JP6166296B2 - ステータディスク - Google Patents
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Description
12 インレットフランジ
14 ポンプインレット
16 ハウジング
18 ローター
20 ローター軸
22 回転シャフト
24 ローターディスク
26 ステータディスク
28 スペーサリング
30 ローターハブ
32 ホルベックロータースリーブ
34 ホルベックロータースリーブ
36 ホルベックステータスリーブ
38 ホルベックステータスリーブ
40 ローラー支承部
42 永久磁石支承部
44 ローター側の支承半部
46 ステータ側の支承半部
48 マグネットリング
50 マグネットリング
52 支承間隙
54 安全用支承部
56 スプラッシュナット
58 吸収性のディスク
60 モーター室
62 ジーグバーンステージ
64 遮断ガスインレット
66 駆動モーター
68 モーターステーター
70 コア
72 コイル
74 永久磁石装置
75a 軟磁性のバックキー
75b 永久磁石
76 モーター間隙
78 バランスリング
80 カプセル
82 制御兼電源供給ユニット
84 ターボ分子ポンプ
86 ステータディスク
88 回転シャフト
90 ローターディスク
92 ステータディスク部分
94 薄板部分セグメント
96 内周
98 外周
100 射出成形体
102 構造化された領域
104 金属のスペーサリング
106 ポンプ方向
108 作用方向
Claims (16)
- 周囲方向に連続する複数の薄板翼部を有する、部分リング形状の少なくとも二つのステータディスク部分(92)、又は二つのステータディスク半部を有する真空ポンプのステータディスク(86)であって、
その際、部分リング形状の複数のステータディスク部分(92)が、其々、複数の個々の薄板部分セグメント(94)から形成されており、そして部分リング形状の各ステータディスク部分(92)の個々の薄板部分セグメント(94)が、その内周及び/又は外周(96または98)の領域において、共通の一つのプラスチック部材(100)を介して互いに接続されていることを特徴とするステータディスク。 - 個々の薄板部分セグメント(94)が、其々、少なくとも一つの薄板翼部を有することを特徴とする請求項1に記載のステータディスク。
- プラスチック部材(100)の材料が、少なくとも一つのポリマーを含むことを特徴とする請求項1または2に記載のステータディスク。
- プラスチック部材(100)の材料が、少なくとも一つのLCPポリマーを含むことを特徴とする請求項3に記載のステータディスク。
- プラスチック部材(100)が、強化剤を有する少なくとも一つのポリマーを含むことを特徴とする請求項3または4に記載のステータディスク。
- プラスチック部材(100)の材料が、少なくとも一つの充填材を含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のステータディスク。
- 部分リング形状の各ステータディスク部分(92)の個々の薄板部分セグメント(94)が、内周及び/又は外周(96または98)の領域において、互いに接続されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のステータディスク。
- 部分リング形状のステータディスク部分(92)の個々の薄板部分セグメント(94)が、その内周(96)の領域においてプラスチック部材によって及び/又は別のプラスチック材料によって補強されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のステータディスク。
- プラスチック部材及び/又は別のプラスチック材料の表面が、一つのポンプ構造を設けられていることを特徴とする請求項8に記載のステータディスク。
- 薄板翼部又は個々の薄板部分セグメント(94)が、追加的に硬化されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のステータディスク。
- 真空ポンプであって、請求項1から10の少なくとも一項に記載の、少なくとも一つのステータディスク(86)を有することを特徴とする真空ポンプ。
- 個々の薄板部分セグメント(94)が、その外周(98)の領域において金属のスペーサリング(104)と接続されていることを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。
- 周囲方向に連続する各複数の薄板翼部を有する部分リング形状の少なくとも二つのステータディスク部分(92)、又は二つのステータディスク部分を有する真空ポンプのステータディスク(86)の製造の為の方法であって、その際、部分リング形状のステータ部分(92)が、個々の複数の薄板部分セグメント(94)から形成されており、かつ、部分リング形状の各ステータディスク部分(92)の個々の薄板部分セグメント(94)が、射出成形方法で互いに接続されることを特徴とする方法。
- 各部分リング形状のステータディスク部分(92)の個々の薄板部分セグメント(94)が、内周及び/又は外周(96または98)の領域において、一つの共通な射出成形体(100)を介して互いに接続されることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 個々の薄板部分セグメント(94)が、其々、曲げプロセス、打ち抜きプロセス、及び/又は切断プロセスによって形成されることを特徴とする請求項13または14に記載の方法。
- 薄板翼部または個々の薄板部分セグメント(94)が、追加的に硬化されることを特徴とする請求項13から15のいずれか一項に記載の方法。
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