JP2007066715A - 試料室差動排気装置 - Google Patents
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Abstract
【構成】 試料を配置する試料室と試料室に配置した試料に電子線ビームを照射して放出された2次電子あるいは反射された反射電子を検出する検出器との間に設けた、差動排気するための複数段のオリフィスと、複数段のオリフィスの部分に直接に接続した排気系と
からなる試料室差動排気装置である。
【選択図】 図1
Description
圧力検出器4は、2次電子検出器2および反射電子検出器3の近傍の圧力を検出するものである。
オリフィス5は、本発明で新たに設けたものであって、複数段の円錐状で中心に電子線ビーム1、2次電子、反射電子の通過する穴を設けたものであり、試料室8と2次電子検出器2などが配置された部屋との間を、差動排気するためのものである。
排気系9は、試料室8内の空気などのガスを排気して真空に保持するためのものである。
ドライP24は、ドライポンプであって、公知のドライポンプである。
チャージ検出手段13は、試料7の画像上でチャージを検出するものである。チャージが検出されたときは、ガス流量調整手段11に指示し、ガス導入管6から所定流量のガスを試料7に吹き付けてチャージを除却する(図3参照)。
入力装置15は、キーボードやマウスなどの入力装置である。
図2は、本発明の動作説明フローチャートを示す。
副)41の圧力でガス量を調整してもよいし、一定の比率を演算した結果の圧力を一定に保つようにしてもよい。いずれにしても、マスクの画像上でガス導入の目的である例えばチャージ、コンタミなどを除却する(発生しない)ように保持できればよい。
図3において、S11は、チャージ現象を検出か判別する。これは、図1の構成のもとで、2次電子画像を表示装置14の画面上に表示した状態で、当該画像がドリフトあるいは試料移動台を移動させないのに不意に移動したなどを検出し、所定移動量を越えたときにチャージ現状を検出と判別する。YESの場合には、チャージ現状が検出されたと判明したので、S12でガス量を増やす。これは、ガス流量調整手段11がガス導入管6からマスクの表面に噴射するガス量を所定量だけ増やす。そして、S13に進む。一方、S11のNOの場合には、S11を繰り返す。
図4の(a)は、排気系21を示す。
図4の(b−1)は、ベローズ21で構成した例を示す。この例では、図3の(a−1)について、排気系21をベローズ(例えば外形25ないし45mm程度)31を介して3段のオリフィス5の部分に接続した様子を模式的に示す。これにより、排気系21としてオイルフリーのターボポンプを用いた場合には、振動が3段のオリフィス5の取り付け部分を介して試料7を伝わる度合いを大幅に低減することができる。尚、排気系21は、試料室8から機械的に離れた構造とし、図示外の床から固定部材で当該排気系21を固定し、排気系21から振動が直接に試料室8に伝わらないようにする。また、同様に、図4の(a−2)の接続口2が分岐した場合にも、分岐したベローズ31を用いればよい。
2:2次電子検出器
3:反射電子検出器
4、41:圧力検出器
5:オリフィス
6:ガス導入管
7:試料(マスク)
8:試料室
9:排気系
10:PC
11:ガス流量調整手段
12:圧力検出手段
13:チャージ検出手段
14:表示装置
15:入力装置
21:排気系
22:接続口
23:ターボP
24:ドライP
31:ベローズ
32:スリーブ
33:Oリング
Claims (5)
- 電子線を細く絞って試料に照射しつつ平面走査し、放出された2次電子あるいは反射された反射電子を検出して画像を生成する走査型電子顕微鏡の試料室排気装置において、
前記試料を配置する試料室と当該試料室に配置した試料に電子線ビームを照射して放出された2次電子あるいは反射された反射電子を検出する検出器との間に設けた、差動排気するための複数段のオリフィスと、
前記複数段のオリフィスの部分に直接に接続した排気系と
からなる試料室差動排気装置。 - 前記複数段のオリフィスの部分にベローズあるいは真空パッキングで真空シールしたスリーブを介して排気系に接続し、排気系から試料への振動の伝わりを防止したことを特徴とする試料室差動排気装置。
- 前記排気系を前記試料室とは別に設置室に直接に固定する固定具を設け、排気系から試料への振動の伝わりを防止したことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の試料室差動排気装置。
- 前記排気系の固有振動数を調整あるいは振動を低減する荷重を設け、排気系から試料への振動の伝わりを防止したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の試料室差動排気装置。
- 前記排気系をオイルフリーのターボポンプとしたことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の試料室作動排気装置。
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