JP2007066715A - 試料室差動排気装置 - Google Patents

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Abstract

【目的】本発明は、電子線を細く絞って試料に照射しつつ平面走査し、放出された2次電子あるいは反射された反射電子を検出して画像を生成する走査型電子顕微鏡の試料室差動排気装置に関し、小さな排気系で差動排気性能を有効活用し、試料室の真空を低真空にしても2次電子や反射電子を検出する検出器の寿命を大幅に向上させることを目的とする。
【構成】 試料を配置する試料室と試料室に配置した試料に電子線ビームを照射して放出された2次電子あるいは反射された反射電子を検出する検出器との間に設けた、差動排気するための複数段のオリフィスと、複数段のオリフィスの部分に直接に接続した排気系と
からなる試料室差動排気装置である。
【選択図】 図1

Description

本発明は、電子線を細く絞って試料に照射しつつ平面走査し、放出された2次電子あるいは反射された反射電子を検出して画像を生成する走査型電子顕微鏡の試料室差動排気装置に関するものである。
従来、加速した電子線ビームを細く絞って試料に照射しつつ平面走査し、そのときに放出された2次電子や反射された反射電子を検出して画像(2次電子画像、反射電子画像)を生成し、当該画像上でパターンの線幅の測定や異物の検出や欠陥の検出などの検査が行われている。
この際、検査対象によっては試料の近傍にガスを導入したり、あるいは低真空にしたりしてこれら状態を維持し、試料へのチャージなどを低減することが行われている。しかし、試料を収める試料室につながる電子光学系を収めた部屋は高真空に維持する必要がある。特に、試料から放出された2次電子や反射された反射電子を検出する検出器(例えばMCP)の近傍は高真空に維持しないと当該検出器の寿命を大幅に短くしてしまうので、当該検出器を設置した部屋と試料室との間にオリフィスを設けると共に当該検出器を設置した部屋に別途排気管を接続して当該試料室から離れた位置に置いた排気系に接続して排気するようにしていた。
しかし、上述したように、試料室と上記検出器を設けた部屋との間にオリフィスを設け、当該検出器の部屋に排気管を接続して離れた位置に排気系を設置して排気したのでは排気管の排気抵抗、即ち、検出器を設けた部屋に大おきな断面積を持った排気管が接続不可で必然的に小さな断面積の排気管となり、充分な排気が出来ないという問題があった。
このため、試料室と前記検出器の部屋との間に複数のオリフィスを設けてこの部分に排気管を接続して離れた位置に配置した排気系でいわゆる差動排気することが考えられるが、これでも排気管の断面積を大きくできず排気抵抗が大で充分な差動排気の能力が得られなかった。
また、複数のオリフィスを設けた部分の排気口は小さくしてその先から排気系までの排気管の断面積を大きくして排気抵抗を小さくしたのでは当該排気管の内面の面積が大きくなり放出ガス量が増えて高真空に排気し難くなってしまうという問題もあった。
本発明は、これらの問題を解決するため、試料室と検出器を設けた部屋との間に複数段のオリフィスを設けた部分に直接に排気系を接続し、複数段のオリフィスと排気系との間の排気抵抗を可及的に小さくして差動排気性能を向上させることを目的としている。
本発明は、試料室と検出器を設けた部屋との間に複数段のオリフィスを設けた部分に直接に排気系を接続し、複数段のオリフィスと排気系との間の排気抵抗を可及的に小さくして差動排気性能を向上させることにより、小さな排気系で差動排気性能を有効活用し、試料室の真空を低真空にしても2次電子や反射電子を検出する検出器の寿命を大幅に向上させることが可能となる。
本発明は、試料室と検出器を設けた部屋との間に複数段のオリフィスを設けた部分に直接に排気系を接続し、複数段のオリフィスと排気系との間の排気抵抗を可及的に小さくして差動排気性能を向上させ、小さな排気系で差動排気性能を有効活用し、試料室の真空を低真空にしても2次電子や反射電子を検出する検出器の寿命を大幅に向上させることを実現した。
図1は、本発明の1実施例構成図を示す。図1は、SEM(走査型電子顕微鏡)の試料室8とその上部の2次電子検出器2などを配置した部屋の要部を模式的に記載したものである。
図1において、電子線ビーム1は、図示外の電子銃から放出されて加速された電子線ビームを集束レンズおよび対物レンズで細く絞ったものである。ここで、対物レンズは、図示しないが、公知のように、下極がオリフィス5の下、中間、あるいは上に位置して円錐状で中心に電子線ビーム1の通過および放出された2次電子、反射された反射電子が通過する孔があり、上極が2次電子検出器2の近傍に位置するものである。
