EP2913533A1 - Statorscheibe - Google Patents

Statorscheibe Download PDF

Info

Publication number
EP2913533A1
EP2913533A1 EP15152240.6A EP15152240A EP2913533A1 EP 2913533 A1 EP2913533 A1 EP 2913533A1 EP 15152240 A EP15152240 A EP 15152240A EP 2913533 A1 EP2913533 A1 EP 2913533A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
sheet metal
stator disk
stator
individual sheet
metal part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP15152240.6A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP2913533B1 (de
Inventor
Tobias Stoll
Marco Antonacci
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Publication of EP2913533A1 publication Critical patent/EP2913533A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP2913533B1 publication Critical patent/EP2913533B1/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps

Definitions

  • the invention relates to a stator disk for a vacuum pump, in particular for a turbomolecular pump. Furthermore, the invention relates to a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, with at least one such stator and a method for producing such a stator.
  • Vacuum pumps e.g. Turbomolecular pumps serve to generate a vacuum, for example for electron microscopes or mass spectrometers.
  • gas particles are accelerated by rotor disks of the turbomolecular pump and guided by stator disks in a preferred direction, whereby a vacuum generating flow is formed.
  • both the rotor disks and the stator disks to a perpendicular to a rotor axis extending plane inclined blades, which accelerate or deflect the gas particles.
  • the rotor disks are non-rotatably connected to a high-speed shaft whose axis of rotation defines an axial direction of the turbomolecular pump, while the stator disks are not coupled to the shaft but fixed to a housing of the turbomolecular pump.
  • the rotor and stator discs are alternately arranged in the axial direction and spaced apart by spacers.
  • the rotor and stator disks and the spacer rings are arranged on the shaft and the resulting package is introduced into the housing of the turbomolecular pump. It is desirable that, in particular, the stator disks do not move laterally out of the package and wedging with the same when inserted into the housing is prevented.
  • stator disks are usually made from a sheet metal part by means of a bending, stamping and / or cutting forming process. Such a method has significant economic advantages over machining of stator disks. Increasing dimensions of the stator but this bring a number of disadvantages. So the required tool is relatively expensive. At lower sheet thicknesses, the rigidity of the stator is too low. It is therefore necessary to use thicker sheets, which, however, result in poorer conductivities and make forming much more difficult. In addition, the geometries to be generated are severely limited, as arise by bending the blades from the sheet plane open blade interspaces.
  • the invention is therefore an object of the invention to provide a stator, a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, and a method of the type mentioned, with which the aforementioned problems are eliminated.
  • a respective stator disc with high flexibility with respect to the achievable geometries of the stator should be as simple as possible and correspondingly inexpensive to produce.
  • the stator disk according to the invention comprises at least two partially annular stator disk sections, preferably two stator disk halves, each with a plurality of sheet metal vanes following one another in the circumferential direction.
  • the part-annular Statorinabitese are each formed from a plurality of individual sheet metal part segments, wherein the individual sheet metal part segments of a respective partially annular Statorusionnabitess are connected to each other in the region of the inner and / or outer periphery via a common injection molded part, in particular form-fitting manner.
  • stator is composed of individual sheet metal parts, which are primarily interconnected by means of injection molding in the region of the inner and / or outer circumference, forming tools of lesser complexity can be used for their production, as results in a correspondingly simpler geometry with the individual sheet metal parts.
  • the individual sheet metal part segments may each comprise only one or in each case a plurality of sheet metal blades.
  • the material of the injection molded part contains at least one polymer.
  • this material may contain at least one liquid crystal polymer (LCP polymer).
  • LCP polymer liquid crystal polymer
  • the material of the injection molding may contain at least one polymer with reinforcement and / or at least one polymer without reinforcement.
  • the material of the injection molded part contains at least one filler, in particular at least one filler with increased thermal conductivity.
  • the individual sheet metal part segments of a respective partially annular stator disk section are connected together in the region of their inner and / or outer circumference via a positive common injection molded part.
  • the individual sheet metal part segments of a respective part-annular Statorusionnabitess are reinforced in the region of the inner periphery in particular in the axial direction by the injection molded part or by additional injection molding material.
  • the axial gaps in the region of the inner circumference of the stator disks can be reduced in conjunction with the rotor disks surrounding the stator disk, without the stator disks otherwise having to be made thicker.
  • the surface of the injection-molded part and / or the injection-molding material may be structured at least in some areas in order to create a pump structure or pump-active structure on the surface. It can be counteracted by a corresponding structure in particular a backflow within the pump.
  • the vacuum pump according to the invention in particular turbomolecular pump, is characterized in that it comprises at least one stator disk according to the invention.
  • the individual sheet metal part segments are metallically connected in the region of their outer circumference with a metallic spacer ring.
  • a metallic one Spacer serves in particular the thermal connection of the sheet metal part segments and their better integration into the pump.
  • the metal sheet segments are metallically connected to the spacer ring, they can better deliver the heat to the outer shell of the pump.
  • the inventive method for producing a stator of a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, with at least two partially annular Statorinabroughen, preferably two Statorinhwagn, each with a plurality of circumferentially successive sheet metal blades is characterized in that the partially annular Statorusionnabroughe each formed from a plurality of individual sheet metal part segments and the individual sheet metal part segments a respective partially annular stator disc section are joined together by injection molding, in particular form-fitting manner.
  • the individual sheet metal part segments of a respective partially annular stator disk section are connected to one another in the region of their inner and / or outer circumference via a common injection molded part.
  • the individual sheet metal part segments can each be formed in particular by means of a bending, stamping and / or cutting process.
  • stator disc is thus composed of individual sheet metal parts, which are primarily interconnected by means of injection molding in the region of the outer and / or inner circumference.
  • the complexity of the forming tool required for the production of the stator is significantly reduced by the simple geometry of the individual sheet metal parts.
  • the sheet metal parts produced are placed in an injection molding machine and connected to each other via an injection molding process.
  • the sheet metal parts can be both individual blades and stator disk segments.
  • stator The flexibility in terms of the achievable geometries of the stator is significantly increased. Overlaps and undercuts can be easily realized.
  • stiffening elements can also be applied to the blades by means of the injection-molding process, whereby the pressing pressure required for their production is substantially reduced in comparison with the production of a complete stator disk or stator half-disk. It can be used correspondingly smaller presses.
  • stator disks can be made substantially stiffer in the pump-axial direction by advantageous injection molding geometries, without the sheet thickness having to be increased for this purpose.
  • LCP polymers are very well suited due to their durability and vacuum capability.
  • filling materials with increased thermal conductivity is conceivable.
  • a metallic spacer ring can be additionally introduced.
