JP6681446B2 - 緩衝体 - Google Patents
緩衝体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6681446B2 JP6681446B2 JP2018153383A JP2018153383A JP6681446B2 JP 6681446 B2 JP6681446 B2 JP 6681446B2 JP 2018153383 A JP2018153383 A JP 2018153383A JP 2018153383 A JP2018153383 A JP 2018153383A JP 6681446 B2 JP6681446 B2 JP 6681446B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recipient
- pump
- flange
- buffer
- protective element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 92
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 17
- 230000035939 shock Effects 0.000 claims description 17
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 11
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 11
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- YPFNIPKMNMDDDB-UHFFFAOYSA-K 2-[2-[bis(carboxylatomethyl)amino]ethyl-(2-hydroxyethyl)amino]acetate;iron(3+) Chemical compound [Fe+3].OCCN(CC([O-])=O)CCN(CC([O-])=O)CC([O-])=O YPFNIPKMNMDDDB-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 60
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- 235000000396 iron Nutrition 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
- F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L27/00—Adjustable joints, Joints allowing movement
- F16L27/10—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations
- F16L27/107—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations the ends of the pipe being interconnected by a flexible sleeve
- F16L27/11—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations the ends of the pipe being interconnected by a flexible sleeve the sleeve having the form of a bellows with multiple corrugations
- F16L27/111—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations the ends of the pipe being interconnected by a flexible sleeve the sleeve having the form of a bellows with multiple corrugations the bellows being reinforced
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
- F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
- F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
- Fluid-Damping Devices (AREA)
Description
そのような緩衝体は、従って、真空ポンプに緩衝体を固定するための、ポンプ側のフランジと、レシピエントに緩衝体を固定するための、レシピエント側のフランジとを有している。ポンプ側のフランジとレシピエント側のフランジとの間に、通常、波形ベローズが配設されており、この波形ベローズが、薄い金属材料から成り、且つ、ポンプ側のフランジとレシピエント側のフランジとの間の真空密な結合を形成する。
