EP1798417A2 - Vakuumpumpe - Google Patents

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EP1798417A2
EP1798417A2 EP06023139A EP06023139A EP1798417A2 EP 1798417 A2 EP1798417 A2 EP 1798417A2 EP 06023139 A EP06023139 A EP 06023139A EP 06023139 A EP06023139 A EP 06023139A EP 1798417 A2 EP1798417 A2 EP 1798417A2
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EP
European Patent Office
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vacuum pump
components
housing
pump according
housing component
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EP06023139A
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EP1798417B1 (de
EP1798417A3 (de
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Bernhard Tatzber
Robert Watz
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps

Definitions

  • the invention relates to a vacuum pump with a high-speed rotor, with mounted on this pump-active components, with a stator and mounted on this pump-active components and with a first and a second housing component.
  • Vacuum pumps in general and those with fast-rotating components in particular are made up of several housing components. These are housing components sit together and must be connected together.
  • the prior art teaches for this purpose the use of screws which are pushed through holes in a first housing part and engage in threads which are provided in a second housing part.
  • the number of screws is determined by the size and weights of the housing components. Furthermore, the number is determined by safety considerations, because just by the use of high-speed components, a high kinetic energy in the operation of the pump is available, which is released in case of malfunction. This release of energy must under no circumstances lead to a loosening of the connection between the housing components.
  • a disadvantage of this prior art is that especially with vacuum pumps with fast-rotating components and large dimensions, a large number of screws is necessary to ensure the secure connection. This increases the cost of manufacturing, both on the material side and in the assembly time. This assembly time is disadvantageous even when servicing the vacuum pump. Long service times lead to long downtimes and thus cause high costs for the customer.
  • the object is therefore to provide a connection between housing components, which is simpler and less expensive and thereby has a higher security in case of malfunction.
  • the design of the housing components in such a way that overlapping structures are present, represents a positive connection of the housing components.
  • This provides a high degree of safety with freeing of the kinetic energy in case of failure.
  • the safety is increased in particular compared to the non-positive connection of the prior art.
  • the assembly and disassembly is greatly facilitated because no variety of holes and threads is provided and no variety of screw must be solved.
  • Another advantage results from influencing the size of the housing surfaces, which touch each other at the connection point. As a result, the heat transfer between the housing components can be adjusted specifically.
  • the overlapping structures have the shape of a multi-thread.
  • the advantage is the ease of manufacture, which can be miterwickigt in the context of the already necessary processing of the housing component.
  • the assembly is very simple, since the housing components are detachably connected by a short rotation. This variant has Many touching surfaces on both housing components, so that the heat transfer is particularly good.
  • Another advantage is that in case of a crash, in which the kinetic energy of the rotor is delivered to the stator, it can be used to a twist in the closing direction of the thread. By forming the threads so kinetic energy can be selectively reduced, which increases the overall safety.
  • closed annular or closed cylindrical housing components facilitates the production, since such housing components are rotationally symmetrical. In addition, no gaps to be sealed occur in the longitudinal direction of the vacuum pump.
  • claim 5 proposes to provide an elastomeric seal at the junction between the housing components.
  • connection of the housing components is done by a combination of rotation and axial movement, the fuse is sufficient against rotation to prevent inadvertent release of the connection.
  • securing means for securing against the rotating movement.
  • the advantage is that a backup against rotation is easier to accomplish, since there are less forces in this direction.
  • These securing means may be, for example, screws or pins.
  • the first figure shows a first example of a vacuum pump 1 designed according to the invention.
  • This vacuum pump has a rotor 2, which consists of a shaft 3 and pump-active components 4.
  • the pumping effect is due to the rapid rotation of the rotor in cooperation with a stator 9, which also has pump-active components 5.
  • These components 5 rest and are held by spacers 6 at a distance from each other.
  • the pump-active components on the rotor and stator are often designed as blade disks.
  • the shaft 3 is rotatably supported by bearings 7 and rotated by a drive 8 in rotation.
  • the storage and drive means are arranged in a housing part 11.
