JP2009500549A - 真空ポンプ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図2は、ポンプハウジングの概略的な斜視図であり、
図3は、本発明による保持エレメントの概略的な斜視図であり、
図4は、公知先行技術による保持エレメントを備えた真空ポンプ装置の一部を故障発生時の状態で示す概略的な平面図である。
Claims (6)
- 真空ポンプ装置、特にターボ分子ポンプ装置であって、
ポンプハウジング(10)内に配置されたロータ(14)と、ステータ(16)と、
ポンプハウジング(10)に結合されたポンプフランジ(30)と、
ポンプハウジング(10)と真空室ハウジング(26)とに結合された、ポンプハウジング(10)を真空室ハウジング(26)に固定するための少なくとも1つの保持エレメント(34)とが設けられている形式のものにおいて、
保持エレメント(34)が、真空室ハウジング(26)と協働する回動防止装置(40)に結合されていることを特徴とする真空ポンプ装置。 - 回動防止装置(40)が、真空室ハウジング(26)に設けられた切欠き(42)内に係合している、請求項1記載の真空ポンプ装置。
- 保持エレメント(34)が、回動防止装置(40)に対して付加的に設けられた固定エレメント(38)を有している、請求項1または2記載の真空ポンプ装置。
- 回動防止装置(40)が、付加的に別の固定エレメントとして形成されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の真空ポンプ装置。
- 有利には円環状に形成されているポンプフランジ(30)の周面に少なくとも3つの保持エレメント(34)が配置されている、請求項1から4までのいずれか1項記載の真空ポンプ装置。
- ポンプフランジ(30)が、特に円環状の溝(32)を有しており、該溝(32)内に、保持エレメント(34)に設けられた特に円環セグメント状の付設部(36)が係合している、請求項1から5までのいずれか1項記載の真空ポンプ装置。
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