KR930006503B1 - 진동 흡수 구조체 - Google Patents

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노부요시 무라이
가즈요시 가다야마
요시노리 다까하시
마사시 야스다
아쯔 히꼬 모리
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가부시끼가이샤 다께 나까 고무뎅
다께 나까 도이쯔
독꾜 기기 가부시끼가이샤
오까모도 고죠
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Abstract

내용 없음.

Description

진동 흡수 구조체
제1도는 진동 흡수 구조체 전체의 평면도.
제2도는 진동 흡수 구조체 전체의 정면도.
제3도는 진동 흡수 구조체의 측면도.
제4도는 제3도의 선 Ⅳ-Ⅳ를 따른 단면도.
제5도는 연직 방향의 진동 흡수 구성의 개념도.
제6도는 제3도의 선 Ⅵ-Ⅵ을 따른 단면도.
제7도는 주요부의 확대 정면도.
제8도는 제7도의 측면도.
제9도는 제7도의 선 Ⅸ-Ⅸ을 따른 단면도.
제10도는 수평방향의 진동 흡수 구성의 개념도.
제11도는 서보 밸브의 종단면도.
제12도는 전류와 유량과의 상대관계를 나타낸 그래프.
제13도는 오리피스 배관을 통해서 연이어 접속한 양 에어탱크 각각의 압력 변화를 나타낸 그래프.
제14도는 공기 공급장치의 다른 실시예를 나타낸 일부 절단 개략 정면도.
제15도는 제14도의 주요부의 부분 절단 확대도.
제16도는 제15도의 선 ⅩⅥ-ⅩⅥ을 따른 단면도.
제17도는 보조 지지구조의 변형예를 나타낸 주요부의 부분 절단 확대도.
제18도는 제17도의 선 ⅩⅧ-ⅩⅧ을 따른 단면도.
제19도는 측면도.
제20도는 개량예를 나타낸 부분 절단 개략 정면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 기둥 2 : 제1의 공기 스프링
3 : 지지부재 4 : 연결재
5 : 걸침대 6 : 장치 탑재대
7 : 연결부 8 : 에어탱크
9 : 오리피스 10 : 서보 밸브
12 : 진동 센서 16 : 제2의 공기 스프링
19 : 오리피스 관 24 : 솔레노이드
25 : 실린더 26 : 피스톤
34 : 리니어 모터
본 발명은 지진에 기인한 진동 및 자동차등에 기인해서 발생되는 미진동 등의 진동을 받는 LSI 제조공장 및 레이저 응용 제품 공장등에 있어서의 반도체 및 프린트 기판등 초정밀제품을 제조하는 제조장치를 탑재하기 위해 바닥 및 그것에 탑재되는 장치 탑재대가 수평 2차원 방향 및 연직 방향 직각으로 진동하는 것을 억제 흡수하는 진동 흡수 구조체에 관한 것이다.
LSI 제조공장 및 레이저 응용 제품 공장등에서는 이진동에 의해서도 제품의 불량을 초래하기 때문에 그들의 진동을 억제할 필요가 있고, 종래에는 제조장치를 탑재하는 장치 탑재대등과 구조체의 바닥등의 지지체와의 사이에 둘레방향 4개소에 각각 적층 고무와 공기 스프링 등의 완충 요소를 끼워 그것들의 완충으로 장치 탑재대를 탄성 지지하고 진동에 의한 충격을 완화하면서 공기 스프링에 의한 미진동을 효율좋게 흡수하도록 하고 그리고 스프링 요소와는 별개의 장소에 장치 탑재대와 지지체와의 사이에 리니어 모터등의 액츄에이터를 끼워서 장치탑재대의 진동에 따라 액츄에이터에 의해 제어력을 부여해서 장치탑재대의 진동을 억제하도록 구성하고 있다.