2次電子検出器(MCP)2は、試料から放出された2次電子を、正の電圧で吸引して検出・増幅するものである。
反射電子検出器3は、試料から反射された反射電子を検出・増幅するものである。
圧力検出器4は、2次電子検出器2および反射電子検出器3の近傍の圧力を検出するものである。
圧力検出器41は、オリフィス5の下面の近傍の圧力を検出するものである。
オリフィス5は、本発明で新たに設けたものであって、複数段の円錐状で中心に電子線ビーム1、2次電子、反射電子の通過する穴を設けたものであり、試料室8と2次電子検出器2などが配置された部屋との間を、差動排気するためのものである。
ガス導入管6は、外部からガス(各種ガスであって、空気、酸素、窒素、アルゴンなど)を所定流量を試料7の表面に吹き付け、試料7のチャージを除却などするためのものである。
試料7は、図示外のステージに固定した試料(例えばウェハ)であって、細く絞った電子線ビーム1を照射しつつ平面走査し、放出された2次電子、反射された反射電子を2次電子検出器2、反射電子検出器3で検出し、拡大した画像を表示する対象の試料である。
試料室8は、試料7などを真空に保持するための部屋である。
排気系9は、試料室8内の空気などのガスを排気して真空に保持するためのものである。
排気系21は、本発明で新たに設けたものであって、ターボポンプなどの真空排気ポンプであり、接続口22を介して直接に複数段のオリフィス5の部分に接続して真空排気するものである。
接続口22は、本発明で新たに設けたものであって、排気系21を複数段のオリフィス5の部分に接続するための接続口であり、複数段のオリフィス5を差動排気させるためのものである。
ターボP23は、ターボポンプであって、公知のオイルフリーのターボポンプである。
ドライP24は、ドライポンプであって、公知のドライポンプである。
PC10は、パーソナルコンピュータであって、プログラムに従い各種制御を行うものであり、ここでは、ガス流量調整手段11、圧力検出手段12、チャージ検出手段13、表示装置14、および入力装置15などから構成されるものである。
ガス流量調整手段11は、ガス導入管6からガスを試料7の表面に吹き付けるガス流量を図示外のガス流量調整器を制御して調整(例えば試料7の画像上のチャージがなくなるようにガス流量を調整)するものである(図2、図3参照)。
圧力検出手段12は、2次電子検出器2の近傍の圧力を検出するものである。
チャージ検出手段13は、試料7の画像上でチャージを検出するものである。チャージが検出されたときは、ガス流量調整手段11に指示し、ガス導入管6から所定流量のガスを試料7に吹き付けてチャージを除却する(図3参照)。
表示装置14は、画像(2次電子画像、反射電子画像)などを表示するものである。
入力装置15は、キーボードやマウスなどの入力装置である。
次に、図2のフローチャートの順番に従い、図1の構成の動作を詳細に説明する。
図2は、本発明の動作説明フローチャートを示す。
図2において、S1は、マスクを予備室から試料室へ入れ、セットする。これは、図1で図示外の予備室(予備排気室)に試料7であるマスクを入れて予備排気を行った後、当該マスクを図示外のロボットアームで図示外の試料台の上に図示のようにセット(固定)する。これにより、試料7であるマスクは、電子線ビーム1が照射して走査する位置に、任意の位置を合わせることが可能となる。
S2は、ガスを導入する。これにより、図1のガス導入管6からガスが試料7であるマスクの観察面に噴射されることとなる(チャージがあれば除却されることとなる)。
S3は、圧力を一定に保つ。これは、右側に記載したように、図1の圧力検出器(主)4の圧力を所定の圧力となるように一定に保つように、ここでは、ガス導入管6からマスクに噴射するガス量を調整する。尚、圧力検出器(主)4の圧力だけでなく、圧力検出器
副)41の圧力でガス量を調整してもよいし、一定の比率を演算した結果の圧力を一定に保つようにしてもよい。いずれにしても、マスクの画像上でガス導入の目的である例えばチャージ、コンタミなどを除却する(発生しない)ように保持できればよい。
S4は、電子線ビームを照射し、画像を生成する。これは、電子線ビーム1をマスクの表面に照射しつつ平面走査し、放出された2次電子を2次電子検出器2あるいは反射された反射電子を反射電子検出器3で検出し、増幅した信号をもとに表示装置14の上に画像(2次電子像、反射電子像)を表示すると共に図示外のソフトウェアによりマスクのパターンの線幅の検査および欠陥、ゴミなどの検出を行う。
S5は、作業が終了か判別する。これは、S4の作業が終了か判別する。YESの場合には、S6でガス供給を停止し、S7でマスクを取り出し、終了する。一方、NOの場合には、S4以降を繰り返す。