  • the housing of the vacuum pump has two further parts, wherein all parts are connected to one another at a connection point 13.
  • FIG. 2a is a perspective view of the housing parts 11 and the two other parts 10 and 12. Also shown are the structures 16, here realized as elevations on the parts 11 and 12.
  • Figure 2b shows a partial section in the radial direction through the connection point 13.
  • a securing means provides a plurality of screws 18, which are designed for example as a pressure screws, ensure that the housing components can not rotate against each other. It may be useful, instead of pressure screws to perform a pinning, for example by the screws dive for a portion of their axial length in holes. As a result, a security against rotation is achieved even with high force on the securing point.
  • 18 positive locking means can be used instead of the screws.
  • the housing components 10 and 11 are provided at the junction with such overlapping structures 14 and 16 that a locking of the components is given against movement in the axial direction only.
  • the first housing member 10 is formed in this first example so as to surround a larger diameter portion of the housing part 12.
  • a seal 17 is provided, for example, a sealing ring made of an elastomer.
  • the third figure shows the connection point of the housing components in a second embodiment.
  • the joint is in perspective, in part b) shown in radial section.
  • the first housing component 10 is cylindrically shaped here.
  • This variant is advantageous in terms of dimensions and component manufacture over the first.
  • screws 18 prevent the rotation of the housing components to each other.
  • the screws 18 protrude into bores of the housing component 12.
  • This has the advantageous effect that a positive-locking arrangement is achieved, whereby the security against rotation of the housing components is increased against each other.
  • the screw has to be disassembled, which dissipates energy. It is also conceivable to use instead of screws pins.
  • FIG 4 An even more favorable example is shown in Figure 4, again shown in perspective in part a) and in the radial section in part b).
  • the housing member 10 can accommodate the stator of the vacuum pump, while in the housing member 11, the bearing and drive means are arranged. Between the components 10 and 11, in turn, a seal 17 is provided.
  • Elevations 16 are arranged on the first housing part 10. These are elongated and inclined relative to the axial direction. Recesses 14 are provided on the second hull part 11, which also have tapered sections 15, ie the width of the depression in the circumferential direction starts at a value A and decreases to a smaller value B. This is beneficial for the above described safety function.
  • the elevations 16 are inserted by a combined movement of rotation and pushing only in the first portion of the wells.
  • This structure largely corresponds to a multi-start thread. In the case of a crash of stator and rotor rotational energy is transferred to the component 11. In the figure, this rotational energy would cause the component 11 to move to the right.
  • the elevations 16 are further inserted and reach the tapered sections 15, so that rotational energy is dissipated.
  • coatings and other surface treatments may be provided which affect the sliding of the protrusions in the recesses. For example, the coefficient of friction can be increased.
  • FIG. 6 Another variant of the overlapping structures is shown in FIG. 6.
  • the elevations 16 are formed here as a radially inwardly projecting cylinder.
  • recesses 14 which are designed as angled channels, which in turn have tapered sections 15 at the end, i. the width of the recess in the circumferential direction starts at a value A and decreases to a smaller value B.
  • the housing parts are first inserted into each other in the axial direction and then rotated against each other. This structure corresponds to a bayonet closure.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (1) mit einem schnelldrehenden Rotor (2), mit auf diesem angebrachten pumpaktiven Bauteilen (4), mit einem Stator (9) und auf diesem angebrachten pumpaktiven Bauteilen (5) und mit einem ersten (10) und einem zweiten (11) Gehäusebauteil. Um die Montage und Demontage zu vereinfachen und Herstellkosten zu senken wird vorgeschlagen, das erste und das zweite Gehäusebauteil an ihrer Verbindungsstelle (13) mit sich derart überlappende Strukturen (14,16) zu versehen, dass eine Verriegelung der Bauteile gegen eine Bewegung in lediglich axialer Richtung gegeben ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem schnelldrehenden Rotor, mit auf diesem angebrachten pumpaktiven Bauteilen, mit einem Stator und auf diesem angebrachten pumpaktiven Bauteilen und mit einem ersten und einem zweiten Gehäusebauteil.