그러나 종래예의 구성에 따르면 진동에 의한 충격완화를 위해 스프링 요소와, 제어력 부여를 위한 액츄에이터가 서로 분리된 별개의 부재로 구성되어 있기 대문에 장치탑재대와 지지체 각가겡 조립하는데 많은 수고를 요하는 결점이 있고 또 장치탑재대와 지지체 사이에 다수의 부재를 설치하는 공간을 확보하지 않으면 안되어 진동 흡수구조 전체로서 대형화 되는 결점이 있었다.
본 발명의 목적은 지진에 기인하는 진동, 자동차등에 기인해서 발생되는 미진동등에 기인하는 바닥 및 그것에 탑재되는 장치탑재대의 수평 2차원 방향에 있어서의 진동을 콤팩트한 구성으로 완화 및 제어할 수 있도록 함과 동시에 연직방향에서 탄성 지지력 및 제어력을 장치탑재대에 유효하게 작용시켜서 연직방향에서의 진동을 콤팩트한 구성으로 양호하게 완화 및 제어할 수 있도록 하고 장치탑재대에로의 진동 전파를 전체가 콤팩트한 구성으로 양호하게 제어할 수 있도록 하고 다른 목적은 공기 스프링의 내부 공간내의 내압 조정을 경계적으로 하고 소음 및 분진 발생이라는 환경면에서도 유효하게 행할 수 있도록 한 것으로 또 다른 목적은 장치탑재대의 진동의 완화와 제어를 보다 양호하게 행할 수 있어서 장치탑재대의 형상에 관계없이 장치탑재대에 대한 지지력 및 제어력의 어느쪽도 유효하게 작용시킬 수 있도록 한 것이다.
본 발명의 진동 흡수구조는 고정부와, 장치탑재대와 고정부와 장치탑재대와의 사이에 끼워 장치되어 장치탑재대를 탄성 지지하는 공기 스프링을 갖춘 진동흡수 장치에서 고정부에서 연직 방향으로 팽창수축 가능한 제1의 공기 스프링을 끼워서 지지부재가 지지되고 그 지지부재에 장치탑재대가 수평방향으로 변위 가능하게 지지되면서 제1의 공기 스프링에 의한 지지 위치가 장치탑재대의 장치 탑재면 보다도 높게 위치되고 고정부와 장치탑재대와의 사이에 수평방향으로 팽창 수축 가능한 제2의 공기 스프링을 끼우고 제1 및 제2의 공기 스프링의 내부 공간 각각과 공기 공급장치가 연이어 통하게 접속되어 장치탑재대에 진동센서가 설치되어 진동 센서에 의한 검출 결과에 따라 장치탑재대의 진동을 없애도록 공기 공급장치에서 제1 및 제2의 공기 스프링의 내부 공간으로의 공기 공급량을 제어하는 제어 장치가 설치되어 구성되어 있다.
전술한 구성에 따르면 고정부와 지지부재 및 장치탑재대 각각과의 사이에 제1 및 제2의 공기 스프링을 끼움에 따라 제1 및 제2의 공기 스프링 각각에 의해 장치탑재대를 탄성 지지하고 그 수평 방향 및 연직방향 각각의 진동을 완화하면서 제1 및 제2의 공기 스프링의 내부 공간으로의 공기공급량을 제어함과 동시에 제1 및 제2의 공기 스프링을 통해서 장치탑재대로 제어력을 부여하며 장치탑재대의 진동의 완화와 제어를 행할 수 있다.
따라서 장치탑재대를 탄성 지지하는 공기 스프링을 이용하여 내부 공간으로의 공기 공급량을 제어함에 따라 장치탑재대에 제어력을 부여하기 때문에 제1 및 제2의 공기 스프링 및 액츄에이터 각각을 별개로 붙인 것이 비해 수고를 반감할 수 있고 그것들의 설치 공간이 작아서 진동 흡수 구조를 콤팩트하게 할 수있게 되었다.
