JPH0519588Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はクライオポンプなどの高真空ポンプを
使用した真空排気装置の低振動運転が実現可能な
低振動型真空排気装置に関する。

（従来の技術） 高真空ポンプでクリーンバキユームを得たいも
のとしてはオイルフリー構造のピストン型になる
ものが多く、この代表とされるクライオポンプを
例にとると、ピストン運動によつて振幅の大きい
低周波振動が発生し易く、そこで振動を減衰させ
るための各種の試みが従来から成されている。

例えば実公昭62−45419号公報に開示される内
容は、クライオポンプを内部が真空域となる鏡体
に接続されたベローズを介して吊り下げるように
支持するとともに、鏡体内を真空にすることによ
り前記ベローズが受ける収縮を打ち消すための重
なり又はバネをクライオポンプの下部に取り付け
た構造となしている。

（考案が解決しようとする課題） しかしながら上記従来例は重り又はバネによつ
てベローズが常時下方に引つ張られているのでベ
ローズ内が排気されていないときに重り等は過負
荷源となり、従つてベローズの疲労が進み耐久性
に問題がある。

また、ベローズが無理に延ばされないようにす
るために限度以上にポンプを下降させないための
ストツパ構造が必要となり、さらに横揺れが生じ
易いので、これを防止するためにガイドレールも
必要であり、従つて複雑な構造となる欠点を有し
ている。

そこで本考案は簡易なかつコンパクトな構造で
しかも低周波振動の低減に顕著な効果を奏する汎
用機として好適なこの種装置を提供すべく成され
たものであつて、簡単なしかも小形の構造のベロ
ーズを追加することによつて、また必要に応じ真
空排気装置自体が持つ真空減圧系を利用すること
によつて振動発生時のみ確実に作用し得る防振装
置を考案するに至り、ベローズの耐久性向上をは
かりながら振動の減衰に著効を奏せしめ真空排気
装置に対する信頼性の向上を期することを目的と
する。

（課題を解決するための手段） しかして本考案は実施例を示す図面によつて明
らかなように、請求項１については防振体４を介
し床上に載置した架台３にタンク１を固定し、該
タンク１に対しその下方に位置させ取り付けた真
空排気通路を兼ねる第１ベローズ５を介して高真
空ポンプ２を吊るように支持してなる真空排気装
置において、前記高真空ポンプ２の下部とそれよ
りも下方の位置の床を含む支持体との間に亘らせ
第２ベローズ６を介設せしめるとともに、前記第
２ベローズ６内を真空排気させる排気手段７を設
けたことを特徴とする。

また、請求項２の考案は前記排気手段７とし
て、第１ベローズ５を含む真空排気通路と第２ベ
ローズ６との間に亘り接続した真空配管８を用い
ることを特徴とする。

（作用） 請求項１の考案は、第１ベローズ５が収縮を受
けようとするときに、第２ベローズ６がこれを打
消すように収縮を受ける結果、高真空ポンプ２は
中立位置に保たれて低周波振動を大巾に減衰し得
る。

また、第２ベローズ６は床等の支持体（固定部
材）と高真空ポンプ２との間に設けているので横
揺れ防止機能をも有する。

請求項２については第１ベローズ５と第２ベロ
ーズ６とを真空配管で連結するだけで良いので構
造は簡単である。

しかも通常は打消し作用を行わなく自由状態で
あつて、第１ベローズ５に過負荷を与えない。

（実施例） 実施例について図面を参照し説明すると、第１
図乃至第３図において、１はタンクであつて、オ
イルフリー構造の高真空ポンプ２として例示され
るクライオポンプ２により高真空度が保持される
が、このタンク１は架台３に取付けられ、一方、
前記架台３は防振体４を介し立設した４本の脚を
有して床上に載置されている。

この架台３に取付けられてなるタンク１の底部
には排気口（図示せず）が開口されていて、該排
気口に臨んで真空排気通路となる筒状のケーシン
グ１０が前記底部に直結接続されていて、さらに
ケーシング１０の下端部には、ステンレス製にな
る第１ベローズ５をその上端部により気密に接続
している。

そしてケーシング１０と第１ベローズ５とが形
成する内部の気密空間にクライオポンプ２が縦置
きに収納されていて、このクライオポンプ２の下
端部が第１ベローズ５の下端部に対し気密に固着
されており、かくしてクライオポンプ２は、真空
排気通路を兼ねる第１ベローズ５を介して実質的
に吊るようにケーシング１０に支持され、クライ
オポンプ２の振動は第１ベローズ５が伸縮するこ
とによつて架台３に対し大巾に減衰した状態で伝
播するよう形成している。