  • Vakuumpumpen allgemein und solche mit schnelldrehenden Bauteilen im Speziellen sind aus mehreren Gehäusebauteilen aufgebaut. Diese sind Gehäusebauteile sitzen aneinander und müssen miteinander verbunden werden. Der Stand der Technik lehrt hierfür den Einsatz von Schrauben, die durch Bohrungen in einem ersten Gehäuseteil geschoben werden und in Gewinde greifen, die in einem zweiten Gehäuseteil vorgesehen sind. Die Anzahl der Schrauben bemisst sich nach der Größe und den Gewichten der Gehäusebauteile. Weiterhin wird die Anzahl durch Sicherheitserwägungen bestimmt, denn gerade durch den Einsatz von schnelldrehenden Bauteilen ist eine hohe kinetische Energie beim Betrieb der Pumpe vorhanden, die im Falle einer Fehlfunktion frei wird. Dieses Freiwerden der Energie darf keinesfalls zu einem Lösen der Verbindung zwischen den Gehäusebauteilen führen.
  • Nachteilig an diesem Stand der Technik ist, dass gerade bei Vakuumpumpen mit schnelldrehenden Bauteilen und großen Abmessungen eine Vielzahl von Schrauben notwendig ist, um die sichere Verbindung zu gewährleisten. Dies erhöht die Kosten bei Herstellung, sowohl auf Materialseite als auch bei der Montagezeit. Diese Montagezeit fällt nachteilig auch beim Service der Vakuumpumpe an. Lange Servicezeiten führen zu langen Ausfallzeiten und verursachen damit hohe Kosten beim Kunden.
  • Die Aufgabe ist es daher, eine Verbindung zwischen Gehäusebauteilen zu schaffen, die einfacher und kostengünstiger ist und dabei eine höhere Sicherheit im Falle einer Fehlfunktion aufweist.
  • Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des ersten Patentanspruches. Erfindungsgemäß werden an der Verbindungsstelle zwischen erstem und zweitem Gehäusebauteil sich derart überlappende Strukturen vorgesehen, dass eine Verriegelung der Bauteile gegen eine Bewegung in lediglich axialer Richtung gegeben ist.
  • Die Ausbildung der Gehäusebauteile derart, dass überlappende Strukturen vorhanden sind, stellt eine formschlüssige Verbindung der Gehäusebauteile dar. Dadurch ist ein hohes Maß an Sicherheit bei Freiwerden der kinetischen Energie im Fehlerfalle gegeben. Die Sicherheit ist insbesondere gegenüber der kraftschlüssigen Verbindung des Standes der Technik erhöht. Die Montage und Demontage wird erheblich erleichtert, da keine Vielzahl von Bohrungen und Gewinden vorzusehen ist und keine Vielzahl von Schraubverbindungen gelöst werden muss. Ein weiterer Vorteil ergibt sich durch die Beeinflußung der Größe der Gehäuseflächen, die sich an der Verbindungsstelle berühren. Hierdurch kann der Wärmeübergang zwischen den Gehäusebauteilen gezielt eingestellt werden.
  • Die kennzeichnenden Merkmal der Ansprüche 2 bis 9 stellen vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung dar.
  • Nach Anspruch 2 besitzen die überlappenden Strukturen die Gestalt eines mehrgängigen Gewindes. Der Vorteil ist die einfache Herstellbarkeit, die im Rahmen der ohnehin notwendigen Bearbeitung des Gehäusebauteils miterledigt werden kann. Außerdem ist die Montage sehr einfach, da die Gehäusebauteile durch eine kurze Drehung lösbar miteinander verbunden werden. Diese Variante besitzt viele sich berührende Flächen an beiden Gehäusebauteile, so dass der Wärmeübergang besonders gut ist. Ein weiterer Vorteil ist, dass im Falle eines Crashes, bei dem die kinetische Energie des Rotors an den Stator abgegeben wird, diese zu einer Verdrehung in Schließrichtung des Gewindes genutzt werden kann. Durch Formung der Gewindegänge kann so kinetische Energie gezielt abgebaut werden, wodurch insgesamt die Sicherheit erhöht wird.