특히 제1의 공기 스프링에 의한 지지 위치가 장치 탑재면 보다도 높게 위치하도록 지지부재에 장치탑재대를 걸침대를 끼워서 수평방향으로 변위 가능하게 지지하므로 장치탑재대에 각종 장치를 탑재한때에 그들 전체의 진동계의 중심 위치와 공기 스프링에 의한 지지위치와의 상하 방향에 있어서의 레벨을 서로 가깝게 할 수 있고 상하 방향에서 진동계 전체를 균형있게 지지할 수 있음과 동시에 제어력을 유효하게 작용시킬 수 있고 장치탑재대의 연직방향에서의 진동을 양호하게 완화 및 제어할 수 있도록 되었다.
제1도는 본 발명에 관한 진동 흡수 구조체 전체의 평면도, 제2도는 제1도의 전체 정면도, 제3도는 제1도의 측면도, 제4도는 제3도의 Ⅳ-Ⅳ선에서 본 단면도이다.
이들 도면에서 "1"은 바닥의 소정의 4개소에 세워 설정된 고정부로서의 기둥을 나타내고 고정부(1) 각각의 상부에 연직 방향으로 팽창 수축 가능한 제1의 공기 스프링(2)을 통해서 지지부재(3)가 부착 지지되어 있다.
4개의 지지부재(3)의 가운데 소정의 2개의 지지부재(3) 끼리 연결재(4)를 통해서 연결되고 그 지지부재(3) 및 연결재(4)에 제1의 공기 스프링(2)에 의한 지지 위치가 장치 탑재면(F)보다도 높게 위치하도록 걸침대(5)와 지지부재(3), 연결재(4) 및 장치탑재대(6) 각각과의 연결부(7)에는 한쪽에는 끝이 예리한 핀을 그리고 다른쪽에서 핀을 받는 곡면부를 갖추어서 구성되는 핀 조인트(도시않음)가 끼워지고 장치탑재대(6)가 수평 2차원 방향의 임의의 방향으로 변위할 수 있도록 구성되어 있다.
상기 고정부(1)와 제1의 공기 스프링(2)과의 사이에는 에어탱크(8)가 설치됨과 동시에 에어탱크(8)와 제1의 공기 스프링(2)의 내부 공간이 제5도의 진동 흡수 구성의 개념도에 나타난 것처럼 오리피스(9)를 통해서 연결 접속되고 또 에어탱크(8)에는 공기 공급장치로서의 콤프레서(11)가 서보 밸브(10)를 통해서 접속되고 장치탑재대(6)에 설치된 연직방향의 진동센서(12)에서의 신호에 응답해서 제어장치(13)에서 서보밸브(10)로 제어신호를 출력하고 장치탑재대(6)를 제1의 공기 스프링(2)에 의해 탄성적으로 지지해서 진동을 완화하면서 장치탑재대(6)가 진동했을 때 제1의 공기 스프링(2)을 팽창 또는 수축해서 장치탑재대(6)로 동적인 힘을 제어력으로서 부여하고 장치탑재대(6)가 절대적인 정지 상태를 유지하도록 고정부(1)에 대해 장치탑재대(6)를 연직방향으로 변위 시키도록 구성되어 있다.
또 제6도(제3도의 Ⅵ-Ⅵ선에서 본 도면), 제7도의 주요부의 확대 정면도, 제8도의 주요부의 측면도 및 제9도(제7도의 Ⅸ-Ⅸ선에서 본 도면)에 나타낸 것처럼 장치탑재대(6)에 한쌍의 로드(14)를 끼워서 고정체(15)가 부착되고 그 고정체(15)내에 수평방향으로 팽창수축 가능한 한쌍의 제2의 공기 스프링(16)이 설치되고 그리고 연결재(4)의 소정 장소에 고정볼트(4a)에 의해 한쌍의 에어탱크(17a)(17b)가 설치되고 에어탱크(17a)(17b) 각각과 제2의 공기 스프링(16) 각각의 내부 공간이 오리피스(18)를 통해서 연이어 접속되어 있다.
