JP2656799B2 - 制振用支持装置 - Google Patents
制振用支持装置Info
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- JP2656799B2 JP2656799B2 JP17238488A JP17238488A JP2656799B2 JP 2656799 B2 JP2656799 B2 JP 2656799B2 JP 17238488 A JP17238488 A JP 17238488A JP 17238488 A JP17238488 A JP 17238488A JP 2656799 B2 JP2656799 B2 JP 2656799B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、地震に起因する振動とか、自動車等に起因
して発生させる微振動などに起因する床やそれに載置さ
れる装置載置台の鉛直方向における振動を吸収ならびに
抑制する制振支持構造を構成する場合に用いられるもの
で、詳しくは、装置載置台を弾性支持する空気バネと、
その空気バネの内部空間内の圧力を調整する支持力制御
機構とから構成した制振用支持装置に関する。
して発生させる微振動などに起因する床やそれに載置さ
れる装置載置台の鉛直方向における振動を吸収ならびに
抑制する制振支持構造を構成する場合に用いられるもの
で、詳しくは、装置載置台を弾性支持する空気バネと、
その空気バネの内部空間内の圧力を調整する支持力制御
機構とから構成した制振用支持装置に関する。
＜従来の技術＞ LSI製造工場やレーザー応用製品工場などでは、微振
動によっても製品の不良発生を招くため、それらの振動
を抑制することが必要であり、従来では、第８図の一部
切欠概略全体正面図に示すように、製造装置を載置する
装置載置台01等と構造体の床等の支持体02との間の所定
箇所に、空気バネ03と、その空気バネ03の内部空間内の
圧力を調整する支持力制御機構04とから構成した制振用
支持装置0Aを介在し、空気バネ03により、所定の圧力で
もって装置載置台01を弾性支持し、振動による衝撃を緩
和するとともに微振動を効率良く吸収するようにしてい
た。
動によっても製品の不良発生を招くため、それらの振動
を抑制することが必要であり、従来では、第８図の一部
切欠概略全体正面図に示すように、製造装置を載置する
装置載置台01等と構造体の床等の支持体02との間の所定
箇所に、空気バネ03と、その空気バネ03の内部空間内の
圧力を調整する支持力制御機構04とから構成した制振用
支持装置0Aを介在し、空気バネ03により、所定の圧力で
もって装置載置台01を弾性支持し、振動による衝撃を緩
和するとともに微振動を効率良く吸収するようにしてい
た。
そして、上記支持力制御機構04を構成するのに、空気
バネ03にオリフィス05を介して連通接続されたエアータ
ンク06に、サーボ弁07を介してコンプレッサー08を連通
接続し、かつ、前記サーボ弁07に制御装置09を接続し、
装置載置台01に載置される装置の重量や振動センサ010
から感知される振動に応じてサーボ弁07の開度を調整
し、コンプレッサー08から所定量のエアーを供給し、空
気バネ03の内部空間内の圧力を変更して、静的な力およ
び動的な力のいずれをも空気圧により負担させ、装置載
置台01の振動を緩和するとともに抑制するようにしてい
た。
バネ03にオリフィス05を介して連通接続されたエアータ
ンク06に、サーボ弁07を介してコンプレッサー08を連通
接続し、かつ、前記サーボ弁07に制御装置09を接続し、
装置載置台01に載置される装置の重量や振動センサ010
から感知される振動に応じてサーボ弁07の開度を調整
し、コンプレッサー08から所定量のエアーを供給し、空
気バネ03の内部空間内の圧力を変更して、静的な力およ
び動的な力のいずれをも空気圧により負担させ、装置載
置台01の振動を緩和するとともに抑制するようにしてい
た。
＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、従来例の構成によれば、振動発生時の
応答性を高めるために、コンプレッサー08を常時運転
し、サーボ弁07を通じてエアーを常に排気していなけれ
ばならず、コンプレッサー08駆動のための電力消費量が
増大して不経済になる欠点があった。
応答性を高めるために、コンプレッサー08を常時運転
し、サーボ弁07を通じてエアーを常に排気していなけれ
ばならず、コンプレッサー08駆動のための電力消費量が
増大して不経済になる欠点があった。
また、コンプレッサー08の駆動に伴う騒音が常時発生
する欠点があり、更に、クリーンルーム内で製品を製造
する場合にあっては、排気されたエアーにより、常に周
囲に粉塵が撒き散らされているため、それらの粉塵が製
品に付着して不良品を発生しやすい欠点があった。
する欠点があり、更に、クリーンルーム内で製品を製造
する場合にあっては、排気されたエアーにより、常に周
囲に粉塵が撒き散らされているため、それらの粉塵が製
品に付着して不良品を発生しやすい欠点があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、ランニングコストを低減できて経済的に、かつ、
騒音や粉塵発生という環境面において有利に空気バネの
内部空間内の内圧を調整できるようにすることを目的と
する。