  • the blade parts are metallically connected to the metallic spacer ring, they can give off the heat better to the outer shell of the turbomolecular pump.
  • the blade parts or individual sheet metal part segments are fixed together using the injection molding process. In particular, positive-locking connecting elements can be used.
  • the blades or individual sheet metal part segments can be additionally stiffened or, in particular, by means of one or more stiffening elements, in particular beads, produced in a bending, stamping and / or cutting process.
  • turbomolecular pump 10 comprises a pump inlet 14 surrounded by an inlet flange 12 and a plurality of pumping stages for conveying the gas present at the pump inlet 14 to a in Fig. 1 not shown pump outlet.
  • a rotor 18 is arranged with a about a rotational axis 20 rotatably mounted rotor shaft 22.
  • the turbomolecular pump 10 comprises a plurality of pump-effectively connected in series turbomolecular pumping stages with a plurality of attached to the rotor shaft 22 rotor disks 24 and in the axial direction between the rotor disks 24 stator 26th
  • the stator 26 are by spacer rings 28 at a desired axial distance from one another held.
  • the rotor-side part of the Holweckpumptreatmentn comprises a rotor shaft connected to the rotor hub 30 and two fixed to the rotor hub 30 and carried by this cylinder jacket Holweckrotorhülsen 32, 34, which are coaxial with the axis of rotation 22 oriented and nested in the radial direction.
  • two cylinder jacket-shaped Holweckstatorhülsen 36, 38 are provided, which are also coaxial with the axis of rotation 22 oriented and nested in the radial direction.
  • the pump-active surfaces of the Holweckpumpgen are each formed by each other with the formation of a narrow radial Holweckspalts radial lateral surfaces of a respective Holweckrotorhülse 32, 34 and a respective Holweckstatorhülse 36, 38.
  • one of the pump-active surfaces is smooth - predominantly that of the Holweckrotorhülse 32, 34 - while the opposite pumping surface of the Holweckstatorhülse 36, 38 has a structuring with helically around the rotation axis 22 in the axial direction extending grooves in which in the rotation of the Rotor 18 the gas is propelled and thereby pumped.
  • the rotatable mounting of the rotor shaft 22 is effected by a roller bearing 40 in the region of the pump outlet and a permanent magnet bearing 42 in the region of the pump inlet 14.
  • the permanent magnet bearing 42 comprises a rotor-side bearing half 44 and a stator bearing half 46, each comprising a ring stack of a plurality of stacked in the axial direction of permanent magnetic rings 48, 50, wherein the magnetic rings 48, 50 opposite each other to form a radial bearing gap 52.
  • an emergency or fishing camp 54 is provided, which is designed as unlubricated or dry-lubricated bearings and idles in normal operation of the turbomolecular pump 10 without contact and only with an excessive radial deflection of the rotor 18 with respect to the stator engages to to form a radial stop for the rotor 18, which prevents a collision of the rotor-side structures with the stator-side structures.
  • the emergency bearing 54 thus defines the maximum radial deflection of the rotor 18th
  • a conical injection nut 56 with an outer diameter increasing towards the rolling bearing 40 is provided on the rotor shaft 22.
  • the spray nut 56 is in sliding contact with at least one wiper of a plurality of stacked absorbent disks 58 having an operating means such as e.g. a lubricant for the rolling bearing 40 are soaked.
  • the resource is transmitted by capillary action of the resource storage on the wiper on the rotating spray nut 56 and due to the centrifugal force along the spray nut in the direction of increasing outer diameter of the spray nut 56 to the rolling bearing 40 promoted towards where it for example fulfills a lubricating function.
  • Turbomolecular pump 10 includes an engine compartment 60 into which rotor shaft 22 extends.
  • the engine compartment 60 is sealed in the region of the entry of the rotor shaft 22 by a victory track 62 with respect to a working or suction chamber of the turbomolecular pump 10.
  • the seal can also be done by a labyrinth seal.
  • a barrier gas inlet 64 allows delivery of a barrier gas into the engine compartment 60.
  • a drive motor 66 is arranged, which serves for the rotational driving of the rotor 18.
  • the drive motor 66 comprises a motor stator 68 with a core 70 and with several in Fig. 1 only schematically illustrated coils 72 which are defined in provided on the radially inner side of the core 70 grooves of the core 70.
  • the core 70 consists of a laminated core with several stacked in the axial direction of sheet metal discs of a soft magnetic material.
  • the rotor of the drive motor 77 which is also referred to as an armature, is formed by the rotor shaft 22, which extends through the motor stator 68 therethrough.
  • a permanent magnet assembly 74 is fixed radially on the outside.
  • a radial motor gap 76 is formed, via which the motor stator 68 and the permanent magnet arrangement 74 influence magnetically for transmission of the drive torque.
  • the permanent magnet assembly 74 is fixed to the rotor shaft 22 by means of gluing and / or shrinking and / or pressing.
  • the permanent magnet arrangement 74 comprises a soft-magnetic yoke 75a made of iron sheets or solid iron and a permanent magnet 75b.
  • An encapsulation 80 which is designed as a CFK or stainless steel sleeve, surrounds the permanent magnet arrangement 74 on its radial outer side and seals it against the motor gap 76.
  • a balancing ring 78 is further attached by gluing and / or shrinking and / or pressing, which has threaded holes for receiving balancing weights.
  • the balancing ring 78 has no direct mechanical connection to the permanent magnet assembly 74 in order to transmit any axial constraining forces on the permanent magnet assembly 74.
  • a control and power supply unit 82 is configured to supply the drive motor 66 with electrical energy during operation of the turbomolecular pump 10.
  • Fig. 2 shows a schematic cross-sectional view of part of an exemplary embodiment of a turbomolecular pump 84 according to the invention with at least one stator disc 86 according to the invention.
  • FIG. 2 is an exemplary embodiment of the stator according to the invention 86 can be seen, which is arranged between two rotors 90 mounted on a rotor shaft 88.
  • Arrows 106 indicate the pumping direction.
  • HV indicates the high-vacuum side and W indicates the fore-vacuum side of the pump.
  • the stator disk 86 comprises at least two partially annular stator disk sections 92, preferably two stator disk halves, each with a plurality of sheet metal vanes following each other in the circumferential direction.
  • the partially annular stator disk sections 92 are each formed from a plurality of individual sheet metal part segments 94.
  • the individual sheet metal part segments 94 of a respective partially annular stator disk section 92 in the region of the inner and / or outer circumference 96 and 98, in the present case, for example, in the region of the inner circumference 96, connected to each other via a common injection molded part 100.
  • the individual sheet metal part segments 94 may each comprise at least one or in each case a plurality of sheet metal blades.
  • the material of the injection molded part 100 may contain at least one polymer, in particular at least one LCP polymer.
  • the material of the injection molded part 100 may contain at least one polymer with and / or at least one polymer without reinforcement.
  • the material of the injection molded part 100 may in particular also contain at least one filling material, in particular at least one filling material with increased thermal conductivity.
  • the injection molded part 100 reduces the axial gaps formed with the adjacent rotor disks 90.
  • the injection-molded part 100 is provided in the regions 102 with a pump-active structure whose direction of effect is indicated by arrows 108 and in particular has a Siegbahn geometry.
  • the individual sheet metal part segments 94 may be metallically connected in the region of the outer periphery 98 with a metallic spacer ring 104.
  • turbomolecular pump 84 can at least substantially be designed as the turbomolecular pump 10 according to FIG Fig. 1 ,
  • the method according to the invention relates to the production of such a stator disk 86 and is accordingly characterized in that the partially annular stator disk sections 92 are each formed from a plurality of individual sheet metal part segments 94 and the individual sheet metal part segments 94 are connected to one another via a common injection molded part 100.
  • the individual sheet metal part segments 94 can each be formed by means of a bending, punching and / or cutting process.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