真空ポンプが作動状態になく、且つ、これに伴って、如何なるレシピエント内における負圧も波形ベローズを収縮させない場合、そのような配設において、真空ポンプの重量は、波形ベローズを伸長する。緩衝体の真空にされた状態において互いの中へ係合している保持ブラケットは、接触していない。
ターボ分子ポンプが高い回転数でもって作動され、且つ、ターボ分子ポンプのローターが、従って、極めて高い運動エネルギーを有しているので、このエネルギーおよび相応する回転トルクは、ロータークラッシュの場合に、ミリ秒の範囲内で、緩衝体およびレシピエントへと伝達される。更に、ロータークラッシュの発生の際に、同様に大きな軸線方向の力も発生可能であり、これら力が、波形ベローズが裂けるようにこれらフランジを引き離すかもしれない。
本発明に従い、緩衝体は、前記ポンプ側及び/またはレシピエント側のフランジと結合された少なくとも1つの保護要素を有しており、前記保護要素が、前記波形ベローズの外側に配設されており、および、前記保護要素が、これらフランジの互いに相対的な捩れ及び/または軸線方向の引き離しを制限する。
選択的または付加的に、保護要素は、ロータークラッシュの場合に、軸線方向においてこれらフランジの間で発生する最大の距離を、および、これに伴って、これらフランジがそのような場合に波形ベローズに対して作用する力を、制限する。
間隔という概念は、この場合、数学的な意味において、2つの固定位置の間の最小の距離と理解されるべきである。有利には、即ちフランジの中心軸線に対して平行な方向における、同様に軸線方向の間隔も、これら固定位置の間の保護要素の長さよりも短い。
保護要素の長さは、その際、有利には、しかしながら、ロータークラッシュの発生の際にただ極めて少しの捩れだけが、波形ベローズ内において発生し、且つ、この波形ベローズの損傷が防止されるように寸法設定されている。
この実施形態において、保護要素を用いて、これらフランジの間の剛性の、または、ぴんと張った如何なる結合も形成されないので、この保護要素を用いて、これらフランジの間のほぼ如何なる振動も伝達せず、従って、真空ポンプとレシピエントとの間の振動分離された結合は、外側に位置するこの保護要素によって阻害されない。
保護要素は、この実施形態において、これに伴って、これらフランジの間で、複数の結合部を形成しており、従って、ロータークラッシュの発生の際に、保護要素によって保持され得る最大の回転トルクが、相応してより大きい。このことによって、真空ポンプとレシピエントとの間の結合は、付加的に保護される。
ワイヤーロープは、曲げ柔軟であり、且つ、従って、ほぼ如何なる振動も、これらフランジの間で伝達しない。ワイヤーロープは、それにも拘らず、ロータークラッシュの発生の際の、真空ポンプとレシピエントとの間の結合の保護のための高い引張り強度を有している。
緩衝体の真空にされた状態において、および、ロータークラッシュの発生無しに、チェーンの個々の要素は、ただ緩く互いの中に位置しているだけであり、且つ、これら要素が、従って、ほぼ如何なる振動も、これらフランジの間で伝達しない。チェーンは、しかしながら、同様に、ロータークラッシュの発生の際の、真空ポンプとレシピエントとの間の結合を保護するための、高い引張り強度を有している。
緩衝体が真空にされた状態にある場合に、少なくとも1つの剛性の保護部材が、有利には、これらフランジの内の一方のフランジに遊隙無しに、および、これらフランジの内の、それぞれに他方のフランジに遊隙を有して装着されている。
保護部材が、この場合に、ポンプ側のフランジとレシピエント側のフランジとの間の、如何なる直接的な結合も形成しないので、この実施形態において、如何なる振動も、これらフランジの間で伝達されない。何故ならば、剛性の保護部材と両方のフランジとの間の係合が、ただ、レシピエントの真空にされていない状態もしくは通気された状態において、または、ロータークラッシュの発生の際にだけ行われるからである。
第1の固定位置と第2の固定位置との間の間隔によって、波形ベローズが損傷を与えられることなくロータークラッシュの発生の際に許容され得る、これらフランジの間の最大の捩れの角度は調節され得る。
保護部材は、この実施形態において、これに伴って、これらフランジの捩れが、相対して、ロータークラッシュの発生の際に行われる場合にだけ、互いに接触する。このようにして、真空にされた状態において、保護部材を用いて、如何なる振動も、これらフランジの間で伝達されないことが保障されている。
その際、緩衝体の真空にされた状態において、対体のこれら保護部材の間の、如何なる直接的な接触も存在せず、従って、如何なる振動も、これら保護部材を通って伝達されない。それぞれに他方の保護部材の切欠き部内における、一方の保護部材の突出部の配設によって、付加的な保護が、軸線方向において、即ちフランジの中心軸線に対して平行な方向において行われる。波形ベローズは、この実施形態において、ロータークラッシュの場合に、回転トルクに対してだけでなく、軸線方向の力に対しても保護される。