って、ランニングコストを低減できて経済的に、かつ、
騒音や粉塵発生という環境面において有利に空気バネの
内部空間内の内圧を調整できるようにすることを目的と
する。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明は、このような目的を達成するために、装置載
置台を弾性支持する空気バネと、その空気バネの内部空
間内の圧力を調整する支持力制御機構とから構成した制
振用支持装置において、前記支持力制御機構を、シリン
ダ内にピストンを摺動可能に設けるとともに、前記ピス
トンと前記シリンダの内周面とで形成される密閉空間と
前記空気バネの内部空間とを密閉状態で連通接続し、か
つ、前記ピストンを駆動摺動するリニアモータを設ける
とともに、前記ピストンの静的な力を受け止める補助支
持機構を付設して構成する。
置台を弾性支持する空気バネと、その空気バネの内部空
間内の圧力を調整する支持力制御機構とから構成した制
振用支持装置において、前記支持力制御機構を、シリン
ダ内にピストンを摺動可能に設けるとともに、前記ピス
トンと前記シリンダの内周面とで形成される密閉空間と
前記空気バネの内部空間とを密閉状態で連通接続し、か
つ、前記ピストンを駆動摺動するリニアモータを設ける
とともに、前記ピストンの静的な力を受け止める補助支
持機構を付設して構成する。
＜作用＞ 上記構成によれば、補助支持機構により静的な力を受
け止めさせて空気バネにより装置載置台を弾性的に支持
しながら、振動発生時には、リニアモータを作動するこ
とによってピストンを駆動摺動し、それにより、動的な
力を空気バネを介して装置載置台に付与し、装置載置台
の振動の緩和と制御とを行うことができる。
け止めさせて空気バネにより装置載置台を弾性的に支持
しながら、振動発生時には、リニアモータを作動するこ
とによってピストンを駆動摺動し、それにより、動的な
力を空気バネを介して装置載置台に付与し、装置載置台
の振動の緩和と制御とを行うことができる。
＜実施例＞ 次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
＜第１実施例＞ 第１図は、本発明に係る制振用支持装置の第１実施例
の一部切欠概略全体正面図、第２図は、第１図の要部の
一部切欠拡大図、第３図は、第２図のIII−III線矢視図
である。
の一部切欠概略全体正面図、第２図は、第１図の要部の
一部切欠拡大図、第３図は、第２図のIII−III線矢視図
である。
これらの図において、１は装置載置台を示し、この装
置載置台１に連結された連結部材２と、支持体としての
床3aに設置されたエアータンク３との間に空気バネ４が
設けられ、その空気バネ４とエアータンク３とがオリフ
ィス５を介して連通接続されている。
置載置台１に連結された連結部材２と、支持体としての
床3aに設置されたエアータンク３との間に空気バネ４が
設けられ、その空気バネ４とエアータンク３とがオリフ
ィス５を介して連通接続されている。
前記エアータンク３には、シリンダ６の内周面とその
シリンダ６に摺動可能に設けられたピストン７とによっ
て形成される密閉空間Ｓがエアー配管８を介して連通接
続されている。
シリンダ６に摺動可能に設けられたピストン７とによっ
て形成される密閉空間Ｓがエアー配管８を介して連通接
続されている。
前記ピストン７には、補助支持機構としての圧縮コイ
ルスプリング９が連動連結され、空気バネ４から伝達さ
れる静的な力を受け止めさせて装置載置台１を弾性的に
支持するように構成されている。
ルスプリング９が連動連結され、空気バネ４から伝達さ
れる静的な力を受け止めさせて装置載置台１を弾性的に
支持するように構成されている。
また、ピストン７にはボイスコイル型のリニアモータ
10が連動連結されるとともに、そのリニアモータ10に制
御装置11が接続され、装置載置台１に付設された鉛直方
向の振動センサ11aからの信号に応答して制御装置11か
らリニアモータ10に制御信号を出力し、装置載置台１が
振動したときにリニアモータ10を作動して動的な力を付
与し、装置載置台１が絶対的な静止状態を維持するよう
に床3aに対して変位させるように構成されている。この
動的な力を付与する構成と前述の静的な力を受け止めさ
せる圧縮コイルスプリング９とにより支持力制御機構が
構成されている。
10が連動連結されるとともに、そのリニアモータ10に制
御装置11が接続され、装置載置台１に付設された鉛直方
向の振動センサ11aからの信号に応答して制御装置11か
らリニアモータ10に制御信号を出力し、装置載置台１が
振動したときにリニアモータ10を作動して動的な力を付
与し、装置載置台１が絶対的な静止状態を維持するよう
に床3aに対して変位させるように構成されている。この
動的な力を付与する構成と前述の静的な力を受け止めさ
せる圧縮コイルスプリング９とにより支持力制御機構が
構成されている。
シリンダ６内の圧縮コイルスプリング９およびリニア
モータ10それぞれを設けたシリンダ６の底壁6aには、ピ
ストンの摺動に対する抵抗を低減する空気穴12…が形成
されている。
モータ10それぞれを設けたシリンダ６の底壁6aには、ピ
ストンの摺動に対する抵抗を低減する空気穴12…が形成
されている。
上述のようにして構成された制振用支持装置Ａは、第
４図の全体平面図および第５図の全体側面図それぞれに
示すように、装置載置台１の４隅それぞれにおいて、装