Eine Statorscheibe (86) einer Turbomolekularpumpe (10, 84) umfasst wenigstens zwei teilringförmige Statorscheibenabschnitte (92), vorzugsweise zwei Statorscheibenhälften, mit jeweils mehreren in Umfangsrichtung aufeinanderfolgenden Blechschaufeln. Dabei sind die teilringförmigen Statorscheibenabschnitte (92) jeweils aus mehreren einzelnen Blechteilsegmenten (94) gebildet und die einzelnen Blechteilsegmente (94) eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts (92) im Bereich deren Innen- und/oder Außenumfangs (96 bzw. 98) über ein gemeinsames Spritzgussformteil (100) miteinander verbunden. Es werden auch eine Turbomolekularpumpe (10, 84) mit zumindest einer solchen Statorscheibe (86) sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Statorscheibe (86) angegeben.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Statorscheibe für eine Vakuumpumpe, insbesondere für eine Turbomolekularpumpe. Ferner betrifft die Erfindung eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe, mit wenigstens einer solchen Statorscheibe sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Statorscheibe.
  • Vakuumpumpen wie z.B. Turbomolekularpumpen dienen der Erzeugung eines Vakuums, beispielsweise für Elektronenmikroskope oder Massenspektrometer. Dabei werden Gasteilchen von Rotorscheiben der Turbomolekularpumpe beschleunigt und von Statorscheiben in eine Vorzugsrichtung gelenkt, wodurch eine das Vakuum erzeugende Strömung entsteht. Zu diesem Zweck umfassen sowohl die Rotorscheiben als auch die Statorscheiben zu einer senkrecht zur einer Rotorachse verlaufenden Ebene schräg gestellte Schaufeln, die die Gasteilchen beschleunigen bzw. ablenken.
  • Die Rotorscheiben sind drehfest mit einer schnelldrehenden Welle verbunden, deren Rotationsachse eine axiale Richtung der Turbomolekularpumpe definiert, während die Statorscheiben nicht mit der Welle gekoppelt, sondern an einem Gehäuse der Turbomolekularpumpe fixiert sind. Die Rotor- und Statorscheiben sind in der axialen Richtung abwechselnd angeordnet und durch Distanzringe voneinander beabstandet.
  • Bei der Montage der Turbomolekularpumpe werden die Rotor- und Statorscheiben sowie die Distanzringe auf der Welle angeordnet und das so entstehende Paket in das Gehäuse der Turbomolekularpumpe eingeführt. Dabei ist es wünschenswert, dass sich insbesondere die Statorscheiben nicht seitlich aus dem Paket herausbewegen und beim Einführen in das Gehäuse ein Verkeilen mit demselben unterbunden wird.
  • Die Statorscheiben werden üblicherweise aus einem Blechteil mittels eines Biege-, Stanz- und/oder Schneidumformprozesses hergestellt. Ein solches Verfahren besitzt gegenüber einer spanenden Herstellung von Statorscheiben wesentliche wirtschaftliche Vorteile. Zunehmende Abmessungen der Statorscheiben bringen hierbei jedoch eine Reihe von Nachteilen mit sich. So ist das erforderliche Werkzeug relativ teuer. Bei geringeren Blechstärken ist die Steifigkeit der Statorscheibe zu gering. Es müssen daher dickere Bleche verwendet werden, womit sich jedoch schlechtere Leitwerte ergeben und die Umformung deutlich erschwert wird. Zudem sind die zu erzeugenden Geometrien stark begrenzt, da durch Aufbiegen der Schaufeln aus der Blechebene offene Schaufelzwischenräume entstehen.
  • Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Statorscheibe, eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe, sowie ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, mit denen die zuvor erwähnten Probleme beseitigt sind. Dabei soll eine jeweilige Statorscheibe bei hoher Flexibilität hinsichtlich der realisierbaren Geometrien der Statorscheibe möglichst einfach und entsprechend kostengünstig herstellbar sein.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Statorscheibe mit den Merkmalen des Anspruchs 1, eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit den Merkmalen des Anspruchs 10 sowie ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 12 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Statorscheibe und der erfindungsgemäßen Pumpe sowie bevorzugte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich aus den Unteransprüchen.
  • Die erfindungsgemäße Statorscheibe umfasst wenigstens zwei teilringförmige Statorscheibenabschnitte, vorzugsweise zwei Statorscheibenhälften, mit jeweils mehreren in Umfangsrichtung aufeinanderfolgenden Blechschaufeln. Dabei sind die teilringförmigen Statorscheibenabschnitte jeweils aus mehreren einzelnen Blechteilsegmenten gebildet, wobei die einzelnen Blechteilsegmente eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts im Bereich deren Innen- und/oder Außenumfangs über ein gemeinsames Spritzgussformteil miteinander verbunden sind, insbesondere formschlüssig.
  • Nachdem die Statorscheibe aus einzelnen Blechteilen zusammengesetzt ist, die primär mittels Spritzgusstechnik im Bereich deren Innen- und/oder Außenumfangs miteinander verbunden sind, können zu deren Herstellung Umformwerkzeuge geringerer Komplexität eingesetzt werden, da sich mit den einzelnen Blechteilen eine entsprechend einfachere Geometrie ergibt.
  • Die Flexibilität hinsichtlich der realisierbaren Geometrien der Statorscheiben wird deutlich erhöht.
  • Die einzelnen Blechteilsegmente können jeweils nur eine oder auch jeweils mehrere Blechschaufeln umfassen.
  • Bevorzugt enthält der Werkstoff des Spritzgussformteils wenigstens ein Polymer. Dabei kann dieser Werkstoff insbesondere wenigstens ein Flüssigkristallpolymer (LCP-Polymer) enthalten.
  • Der Werkstoff des Spritzgussformteils kann wenigstens ein Polymer mit Verstärkung und/oder wenigstens ein Polymer ohne Verstärkung enthalten.
  • Von Vorteil ist insbesondere auch, wenn der Werkstoff des Spritzgussformteils wenigstens ein Füllmaterial, insbesondere wenigstens ein Füllmaterial mit erhöhter Wärmeleitfähigkeit enthält.
  • Bevorzugt sind die einzelnen Blechteilsegmente eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts im Bereich deren Innen- und/oder Außenumfangs über ein formschlüssiges gemeinsames Spritzgussformteil miteinander verbunden.