以上によって、図1の構成のもとで排気系21を接続口22で直接に複数段のオリフィス5の部分に接続し当該複数段のオリフィス5で有効に差動排気した状態で、試料7であるマスクを試料室8の図示の位置にセットし、ガス導入管6からガスを導入して2次電子検出器2の近傍の圧力を一定に保持(あるいはオリフィス5の下面の部分の圧力を一定あるいは両者に所定比率を演算した圧力を一定に保持)した状態で、電子線ビーム1をマスク(試料7)に照射しつつ平面走査し、そのときに放出された2次電子を2次電子検出器2(あるいは反射された反射電子を反射電子検出器3)で検出して画像を表示装置14の上に表示すると共に各種測定、検査を行うことが可能となる。これにより、ガスをマスク(試料7)に吹き付けて当該マスク上の電子線ビーム1によるチャージを除却(あるいはコンタミを防止)しつつ、2次電子検出器2(反射電子検出器3)の部分の真空圧力を複数段のオリフィス5で効率的に差動排気して高真空に簡単な構造で保持し、当該検出器の寿命を大幅に伸ばすことが可能になると共に、高真空にしたことで電子線ビーム1の通路のコンタミを大幅に低減することが可能となる。
図3は、本発明の動作説明フローチャートを示す。
図3において、S11は、チャージ現象を検出か判別する。これは、図1の構成のもとで、2次電子画像を表示装置14の画面上に表示した状態で、当該画像がドリフトあるいは試料移動台を移動させないのに不意に移動したなどを検出し、所定移動量を越えたときにチャージ現状を検出と判別する。YESの場合には、チャージ現状が検出されたと判明したので、S12でガス量を増やす。これは、ガス流量調整手段11がガス導入管6からマスクの表面に噴射するガス量を所定量だけ増やす。そして、S13に進む。一方、S11のNOの場合には、S11を繰り返す。
S13は、設定の圧力を超えたか判別する。これは、S12でガス量を所定量増やした結果、所定ガス量(最大ガス量)を越えたか判別する。YESの場合には、所定ガス量(最大ガス量)を越えたと判明したので、S14でチャージ対応不可のメッセージを表示し、終了する。NOの場合には、S11以降を繰り返す。
以上によって、図2のフローチャートに従い、マスクに電子線ビームを照射しつつ平面走査し、放出された2次電子を2次電子検出器2で検出・増幅して表示装置14の画面上に2次電子像を表示すると共に各種測定、検査している状態で、2次電子像のチャージによるドリフトなどが検出された場合、自動的にマスクに噴射するガス量を調整して当該チャージを除却することが可能となる。この際、排気系21を接続口22で直接に複数段のオリフィス5の部分に接続して効率的に差動排気しているため、試料(マスク)7に噴射するガス量を大きくして当該部分の圧力を例えば10〜100パスカルにしても、当該複数段のオリフィス5による差動排気により2次電子検出器2の近傍の圧力を10−2程度に保持でき、2次電子検出器(例えばMCP)2の寿命を大幅に向上させることが可能となる。
図4は、本発明の説明図を示す。
図4の(a)は、排気系21を示す。
図4の(a−1)は、排気系21を接続口22で複数段のオリフィス5の部分に直接に接続した様子を模式的に示す。図示のように、排気系21を接続口22を介して、ここでは、3段のオリフィス5の上段の部分に直接に接続して当該部分を真空排気し、中段の部分は周囲の隙間(隙間は無くしても良い)および中心の穴から排気し、更に、下段の部分は周囲の隙間(隙間は無くしてもよい)および中心の穴から排気する。この際、排気系21(例えばオイルフリーのターボポンプ)を接続口22で直接に3段のオリフィス5の上段の部分に接続するため、排気抵抗が極めて小さく、かつ排気系21から3段のオリフィス5の上段の部分に至る排気通路の表面積が極めて小さいので当該表面から放出される放出ガスが極めて小さく、排気系21の排気能力を損なうことなく最大限で3段のオリフィス5の真空排気を行なうことが可能となる。
図4の(a−2)は、排気系21を接続口22で2つに分岐して複数段のオリフィス5の部分に直接に接続した様子を模式的に示す。図示のように、排気系21を接続口22で分岐して、ここでは、3段のオリフィス5の上段の部分、および中段と下段の中間の部分に直接に接続して当該部分を真空排気することで、3段のオリフィス5の差動排気を効率的に動作させることが可能となる。この際、排気系21(例えばオイルフリーのターボポンプ)を接続口22で2つに分岐して直接に3段のオリフィス5の上段の部分および中段と下段の中間の部分に接続するため、排気抵抗が極めて小さく、かつ排気系21からオリフィス5に至る排気通路の表面積が極めて小さいので当該表面から放出される放出ガスが極めて小さく、排気系21の排気能力を損なうことなく最大限で3段のオリフィス5の真空排気を行なうことが可能となる。更に、排気系21から接続口22で分岐する分岐部分の径を調整(実験で調整)して3段のオリフィス5の上段の部分、および中段と下段の中間の部分の排気能力を適切に分配し、3段のオリフィス5による差動排気による試料7の表面の圧力と、2次電子検出器2の近傍との圧力との差を最大になるようにすることが可能となる。