この間隔は、同様にここでも、第1の固定位置と第2の固定位置との間の最小の距離に関連する。有利には、同様に、それぞれの第1の固定位置と第2の固定位置との間の軸線方向、即ちフランジの中心軸線に対して平行な方向の間隔も、少なくとも2つの保護要素に関して異なっている。複数の保護要素によって、波形ベローズの更により良好な保護が、ロータークラッシュの場合の引き裂きに対して行われる。
スリーブは、波形ベローズが、真空ポンプの作動状態において、即ちレシピエントおよび緩衝体の真空にされた状態において、所望されるよりも更に収縮されることを防止する。更に、エラストマー材料から成るスリーブは、少なくともほぼ完全に、真空ポンプとレシピエントとの間の振動伝達を防止する。
緩衝体11は、真空ポンプにおける緩衝体11の固定のための、ポンプ側のフランジ13と、レシピエントにおける緩衝体11の固定のためのレシピエント側のフランジ15とを有している。ポンプ側のフランジ13とレシピエント側のフランジ15との間に、波形ベローズ17が配設されており、この波形ベローズは、これらフランジ13、15を、真空密に互いに結合している。
外側で、波形ベローズ17は、エラストマー材料から成るスリーブ19によって取り囲まれており、このスリーブが、同様に、ポンプ側のフランジ13とレシピエント側のフランジ15との間に配設されている。スリーブ19は、緩衝体11の真空にされた状態において、端面側でフランジ13、15に当接し、且つ、このことによって、レシピエント内における負圧によって引き起こされる波形ベローズ17の収縮を、所望された寸法に制限する。
スリーブ19がエラストマー材料から成るので、このスリーブは、更に、フランジ13とスランジ15の間の、および、これに伴って、振動ポンプとレシピエントとの間の振動伝達を減少させる。例えば波形ベローズ17が十分な壁厚および強度を有している場合、スリーブ19が、基本的に同様に省略されることはコメントされる。
緩衝体の真空にされていない状態における波形ベローズ17の許容されていない伸張もしくは延長を防止するために、フランジ13、15の中心軸線20上の1つの位置において、これら保持ブラケット21は互いの中へ係合している。そのような延長は、例えば、真空ポンプが緩衝体11を用いて、懸吊りした状態でレシピエントに固定されたおり、且つ、これに伴って、真空ポンプの全重量が緩衝体11に対して作用する場合に発生する。
波形ベローズ17が、通常、薄い金属薄板から製造されているので、この波形ベローズは、そのような高い回転トルクに耐え得ない。このことは、レシピエント側のフランジ15からの波形ベローズ17の引き剥がし、および、これに伴って、レシピエントからの真空ポンプの引き剥がしを誘起し、従って、この真空ポンプが制御不能に周囲環境によって運動する可能性がある。
付加的に、例えば、ターボ分子ポンプのロータークラッシュの際に、この引き剥がされたターボ分子ポンプのローターのブレードが解離し、同様に、制御不能に周囲環境によって運動し、且つ、このことによって、更なる危険が具現する。
図2の第1の実施形態において、保護要素23は、ワイヤーロープ29の様式において形成されており、これに対して、図3の第2の実施形態において、ワイヤーロープの代わりに、チェーン31が設けられている。
これらワイヤーロープ29およびチェーン31は、保持ブラケット21の機能を引き受け、その結果、内側に位置する保持ブラケット21が省略され得、即ち、ワイヤーロープ29およびチェーン31が、緩衝体11の真空にされていない状態において、許容された寸法への波形ベローズ17の伸張もしくは延長の制限を引き起こす。
ワイヤーロープ29が曲げ柔軟であり、且つ、チェーン31の個々の環が、緩衝体11の真空にされた状態において緩く互いに隣接しているので、ワイヤーロープ29もチェーン31も、ポンプ側のフランジ13からの振動を、レシピエント側のフランジ15へと伝達しない。その結合のために緩衝体11が設けられている、真空ポンプとレシピエントとの間の振動分離された該結合は、ワイヤーロープ29およびチェーン31によって、阻害されない。
ワイヤーロープ29もしくはチェーン31の長さは、その際、波形ベローズ17が、レシピエント側のフランジ15に対するポンプ側のフランジ13の捩れに基づいての最大に発生する捩れによって損傷を与えられないように寸法設定されている。
ポンプ側のフランジ13には、緩衝体11の真空にされた状態において、それに反して、平鉄材33とそれぞれのボルト35との間の、周囲に延在する間隙37が設けられている。ボルト35と平鉄材33とは、ポンプ側のフランジ13におけるこの間隙37に基づいて、接触していない。何故ならば、それぞれのボルト35の頭部が、レシピエント側のフランジ15における固定とは異なり、それぞれの平鉄材33から離間されており、且つ、ポンプ側のフランジ13における平鉄材33のそれぞれのボルト穿孔が、レシピエント側のフランジ15におけるよりも大きな直径を有しているからである。