  • Gemäß einer weiteren bevorzugten praktischen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Statorscheibe sind die einzelnen Blechteilsegmente eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts im Bereich deren Innenumfangs insbesondere in Axialrichtung durch das Spritzgussformteil oder durch zusätzliches Spritzgussmaterial verstärkt. Auf diese Weise können die axialen Spalte im Bereich des Innenumfangs der Statorscheiben in Verbindung mit den die Statorscheibe umgebenden Rotorscheiben reduziert werden, ohne dass dazu die Statorscheiben im Übrigen dicker ausgeführt werden müssen.
  • Die Oberfläche des Spritzgussformteils und/oder des Spritzgussmaterials kann zumindest bereichsweise strukturiert sein, um eine Pumpstruktur bzw. pumpaktive Struktur auf der Oberfläche zu schaffen. Dabei kann durch eine entsprechende Struktur insbesondere einer Rückströmung innerhalb der Pumpe entgegengewirkt werden.
  • Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, zeichnet sich dadurch aus, dass sie zumindest eine erfindungsgemäße Statorscheibe umfasst.
  • Gemäß einer bevorzugten praktischen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe sind die einzelnen Blechteilsegmente im Bereich deren Außenumfangs metallisch mit einem metallischen Distanzring verbunden. Ein solcher metallischer Distanzring dient insbesondere der thermischen Anbindung der Blechteilsegmente und deren besseren Integration in die Pumpe. Indem die Blechteilsegmente metallisch mit dem Distanzring verbunden sind, können sie die Wärme besser an die äußere Hülle der Pumpe abgeben.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Statorscheibe einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe, mit wenigstens zwei teilringförmigen Statorscheibenabschnitten, vorzugsweise zwei Statorscheibenhälften, mit jeweils mehreren in Umfangsrichtung aufeinanderfolgenden Blechschaufeln zeichnet sich dadurch aus, dass die teilringförmigen Statorscheibenabschnitte jeweils aus mehreren einzelnen Blechteilsegmenten gebildet und die einzelnen Blechteilsegmente eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts im Spritzgussverfahren miteinander verbunden werden, insbesondere formschlüssig.
  • Gemäß einer bevorzugten praktischen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden die einzelnen Blechteilsegmente eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts im Bereich deren Innen- und/oder Außenumfangs über ein gemeinsames Spritzgussformteil miteinander verbunden.
  • Die einzelnen Blechteilsegmente können jeweils insbesondere mittels eines Biege-, Stanz- und/oder Schneidprozesses gebildet werden.
  • Erfindungsgemäß wird die Statorscheibe also aus einzelnen Blechteilen zusammengesetzt, die primär mittels Spritzgusstechnik im Bereich des Außen- und/oder Innenumfangs miteinander verbunden werden. Die Komplexität des zur Herstellung der Statorscheibe erforderlichen Umformwerkzeugs wird durch die einfache Geometrie der einzelnen Blechteile deutlich reduziert. Die hergestellten Blechteile werden in eine Spritzgussmaschine eingelegt und über ein Spritzgussverfahren miteinander verbunden. Dabei können die Blechteile sowohl Einzelschaufeln als auch Statorscheibensegmente sein.
  • Die Flexibilität hinsichtlich der realisierbaren Geometrien der Statorscheibe wird deutlich erhöht. Überlappungen und Hinterschneidungen sind problemlos realisierbar. Durch das Spritzgussverfahren können insbesondere auch versteifende Elemente auf die Schaufeln aufgebracht werden, womit der zu deren Herstellung erforderliche Pressdruck im Vergleich zur Herstellung einer kompletten Statorscheibe bzw. Statorscheibenhälfte wesentlich reduziert wird. Es können entsprechend kleinere Pressen verwendet werden. Zudem können die Statorscheiben in pumpaxialer Richtung durch vorteilhafte Spritzgussgeometrien wesentlich steifer ausgeführt werden, ohne dass dazu die Blechdicke vergrößert werden muss.
  • Zudem kann die durch die Druckdifferenz zwischen der Ober- und Unterseite während des Flutvorgangs auftretende Durchbiegung der Statorscheibe reduziert werden. Zugunsten des Vakuumleistungsvermögens ist nunmehr auch eine Reduktion des Rotor/Stator-Spiels der Vakuumpumpe möglich.
  • Infolge des reduzierten Aufwands im Zusammenhang mit dem Stanzwerkzeug ist der erfindungsgemäße Einsatz der Spritzgusstechnik bereits bei geringeren Stückzahlen wirtschaftlich möglich.
  • Als Spritzgusswerkstoff können unterschiedliche Polymere mit oder auch ohne Verstärkung eingesetzt werden, wobei insbesondere LCP-Polymere aufgrund ihrer Beständigkeit und Vakuumtauglichkeit sehr gut geeignet sind. Überdies ist auch der Einsatz von Füllmaterialien mit erhöhter Wärmeleitfähigkeit denkbar.
  • Zur thermischen Anbindung der Schaufeln und zu deren besseren Integration in die Vakuumpumpe kann zusätzlich ein metallischer Distanzring eingebracht werden. Indem die Schaufelteile metallisch mit dem metallischen Distanzring verbunden werden, können diese die Wärme besser an die äußere Hülle der Turbomolekularpumpe abgeben. Die Schaufelteile bzw. einzelnen Blechteilsegmente werden über das Spritzgussverfahren miteinander fixiert. Dabei können insbesondere formschlüssige Verbindungselemente Verwendung finden.
  • Während herkömmlich gestanzte komplette Statorscheibenhälften aus Blechmaterial in Kombination mit den sie umgebenden Rotorscheiben im Bereich des Innenumfangs zwei relativ große axiale Spalte aufweisen, die auf die unter Umformaspekten gesehen möglichst gering zu wählende Blechdicke zurückzuführen sind und sich aufgrund der begünstigten Rückströmung von Gasmolekülen während des Pumpvorgangs negativ auf das Vakuumleistungsvermögen der Pumpe auswirken, können diese Spalte infolge der erfindungsgemäß angewandten Spritzgusstechnik deutlich reduziert werden. So ist es mit dem erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren möglich, die Statorscheibe im Bereich deren Innenumfangs durch Spritzgussmaterial aufzudicken, um die axialen Spalte möglichst klein zu halten. Zusätzlich kann eine der Rückströmung entgegenwirkende Pumpstruktur auf die gespritzte Oberfläche aufgebracht werden.
  • Die Schaufeln bzw. einzelnen Blechteilsegmente können erfindungsgemäß zusätzlich versteift sein bzw. werden, insbesondere mittels eines oder mehrerer in einem Biege-, Stanz- und/oder Schneidprozess hergestellter Versteifungselemente, insbesondere Sicken.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert; in dieser zeigen:
    • Fig. 1
    eine schematische Querschnittsdarstellung einer beispielhaften Ausführungsform einer Turbomolekularpumpe zur Erläuterung des Grundprinzips einer solchen Turbomolekularpumpe, und
    Fig. 2
    eine schematische Querschnittsdarstellung eines Teils einer beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Turbomolekularpumpe mit wenigstens einer erfindungsgemäßen Statorscheibe.
  • Die in Fig. 1 gezeigte Turbomolekularpumpe 10 umfasst einen von einem Einlassflansch 12 umgebenen Pumpeneinlass 14 sowie mehrere Pumpstufen zur Förderung des an dem Pumpeneinlass 14 anstehenden Gases zu einem in Fig. 1 nicht dargestellten Pumpenauslass. In einem Gehäuse 16 der Turbomolekularpumpe 10 ist ein Rotor 18 mit einer um eine Rotationsachse 20 drehbar gelagerten Rotorwelle 22 angeordnet.
  • Zur Erzeugung einer Pumpwirkung umfasst die Turbomolekularpumpe 10 mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete turbomolekulare Pumpstufen mit mehreren an der Rotorwelle 22 befestigten Rotorscheiben 24 und in axialer Richtung zwischen den Rotorscheiben 24 angeordneten Statorscheiben 26. Die Statorscheiben 26 sind durch Distanzringe 28 in einem gewünschten axialen Abstand zueinander gehalten.
  • Des Weiteren sind drei in radialer Richtung ineinander angeordnete und pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Holweckpumpstufen vorgesehen. Der rotorseitige Teil der Holweckpumpstufen umfasst eine mit der Rotorwelle 22 verbundene Rotornabe 30 und zwei an der Rotornabe 30 befestigte und von dieser getragene zylindermantelförmige Holweckrotorhülsen 32, 34, die koaxial zu der Rotationsachse 22 orientiert und in radialer Richtung ineinander geschachtelt sind. Ferner sind zwei zylindermantelförmige Holweckstatorhülsen 36, 38 vorgesehen, die ebenfalls koaxial zu der Rotationsachse 22 orientiert und in radialer Richtung ineinander geschachtelt sind.
  • Die pumpaktiven Oberflächen der Holweckpumpstufen sind jeweils durch die einander unter Ausbildung eines engen radialen Holweckspalts gegenüber liegenden radialen Mantelflächen einer jeweiligen Holweckrotorhülse 32, 34 und einer jeweiligen Holweckstatorhülse 36, 38 gebildet. Dabei ist jeweils eine der pumpaktiven Oberflächen glatt ausgebildet - vorwiegend diejenige der Holweckrotorhülse 32, 34 - während die gegenüberliegende pumpaktive Oberfläche der Holweckstatorhülse 36, 38 eine Strukturierung mit schraubenlinienförmig um die Rotationsachse 22 herum in axialer Richtung verlaufenden Nuten aufweist, in denen bei der Rotation des Rotors 18 das Gas vorangetrieben und dadurch gepumpt wird.
  • Die drehbare Lagerung der Rotorwelle 22 wird durch ein Wälzlager 40 im Bereich des Pumpenauslasses und ein Permanentmagnetlager 42 im Bereich des Pumpeneinlasses 14 bewirkt.
  • Das Permanentmagnetlager 42 umfasst eine rotorseitige Lagerhälfte 44 und eine statorseitige Lagerhälfte 46, welche jeweils einen Ringstapel aus mehreren in axialer Richtung aufeinander gestapelten permanentmagnetischen Ringen 48, 50 umfassen, wobei sich die Magnetringe 48, 50 einander unter Ausbildung eines radialen Lagerspalts 52 gegenüberliegen.
  • Innerhalb des Magnetlagers 42 ist ein Not- bzw. Fanglager 54 vorgesehen, welches als ungeschmiertes oder trockengeschmiertes Wälzlager ausgebildet ist und im normalen Betrieb der Turbomolekularpumpe 10 ohne Berührung leerläuft und erst bei einer übermäßigen radialen Auslenkung des Rotors 18 gegenüber dem Stator in Eingriff gelangt, um einen radialen Anschlag für den Rotor 18 zu bilden, der eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen verhindert. Das Notlager 54 definiert somit die maximale radiale Auslenkung des Rotors 18.
  • Im Bereich des Wälzlagers 40 ist an der Rotorwelle 22 eine konische Spritzmutter 56 mit einem zu dem Wälzlager 40 hin zunehmenden Außendurchmesser vorgesehen. Die Spritzmutter 56 steht mit zumindest einem Abstreifer eines mehrere aufeinander gestapelte saugfähige Scheiben 58 umfassenden Betriebsmittelspeichers in gleitendem Kontakt, welche mit einem Betriebsmittel wie z.B. einem Schmiermittel für das Wälzlager 40 getränkt sind.
  • Im Betrieb der Turbomolekularpumpe 10 wird das Betriebsmittel durch kapillare Wirkung von dem Betriebsmittelspeicher über den Abstreifer auf die rotierende Spritzmutter 56 übertragen und infolge der Zentrifugalkraft entlang der Spritzmutter in Richtung des größer werdenden Außendurchmessers der Spritzmutter 56 zu dem Wälzlager 40 hin gefördert, wo es zum Beispiel eine schmierende Funktion erfüllt.
  • Die Turbomolekularpumpe 10 umfasst einen Motorraum 60, in den sich die Rotorwelle 22 hinein erstreckt. Der Motorraum 60 ist im Bereich des Eintritts der Rotorwelle 22 durch eine Siegbahnstufe 62 gegenüber einem Arbeits- bzw. Schöpfraum der Turbomolekularpumpe 10 abgedichtet. Alternativ oder zusätzlich kann die Abdichtung auch durch eine Labyrinthdichtung erfolgen. Ein Sperrgaseinlass 64 ermöglicht die Zuführung eines Sperrgases in den Motorraum 60.
  • In dem Motorraum 60 ist ein Antriebsmotor 66 angeordnet, welcher zum drehenden Antreiben des Rotors 18 dient. Der Antriebsmotor 66 umfasst einen Motorstator 68 mit einem Kern 70 und mit mehreren in Fig. 1 nur schematisch dargestellten Spulen 72, die in an der radialen Innenseite des Kerns 70 vorgesehenen Nuten des Kerns 70 festgelegt sind. Der Kern 70 besteht aus einem Blechpaket mit mehreren in axialer Richtung aufeinander gestapelten Blechscheiben aus einem weichmagnetischen Material.
  • Der Läufer des Antriebsmotors 77, welcher auch als Anker bezeichnet wird, ist durch die Rotorwelle 22 gebildet, die sich durch den Motorstator 68 hindurch erstreckt. Auf dem sich durch den Motorstator 68 hindurch erstreckenden Abschnitt der Rotorwelle 22 ist radial außenseitig eine Permanentmagnetanordnung 74 festgelegt. Zwischen dem Motorstator 68 und dem sich durch den Motorstator 68 hindurch erstreckenden Abschnitt der Rotorwelle 22 ist ein radialer Motorspalt 76 ausgebildet, über den sich der Motorstator 68 und die Permanentmagnetanordnung 74 zur Übertragung des Antriebsmoments magnetisch beeinflussen.
  • Die Permanentmagnetanordnung 74 ist an der Rotorwelle 22 mittels Kleben und/oder Schrumpfen und/oder Aufpressen fixiert. Die Permanentmagnetanordnung 74 umfasst einen weichmagnetischen Rückschluss 75a aus Eisenblechen oder aus massivem Eisen sowie einen Permanentmagneten 75b. Eine Kapselung 80, die als CFK- oder Edelstahlhülse ausgebildet ist, umgibt die Permanentmagnetanordnung 74 an deren radialer Außenseite und dichtet diese gegenüber dem Motorspalt 76 ab. Auf der Rotorwelle 22 ist ferner ein Wuchtring 78 mittels Kleben und/oder Schrumpfen und/oder Aufpressen angebracht, welcher Gewindebohrungen zur Aufnahme von Wuchtgewichten aufweist. Der Wuchtring 78 besitzt keine direkte mechanische Verbindung zur Permanentmagnetanordnung 74, um keine axialen Zwangskräfte auf die Permanentmagnetanordnung 74 zu übertragen.
  • Eine Steuer- und Stromversorgungseinheit 82 ist dazu eingerichtet, den Antriebsmotor 66 während des Betriebs der Turbomolekularpumpe 10 mit elektrischer Energie zu versorgen.
  • Fig. 2 zeigt in schematischer Querschnittsdarstellung einen Teil einer beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Turbomolekularpumpe 84 mit wenigstens einer erfindungsgemäßen Statorscheibe 86.
  • In der Fig. 2 ist eine beispielhafte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Statorscheibe 86 zu erkennen, die zwischen zwei an einer Rotorwelle 88 befestigten Rotorscheiben 90 angeordnet ist. Durch Pfeile 106 ist die Pumprichtung angegeben. Mit HV ist die Hochvakuumseite und mit W die Vorvakuumseite der Pumpe angedeutet.
  • Die Statorscheibe 86 umfasst wenigstens zwei teilringförmige Statorscheibenabschnitte 92, vorzugsweise zwei Statorscheibenhälften, mit jeweils mehreren in Umfangsrichtung aufeinanderfolgenden Blechschaufeln.
  • Die teilringförmigen Statorscheibenabschnitte 92 sind jeweils aus mehreren einzelnen Blechteilsegmenten 94 gebildet. Dabei sind die einzelnen Blechteilsegmente 94 eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts 92 im Bereich deren Innen- und/oder Außenumfangs 96 bzw. 98, im vorliegenden Fall beispielsweise im Bereich deren Innenumfangs 96, über ein gemeinsames Spritzgussformteil 100 miteinander verbunden.
  • Die einzelnen Blechteilsegmente 94 können jeweils wenigstens eine oder auch jeweils mehrere Blechschaufeln umfassen.
  • Der Werkstoff des Spritzgussformteils 100 kann wenigstens ein Polymer, insbesondere wenigstens ein LCP-Polymer enthalten.
  • Dabei kann der Werkstoff des Spritzgussformteils 100 wenigstens ein Polymer mit und/oder wenigstens ein Polymer ohne Verstärkung enthalten.
  • Der Werkstoff des Spritzgussformteils 100 kann insbesondere auch wenigstens ein Füllmaterial, insbesondere wenigstens ein Füllmaterial mit erhöhter Wärmeleitfähigkeit enthalten.
  • Durch das Spritzgussformteil 100 sind jeweils die mit den benachbarten Rotorscheiben 90 gebildeten axialen Spalte reduziert.
  • Das Spritzgussformteil 100 ist in den Bereichen 102 mit einer pumpaktiven Struktur versehen, deren Wirkungsrichtung durch Pfeile 108 angedeutet ist und die insbesondere eine Siegbahngeometrie aufweist.
  • Wie in der Fig. 2 dargestellt, können die einzelnen Blechteilsegmente 94 im Bereich deren Außenumfangs 98 metallisch mit einem metallischen Distanzring 104 verbunden sein.
  • Im Übrigen kann die Turbomolekularpumpe 84 zumindest im Wesentlichen wieder so ausgeführt sein wie die Turbomolekularpumpe 10 gemäß Fig. 1.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren betrifft die Herstellung einer solchen Statorscheibe 86 und zeichnet sich entsprechend dadurch aus, dass die teilringförmigen Statorscheibenabschnitte 92 jeweils aus mehreren einzelnen Blechteilsegmenten 94 gebildet und die einzelnen Blechteilsegmente 94 über ein gemeinsames Spritzgussformteil 100 miteinander verbunden werden.
  • Die einzelnen Blechteilsegmente 94 können jeweils mittels eines Biege-, Stanzund/oder Schneidprozesses gebildet werden.
    • Bezugszeichenliste
    • 10
    Turbomolekularpumpe
    12
    Einlassflansch
    14
    Pumpeneinlass
    16
    Gehäuse
    18
    Rotor
    20
    Rotorachse
    22
    Rotorwelle
    24
    Rotorscheibe
    26
    Statorscheibe
    28
    Distanzring
    30
    Rotornabe
    32
    Holweck-Rotorhülse
    34
    Holweck-Rotorhülse
    36
    Holweck-Statorhülse
    38
    Holweck-Statorhülse
    40
    Wälzlager
    42
    Permamentmagnetlager
    44
    rotorseitige Lagerhälfte
    46
    statorseitige Lagerhälfte
    48
    Magnetring
    50
    Magnetring
    52
    Lagerspalt
    54
    Fanglager
    56
    Spritzmutter
    58
    saugfähige Scheibe
    60
    Motorraum
    62
    Siegbahnstufe
    64
    Sperrgaseinlass
    66
    Antriebsmotor
    68
    Motorstator
    70
    Kern
    72
    Spule
    74
    Permanentmagnetanordnung
    75a
    weichmagnetischer Rückschluss
    75b
    Permanentmagnet
    76
    Motorspalt
    78
    Wuchtring
    80
    Kapselung
    82
    Steuer- und Stromversorgungseinheit
    84
    Turbomolekularpumpe
    86
    Statorscheibe
    88
    Rotorwelle
    90
    Rotorscheibe
    92
    Statorscheibenabschnitt
    94
    Blechteilsegment
    96
    Innenumfang
    98
    Außenumfang
    100
    Spritzgussformteil
    102
    strukturierter Bereich
    104
    metallischer Distanzring
    106
    Pumprichtung
    108
    Wirkungsrichtung

Claims (15)

  1. Statorscheibe (86) einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe (10, 84), die wenigstens zwei teilringförmige Statorscheibenabschnitte (92), vorzugsweise zwei Statorscheibenhälften, mit jeweils mehreren in Umfangsrichtung aufeinanderfolgenden Blechschaufeln umfasst, wobei die teilringförmigen Statorscheibenabschnitte (92) jeweils aus mehreren einzelnen Blechteilsegmenten (94) gebildet sind und die einzelnen Blechteilsegmente (94) eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts (92) im Bereich deren Innen- und/oder Außenumfangs (96 bzw. 98) über ein gemeinsames Spritzgussformteil (100) miteinander verbunden sind.
  2. Statorscheibe nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Blechteilsegmente (94) jeweils wenigstens eine Blechschaufel umfassen.
  3. Statorscheibe nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet, dass der Werkstoff des Spritzgussformteils (100) wenigstens ein Polymer enthält, wobei insbesondere der Werkstoff des Spritzgussformteils (100) wenigstens ein LCP-Polymer enthält.
  4. Statorscheibe nach Anspruch 3,
    dadurch gekennzeichnet, dass der Werkstoff des Spritzgussformteils (100) wenigstens ein Polymer mit Verstärkung enthält.
  5. Statorscheibe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet, dass der Werkstoff des Spritzgussformteils (100) wenigstens ein Füllmaterial, insbesondere wenigstens ein Füllmaterial mit erhöhter Wärmeleitfähigkeit enthält.
  6. Statorscheibe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Blechteilsegmente (94) eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts (92) im Bereich deren Innen- und/oder Außenumfangs (96 bzw. 98) über ein formschlüssiges gemeinsames Spritzgussformteil (100) miteinander verbunden sind.
  7. Statorscheibe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Blechteilsegmente (94) eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts (92) im Bereich deren Innenumfangs (96) insbesondere in Axialrichtung durch das Spritzgussformteil und/oder durch zusätzliches Spritzgussmaterial verstärkt sind.
  8. Statorscheibe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche des Spritzgussformteils und/oder zusätzlichen Spritzgussmaterials zumindest bereichsweise strukturiert, insbesondere mit einer Pumpstruktur versehen, ist.
  9. Statorscheibe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Schaufeln bzw. einzelnen Blechteilsegmente (94) zusätzlich versteift sind, insbesondere mittels eines oder mehrerer in einem Biege-, Stanz- und/oder Schneidprozess hergestellter Versteifungselemente, insbesondere Sicken.
  10. Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe (10, 84), mit zumindest einer Statorscheibe (86) nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche.
  11. Vakuumpumpe nach Anspruch 10,
    dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Blechteilsegmente (94) im Bereich deren Außenumfangs (98) metallisch mit einem metallischen Distanzring (104) verbunden sind.
  12. Verfahren zur Herstellung einer Statorscheibe (86) einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe (10, 84), die wenigstens zwei teilringförmige Statorscheibenabschnitte (92), vorzugsweise zwei Statorscheibenhälften, mit jeweils mehreren in Umfangsrichtung aufeinanderfolgenden Blechschaufeln umfasst, wobei die teilringförmigen Statorscheibenabschnitte (92) jeweils aus mehreren einzelnen Blechteilsegmenten (94) gebildet und die einzelnen Blechteilsegmente (94) eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts (92) im Spritzgussverfahren miteinander verbunden werden.
  13. Verfahren nach Anspruch 12,
    dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Blechteilsegmente (94) eines jeweiligen teilringförmigen Statorscheibenabschnitts (92) im Bereich deren Innen- und/oder Außenumfangs (96 bzw. 98) über ein gemeinsames Spritzgussformteil (100) miteinander verbunden werden.
  14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13,
    dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Blechteilsegmente (94) jeweils mittels eines Biege-, Stanz- und/oder Schneidprozesses gebildet werden.
  15. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 12 bis 14,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Schaufeln bzw. einzelnen Blechteilsegmente (94) zusätzlich versteift werden, insbesondere mittels eines oder mehrerer in einem Biege-, Stanz- und/oder Schneidprozess hergestellter Versteifungselemente, insbesondere Sicken.
EP15152240.6A 2014-02-28 2015-01-23 Statorscheibe Active EP2913533B1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014102681.0A DE102014102681A1 (de) 2014-02-28 2014-02-28 Statorscheibe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP2913533A1 true EP2913533A1 (de) 2015-09-02
EP2913533B1 EP2913533B1 (de) 2020-01-08

