JP2024050401A - レシピエント及び高真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】フレキシブルに使用可能なレシピエント及び高真空ポンプを提供する。【解決手段】少なくとも１つのポンプハウジングと、高真空ポンプ１６、特にターボ分子ポンプの吸気側との接続を確立するポンプ接続部１４を有する、少なくとも１つの真空チャンバ１２と、を備える、レシピエント１０において、レシピエントは、真空チャンバ１２に堅固に接続された補助真空接続部分１８を有し、補助真空接続部分１８は、補助真空ポンプの吸気側との接続を確立する補助真空接続部２２を有する。【選択図】図８

Description

本発明は、レシピエント及び高真空ポンプに関する。

高真空ポンプ、特にターボ分子ポンプは、レシピエントの１つ又は複数の真空チャンバ内に高真空を形成するために用いられる。そのために、真空ポンプの吸気側をレシピエントの１つ又は複数の真空チャンバに接続する必要がある。このために、慣例では、真空ポンプの吸気フランジが、レシピエントのフランジに接続されている。

ポンプハウジングは、レシピエントによって形成されてよく、すなわち高真空ポンプのポンプ作用を奏する部分は、レシピエントに組み込まれて、これと共にポンプユニットを形成してよい。

さらに、高真空を形成するには、対応する高真空ポンプの排気側で、通常、まずは補助真空を形成しなければならず、これにより、高真空ポンプは、所望の最終回転速度に到達できる。このことは、一般に、対応する補助真空接続部を介して高真空ポンプに接続しなければならない補助真空ポンプによって行われる。

そのような配置の実現は、特に顧客特有の要求を満たさなくてはならないとき、煩雑であり、多くの空間が要求されることがある。例えば、接続されるべきフランジが異なる直径を有し、したがって、互いに直接には組付け可能ではない、又はフランジが、双方の組付けにとって不都合な位置にある一方で、購入者は小型の構造形態を所望することが起こり得る。そのような類似する要求を満たすには、顧客特有の個別の処理作業が必要となり、これは、時間がかかるとともに割高であり得る。

したがって、本発明の課題は、フレキシブルに使用可能なレシピエント及び高真空ポンプを提供することにある。

この課題は、本発明によれば、請求項１及び２の特徴部分並びに請求項１２の特徴部分によって解決される。

特に、この課題は、レシピエントであって、少なくとも１つのポンプハウジングと、高真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの吸気側との接続を確立するポンプ接続部を有する、少なくとも１つの真空チャンバと、を備える、レシピエントによって解決される。本発明に係るレシピエントは、真空チャンバに堅固に接続された補助真空接続部分を有し、補助真空接続部分は、補助真空ポンプの吸気側との接続を確立する補助真空接続部を有する。

前述の課題は、レシピエントであって、レシピエント内に高真空ポンプを収容する少なくとも１つのポンプ収容部分と、高真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの吸気側との接続を確立するポンプ接続部を有する、少なくとも１つの真空チャンバと、を備える、レシピエントによってさらに解決される。本発明によれば、レシピエントは、真空チャンバに堅固に接続された補助真空接続部分を有し、補助真空接続部分は、補助真空ポンプの吸気側との接続を確立する補助真空接続部を有する。

換言すると、補助真空接続部は、顧客用途の一部である。複数の構成部材の機能、特に補助真空接続部分とポンプ収容部分との機能を統合し、これをレシピエントで実現することによって、最大限の構造空間の最適化を達成できる。しかも、高真空ポンプの交換又は保守において補助真空ポンプを取り外す必要もない。というのも、その際にレシピエントに割り当てられた補助真空接続部分を接続したままにしてよいからである。

加えて、補助真空接続部分は、補助真空チャンバを有してよく、すなわち、補助真空チャンバは、顧客用途の一部であってもよく、これは、補助真空を形成する補助真空ポンプの接続を極めて容易にする。