このことによって、緩衝体の真空にされた状態において、レシピエント側のフランジ15への、平鉄材33を介してのポンプ側のフランジ13からの振動の伝達は防止され、従って、同様にここでも、真空ポンプとレシピエントとの間の振動分離された結合が、外側に位置する保護要素23、即ち平鉄材33によって阻害されない。
緩衝体11は、その際、ポンプ側のフランジ13において、示されていない真空ポンプ、例えばターボ分子ポンプのフランジ39と結合されており、これに対して、この緩衝体が、レシピエント側のフランジ15において、同様に示されていないレシピエントのフランジ41と結合されている。フランジ13と39の、もしくは、フランジ15と41の結合は、その際、それぞれに、クランプボルト43を用いて行われる。
固定位置25、27は、クランプボルト43に位置しており、これらクランプボルトが、それぞれに、ポンプ側のフランジ13もしくはレシピエント側のフランジ15と結合されている。
図5内において中央もしくは右側に示されている第2および第3の変形例において、それぞれに、ワイヤーロープ29は、ポンプ側もしくはレシピエント側のフランジ13、15におけるそれぞれのクランプボルト43において、しかも図2内において示された実施形態に類似して、固定されている。
第2および第3の変形例は、固定位置25、27の間隔、および、相応してワイヤーロープ29の長さによって区別される。第2の変形例において、第1の変形例においてと類似して、ワイヤーロープの固定が、それぞれのクランプボルト43の中間部分において設けられているのに対して、第3の変形例における固定位置25、27は、それぞれのクランプボルト43の下側もしくは上側の縁部に位置している。
保護要素23の、図5内において示された3つの変形例は、選択肢としてまたは組み合わせにおいて使用され得、即ち、固定位置25、27の間の異なる間隔を有する異なる保護要素23が、クランプボルトのそれぞれの対体に配設されていることは可能である。このことは、保護要素23の使用のためのフレキシビリティを向上する。
如何なるロータークラッシュも発生せず、且つ、緩衝体が真空にされた状態において存在している限り、保護要素23は、ぴんと張っていない状態で張り渡されており、これに伴って、これら保護要素が、如何なる振動も、ポンプ側のフランジ13もしくは真空ポンプから、レシピエント側のフランジ15もしくはレシピエントへと伝達しない。それぞれに、異なって離間された第1の固定位置25と、第2の固定位置27との間に配設されている、複数の保護要素23の存在は、更に良好に、ロータークラッシュの際の波形ベローズ17の引き裂きから保護する。
第1の平鉄材47と第2の平鉄材49とは、その際、それぞれに、クランプボルト43に固定されており、このクランプボルトが、ポンプ側のフランジ13を真空ポンプのフランジ39と、もしくは、レシピエント側のフランジ15をレシピエントのフランジ41と結合している。第1の平鉄材47の固定位置25は、これに伴って、ポンプ側のフランジ13との結合状態にあるクランプボルト43に位置しており、これに対して、第2の平鉄材49の固定位置27が、レシピエント側のフランジ15との結合状態にあるクランプボルト43に位置している。
換言すれば、それらの間に配設された保護要素23を有する、クランプボルト43は、緩衝体11のシステムアップのための、安いコストの付属具を具現する。
ロータークラッシュの場合、ポンプ側のフランジ13とレシピエント側のフランジ15とは、真空ポンプの回転トルクに基づいて、このことが矢印50によって図示されているように、相対して捩られる。これらフランジ13、15の捩れは、しかしながら、第1の平鉄材47と第2の平鉄材49とが互いに接触し、且つ、このことによって、ポンプ側のフランジ13の回転トルクが、レシピエント側のフランジ15へと伝達されるやいなや、相対して終了する。
段部51の幾何学的な寸法設定、特にこれら減少された幅を有する部分の間隔によって、その角度だけ、ポンプ側のフランジ13とレシピエント側のフランジ15とが、最大に相対して捩り可能な、平鉄材47、49が接触し且つ更なる捩れを防止するまでの該角度が予め与えられ得る。
ロータークラッシュの際に、それに反して、第1と第2の平鉄材47、49のそれぞれの切欠き部53と突出部55とが接触状態になり、従って、ポンプ側のフランジ13の捩れが、レシピエント側のフランジ15に対して相対的に制限される。
付加的に、切欠き部53は、突出部55と共に、軸線方向の保護装置として作用する。何故ならば、ポンプ側のフランジ13の移動が、レシピエント側のフランジ15に対して相対的に、軸線方向、即ちフランジ13、15の中心軸線20に対して平行な方向において制限されるからである。
ワイヤーロープ29もしくはチェーン31を有する、図2から6内に図示された実施形態においてと類似して、付加的な軸線方向の保護装置によって、波形ベローズ17の最大の伸長もしくは延長は、緩衝体が真空にされた状態において存在してなく、且つ、真空ポンプがレシピエントに懸吊りした状態で固定されている場合に制限される。
13 ポンプ側のフランジ
15 レシピエント側のフランジ
17 波形ベローズ
19 スリーブ