또 한쌍의 에어탱크(17a)(17b) 각각이 오리피스관(19)을 통해서 연이어 접속되고 또 제10도의 수평방향의 진동 흡수구성의 개념도에 나타낸 것처럼 그 한편의 에어탱크(17a)에만 서보밸브(20)를 통한 콤프레서가 연이어 접속되고 장치탑재대(6)에 설치된 수평방향의 진동센서(21)까지의 신호에 따라 제어장치(13)에서 서보밸브(20)로 제어신호를 출력하고 장치탑재대(6)의 수평방향의 변위를 제2의 공기 스프링(16)으로 탄성적으로 지지해서 진동을 완화하면서 장치탑재대(6)가 진동했을 때에 제2의 공기 스프링(16)을 팽창 또는 수축해서 장치탑재대(6)에 동적인 힘을 부여하고 장치탑재대(6)가 절대적인 장치 상태를 유지하도록 고정부(1)에 대해 장치탑재대(6)를 수평방향으로 변위시키도록 구성되어 있다.
장치탑재대(6)의 변위를 연직방향 및 수평방향 각각으로 제어하는 서보 밸브(10)(20) 각각은 제11도의 종단면도에 나타낸 것처럼 밸브(22)내에 콤프레서측 유로(R1), 에어탱크측 공기 공급 유로(R2) 및 배기측 유로(R3)를 형성하고 그 합류 장소에서 콤프레서측 유로(R1)에 대해 연이어 통하는 에어탱크측 공기 공급 유로(R2) 및 배기측 유로(R3) 각각의 유로 단면적을 변경하는 운동자(23)를 설치함과 동시에 운동자(23)를 전기적으로 구동 변위하는 솔레노이드(24)를 설치해서 구성되어 있다.
따라서 솔레노이드(24)에 흐르는 전류값을 조정하고 제12도의 전류와 유량과의 상관관계의 그래프에서 나타낸 것처럼 에어탱크(17a)를 통해서 제2의 공기 스프링(16)으로 공급하는 공기량을 리니어한 비례관계를 가지고 조정할 수 있도록 구성되어 있다.
장치탑재대(6)의 수평방향의 변위에 대한 제어하는 한쌍의 에어탱크(17a)(17b) 가운데 한쪽의 에어탱크(17a)에만 공기 공급하도록 구성됨과 동시에 양 에어탱크(17a)(17b)가 오리피스관(19)를 통해 연이어 접속되어 있고 한쪽의 에어탱크(17a)에 대한 공기 공급량을 변경함에 따라 에어탱크(17a)에서는 정압에 제어압이 작용하고 다른 에어탱크(17b)에서는 오리피스관(19)에 의한 제어압이 필터되어 정압만 작용하고 따라서 양 에어탱크(17a)(17b) 사이에서 압력차를 발생하는 것을 이용해서 그 압력차를 제어력으로서 장치탑재대(6)에 부여하도록 구성되어 있다.
다음에 상기 구성에 의하여 장치탑재대(6)에 대해 제어력을 부여할 수 있는 것을 확인하기 위해 실시한 시험에 대해 설명한다.
장치탑재대(6)에 대해 가하는 진동수를 변경하면서 한쪽 에어탱크(17a)에 대한 공급 기체량의 제어에 따른 압력변화(A로 나타냄)와 그에 대한 다른쪽 에어탱크(17b)의 내압 변화의 응답성을 조사한바, 제13도의 그래프로 표시된 결과를 얻었다.
한편 다른쪽 에어탱크(17b)의 내압변화로서는 오리피스 배관(19)의 직경이 4mm인 경우(B로 나타냄) 0.5mm인 경우(C로 나타냄) 및 0.3mm인 경우(D로 나타냄)의 각각에 대해 측정했다.
이 결과 진동수의 변화에 상관없이 거의 일정한 압력차(△p)를 유지하면서 응답하고 있으며 오리피스 배관(19)을 이용한 압력차에 의해 장치탑재대(6)를 충분히 제어할 수 있는 것이 명백하므로 본 발명을 실시하는데 적절하게 채용될 수 있는 것이었다.