図4の(b)は、接続口22の構造例を示す。
図4の(b−1)は、ベローズ21で構成した例を示す。この例では、図3の(a−1)について、排気系21をベローズ(例えば外形25ないし45mm程度)31を介して3段のオリフィス5の部分に接続した様子を模式的に示す。これにより、排気系21としてオイルフリーのターボポンプを用いた場合には、振動が3段のオリフィス5の取り付け部分を介して試料7を伝わる度合いを大幅に低減することができる。尚、排気系21は、試料室8から機械的に離れた構造とし、図示外の床から固定部材で当該排気系21を固定し、排気系21から振動が直接に試料室8に伝わらないようにする。また、同様に、図4の(a−2)の接続口2が分岐した場合にも、分岐したベローズ31を用いればよい。
図4の(b−2)は、スリーブ32と真空シール用のOリング33で構成した例を示す。この例では、図3の(a−1)について、排気系21をスリーブ32とOリング33を介して3段のオリフィス5の部分に接続した様子を模式的に示す。これにより、排気系21としてオイルフリーのターボポンプを用いた場合には、振動が3段のオリフィス5の取り付け部分を介して試料7を伝わる度合いを大幅に低減することができる。尚、排気系21は、試料室8から機械的に離れた構造とし、図示外の床から固定部材で当該排気系21を固定し、排気系21から振動が直接に試料室8に伝わらないようにする。また、同様に、図4の(a−2)の接続口2が分岐した場合にも、分岐したスリーブ32とOリング33を用いればよい。
尚、上述した振動防止策で排気系(オイルフリーのターボポンプなど)21からの振動が試料7に伝わり、画像上で振動が検出される場合には、排気系21に荷重(例えば砂袋など)を載せて固有振動数をずらして試料7の固有振動数とを異ならせて低減したり、振動自体を低減したりして試料7への影響を低減することが効果的であった。
本発明は、試料室と検出器を設けた部屋との間に複数段のオリフィスを設けた部分に直接に排気系を接続し、複数段のオリフィスと排気系との間の排気抵抗を可及的に小さくして差動排気性能を向上させる試料室差動排気装置に関するものである。
本発明の1実施例構成図である。 本発明の動作説明フローチャートである。 本発明の動作説明フローチャートである。 本発明の説明図である。
符号の説明
1:電子線ビーム
2:2次電子検出器
3:反射電子検出器
4、41:圧力検出器
5:オリフィス
6:ガス導入管
7:試料(マスク)
8:試料室
9:排気系
10:PC
11:ガス流量調整手段
12:圧力検出手段
13:チャージ検出手段
14:表示装置
15:入力装置
21:排気系
22:接続口
23:ターボP
24:ドライP
31:ベローズ
32:スリーブ
33:Oリング








Claims (5)

  1. 電子線を細く絞って試料に照射しつつ平面走査し、放出された2次電子あるいは反射された反射電子を検出して画像を生成する走査型電子顕微鏡の試料室排気装置において、
    前記試料を配置する試料室と当該試料室に配置した試料に電子線ビームを照射して放出された2次電子あるいは反射された反射電子を検出する検出器との間に設けた、差動排気するための複数段のオリフィスと、
    前記複数段のオリフィスの部分に直接に接続した排気系と
    からなる試料室差動排気装置。
  2. 前記複数段のオリフィスの部分にベローズあるいは真空パッキングで真空シールしたスリーブを介して排気系に接続し、排気系から試料への振動の伝わりを防止したことを特徴とする試料室差動排気装置。
  3. 前記排気系を前記試料室とは別に設置室に直接に固定する固定具を設け、排気系から試料への振動の伝わりを防止したことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の試料室差動排気装置。
  4. 前記排気系の固有振動数を調整あるいは振動を低減する荷重を設け、排気系から試料への振動の伝わりを防止したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の試料室差動排気装置。
  5. 前記排気系をオイルフリーのターボポンプとしたことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の試料室作動排気装置。
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