Family

ID=52394162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP15152240.6A Active EP2913533B1 (de) 2014-02-28 2015-01-23 Statorscheibe

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP2913533B1 (de)
JP (1) JP6166296B2 (de)
DE (1) DE102014102681A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3252314A4 (de) * 2015-01-30 2018-08-22 Edwards Japan Limited Vakuumpumpe
EP3581801A4 (de) * 2017-02-08 2020-11-18 Edwards Japan Limited Vakuumpumpe, drehteil in einer vakuumpumpe und unwuchtkorrekturverfahren

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004353652A (ja) * 2003-05-01 2004-12-16 Osaka Vacuum Ltd 分子ポンプ
DE69928866T2 (de) * 1998-06-23 2006-07-06 Boc Edwards Japan Ltd. Turbomolekularpumpe
EP1795756A1 (de) * 2004-09-10 2007-06-13 BOC Edwards Japan Limited Festgelegter flügel für turbomolekularpumpe
EP1918588A2 (de) * 2006-10-26 2008-05-07 Pfeiffer Vacuum Gmbh Statorscheibe für eine Turbomolekularpumpe
JP2013092063A (ja) * 2011-10-24 2013-05-16 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプ用の翼構造

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1503704C3 (de) * 1966-12-30 1972-03-23 Arthur Pfeiffer Hochvakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar Schaufelkranz fuer ein lauf und oder leitrad einer turbomolekularpumpe
ITTO20100070A1 (it) * 2010-02-01 2011-08-02 Varian Spa Pompa da vuoto, in particolare pompa da vuoto turbomolecolare.

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69928866T2 (de) * 1998-06-23 2006-07-06 Boc Edwards Japan Ltd. Turbomolekularpumpe
JP2004353652A (ja) * 2003-05-01 2004-12-16 Osaka Vacuum Ltd 分子ポンプ
EP1795756A1 (de) * 2004-09-10 2007-06-13 BOC Edwards Japan Limited Festgelegter flügel für turbomolekularpumpe
EP1918588A2 (de) * 2006-10-26 2008-05-07 Pfeiffer Vacuum Gmbh Statorscheibe für eine Turbomolekularpumpe
JP2013092063A (ja) * 2011-10-24 2013-05-16 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプ用の翼構造

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3252314A4 (de) * 2015-01-30 2018-08-22 Edwards Japan Limited Vakuumpumpe
US10480523B2 (en) 2015-01-30 2019-11-19 Edwards Japan Limited Vacuum pump
EP3581801A4 (de) * 2017-02-08 2020-11-18 Edwards Japan Limited Vakuumpumpe, drehteil in einer vakuumpumpe und unwuchtkorrekturverfahren
US11168697B2 (en) 2017-02-08 2021-11-09 Edwards Japan Limited Vacuum pump, rotating portion included in vacuum pump, and imbalance correction method

Also Published As

Publication number Publication date
EP2913533B1 (de) 2020-01-08
DE102014102681A1 (de) 2015-09-03
JP6166296B2 (ja) 2017-07-19
JP2015165135A (ja) 2015-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2829734B1 (de) Vakuumpumpe
EP2826999B1 (de) Vakuumpumpe
WO2019185216A1 (de) Seitenkanalverdichter für ein brennstoffzellensystem zur förderung und/oder verdichtung von einem gasförmigen medium
DE102019215473A1 (de) Seitenkanalverdichter für ein Brennstoffzellensystem zur Förderung und/oder Verdichtung eines gasförmigen Mediums
EP3884168A1 (de) Seitenkanalverdichter für ein brennstoffzellensystem zur förderung und/oder verdichtung von einem gasförmigen medium
EP2913533B1 (de) Statorscheibe
EP4088036A1 (de) Seitenkanalverdichter für ein brennstoffzellensystem zur förderung und/oder verdichtung von einem gasförmigen medium, insbesondere wasserstoff
EP2863063B1 (de) Vakuumpumpe
EP3088746B1 (de) Vakuumpumpe
EP3196471B1 (de) Vakuumpumpe
EP3734078B1 (de) Turbomolekularpumpe und verfahren zur herstellung einer statorscheibe für eine solche
EP3693610B1 (de) Molekularvakuumpumpe
EP3093496B1 (de) Rotor einer vakuumpumpe
EP2886869B1 (de) Statorscheibe
DE102019214279A1 (de) Seitenkanalverdichter für ein Brennstoffzellensystem zur Förderung und/oder Verdichtung eines gasförmigen Mediums
DE102014100207B4 (de) Statorscheibe
DE102018219995A1 (de) Seitenkanalverdichter für ein Brennstoffzellensystem zur Förderung und/oder Verdichtung von einem gasförmigen Medium
EP2295813B1 (de) Turbomolekularpumpenrotor
EP3462036B1 (de) Turbomolekularvakuumpumpe
EP3107192B1 (de) Vakuumpumpe
EP3875776A1 (de) Elektrische strömungsmaschine mit zweiteiligem, strukturellem gehäuse
EP3096020B1 (de) Vakuumpumpe
EP4325061A1 (de) Turbomolekularvakuumpumpe
DE102007054947A1 (de) Zentrifugalpumpe mit einer erhöhten Betriebssicherheit

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME

17P Request for examination filed

Effective date: 20160229

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: GRANT OF PATENT IS INTENDED

RIC1 Information provided on ipc code assigned before grant

Ipc: F04D 29/64 20060101ALI20190506BHEP

Ipc: F04D 19/04 20060101ALI20190506BHEP

Ipc: F04D 17/16 20060101AFI20190506BHEP

Ipc: F04D 29/54 20060101ALI20190506BHEP

GRAJ Information related to disapproval of communication of intention to grant by the applicant or resumption of examination proceedings by the epo deleted

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSDIGR1

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20190604

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: GRANT OF PATENT IS INTENDED

INTC Intention to grant announced (deleted)
INTG Intention to grant announced

Effective date: 20190729

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE PATENT HAS BEEN GRANTED

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 502015011433

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 1223063

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20200215

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: MP

Effective date: 20200108

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG4D

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200408

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200531

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: RS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200409

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200508

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200408

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 502015011433

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: BE

Ref legal event code: MM

Effective date: 20200131

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: SM

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200123

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200131

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200131

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200131

26N No opposition filed

Effective date: 20201009

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200308

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200123

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MM01

Ref document number: 1223063

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20200123

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200123

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: MT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

Ref country code: AL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200108

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20230120

Year of fee payment: 9

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20240326

Year of fee payment: 10

Ref country code: CZ

Payment date: 20240115

Year of fee payment: 10

Ref country code: GB

Payment date: 20240123

Year of fee payment: 10