置載置台１と床3aとの間に設けられ、そして、図示して
いないが、所定箇所に集中して設けられたシリンダ６…
それぞれの内部空間Ｓと各エアータンク３…それぞれと
がエアー配管８を介して連通接続され、振動センサ11a
からの信号に応答した制御装置11からの制御信号により
リニアモータ10を作動し、所定の強さの動的な力を付与
し、装置載置台１の振動を抑制できるようになってい
る。
４図の全体平面図および第５図の全体側面図それぞれに
示すように、装置載置台１の４隅それぞれにおいて、装
置載置台１と床3aとの間に設けられ、そして、図示して
いないが、所定箇所に集中して設けられたシリンダ６…
それぞれの内部空間Ｓと各エアータンク３…それぞれと
がエアー配管８を介して連通接続され、振動センサ11a
からの信号に応答した制御装置11からの制御信号により
リニアモータ10を作動し、所定の強さの動的な力を付与
し、装置載置台１の振動を抑制できるようになってい
る。
＜第２実施例＞ 第６図は、第２実施例の要部の一部切欠拡大図、第７
図は、第６図のVII−VII線矢視図であり、リニアモータ
10を設けた側のシリンダ６の内部空間S1が密閉空間に形
成されるとともに、その密閉空間S1には、開閉弁13を介
してコンプレッサー14が連通接続され、密閉空間S1内に
所定量のエアーを供給した状態で開閉弁13を閉じること
により、空気バネ４からの静的な力を空気圧でもって受
け止めさせるように、補助支持機構が構成されている。
図は、第６図のVII−VII線矢視図であり、リニアモータ
10を設けた側のシリンダ６の内部空間S1が密閉空間に形
成されるとともに、その密閉空間S1には、開閉弁13を介
してコンプレッサー14が連通接続され、密閉空間S1内に
所定量のエアーを供給した状態で開閉弁13を閉じること
により、空気バネ４からの静的な力を空気圧でもって受
け止めさせるように、補助支持機構が構成されている。
この第２実施例の構成によれば、例えば、装置載置台
１上に載置される装置の重量が変動したような場合にあ
って、空気バネ４からの静的の力を受け止めさせるため
に必要な空気圧を容易に変更でき、また、設置初期にお
ける微調整をも容易に行うことができ、静的な力を受け
止めるための支持力を容易に調整できる利点を有してい
る。
１上に載置される装置の重量が変動したような場合にあ
って、空気バネ４からの静的の力を受け止めさせるため
に必要な空気圧を容易に変更でき、また、設置初期にお
ける微調整をも容易に行うことができ、静的な力を受け
止めるための支持力を容易に調整できる利点を有してい
る。
他の構成は、前述第１実施例と同じである。
＜発明の効果＞ 本発明の制振用支持装置によれば、振動発生に伴う動
的な力をリニアモータによるピストンの駆動摺動によっ
て負担させるから、たとえ、静的な力を受け止める補助
支持機構として、コンプレッサーからのエアー供給によ
る空気圧でもって負担させたとしても、所定の空気圧ま
でエアーを供給するときだけコンプレッサーを運転すれ
ば良く、全体として、ランニングコストを低減できて経
済性を向上できるようになった。
的な力をリニアモータによるピストンの駆動摺動によっ
て負担させるから、たとえ、静的な力を受け止める補助
支持機構として、コンプレッサーからのエアー供給によ
る空気圧でもって負担させたとしても、所定の空気圧ま
でエアーを供給するときだけコンプレッサーを運転すれ
ば良く、全体として、ランニングコストを低減できて経
済性を向上できるようになった。
また、コンプレッサーの常時運転に伴う騒音発生を軽
減できるとともにコンプレッサーに起因する粉塵の撒き
上げを回避できて作業環境を向上でき、かつ、クリーン
ルーム内で製品を製造するような場合でも、粉塵付着に
起因する不良品発生を低減できるようになった。
減できるとともにコンプレッサーに起因する粉塵の撒き
上げを回避できて作業環境を向上でき、かつ、クリーン
ルーム内で製品を製造するような場合でも、粉塵付着に
起因する不良品発生を低減できるようになった。
しかも、ピストンとシリンダの内周面とで形成される
密閉空間と空気バネの内部空間とを密閉状態で連通接続
するから、エアー配管を介在させることにより、装置載
置台から離れた任意の位置にリニアモータを設置するこ
とができ、装置載置台に載置された各種の制御機器に対
して、リニアモータで発生する磁気が悪影響を及ぼすこ
とを容易に回避でき、特別な磁気シールド構成を採用す
るといったことをせずに済み、構成的に高価になること
も無い。
密閉空間と空気バネの内部空間とを密閉状態で連通接続
するから、エアー配管を介在させることにより、装置載
置台から離れた任意の位置にリニアモータを設置するこ
とができ、装置載置台に載置された各種の制御機器に対
して、リニアモータで発生する磁気が悪影響を及ぼすこ
とを容易に回避でき、特別な磁気シールド構成を採用す
るといったことをせずに済み、構成的に高価になること
も無い。
図面は、本発明に係る制振用支持装置の実施例を示し、
第１図は、第１実施例の一部切欠概略全体正面図、第２
図は、第１図の要部の一部切欠拡大図、第３図は、第２
図のIII−III線矢視図、第４図は、制振用支持装置を適
用した制振支持構造の全体平面図、第５図はその全体正
面図、第６図は、第２実施例の要部の一部切欠拡大図、
第７図は、第６図のVII−VII線矢視図、第８図は、従来