  • Die Weiterbildung nach Anspruch 3 hingegen ist dann von Vorteil, wenn ein geringerer Wärmeübergang zwischen den Bauteilen gewünscht wird.
  • Die Verwendung von geschlossen ringförmigen oder geschlossen zylindrischen Gehäusebauteilen nach Anspruch 4 erleichtert die Herstellung, da solche Gehäusebauteile rotationssymmetrisch sind. Außerdem treten keine abzudichtende Spalte in Längsrichtung der Vakuumpumpe auf.
  • Um die Vakuumdichtheit der Anordnung zu erhöhen, schlägt Anspruch 5 vor, eine elastomere Dichtung an der Verbindungsstelle zwischen den Gehäusebauteilen vorzusehen.
  • Da das Verbinden der Gehäusebauteile durch eine Kombination aus Drehung und axialer Bewegung geschieht, reicht die Sicherung gegen Verdrehen aus, um ein unbeabsichtiges Lösen der Verbindung zu verhindern. Hierzu schlägt Anspruch 6 Sicherungsmittel zur Sicherung gegen die drehende Bewegung vor. Der Vorteil ist, dass eine Sicherung gegen Drehung leichter zu bewerkstelligen ist, da geringere Kräfte in dieser Richtung vorliegen. Diese Sicherungsmittel können beispielsweise Schrauben oder Stifte sein.
  • Die Weiterbildung nach Anspruch 7 befasst sich, ebenso wie die nach Anspruch 8, mit der Wärmebilanz der Vakuumpumpe. Sowohl im Stator als auch im Antrieb wird Verlustwärme erzeugt, die es abzuführen gilt. Es kann andererseits sogar erwünscht sein, Antriebswärme zu nutzen, um den Stator zu erwärmen, damit sich dort keine Reaktionsprodukte ablagern. Die Verbindungsstelle von dem jeweils den Stator oder den Antriebs- und Lagerbereich beinhaltenden Gehäusebauteil zu einem nächsten Gehäusebauteil ist für die Wärmebehandlung von hoher Bedeutung, hier lässt sich die Erfindung vorteilhaft nutzen.
  • Durch die Weiterbildung nach Anspruch 9 wird zum einen die Dichtheit aufgrund der labyrinthartigen Anordnung erhöht, zum anderen verbessern sich Wärmeübergang und Sicherheit.
  • Anhand einiger Ausführungsbeispiele soll die Erfindung näher erläutert werden.
  • Es zeigen:
    • Fig. 1:
    Schnitt durch eine erfindungsgemäße Vakuumpumpe in einem ersten Ausführungsbeispiel.
    Fig. 2:
    Teilansicht des ersten Ausführungsbeispiels der Verbindungsstelle a) perspektivisch und b) im Schnitt.
    Fig. 3:
    a) Perspektivische Teilansicht und b) Schnitt der Verbindungsstelle in einem zweiten Ausführungsbeispiel.
    Fig. 4:
    a) Perspektivische Teilansicht und b) Schnitt der Verbindungsstelle in einem dritten Beispiel.
    Fig. 5:
    Perspektivische Darstellung der Verbindungsstelle eine vierten Beispiels.
    Fig. 6:
    Perspektivische Darstellung der Verbindungsstelle eine fünften Beispiels.
  • Die erste Abbildung zeigt ein erstes Beispiel einer erfindungsgemäß gestalteten Vakuumpumpe 1. Diese Vakuumpumpe besitzt einen Rotor 2, welcher aus einer Welle 3 und pumpaktiven Bauteilen 4 besteht. Die Pumpwirkung ergibt sich durch die schnelle Rotation des Rotors in Zusammenspiel mit einem Stator 9, welcher ebenfalls pumpaktive Bauteile 5 aufweist. Diese Bauteile 5 ruhen und werden durch Distanzringe 6 auf Abstand voneinander gehalten. Die pumpaktiven Bauteile auf Rotor und Stator sind oftmals als Schaufelscheiben ausgestaltet. Die Welle 3 wird durch Lager 7 drehbar unterstützt und durch einen Antrieb 8 in Rotation versetzt. Die Lager- und Antriebsmittel sind in einem Gehäuseteil 11 angeordnet. In dieser ersten Ausführungsform besitzt das Gehäuse der Vakuumpumpe noch zwei weitere Teile, wobei alle Teile an einer Verbindungsstelle 13 miteinander verbunden werden.
