JP2020133631A5 - - Google Patents
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- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 2
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Description
課題は、独立した方法の請求項に記載の方法によっても解決され、しかも、ロータハウジングとチャンバハウジングが、ハウジング体によって一部材として構成され、このハウジング体が、押出成形によって製造されることによって解決される。
Claims (1)
- 真空システム（４０）、特に質量分析システム及び／又は請求項１〜１０のいずれか１項に記載の真空システムを製造するための方法であって、真空システム（４０）が、ロータハウジング（２６）内に配置されたポンプロータ（４８）を備える真空ポンプ（４４）、特にターボ分子ポンプ及び／又はスプリットフロー真空ポンプと、チャンバハウジング（２８）によって包囲された真空チャンバ（４２）を有するものにおいて、
ロータハウジング（２６）とチャンバハウジング（２８）が、ハウジング体（２０）によって一部材として構成され、このハウジング体が、押出成形によって製造されること、を特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP19158341.8A EP3564538B1 (de) | 2019-02-20 | 2019-02-20 | Vakuumsystem und verfahren zur herstellung eines solchen |
| EP19158341 | 2019-02-20 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020133631A JP2020133631A (ja) | 2020-08-31 |
| JP2020133631A5 true JP2020133631A5 (ja) | 2021-06-10 |
| JP7221891B2 JP7221891B2 (ja) | 2023-02-14 |
Family
ID=65529419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020021459A Active JP7221891B2 (ja) | 2019-02-20 | 2020-02-12 | 真空システム及びこのような真空システムを製造するための方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP3564538B1 (ja) |
| JP (1) | JP7221891B2 (ja) |
Family Cites Families (11)
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2019
- 2019-02-20 EP EP19158341.8A patent/EP3564538B1/de active Active
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2020
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