20 中心軸線
21 保持ブラケット
23 保護要素
25 第1の固定位置
27 第2の固定位置
29 ワイヤーロープ
31 チェーン
33 平鉄材
35 ボルト
37 間隙
39 ターボ分子ポンプのフランジ
41 レシピエントのフランジ
43 クランプボルト
45 剛性の保護部材の対体
47 第1の平鉄材
49 第2の平鉄材
50 矢印
51 段部
53 切欠き部
55 突出部
Claims (10)
- レシピエントとの、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの振動分離された結合のための緩衝体(11)であって、この緩衝体が、
前記真空ポンプに前記緩衝体(11)を固定するための、ポンプ側のフランジ(13)と、
前記レシピエントに前記緩衝体(11)を固定するための、レシピエント側のフランジ(15)と、
前記ポンプ側のフランジ(13)と前記レシピエント側のフランジ(15)とを真空密に互いに結合している、波形ベローズ(17)と、
前記ポンプ側およびレシピエント側のフランジ(13、15)と結合された少なくとも1つの保護要素(23)とを有し、
前記保護要素が、前記波形ベローズ(17)の外側に配設されており、および、
前記保護要素が、これらフランジ(13、15)の互いに相対的な捩れ及び/または軸線方向の引き離しを制限する様式の上記緩衝体において、
前記ポンプ側のフランジ(13)と前記レシピエント側のフランジ(15)とに、前記保護要素(23)のそれぞれに複数の固定位置(25、27)が設けられており、
前記保護要素(23)が、交互に、前記ポンプ側のフランジ(13)における固定位置(25)と、前記レシピエント側のフランジ(15)における固定位置(27)との間で延在しており、
前記固定位置(25、27)が、それぞれのクランプボルト(43)に位置しており、これらクランプボルトが、前記ポンプ側のフランジ(13)、および、前記レシピエント側のフランジ(15)に附設されていること、
を特徴とする緩衝体(11)。 - 前記ポンプ側のフランジ(13)に、前記保護要素(23)の少なくとも1つの第1の固定位置(25)が、および、前記レシピエント側のフランジ(15)に、前記保護要素(23)の少なくとも1つの第2の固定位置(27)が設けられており、
前記第1の固定位置(25)と第2の固定位置(27)との間の間隔が、前記第1の固定位置(25)と第2の固定位置(27)との間の前記保護要素(23)の長さよりも短いことを特徴とする請求項1に記載の緩衝体(11)。 - 前記保護要素(23)は、ワイヤーロープ(29)として形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の緩衝体(11)。
- 前記保護要素(23)は、チェーン(31)として形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の緩衝体(11)。
- レシピエントとの、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの振動分離された結合のための緩衝体(11)であって、この緩衝体が、
前記真空ポンプに前記緩衝体(11)を固定するための、ポンプ側のフランジ(13)と、
前記レシピエントに前記緩衝体(11)を固定するための、レシピエント側のフランジ(15)と、
前記ポンプ側のフランジ(13)と前記レシピエント側のフランジ(15)とを真空密に互いに結合している、波形ベローズ(17)と、
前記ポンプ側およびレシピエント側のフランジ(13、15)と結合された少なくとも1つの保護要素(23)とを有し、
前記保護要素が、前記波形ベローズ(17)の外側に配設されており、および、
前記保護要素が、これらフランジ(13、15)の互いに相対的な捩れ及び/または軸線方向の引き離しを制限する様式の上記緩衝体において、
前記保護要素(23)が、平鉄材から成る少なくとも1つの剛性の保護部材(33、47、49)を備えていること、および、
前記保護要素(23)が、前記剛性の保護部材(47、49)の少なくとも1つの対体(45)を備えており、
これら保護部材の内の一方の前記保護部材(47)が、前記ポンプ側のフランジ(13)における第1の固定位置(25)に、および、他方の前記保護部材(49)が、前記レシピエント側のフランジ(15)における第2の固定位置(27)に装着されており、
前記第1および第2の固定位置(25、27)が、前記フランジ(13、15)の外周方向において離間されていること、
を特徴とする緩衝体(11)。 - 前記緩衝体(11)が真空にされた状態にある場合に、前記少なくとも1つの剛性の保護部材(33)が、前記フランジ(13、15)の内の一方のフランジに遊隙無しに、および、前記フランジ(13、15)の内の、それぞれに他方のフランジに遊隙を有して装着されていることを特徴とする請求項5に記載の緩衝体(11)。
- 前記緩衝体(11)が真空にされた状態にある場合に、