  • Diese Verbindungsstelle ist in Figur 2 auf zweifache Weise dargestellt. Figur 2a ist eine perspektivische Darstellung der Gehäuseteile 11 und der beiden weiteren Teile 10 und 12. Dargestellt sind außerdem die Strukturen 16, hier als Erhebungen auf den Teilen 11 und 12 verwirklicht. Figur 2b zeigt einen Teilschnitt in radialer Richtung durch die Verbindungsstelle 13. Als Sicherungsmittel sorgt eine Mehrzahl von Schrauben 18, die beispielsweise als eine Druckschrauben ausgeführt sind, dafür, dass sich die Gehäusebauteile nicht gegeneinander verdrehen können. Es kann sinnvoll sein, statt Druckschrauben eine Verstiftung durchzuführen, beispielsweise indem die Schrauben für einen Teil ihrer axialen Länge in Bohrungen eintauchen. Dadurch wird eine Verdrehsicherheit auch bei hoher Krafteinwirkung auf die Sicherungsstelle erreicht. Generell sind anstelle der Schrauben 18 formschlüssige Sicherungsmittel einsetzbar. Die Gehäusebauteile 10 und 11 sind an der Verbindungsstelle mit derart überlappende Strukturen 14 und 16 versehen, dass eine Verriegelung der Bauteile gegen eine Bewegung in lediglich axialer Richtung gegeben ist. Das erste Gehäusebauteil 10 ist in diesem ersten Beispiel so geformt, dass es einen Abschnitt mit größerem Durchmesser des Gehäuseteil 12 umschließt. Zwischen den Gehäusebauteilen 12 und 11 ist eine Dichtung 17 vorgesehen, beispielsweise ein Dichtring aus einem Elastomer.
  • Die dritte Abbildung zeigt die Verbindungsstelle der Gehäusebauteile in einem zweiten Ausführungsbeispiel. In Teil a) ist die Verbindungsstelle perspektivisch, in Teil b) im radialen Schnitt gezeigt. Im Gegensatz zum ersten Beispiel ist das ersten Gehäusebauteil 10 hier zylindrisch geformt. Diese Variante ist von den Abmessungen und der Bauteilherstellung vorteilhaft gegenüber der ersten. Wieder verhindern Schrauben 18 die Drehung der der Gehäusebauteile zueinander. In diesem Beispiel ist gezeigt, dass die Schrauben 18 in Bohrungen des Gehäusebauteils 12 hineinragen. Dies hat die vorteilhafte Wirkung, dass eine formschlüssige Anordnung erreicht wird, wodurch die Sicherheit gegen Verdrehen der Gehäusebauteile gegeneinander erhöht wird. Der Grund dafür ist, dass die Schraube auseinandergeschert werden muss, wodurch Energie abgebaut wird. Denkbar ist außerdem statt Schrauben Stifte zu verwenden.
  • Ein noch günstigeres Beispiel zeigt Abbildung 4, wiederum perspektivisch in Teil a) und im radialen Schnitt in Teil b) gezeigt. Hier sind nur zwei Gehäusebauteile 10 und 11 notwendig. Somit kann das Gehäusebauteil 10 den Stator der Vakuumpumpe aufnehmen, während in Gehäusebauteil 11 die Lager- und Antriebsmittel angeordnet sind. Zwischen den Bauteilen 10 und 11 ist wiederum eine Dichtung 17 vorgesehen.
  • Zwei Beispiele vorteilhafter Weiterbildungen sind in den Abbildungen 5 und 6 perspektivisch dargestellt.