또한 오리피스 배관(19)의 내부직경이 작을 수록 큰 압력차가 발생되는 것으로 적당한 오리피스배관(19)을 선택하여 사용하면 되는 것이 명백하였다.
제14도는 기체 공급장치의 다른 실시예를 도식적으로 나타낸 일부 단면 개략정면도, 제15도는 제14도의 요부의 일부단면 확대도, 제16도는 제15도의 ⅩⅥ-ⅩⅥ선을 따른 단면도이며, 실린더(25)내에 피스톤(26)이 미끄러져 움직일 수 있도록 설치되어 있으며, 그 피스톤(25)에 보이스 코일형의 리니어 모터(27)가 연동되도록 연결되어 있으며 실린더(25)의 안쪽 둘레면과 피스톤(26)으로 형성된 밀폐 공간(S)과 에어탱크(8)가 에어배관(28)을 통해 밀폐 상태에서 연결되어 있고 피스톤(26)을 구동시킴으로써 에어탱크(8)에게 보내는 기체공급량을 조정하여 제1의 공기 스프링(2)의 내압을 조정하도록 구성되어 있다.
피스톤(26)에는 보조 지지기구로서 압축코일 스프링(29)이 연동 연결되어 제1의 공기 스프링(2)으로부터 전달되는 정적인 힘을 떠받침으로써 장치탑재대(6)를 탄성적으로 지지하도록 구성되어 있다.
그리고 장치탑재대(6)에 부착된 연직방향의 진동센서(12)로부터의 신호에 응답하여 제어장치(13)로부터 리니어 모터(27)에 제어신호를 출력하고 장치탑재대(6)가 연직방향으로 진동되면 리니어 모터(27)를 작동시켜 동적인 힘을 부여함으로써 장치탑재대(6)의 연직방향의 진동을 소멸시키도록 다시 말하면 장치탑재대(6)가 연직방향에 있어서 절대적인 정지상태를 유지하도록 바닥 W에 대해 변위시키도록 구성되어 있다.
압축 코일 스프링(29) 및 리니어 모터(27)가 설치된 실린더(25)의 바닥벽(25a)에는 피스톤(26)의 미끄러져 움직임에 대한 저항을 감소시키는 공기구멍(30)이 설치되어 있다.
도시되지 않았지만 동일한 구성이 실린더(25)가 소정의 장소에 집중적으로 설치되고 이들 실린더(25)와 각각 내부 공간(S)과 에어탱크(8)가 연결되어 있다.
또한 각가 에어탱크(17a)에 대해서도 상기와 같은 각각 실린더(25)의 내부공간(S)이 연결되어 있고, 수평방향의 진동센서(21)로부터의 신호에 응답하여 제어장치(13)로부터 리니어 모터(27)에 제어신호를 출력하고 장치탑재대(6)가 수평방향으로 진동되면 리니어 모터(27)를 작동시켜 동적인 힘을 부여함으로써 장치탑재대(6)의 수평방향의 진동을 소멸시키도록 다시말하면 장치탑재대(6)가 수평방향에 있어서, 절대적인 정지상태를 유지하도록 바닥(W)에 대해 변위시키도록 구성되어 있다.
이와 같이 구성됨으로써 장치탑재대(6)가 연직방향 및 수평방향의 어느방향으로 진동되더라도, 리니어 모터(27)의 작동량이 조정되어 제1 및 제2의 공기스프링(2)(16)의 각각 내부공간에 대한 기체 공급량이 제어됨으로써 제1 및 제2의 공기스프링(2)(16)의 내압이 조정되어 장치탑재대(6)가 절대적인 정지상태를 유지하도록 제어되므로 전술한 실시예처럼 콤프레서(11)를 항상 구동시키고 서보밸브(10)를 통해 항상 배기시키는 구성에 비해 다음과 같은 잇점이 있다.
① 전력 소비량이 적고 유지비가 감소되며 상시구동 및 배기에 따른 소음이나 먼지, 티끌등을 방지할 수 있으므로 작업환경이 향상된다.