例の一部切欠概略全体正面図である。 １……装置載置台 ４……空気バネ ６……シリンダ ７……ピストン ９……補助支持機構としての圧縮コイルスプリング 10……アクチュエータとしてのリニアモータ Ｓ……シリンダの密閉空間
第１図は、第１実施例の一部切欠概略全体正面図、第２
図は、第１図の要部の一部切欠拡大図、第３図は、第２
図のIII−III線矢視図、第４図は、制振用支持装置を適
用した制振支持構造の全体平面図、第５図はその全体正
面図、第６図は、第２実施例の要部の一部切欠拡大図、
第７図は、第６図のVII−VII線矢視図、第８図は、従来
例の一部切欠概略全体正面図である。 １……装置載置台 ４……空気バネ ６……シリンダ ７……ピストン ９……補助支持機構としての圧縮コイルスプリング 10……アクチュエータとしてのリニアモータ Ｓ……シリンダの密閉空間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片山 和喜 大阪府南河内郡美原町木材通３丁目１番 ８号 株式会社竹中工務店技術研究所大 阪支所内 (72)発明者 安田 正志 兵庫県尼崎市南塚口町５丁目17番43号 特許機器株式会社内 (72)発明者 森 淳彦 大阪府茨木市北春日丘１丁目１番33号 株式会社森技術研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−114011（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】装置載置台を弾性支持する空気バネと、 その空気バネの内部空間内の圧力を調整する支持力制御
機構とから構成した制振用支持装置において、 前記支持力制御機構を、 シリンダ内にピストンを摺動可能に設けるとともに、前
記ピストンと前記シリンダの内周面とで形成される密閉
空間と前記空気バネの内部空間とを密閉状態で連通接続
し、かつ、前記ピストンを駆動摺動するリニアモータを
設けるとともに、前記ピストンの静的な力を受け止める
補助支持機構を付設して構成したことを特徴とする制振
用支持装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17238488A JP2656799B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 制振用支持装置 |
| DE3921824A DE3921824A1 (de) | 1988-07-11 | 1989-07-03 | Daempfungssockel |
| US07/376,982 US5042784A (en) | 1988-07-11 | 1989-07-07 | Damping support structure |
| CA000605235A CA1304341C (en) | 1988-07-11 | 1989-07-10 | Damping support structure |
| KR1019890009825A KR930006503B1 (ko) | 1988-07-11 | 1989-07-11 | 진동 흡수 구조체 |
| NL8901778A NL191952C (nl) | 1988-07-11 | 1989-07-11 | Dempende steunconstructie. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17238488A JP2656799B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 制振用支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221310A JPH0221310A (ja) | 1990-01-24 |
| JP2656799B2 true JP2656799B2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=15940917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17238488A Expired - Lifetime JP2656799B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 制振用支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2656799B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3219198B2 (ja) * | 1990-09-18 | 2001-10-15 | 特許機器株式会社 | 空気ばね除振台又はマスダンパの制御方法とその装置 |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP17238488A patent/JP2656799B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0221310A (ja) | 1990-01-24 |
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Legal Events
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