それぞれの対体(45)の前記保護部材(47、49)は、前記フランジ(13、15)の外周方向において離間されていることを特徴とする請求項5に記載の緩衝体(11)。 - 1つの対体(45)の一方の前記保護部材(47、49)は、切欠き部(53)を有しており、
この切欠き部内へと、この対体(45)の他方の前記保護部材(47、49)の突出部(55)が係合していることを特徴とする請求項5または7に記載の緩衝体(11)。 - 複数の前記保護要素(23)は、それぞれに、第1の固定位置(25)において、前記ポンプ側のフランジ(13)と、並びに、第2の固定位置(27)において、前記レシピエント側のフランジ(15)と結合されており、
一方の保護要素(23)の前記第1の固定位置(25)と第2の固定位置(27)との間の間隔が、少なくとも2つの保護要素(23)に関して異なっていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一つに記載の緩衝体(11)。 - エラストマー材料から成るスリーブ(19)が設けられており、このスリーブが、前記波形ベローズ(17)を取り囲んでおり、且つ、前記ポンプ側のフランジ(13)と前記レシピエント側のフランジ(15)との間に配設されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一つに記載の緩衝体(11)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP17187107.2 | 2017-08-21 | ||
EP17187107.2A EP3447298B1 (de) | 2017-08-21 | 2017-08-21 | Dämpfungskörper zur verbindung eine vakuumpumpe |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019035409A JP2019035409A (ja) | 2019-03-07 |
JP2019035409A5 JP2019035409A5 (ja) | 2020-01-23 |
JP6681446B2 true JP6681446B2 (ja) | 2020-04-15 |
Family
ID=59677149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018153383A Active JP6681446B2 (ja) | 2017-08-21 | 2018-08-17 | 緩衝体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3447298B1 (ja) |
JP (1) | JP6681446B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW202421923A (zh) * | 2020-09-30 | 2024-06-01 | 荷蘭商Asml荷蘭公司 | 真空系統及在幫浦失效之事件中緩解損害及安全風險之系統 |
CN112762245A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-05-07 | 衡水瑟林科技有限公司 | 一种波纹钢管抗滑移装置 |
CN114562621A (zh) * | 2022-03-03 | 2022-05-31 | 上海精测半导体技术有限公司 | 一种离子泵隔振装置及其使用方法 |
CN114791059A (zh) * | 2022-05-27 | 2022-07-26 | 河南中烟工业有限责任公司 | 一种机械连接法兰 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2741418B1 (fr) * | 1995-11-21 | 1998-01-16 | Westaflex Automobile | Dispositif de liaison souple de deux conduits rigides |
DE19745185A1 (de) * | 1997-10-13 | 1999-04-15 | Leybold Ag | Vorrichtung zum vakuumdichten Verbinden von zwei Körpern aus unterschiedlichen Materialien |
JP2002303294A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-18 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP4250353B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2009-04-08 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP2004108434A (ja) * | 2002-09-17 | 2004-04-08 | Nikon Corp | ショックアブソーバユニット、ショックアブソーバ及びそれを有する露光装置 |