② 클린룸(clean room)내에서 제품을 제조하는 경우에도 먼지, 티끌의 부착으로 인한 불량품의 발생이 감소된다.
③ 에어배관(28)을 통해 연결되어 있음으로써 장치탑재대(6)와 떨어진 임의의 장소에 리니어 모터(27)를 설치할 수 있기 때문에 장치탑재대(6)에 탑재된 각종 제어기기에게 리니어 모터(27)에서 발생되는 자기가 악영향을 미치는 것을 용이하게 피할 수 있으며 특별한 자기 차폐물 구성을 채용하지 않아도 된다.
제17도는 보조 지지기구의 변형예를 나타낸 요부의 일부 단면 확대도, 제18도는 제17도의 ⅩⅧ-ⅩⅧ선으로부터 본 도면이다.
리니어모터(27)가 설치된 쪽의 실린더(25)의 내부공간(S1)이 밀폐공간으로 형성되고 그 밀폐공간(S1)에는 개폐밸브(31)를 끼워서 콤프레서(32)가 연결되고 밀폐공간(S1)에 소정량의 에어를 공급한 상태에서 개폐밸브(31)를 닫음으로서 제1 및 제2의 공기 스프링(2)(16)으로부터의 정적인 힘을 공기압에 의해 떠 받치도록 구성되어 있다.
상기 구성에 따르면 예를들어 장치탑재대(6)에 탑재된 장치중량이 변화된 경우에 있어서도 제1 및 제2의 공기스프링(2)(16)으로부터의 정적인 힘을 떠 받치는데 필요한 공기압을 용이하게 변경할 수 있으며 또한 설치초기에 있어서 미세조정도 용이하게 할 수 있고 정적인 힘을 떠받치기 위한 지지력을 용이하게 조정할 수 있다는 잇점을 가지고 있다.
전술한 리니어 모터(27)로 피스톤(26)을 작동시켜 제1 및 제2의 공기스프링(2)(16)의 내부공간에 대한 기체 공급량을 제어하는 구성은 전술한 바와 같은 지지부재(3)를 끼워서 지지하는 경우에 제한되지 않고 제19도의 측면도에 나타내 것처럼 에어탱크(8)위의 공기 스프링(2)위에 직접 장치탑재대(6)를 설치하는 경우에도 이용될 수 있다.
제20도는 개량예를 나타낸 일부 단면 개략 정면도이며, 장치탑재대(6)쪽의 지지부재(3)에 연결된 연결부재(33)와 바닥(W)위에 설치된 에어탱크(8)와의 사이에 제1의 공기 스프링(2)이 설치되어 있고 그 제1의 공기 스프링(2)과 에어탱크(8)가 오리피스(9)를 통해 연결되어 있다.
에어탱크(8)내에는 액츄에이터로서의 보이스 코일형 리니어모터(34)가 설치되어 있고 그 리니어모터(34)와 연결부재(33)가 오리프스(9)를 통과한 연결재(35)를 끼워서 연결되어 있다.
에어탱크(8)에는 전술한 실시예와 마찬가지로 서보밸브(10)를 끼워서 콤프레서(11)가 연결되어 있다.
그리고 연직방향의 진동센서(12)로부터의 신호에 응답되어 제어장치(13)로부터 서보밸브(10) 및 리니어모터(34)에 각각 제어신호를 출력시켜서 장치탑재대(6)가 진동되었을 때 서보밸브(10)의 열린 정도를 조정함으로서 제1의 공기스프링(2)의 내부공간에 대한 기체 공급량을 제어하고 리니어 모터(34)를 작동시켜 장치탑재대(6)에 동적인 힘을 부여함으로써 장치탑재대(6)가 절대적인 정지상태를 유지할 수 있도록 바닥(W)에 대해 변위시키도록 구성되어 있다.
