダ２１ ａのコールドヘッド
２２ａ＋２２ｂにクライオパネル２３ａ１２３ｂおよび
バッフル２３Ｃが設けらされ、これらはケーシング２４
ａに収納されている。ピストン２１ ｃは駆動部２１
ｂのメカニズムによりシリンダ２１ａ内を、この場合は
、上下に往復動する。ケーシング２４ａの下部フランジ
２４ｂと駆動部２１ ｂの一端、この場は、上端とには
、真空排気可能なベローズ２５ａがシール２６ ａ 、
２６ ｂを介してフランジ部で跨設されている。駆動
部２１ ｂの他端、この場合は、下端にはフランジｎが
設けられ、フランジｎと対応して。
この場合は、その下方位店で部材、例えば、フランジ銘
が固定されている。駆動部２１ ｂの下端、つまり、フ
ランジｎとフランジ部とには、真空排気可能な他のベロ
ーズ２５ｂがシール２６ｃ、２６ｄを介して跨設されて
いる。フランジ部は、フランジ冴すと任意個数の支持梁
四則に結合されて固定されている。駆動部２１ ｂの、
この場合、上下端外側には低摩擦摺動材製のライナ３ｆ
ｌａ、３ｆｌｂが支持梁９に接して、この場合、上下方
向摺動自在に設けられている。支持梁器にはストッパ３
１が固設されて冷凍機２１の中心軸周りの回転および、
この場合、上下方向の過大変位を防止する。フランジあ
の中央部下面にはベローズ２５ｂ内部と大気とを連通も
しくは封止用のバルブｎが設けられている。ケーシング
２４ａには粗引ポート２４ｃが設けられている。
が固定されている。駆動部２１ ｂの下端、つまり、フ
ランジｎとフランジ部とには、真空排気可能な他のベロ
ーズ２５ｂがシール２６ｃ、２６ｄを介して跨設されて
いる。フランジ部は、フランジ冴すと任意個数の支持梁
四則に結合されて固定されている。駆動部２１ ｂの、
この場合、上下端外側には低摩擦摺動材製のライナ３ｆ
ｌａ、３ｆｌｂが支持梁９に接して、この場合、上下方
向摺動自在に設けられている。支持梁器にはストッパ３
１が固設されて冷凍機２１の中心軸周りの回転および、
この場合、上下方向の過大変位を防止する。フランジあ
の中央部下面にはベローズ２５ｂ内部と大気とを連通も
しくは封止用のバルブｎが設けられている。ケーシング
２４ａには粗引ポート２４ｃが設けられている。
以下゛に本例の動作を説明する。図示を省略した真空装
置がフランジ２４ｄの上面に結合された状態でケーシン
グ２４ａ内を粗引ボート２４ｂからロータリポンプ等の
他の真空ポンプ（図示省略）で粗引きにより吸引力Ａ
１ ［Ｋｇｆ］が作用する。吸引力Ａ１は冷凍機２１お
よび冷凍機器に固着され一体となる全部品の重量Ｗｏに
比べて数倍以上大きいので、このままでは冷凍機２１は
ベローズ２５ａが密着する位置まで引上げられるのでベ
ローズ２５ａのバネ効果が消えてしまい防振できないが
、他のベローズ２５ｂ内をバルブ兇を介して真空引する
ことにより、ベローズ２５ａと同じ効果により冷凍機２
１は引下げられる。他のベローズ２５ｂの内断面積Ａ２
をＡ２＝ＡＩ −ｗｏ とすると冷凍機２１自重を含め
完全に力学的平衡が成立するので冷凍機２１はベローズ
５ａ 、 ２５ ｂが中立位置で弾性を維持したまま静
止する。この状態で冷凍機２１を運転するとピストン２
１Ｃは一定の周波数ｆでシリンダ２Ｘａ内を往復運動す
るため上下方向の石榴−ｈ招庄１ψ癒論胤ＩＭ １４１
〒に振動する。ベローズ２５ａ、他のベローズ２５ｂの
バネ定数をそれぞれに、、に２ とすれば合成バネ定数
に、はＥｌ／に＋＋１／ｋｇ） ’ ｌ：等シイ値ヲ持
つ。
置がフランジ２４ｄの上面に結合された状態でケーシン
グ２４ａ内を粗引ボート２４ｂからロータリポンプ等の
他の真空ポンプ（図示省略）で粗引きにより吸引力Ａ
１ ［Ｋｇｆ］が作用する。吸引力Ａ１は冷凍機２１お
よび冷凍機器に固着され一体となる全部品の重量Ｗｏに
比べて数倍以上大きいので、このままでは冷凍機２１は
ベローズ２５ａが密着する位置まで引上げられるのでベ
