JP7221891B2 - 真空システム及びこのような真空システムを製造するための方法 - Google Patents
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Description
113 インレットフランジ
115 ポンプインレット
117 ポンプアウトレット
119 ハウジング
121 下部分
123 エレクトロニクスハウジング
125 電動モータ
127 アクセサリー接続部
129 データインターフェース
131 電源供給接続部
133 フローインレット
135 シールガス接続部
137 モータ室
139 冷却媒体接続部
141 下側面
143 ネジ
145 支承部カバー
147 固定穴
148 冷却媒体配管
149 ロータ
151 回転軸
153 ロータ軸
155 ロータディスク
157 ステータディスク
159 スペーサリング
161 ロータハブ
163 ホルベックロータスリーブ
165 ホルベックロータスリーブ
167 ホルベックステータスリーブ
169 ホルベックステータスリーブ
171 ホルベック間隙
173 ホルベック間隙
175 ホルベック間隙
179 接続チャネル
181 ローラ支承部
183 永久磁石支承部
185 スプラッシュナット
187 ディスク
189 インサート
191 ロータ側の支承半部
193 ステータ側の支承半部
195 リングマグネット
197 リングマグネット
199 支承部間隙
201 担持部分
203 担持部分
205 半径方向の支柱
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 皿バネ
215 緊急用または安全用支承部
217 モータステータ
219 中間空間
221 壁部
223 ラビリンスシール
20 ハウジング体
22 部分ストランド
24 部分ストランド
26 ロータハウジング
28 チャンバハウジング
30 シリンダ状の空所
32 シリンダ状の空所
34 突起
36 取付け開口
40 真空システム
42 真空チャンバ
44 スプリットフロー真空ポンプ
46 開口
48 ポンプロータ
50 壁
52 ターボ段
54 ホルベック段
56 ポンプベース要素
58 機能部分
60 組合せ式のポンプ段
62 予真空接続部
64 開口
66 カバー
68 四重極
70 四重極
72 検出器
Claims (14)
- ロータハウジング(26)内に配置されたポンプロータ(48)を備える真空ポンプ(44)又はターボ分子ポンプ及び/又はスプリットフロー真空ポンプと、チャンバハウジング(28)によって包囲された真空チャンバ(42)を有する真空システム(40)において、
ロータハウジング(26)とチャンバハウジング(28)が、ハウジング体(20)によって一部材として構成され、ハウジング体(20)が、押出成形部品であること、及び、ハウジング体(20)内には、平行に整向された少なくとも2つのシリンダ状の空所(30,32)が形成され、ポンプロータ(48)が、第1の空所(30)内に配置され、真空チャンバ(42)が、第2の空所(32)内に構成され、各空所が、別個の部分ストランド内に形成されていること、及び、ハウジング体(20)の空所の間の壁に形成された開口(46)だけによって、ポンプロータ(48)と真空チャンバ(42)もしくは空所同士が互いに接続され、開口(46)が形成された壁も、シリンダ状の空所の整向に対して平行に延在すること、を特徴とする真空システム(40)。 - ハウジング体が、各空所(30,32)に対して平行に整向された第3のシリンダ状の空所を有し、第3のシリンダ状の空所内に、別のポンプロータ及び/又は別の真空チャンバが設けられていること、を特徴とする請求項1に記載の真空システム(40)。
- ポンプロータ(48)が、ロータハウジング(26)内に嵌入されて配置されていること、を特徴とする請求項1又は2に記載の真空システム(40)。
- ポンプ(44)が、ポンプベース要素(56)を備え、このポンプベース要素が、ハウジング体(20)に固定されていること、を特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の真空システム(40)。
- ハウジング体(20)が、少なくとも1つの突起(34)を備え、この突起に、ポンプ(44)の前記ポンプベース要素(56)が固定されていること、を特徴とする請求項4に記載の真空システム(40)。
- 真空チャンバ(42)内に、機能要素(68,70)が配置され、ハウジング体(20)が、機能要素用の取付け開口(36)を備えること、を特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の真空システム(40)。
- 真空システム(40)が、少なくとも1つの第2の真空チャンバ(42)を備え、この第2の真空チャンバも、ハウジング体(20)内に構成されていること、を特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の真空システム(40)。
- 真空チャンバ(42)が、ポンプロータ(48)に関してこのポンプロータに対して半径方向及び/又は軸方向に隣接して配置されていること、及び/又は、ロータハウジングとチャンバハウジング及び/又はこれらハウジング内にそれぞれ設けられたシリンダ状の空所が、その断面積に関して異なる大きさであり、少なくとも20%の大きさの違いを備えること、を特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の真空システム(40)。
- ポンプロータ(48)用のシリンダ状の空所(30)と、真空チャンバ(42)用のシリンダ状の空所(32)が、共通のカバー(66)によって閉鎖されていること、を特徴とする請求項1~8のいずれか1項に記載の真空システム(40)。
- 真空システムが、質量分析システムであること、を特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の真空システム(40)。
- 請求項1~10のいずれか1項に記載の真空システム(40)を製造するための方法であって、真空システム(40)が、ロータハウジング(26)内に配置されたポンプロータ(48)を備える真空ポンプ(44)又はターボ分子ポンプ及び/又はスプリットフロー真空ポンプと、チャンバハウジング(28)によって包囲された真空チャンバ(42)を有するものにおいて、
ロータハウジング(26)とチャンバハウジング(28)が、ハウジング体(20)によって一部材として構成され、このハウジング体が、押出成形によって製造されること、及び、ハウジング体(20)内には、平行に整向された少なくとも2つのシリンダ状の空所(30,32)が形成され、ポンプロータ(48)が、第1の空所(30)内に配置され、真空チャンバ(42)が、第2の空所(32)内に構成され、各空所が、別個の部分ストランド内に形成されていること、及び、ポンプロータ(48)と真空チャンバ(42)もしくは空所同士を互いに接続する開口(46)が、ハウジング体(20)の空所の間の壁に形成され、開口(46)が形成された壁も、シリンダ状の空所の整向に対して平行に延在すること、を特徴とする方法。 - ポンプロータ(48)が、ロータハウジング(26)内に嵌入されること、を特徴とする請求項11に記載の方法。
- 取付け開口(36)が、チャンバハウジング(28)に形成され、機能要素が、この取付け開口(36)を経て真空チャンバ(42)内に導入されること、を特徴とする請求項11又は12に記載の方法。
- ポンプロータ(48)と真空チャンバ(42)もしくは空所同士を互いに接続する開口(46)が、背後から作用する切削工具によって形成されること、を特徴とする請求項11に記載の方法。
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