이와 같은 구성에 따르면 리니어 모터(34)가 에어탱크(8)내에 내장됨과 동시에 장치탑재대(6)에 부착시키는 연결부재(33)가 공용되므로 제1의 공기스프링(2)과 리니어 모터(34)를 각각 별도로 부착시키는 것에 비해 부착작업이 간단해지고 이들의 설치 공간이 작게되어 진동흡수 구조체를 콤팩트하게 구성할 수 있는 잇점이 있으며 또한 장치탑재대(6)의 진동 완화와 제어를 하나의 연결부재(33)를 통해 실시하기 때문에 직사각형인 장치탑재대(6)에 부착시킬 때 장치탑재대(6)의 진동 완화와 제어를 둘다 장치탑재대(6)의 4개 구석부분에 작용시키는 것처럼 장치탑재대(6)의 모양에 상관없이 장치탑재대(6)에 대해 지지력 및 제어력을 둘다 유효적으로 작용시킬 수 있는 잇점을 가지고 있다.
이러한 동적인 힘을 부여하는 액츄에이터로서 전술한 바와 같이 리니어모터(34)를 사용하면 응답성이 좋은 잇점이 있는데 리니어모터(34)를 대신하여 유압 실린더를 사용해도 지장이 없다.

Claims (4)

  1. 고정부(1)와, 장치탑재대(6)와, 상기 고정부(1)와 상기 자이탑재대(6)와의 사이에 개재되어 상기 장치탑재대(6)를 탄성 지지하는 공기 스프링을 구비한 진동 흡수구조체에 있어서, 상기 고정부(1)에 연직방향으로 팽창 수축 가능한 제1의 공기 스프링(2)을 끼워서 지지부재(3)가 지지되어 있고, 이 지지부재(3)에 상기 장치탑재대(6)가 걸침대(5)에 의하여 수평방향으로 변위가능하게 지지되어 있고, 상기 제1의 공기 스프링(2)에 의한 지지위치가 장치탑재대(6)의 장치탑재면(F)보다 높게 위치되어 있고, 상기 고정부(1)와 상기 장치탑재대(6)와의 사이에 수평방향으로 팽창수축 가능한 제2의 공기 스프링(16)이 개재되고, 또한 상기 제1 및 제2의 공기 스프링(2)(16)의 각 내부공간과 기체 공급장치(11)(25)(27)(29)가 연통접속 되어 있고, 상기 장치탑재대(6)에 진동센서(12)가 부착되어 있고, 상기 진동센서(12)에 의한 검출결과에 의거하여 상기 장치탑재대(6)의 진동이 소멸되도록 상기 기체 공급장치(11)(25)(27)(29)로부터 상기 제1 및 제2의 공기 스프링(2)(16)의 내부 공간에 보내는 기체 공급량을 제어하는 제어장치(13)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 흡수 구조체.
  2. 제1항에 있어서, 기체 공급장치는 콤프레서(11)인 것을 특징으로 하는 진동 흡수 구조체.