クライオポンプ２は周知の構造であつて、上部
から下部に至つてシエブロン１１、第１パネル１
２、第２パネル１３、シリンダ１４、冷凍機部１
５及び冷凍機部駆動機構１６を備えていて、前記
駆動機構１６の上端部で冷凍機部１５よりも大径
の端部と第１ベローズ５とを機械的・気密的に連
結せしめている。

かく構成することによつてシリンダ１４、前記
駆動機構１６が運転した際に発生する振動にうち
の低周波振動は第２ベローズ６により吸収され減
衰することは明らかであるが、図示例はさらに第
１ベローズ５と同種の第２ベローズ６を付設して
有しており、第１図図示のものは、第２ベローズ
６を低振動支持体である床面と前記駆動機構１６
の下部との間に亘らせて機械的、気発的に連結し
た状態で介設せしめている。

かくして、クライオポンプ２は第１ベローズ５
によつて吊られると共に、第２ベローズ６によつ
て下から支えられていて、この状態で振動発生時
には両ベローズ５，６の伸縮変化を同じ状態とな
るようにするものである。

そこで第２ベローズ６には排気手段７を接続せ
しめるが、この排気手段７としては第１図図示例
においては、両ベローズ５，６相互を接続する真
空配管８が利用される。

上記真空配管８としては可撓性を有して振動を
吸収し伝播しない材質のものが好ましく、例えば
普通多用されてなる鋼心入り可撓ホースで、膨
満・平坦の形状変化が生じ難く可撓性を有するも
のが好適なものとして挙げられる。

次に第２図に示した例は、第２ベローズ６を床
面でなく、架台３の脚先部間に渡した受台部分と
冷凍機部駆動機構１６の下部との間に亘らせ介設
し、一方、排気手段７としては第２ベローズ６と
クライオポンプ２の周りに位置する前記ケーシン
グ１０とを接続してなる真空配管８により形成し
た各点において第１図図示例と異なつている。

一方、第３図図示例は、前記両例に対して第１
ベローズ５とケーシング１０との上下位置関係が
異なつているが実質的にポンプ支持形態は同じも
のであり、また、第２ベローズ６を架台３に一体
させた設けた専用の補助架台１７に対し取り付け
ているが、これもまた、第２図図示例と実質的に
同じ構造である。

なお、この例は排気手段７として別途設けてな
りクライオポンプ２と同調運転させる真空ポンプ
１８の抽気口に一端を接続した真空配管の他端を
第２ベローズ６に接続した構造を有する。

以上述べた各例は、クライオポンプ２がピスト
ンの往復駆動に伴つて低周波振動を発生したとす
ると、第１ベローズ５が伸長、収縮を繰り返すの
に呼応して第２ベローズ６は同期的に伸長、収縮
を行うので、ベローズ相互が反撥し合う状態にな
り、かくして低周波振動（振幅大）の伝播を抑え
得る。

ここで、第１図、第２図に図示する例は、排気
手段７がクライオポンプ２自体による真空排気を
直接利用しているので、構造簡単であり、かつ同
調が簡単にとれる。

なお、各例において冷凍機部１５と圧縮機ユニ
ツトとの間のヘリウム配管系は図中省略してい
る。

（考案の効果） 請求項１の装置においては第２ベローズ６を追
加すると共に、該ベローズ６内の圧力を調整する
ための排気手段７を付設するだけでよいので構造
簡単である。

また、請求項１の装置においては第２ベローズ
６によつて高真空ポンプ２を下方から支えている
ので横揺れ防止にも充分な威力を発揮する。

請求項２の装置においては真空排気本体に備わ
つている装置の負圧を利用してしかも配管を追加
するだけで排気手段７を構成しているので、構造
はより簡単であつてコンパクト化が一層推進され
る利点がある。

さらに高真空ポンプ２を駆動したときのみ振動
を打ち消す作用をなすようにしているので、振動
を低減し得ると共に、第１ベローズ５に対し過負
荷を与えなく、かくして装置の長寿命化が果たさ
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本考案の各実施例に係る概
要示立面図である。 １……タンク、２……高真空ポンプ、３……架
台、４……防振体、５……第１ベローズ、６……
第２ベローズ、７……排気手段、８……真空配
管。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 防振体４を介し床上に載置した架台３にタン
   ク１を固定し、該タンク１に対しその下方に位
   置させ取り付けた真空排気通路を兼ねる第１ベ
   ローズ５を介して高真空ポンプ２を吊るように
   支持してなる真空排気装置において、前記高真
   空ポンプ２の下部とそれよりも下方の位置の床
   を含む支持体との間に亘らせ第２ベローズ６を
   介設せしめるとともに、前記第２ベローズ６内
   を真空排気させる排気手段７を設けたことを特
   徴とする低振動型真空排気装置。 ２ 排気手段７が第１ベローズ５を含む真空排気
   通路と第２ベローズ６との間に亘り接続した真
   空配管８である請求項１記載の低振動型真空排
   気装置。