ローズ２５ａのバネ効果が消えてしまい防振できないが
、他のベローズ２５ｂ内をバルブ兇を介して真空引する
ことにより、ベローズ２５ａと同じ効果により冷凍機２
１は引下げられる。他のベローズ２５ｂの内断面積Ａ２
をＡ２＝ＡＩ −ｗｏ とすると冷凍機２１自重を含め
完全に力学的平衡が成立するので冷凍機２１はベローズ
５ａ 、 ２５ ｂが中立位置で弾性を維持したまま静
止する。この状態で冷凍機２１を運転するとピストン２
１Ｃは一定の周波数ｆでシリンダ２Ｘａ内を往復運動す
るため上下方向の石榴−ｈ招庄１ψ癒論胤ＩＭ １４１
〒に振動する。ベローズ２５ａ、他のベローズ２５ｂの
バネ定数をそれぞれに、、に２ とすれば合成バネ定数
に、はＥｌ／に＋＋１／ｋｇ） ’ ｌ：等シイ値ヲ持
つ。
重力の加速度を２とおけば、この振動系の固有振動数ｆ
ｏ は０式に嚇しい。
ｏ は０式に嚇しい。
よってｆ＞２ｆｏ となるｋｏを与えるベローズを用い
ることにより冷凍機２１から発生する振動のケーシング
２４ａ側への伝達を無視できる程度に抑制す＋ ることができる。第ｆ図はフランジ２４ｄが上向きの姿
勢になる場合を示しているが、Ａ ＊ ＝Ａ ｒ ＋Ｗ
。
ることにより冷凍機２１から発生する振動のケーシング
２４ａ側への伝達を無視できる程度に抑制す＋ ることができる。第ｆ図はフランジ２４ｄが上向きの姿
勢になる場合を示しているが、Ａ ＊ ＝Ａ ｒ ＋Ｗ
。
となる他のベローズ２５ｂを用いればフランジ２４ｄを
下向きで、またＡ ｍ ＝Ａ １ となる他のベローズ
δｂを用いれば横向きで使用することができ、いずれの
姿勢の場合でも同様の防振効果を得ることが牛 できる。また第を図に示すように冷凍機２１を含む振動
部分は支持梁９により水平方向の変位が拘束されるため
クライオパネル２３ａとケーシング２Ａａの搭力白す！
に嘘０九帰立−処訓１− φ−「−１できるのでクライ
オポンプの吸気口面積Ａ４と排気速度Ｓの比Ｓ／Ａ、を
従来一般機と同一すなわち同一ポンプ性能を維持できる
。加えて、バランスウェイトを排し、ベローズのみでバ
ランスする構造のため従来例に比べ防振に要する装置全
体な大幅に軽量化できる。なお、第１図において、ベロ
ーズ２５ａと他のベローズ２５ｂを連通管で結ぶことに
よりバルブ３２を不用にすることができる。
下向きで、またＡ ｍ ＝Ａ １ となる他のベローズ
δｂを用いれば横向きで使用することができ、いずれの
姿勢の場合でも同様の防振効果を得ることが牛 できる。また第を図に示すように冷凍機２１を含む振動
部分は支持梁９により水平方向の変位が拘束されるため
クライオパネル２３ａとケーシング２Ａａの搭力白す！
に嘘０九帰立−処訓１− φ−「−１できるのでクライ
オポンプの吸気口面積Ａ４と排気速度Ｓの比Ｓ／Ａ、を
従来一般機と同一すなわち同一ポンプ性能を維持できる
。加えて、バランスウェイトを排し、ベローズのみでバ
ランスする構造のため従来例に比べ防振に要する装置全
体な大幅に軽量化できる。なお、第１図において、ベロ
ーズ２５ａと他のベローズ２５ｂを連通管で結ぶことに
よりバルブ３２を不用にすることができる。
本発明は、以上説明したように、冷凍機の駆動部の一端
と、ケーシングとに真空排気可能なベローズを跨設する
と共に、駆動部の他端と、該他端と対応して固定された
部材とに真空排気可能な他のベローズを跨設したことで
、防振用のバランスウェイト、リンク機構を不用にでき
るので、クライオポンプを小形軽量にできる効果がある
。
と、ケーシングとに真空排気可能なベローズを跨設する
と共に、駆動部の他端と、該他端と対応して固定された
部材とに真空排気可能な他のベローズを跨設したことで
、防振用のバランスウェイト、リンク機構を不用にでき
るので、クライオポンプを小形軽量にできる効果がある
。
第１図は、従来のクライオポンプの一例を示す縦断面図