  3. 제1항에 있어서, 기체공급장치는 피스톤(26)이 미끄러져 움직일 수 있도록 설치된 실린더와, 상기 피스톤(26)을 구동시키는 리니어 모터(27)와, 상기 피스톤(26)의 정적인 힘을 떠받치는 보조 지지기구(29)로 구성되어 있으며, 상기 피스톤(26)과 상기 실린더(25)의 안쪽 둘레면으로 형성된 밀폐공간(5)과 상기 공기스프링(2)의 내부 공간이 밀폐 상태에서 연통 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 흡수 구조체.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 장치탑재대(6)에 연결부재(33)가 연결되어 있는 한편 고정부(1)에 에어탱크(8)가 설치되어 있고, 상기 연결부재(33)와 상기 에어탱크(8)와의 사이에 공기 스프링(2)이 개재되어 있음과 동시에 공기 스프링(2)과 상기 에어탱크(8)가 오리피스(9)를 통해 연통 접속되어 있고, 상기 에어탱크(8)내에 액츄에이터(34)가 설치되어 있음과 동시에 액츄에이터(34)와 상기 연결부재(33)가 상기 오리피스(9)를 통과한 연결재(35)를 개재하여 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 흡수 구조체.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2249189B (en) * 1990-10-05 1994-07-27 Canon Kk Exposure apparatus
GB9104190D0 (en) * 1991-02-28 1991-06-12 Westland Helicopters Strut assemblies
US5379980A (en) * 1991-12-23 1995-01-10 Newport Corporation Stabilization systems for vibration isolators
US5285995A (en) * 1992-05-14 1994-02-15 Aura Systems, Inc. Optical table active leveling and vibration cancellation system
DE4233212B4 (de) * 1992-10-02 2006-04-20 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Federsystem
JP3200282B2 (ja) 1993-07-21 2001-08-20 キヤノン株式会社 処理システム及びこれを用いたデバイス製造方法
US6791098B2 (en) 1994-01-27 2004-09-14 Cymer, Inc. Multi-input, multi-output motion control for lithography system
US6959484B1 (en) 1994-01-27 2005-11-01 Cymer, Inc. System for vibration control
DE69631362T2 (de) * 1995-10-04 2004-11-04 Ebara Corp. Vorrichtung zur Schwingungsdämpfung
JP3337906B2 (ja) * 1996-04-02 2002-10-28 キヤノン株式会社 空圧式振動絶縁除去装置、投影露光装置及びこれを用いたデバイス製造方法
JP3769326B2 (ja) * 1996-07-15 2006-04-26 東洋ゴム工業株式会社 アクティブ型除振装置
US5802966A (en) * 1996-08-05 1998-09-08 The Minster Machine Company Dual mount control system
US6547225B1 (en) 2001-04-17 2003-04-15 Technical Manufacturing Corporation Pneumatic isolator with barometric insensitivity
US6926263B1 (en) 2001-04-17 2005-08-09 Technical Manufacturing Corporation High center of gravity stable pneumatic isolator
KR100475906B1 (ko) 2001-10-19 2005-03-10 현대자동차주식회사 에어서스펜션 차량의 롤 스태빌라이저 장치
AU2009268495B2 (en) * 2008-07-09 2014-04-17 Firestone Industrial Products Company, Llc Gas spring and gas damper assembly and method
EP2310716B1 (en) * 2008-07-09 2018-05-30 Firestone Industrial Products Company, LLC Gas spring and gas damper assembly and method

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4946065A (ko) * 1972-09-11 1974-05-02
US3889936A (en) * 1974-04-12 1975-06-17 Wright Barry Corp Combined air mounts
US3917201A (en) * 1974-11-07 1975-11-04 Ehrenreich Photo Optical Ind Vibration isolated table with improved mounts
DE2604809C3 (de) * 1976-02-07 1980-02-28 Bayerische Motoren Werke Ag, 8000 Muenchen Federung mit selbsttätig veränderbarer Federrate für Kraftfahrzeuge, insbesondere Personenkraftwagen
US4546960A (en) * 1983-06-20 1985-10-15 Gould Inc. Vibration isolation assembly
JPS60168933A (ja) * 1984-02-09 1985-09-02 Bridgestone Corp 防振架台
US4735296A (en) * 1985-03-13 1988-04-05 The Boeing Company Active vibration stabilizer and isolator
US4713714A (en) * 1985-11-26 1987-12-15 Motorola Computer Systems, Inc. Computer peripheral shock mount for limiting motion-induced errors
US4730541A (en) * 1986-06-03 1988-03-15 Technical Manufacturing Corporation Non contacting electro-pneumatic servo for vibration isolation
US4795123A (en) * 1987-05-14 1989-01-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Wideband electromagnetic damping of vibrating structures

Also Published As

Publication number Publication date
CA1304341C (en) 1992-06-30
NL191952B (nl) 1996-07-01
NL8901778A (nl) 1990-02-01
KR900002004A (ko) 1990-02-28
DE3921824A1 (de) 1990-04-19
NL191952C (nl) 1996-11-04
DE3921824C2 (ko) 1991-12-19
US5042784A (en) 1991-08-27

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