JP2005030423A (ja) * | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Kazuya Shimizu | 除振装置 |
GB0402625D0 (en) * | 2004-02-06 | 2004-03-10 | Boc Group Plc | Vibration damper |
JP4925781B2 (ja) * | 2006-10-05 | 2012-05-09 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプとその振動吸収ダンパ |
JP2015132373A (ja) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 株式会社サンケイ技研 | 可撓性管継手およびそれを用いた継手構造 |
-
2017
- 2017-08-21 EP EP17187107.2A patent/EP3447298B1/de active Active
-
2018
- 2018-08-17 JP JP2018153383A patent/JP6681446B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3447298A1 (de) | 2019-02-27 |
JP2019035409A (ja) | 2019-03-07 |
EP3447298B1 (de) | 2022-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6681446B2 (ja) | 緩衝体 | |
JP5296991B2 (ja) | 振動ダンパ | |
JP2019035409A5 (ja) | ||
US7854128B2 (en) | Vacuum pump damping adapter | |
JP5744383B2 (ja) | 減衰音響パネルのための方法及びシステム | |
JP5674468B2 (ja) | ターボ分子ポンプのための多段ポンプロータ | |
JP4250353B2 (ja) | 真空ポンプ | |
EP2410184B1 (en) | Vibration damper for vacuum pumps | |
TWI390112B (zh) | 真空泵系統 | |
JP2012177365A (ja) | 結合組立体 | |
JP2010507040A (ja) | 振動絶縁装置 | |
US3114060A (en) | Resilient mounts for electric motors | |
JP2009511815A (ja) | 真空排気装置 | |
JP7044611B2 (ja) | 圧縮機 | |
US7341423B2 (en) | Molecular pump and connecting device | |
JP6106439B2 (ja) | 軸方向可撓性アームを備える近流路シール | |
JP2013505386A (ja) | 軸流式遠心ターボ機械 | |
EP2594744B1 (en) | Flexible seal system for a gas turbine engine | |
JP4218765B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP5467758B2 (ja) | 真空ポンプを備えた装置 | |
JP2011094347A (ja) | 作業機械における後処理装置の連結構造および該連結構造を備えた作業機械 | |
JP5552127B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2019215003A (ja) | ガスターボ機械のためのバースト保護装置 | |
KR101091237B1 (ko) | 터보차저의 터빈하우징과 센터하우징의 결합구조 | |
KR20180000730U (ko) | 진동방지형 수직펌프 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190828 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190830 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20191122 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20191129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200323 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6681446 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |