JPS61294191A - タ−ボ分子ポンプの装着装置 - Google Patents
タ−ボ分子ポンプの装着装置Info
- Publication number
- JPS61294191A JPS61294191A JP60136019A JP13601985A JPS61294191A JP S61294191 A JPS61294191 A JP S61294191A JP 60136019 A JP60136019 A JP 60136019A JP 13601985 A JP13601985 A JP 13601985A JP S61294191 A JPS61294191 A JP S61294191A
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- JP
- Japan
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- vibration
- molecular pump
- turbo
- pump
- main body
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
- F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
- F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はターボ分子ポンプの装着装置に係り。
特に透過畦子顕微鏡や走査形電子顕微鏡等の防振装置を
備えたターボ分子ポンプの装着装置に関する。
備えたターボ分子ポンプの装着装置に関する。
従来、ターボ分子ポンプの回転翼の振動が、走査形電子
顕微鏡等の本体に伝達されないようにするためにターボ
分子ポンプと本体との間にダンパを用いて接続していた
。しかし、走査形電子顕微鏡等は床からの振動を防止す
るために、防振装置を有しており、装置本体が３次元空
間で動けるようにしているため、装置本体が大きくゆれ
るとターボ分子ポンプの翼にも力が加わり、軸受あるい
は回転翼と固定翼との接触による破損が生じ、ポンプと
して動作不可能になるという欠点を有し高信頼性のポン
プとして使用できないという欠点を有していた。
顕微鏡等の本体に伝達されないようにするためにターボ
分子ポンプと本体との間にダンパを用いて接続していた
。しかし、走査形電子顕微鏡等は床からの振動を防止す
るために、防振装置を有しており、装置本体が３次元空
間で動けるようにしているため、装置本体が大きくゆれ
るとターボ分子ポンプの翼にも力が加わり、軸受あるい
は回転翼と固定翼との接触による破損が生じ、ポンプと
して動作不可能になるという欠点を有し高信頼性のポン
プとして使用できないという欠点を有していた。
本発明の目的は上記した従来の欠点をなくし、本体の振
れのターボ分子ポンプに与える影響を除去し得るターボ
分子ポンプの装着装置を提供することにある。
れのターボ分子ポンプに与える影響を除去し得るターボ
分子ポンプの装着装置を提供することにある。
本発明の特徴はターボ分子ポンプ側の外周部にターボ分
子ポンプの振れ止めを設けたことにある。
子ポンプの振れ止めを設けたことにある。
以下本発明の一実施例を第１図を参照して詳述する。第
１図は本体が走査形電子顕微鏡の鏡体である場合の例を
示す。
１図は本体が走査形電子顕微鏡の鏡体である場合の例を
示す。
架台１には防振体４が取り付けられており、その上に荷
重板２が取り付けられる。この荷重板上に電子線を試料
上で走査する電子光学系、試料室。
重板２が取り付けられる。この荷重板上に電子線を試料
上で走査する電子光学系、試料室。
試料微動装置を含んだ鏡体３が装着される。鏡体３の下
部に接続フランジ１２を介してダンパー５が接続され、
ターボ分子ポンプ６が接続される。
部に接続フランジ１２を介してダンパー５が接続され、
ターボ分子ポンプ６が接続される。
ダンパー５はターボ分子ポン１６０回転翼の振動を鏡体
３に伝達させないもので薄い金属ベローズとゴム体によ
り構成されている。
３に伝達させないもので薄い金属ベローズとゴム体によ
り構成されている。
このような構成において、鏡体３が試料ステージの操作
やその他の理由でゆらされるとこのダンパー５を中心と
して増大されてターボ分子ポンプも前方、左右方向にゆ
れ動く。ターボ分子ポンプ６の回転翼は４万〜６万ｒｐ
ｍ と超高速回転しており、このゆれによってベアリ
ング軸受形０ターボ分子ポンプであればベアリングに過
大の軸荷重を課すことになり、また磁気軸受の場合には
保護ベアリングに衝撃荷重を加えることになり、著しく
寿命を短かくしてしまう。そしてもしこれらの軸受が破
損すると動作不可能、あるいけターボ分子ポンプの回転
翼が固定翼と接触して破損してしまう。
やその他の理由でゆらされるとこのダンパー５を中心と
して増大されてターボ分子ポンプも前方、左右方向にゆ
れ動く。ターボ分子ポンプ６の回転翼は４万〜６万ｒｐ
ｍ と超高速回転しており、このゆれによってベアリ
ング軸受形０ターボ分子ポンプであればベアリングに過
大の軸荷重を課すことになり、また磁気軸受の場合には
保護ベアリングに衝撃荷重を加えることになり、著しく
寿命を短かくしてしまう。そしてもしこれらの軸受が破
損すると動作不可能、あるいけターボ分子ポンプの回転
翼が固定翼と接触して破損してしまう。
こうした過大なゆれを防止するため、ターボ分子ポンプ
６の下部、すなわちダンパー５と離れた位置に振れ止め
ダンパー７を、接続フランジ１２部より支持棒９によっ
て接続される固定板８に複数個取付ける。振れ止めダン
パー７はターボ分子ポンプと接触させてゴム等の弾性体
で構成しである。
６の下部、すなわちダンパー５と離れた位置に振れ止め
ダンパー７を、接続フランジ１２部より支持棒９によっ
て接続される固定板８に複数個取付ける。振れ止めダン
パー７はターボ分子ポンプと接触させてゴム等の弾性体
で構成しである。
第２図は第１図のＡ−Ａ’断面を示す断面図であり、４
個の振れ止めダンパー７を用いた場合を示している。ま
た、鏡体３のゆれを防止するだめにストッパー１１が荷
重板２に設けてあり、架台１に対しである定められた範
囲しか移動できないようにしている。
個の振れ止めダンパー７を用いた場合を示している。ま
た、鏡体３のゆれを防止するだめにストッパー１１が荷
重板２に設けてあり、架台１に対しである定められた範
囲しか移動できないようにしている。
このような構成において、荷重板２の四角に取付けられ
たストッパー１１と架台１とのギャップを２ｍとし、加
振機で荷重板２を横方向に加振し。
たストッパー１１と架台１とのギャップを２ｍとし、加
振機で荷重板２を横方向に加振し。
て実験した。ターボ分子ポンプ６は磁気ベアリング形の
ものを用い、回転翼の軸の両端には保護ベアリングが用
いられている。
ものを用い、回転翼の軸の両端には保護ベアリングが用
いられている。
ストッパー１１および撮れ止めダンパー７を付けない場
合には、加振によってターボ分子ポンプ６が振れ回り１
回転翼軸が保護ベアリングに接触し、その衝撃で１０〜
１００回程度で保護ベアリングが破損した。ストッパー
１１および振れ止めダンパー７を付けて加振した場合に
は２０万回の加振にも耐え、その効果が著しいことが実
証された。
合には、加振によってターボ分子ポンプ６が振れ回り１
回転翼軸が保護ベアリングに接触し、その衝撃で１０〜
１００回程度で保護ベアリングが破損した。ストッパー
１１および振れ止めダンパー７を付けて加振した場合に
は２０万回の加振にも耐え、その効果が著しいことが実
証された。
振れ止めダンパー７だけでも同様に効果があるが、この
ストッパー１１によって特定範囲しか動けないようにす
ることはさらに効果を高めることもわかった。
ストッパー１１によって特定範囲しか動けないようにす
ることはさらに効果を高めることもわかった。
以上述べたように本発明の一実施例によればターボ分子
ポンプの外乱振動による破損を防止し。
ポンプの外乱振動による破損を防止し。
信頼性を著しく向上されることができる。
第３図は本発明のもう一つの実施例で、ターボ分子ポン
プの振れ止めとして架台１より支持体１３を設は振れ止
めダンパー７を用いる場合を示す。構造は異なるが、第
１図の場合と全く同様の効果を生ずる。
プの振れ止めとして架台１より支持体１３を設は振れ止
めダンパー７を用いる場合を示す。構造は異なるが、第
１図の場合と全く同様の効果を生ずる。
尚、振れ止めダンパー７は第２図では４個用いる例を示
したが、リング状にしても良いし、形および個数も種々
前えられ固定的なものではない。
したが、リング状にしても良いし、形および個数も種々
前えられ固定的なものではない。
要はターボ分子ポンプの振れをおさえるようにすれば同
様の効果を生むことができる。
様の効果を生むことができる。
図示はしていないが、第１図における固定板８あるいは
第３図における支持体１３にターボ分子ポンプを固定す
る機能１例えばターボ分子ポンプ６の底部を固定板８に
固定する等を実施すれば、装置を運搬する時に生ずる振
動を防止することが出来るので都合が良い１３ 〔発明の効果〕 本発明によればターボ分子ポンプ自体の振動、および床
からの振動を装置本体に伝えない防振構造を維持した才
＼で、装置本体に衝撃が加わっても、ターボ分子ポンプ
部での衝撃を小さくすることができ、ターボ分子ポンプ
の回転翼、あるいけ軸受部にかかる衝撃力を小さくする
ことができるので、ターボ分子ポンプを破損させること
がなくなり、信頼性が高くなる。
第３図における支持体１３にターボ分子ポンプを固定す
る機能１例えばターボ分子ポンプ６の底部を固定板８に
固定する等を実施すれば、装置を運搬する時に生ずる振
動を防止することが出来るので都合が良い１３ 〔発明の効果〕 本発明によればターボ分子ポンプ自体の振動、および床
からの振動を装置本体に伝えない防振構造を維持した才
＼で、装置本体に衝撃が加わっても、ターボ分子ポンプ
部での衝撃を小さくすることができ、ターボ分子ポンプ
の回転翼、あるいけ軸受部にかかる衝撃力を小さくする
ことができるので、ターボ分子ポンプを破損させること
がなくなり、信頼性が高くなる。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ’断面図、第３図は本発明のもう一つの実施例の
断面図を示す。 ｌ・・・架台、２・・・荷重板、４・・・防振体、５・
・ダンパー、６・・・ターボ分子ポンプ、７・・・振れ
止めダンパー、８・・・固定板、９・・・支持棒、１１
・・・ストッパー。
Ａ−Ａ’断面図、第３図は本発明のもう一つの実施例の
断面図を示す。 ｌ・・・架台、２・・・荷重板、４・・・防振体、５・
・ダンパー、６・・・ターボ分子ポンプ、７・・・振れ
止めダンパー、８・・・固定板、９・・・支持棒、１１
・・・ストッパー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、架台および床振動を遮断する防振装置によつて浮か
された本体、該本体に対してターボ分子ポンプの振動を
遮断する防振ダンパを介してターボ分子ポンプを装着し
たターボ分子ポンプの装着装置において、防振ダンパ部
を含むターボ分子ポンプ側の外周部にターボ分子ポンプ
の振れ止めを設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ
の装着装置。 ２、架台および床振動を遮断する防振装置によつて浮か
された本体、該本体に対してターボ分子ポンプの振動を
遮断する防振ダンパを介してターボ分子ポンプを装着し
たターボ分子ポンプの装着装置において、防振ダンパ部
を含むターボ分子ポンプ側の外周部にターボ分子ポンプ
の振れ止めを設けるとともに、本体と架台の間に前者の
後者に対する振れを予め定められた範囲に制限する手段
を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプの装着方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60136019A JPS61294191A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | タ−ボ分子ポンプの装着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60136019A JPS61294191A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | タ−ボ分子ポンプの装着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61294191A true JPS61294191A (ja) | 1986-12-24 |
Family
ID=15165282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60136019A Pending JPS61294191A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | タ−ボ分子ポンプの装着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61294191A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000020763A1 (de) * | 1998-10-07 | 2000-04-13 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe |
| WO2001051817A1 (de) * | 2000-01-15 | 2001-07-19 | Leybold Vakuum Gmbh | Vakuumpumpe mit schwingungsdämpfer |
| EP1118774A2 (en) * | 1999-12-21 | 2001-07-25 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Vacuum pump |
| JP2007066715A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Horon:Kk | 試料室差動排気装置 |
| EP1933037B1 (de) * | 2006-12-13 | 2018-09-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Anordnung mit Vakuumpumpe |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5664195A (en) * | 1979-10-25 | 1981-06-01 | Jeol Ltd | Exhaust system in electron microscope or the like |
| JPS5730513U (ja) * | 1980-07-22 | 1982-02-17 | ||
| JPS5741482U (ja) * | 1980-08-15 | 1982-03-06 |
-
1985
- 1985-06-24 JP JP60136019A patent/JPS61294191A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5664195A (en) * | 1979-10-25 | 1981-06-01 | Jeol Ltd | Exhaust system in electron microscope or the like |
| JPS5730513U (ja) * | 1980-07-22 | 1982-02-17 | ||
| JPS5741482U (ja) * | 1980-08-15 | 1982-03-06 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000020763A1 (de) * | 1998-10-07 | 2000-04-13 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe |
| US6641376B1 (en) | 1998-10-07 | 2003-11-04 | Leybold Vakuum Gmbh | Friction vacuum pump |
| EP1118774A2 (en) * | 1999-12-21 | 2001-07-25 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Vacuum pump |
| EP1118774A3 (en) * | 1999-12-21 | 2002-10-30 | Seiko Instruments Inc. | Vacuum pump |
| US6575713B2 (en) | 1999-12-21 | 2003-06-10 | Seiko Instruments Inc. | Vaccum pump |
| KR100732275B1 (ko) * | 1999-12-21 | 2007-06-25 | 비오씨 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공펌프 |
| WO2001051817A1 (de) * | 2000-01-15 | 2001-07-19 | Leybold Vakuum Gmbh | Vakuumpumpe mit schwingungsdämpfer |
| US6814550B1 (en) | 2000-01-15 | 2004-11-09 | Leybold Vakuum Gmbh | Vacuum pump with vibration absorber |
| JP2007066715A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Horon:Kk | 試料室差動排気装置 |
| EP1933037B1 (de) * | 2006-12-13 | 2018-09-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Anordnung mit Vakuumpumpe |
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