、第２図は、従来のクライオポンプの他の例を示す斜視
構成図、第３図は、従来のタライ役 オボンプの更に他の例を示す！断面図、第４図は本発明
によるクライオポンプの一実施例を示す縦断面図である
。 ２１・・・・・・冷凍機、２１ ａ・・−・・ シリン
ダ、２１ ｂ・・・・駆ｔｌ＋部、２１ｃ・・・・・
ピストン、２２ａ、２２ｂ・・・・・ コールドヘゾド
、Ｚ３ ａ 、 ２３ｂ・・・・・・クライオパネル、
２３Ｃ・・・・・パンフル、２４ａ・・・・・・ケーシ
ング、２５ａ・・・ベローズ、２５ｂ・・・・・・他の
ベローズ、公・・・フランジ。 酋・・・・・支持梁 ｆ１図
、第２図は、従来のクライオポンプの他の例を示す斜視
構成図、第３図は、従来のタライ役 オボンプの更に他の例を示す！断面図、第４図は本発明
によるクライオポンプの一実施例を示す縦断面図である
。 ２１・・・・・・冷凍機、２１ ａ・・−・・ シリン
ダ、２１ ｂ・・・・駆ｔｌ＋部、２１ｃ・・・・・
ピストン、２２ａ、２２ｂ・・・・・ コールドヘゾド
、Ｚ３ ａ 、 ２３ｂ・・・・・・クライオパネル、
２３Ｃ・・・・・パンフル、２４ａ・・・・・・ケーシ
ング、２５ａ・・・ベローズ、２５ｂ・・・・・・他の
ベローズ、公・・・フランジ。 酋・・・・・支持梁 ｆ１図
Claims (1)
- １ 冷凍機のピストンを往復駆動する駆動部の一端と、
該駆動部の一端に常温端が連結されたシリンダのコール
ドヘッドに設けられたクライオパネル、バッフルを収納
するケーシングとに真空排気可能なベローズを跨設する
と共に、前記駆動部の他端と、該他端と対応して固定さ
れた部材とに真空排気可能な他のベローズを跨設したこ
とを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17291283A JPS6065288A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17291283A JPS6065288A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6065288A true JPS6065288A (ja) | 1985-04-15 |
Family
ID=15950645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17291283A Pending JPS6065288A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6065288A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2563883A1 (fr) * | 1984-05-02 | 1985-11-08 | Zeiss Jena Veb Carl | Dispositif d'amortissement des vibrations dans les systemes a vide |
| US5231840A (en) * | 1991-03-28 | 1993-08-03 | Daikin Industries, Ltd. | Cryopump |
| JP2018507531A (ja) * | 2014-11-24 | 2018-03-15 | アットキューブ システムズ アーゲー | テーブル |
-
1983
- 1983-09-21 JP JP17291283A patent/JPS6065288A/ja active Pending
Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
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