  • Eine erste Variante der sich überlappenden Strukturen ist in Abbildung 5. Am ersten Gehäuseteil 10 sind Erhebungen 16 angeordnet. Diese sind länglich ausgebildet und gegenüber der axialen Richtung geneigt. Auf dem zweiten Geheäuseteil 11 sind Vertiefungen 14 vorgesehen, welche zudem sich verjüngende Abschnitte 15 aufweisen, d.h. die Weite der Vertiefung in Umfangsrichtung beginnt bei einem Wert A und nimmt auf einen kleineren Wert B ab. Dies ist vorteilhaft für die oben beschriebene Sicherheitsfunktion. Im normalen Zustand sind die Erhebungen 16 durch eine kombinierte Bewegung aus Drehung und Schieben nur in den ersten Abschnitt der Vertiefungen eingeschoben. Diese Struktur entspricht weitgehend einem mehrgängigen Gewinde. Im Falle eines Crashes von Stator und Rotor wird Rotationsenergie auf das Bauteil 11 übertragen. In der Abbildung würde diese Rotationsenergie eine Bewegung des Bauteils 11 nach rechts bewirken. Dabei werden die Erhebungen 16 weiter eingeschoben und gelangen in die sich verjüngenden Abschnitte 15, so dass Rotationsenergie abgebaut wird. Natürlich können Beschichtungen und andere Oberflächenbehandlungen vorgesehen werden, die das Gleiten der Erhebungen in den Vertiefungen beeinflussen. Beispielsweise kann die Reibungszahl erhöht werden.
  • Eine andere Variante der überlappenden Strukturen zeigt Abbildung 6. Auch hier sind die Strukturen auf den beiden Gehäusebauteilen 10 und 11 in einer Abwicklung dargestellt. Die Erhebungen 16 sind hier als radial nach innen ragende Zylinder ausgebildet. Ihnen gegenüber stehen Vertiefungen 14, die als abgewinkelte Kanäle ausgeführt sind, die am Ende wiederum sich verjüngende Abschnitte 15 aufweisen, d.h. die Weite der Vertiefung in Umfangsrichtung beginnt bei einem Wert A und nimmt auf einen kleineren Wert B ab. Bei der Montage werden die Gehäuseteile zunächst in axialer Richtung ineinander eingeschoben und anschließend gegeneinander verdreht. Diese Struktur entspricht einem Bajonettverschluss.

Claims (9)

  1. Vakuumpumpe (1) mit einem schnelldrehenden Rotor (2), mit auf diesem angebrachten pumpaktiven Bauteilen (4), mit einem Stator (9) und auf diesem angebrachten pumpaktiven Bauteilen (5), mit einem ersten (10) und einem zweiten (11) Gehäusebauteil, dadurch gekennzeichnet, dass das erste und das zweite Gehäusebauteil an ihrer Verbindungsstelle (13) sich derart überlappende Strukturen (14, 16) aufweisen, dass eine Verriegelung der Bauteile gegen eine Bewegung in lediglich axialer Richtung gegeben ist.
  2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die überlappenden Strukturen (14, 16) die Gestalt eines mehrgängigen Gewindes besitzen.
  3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die überlappenden Strukturen eine Mehrzahl von Vertiefungen (14) auf einem Gehäusebauteil und in diesen Vertiefungen hineinragenden Erhebungen (16) auf dem anderen Gehäusebauteil sind.
  4. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Gehäusebauteil (10) geschlossen ringförmig oder geschlossen zylindrisch ist.
  5. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an der Verbindungsstelle (13) zwischen den Gehäusebauteilen eine elastomere Dichtung (17) angeordnet ist.
  6. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Sicherungsmittel vorgesehen sind, die eine drehende Bewegung der Gehäusebauteile (10, 11, 12) relativ zueinander verhindert.
  7. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Gehäusebauteil (10) wenigstens teilweise den Stator (9) umgibt.
  8. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Gehäusebauteil (11) wenigstens einen Teil der Lager- und Antriebselemente (7, 8) beinhaltet.
  9. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Gehäusebauteil (10) einen größeren Durchmesser als das zweite (11) aufweist, so dass das zweite in einem verriegelten Zustand in das erste hineinragt.
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