さらに小型の形態を達成するために、真空チャンバと補助真空接続部分とが、共通のハウジングをさらに有してよい。

さらなる実施の形態によれば、真空チャンバ及び／又は補助真空接続部分のハウジングが、ポンプ収容部分を形成する。特に、ハウジングは、高真空ポンプのポンプハウジングの少なくとも一部を形成でき、これにより、高真空ポンプを特に省スペースにレシピエント内に組み込むことが可能となる。真空チャンバハウジングと真空ポンプとは、好ましくは、ポンプ内にポンプユニットを形成し、チャンバは、同一のハウジングを有する。この形態では、付加的なポンプハウジングはもはや必要ない。

さらに、ポンプ収容部分が高真空ポンプを少なくとも部分的に包囲する配置が、考えられる。特に、ポンプ収容部分は、ハウジング及び／又は真空チャンバ及び／又は補助真空接続部分に着脱可能に接続されてよい。ポンプ収容部分のそのような形態は、組付け位置と高真空ポンプの組付け方式とに関して高いフレキシビリティを提供する。

さらなる実施の形態によれば、組付け状態で高真空ポンプを軸方向に少なくとも部分的に覆う閉鎖要素が設けられていて、閉鎖要素は、高真空ポンプの排気側と補助真空接続部分との間の接続を確立する少なくとも１つのチャネルを有してよい。そのような閉鎖要素は、補助真空チャンバと補助真空ポンプとの間の接続の確立を顧客側で著しく容易にし、同時に高真空ポンプを確保及び／又は固定（適正で確実な取付け）することができる。

閉鎖要素は、高真空ポンプに対して別個の構成部材であってよく又は高真空ポンプに対して別個の構成部材を有してよく、構成部材は、高真空ポンプ及び／又は補助真空ポンプ及び／又は補助真空接続部分及び／又はポンプ収容部分に着脱式に取付け可能である。特に、閉鎖要素は、ある種のカバーを形成し、カバーは、高真空ポンプを覆う、及び／又は高真空ポンプをポンプ収容部分に又はその中に確保する。

一実施の形態では、閉鎖要素は、取付けカバーとして構成されてよい。この取付けカバーによって、高真空ポンプをレシピエントに取付けできる。その際、高真空ポンプは、閉鎖要素上に支持できる。さらなる利点は、例えば、カバーの取付けねじのための丸穴の径を拡張でき、これにより、衝撃時にねじがせん断されるリスクを減らせる。

付加的に又は代替的に、閉鎖要素は、付加的な冷却要素であってよい又はそのような冷却要素として作用してよい。好ましくは、閉鎖要素は、高真空ポンプの底部分と接することによって、高真空ポンプの運転時に生じる熱を放出する。

レシピエントのさらに小型で安定した構造形態のために、閉鎖要素は、第１の形状特徴を有し、第１の形状特徴は、第１の形状特徴に対して相補的に構成された第２の形状特徴に係合可能であり、第２の形状特徴は、高真空ポンプ及び／又は真空チャンバ及び／又は補助真空接続部分及び／又はポンプ収容部分に形成されている。相補的な形状特徴は、閉鎖要素が正しい形でしか取付け可能でないことを保証するコードを形成してもよい。さらに、形状特徴は、十分に規定された方向で、レシピエントに対する真空ポンプの組付け及び／又は組外しを可能にする。

さらに、閉鎖要素のチャネルが、第１の排気接続部を有し、第１の排気接続部が、補助真空接続部分に接続可能である、レシピエントの構成が実現可能である。特に、閉鎖要素のチャネルは、補助真空チャンバに接続可能な第２の排気接続部を有する。これにより、高真空ポンプの運転中に効率的な気体ガイドを実現できる。さらに、このことは、補助真空フランジの空間的な位置決めに関して、レシピエント真空ポンプ構造物を構成するとき、構造的な可能性とより高いフレキシビリティとを可能にする。したがって、第２の排気接続部を有する形態では、レシピエントの補助真空チャンバは、閉鎖要素を介して補助真空ポンプに接続できる。

最適な放熱のために、閉鎖要素に熱交換要素が設けられてよく、この場合、熱交換要素は、特に冷却フィンであってよい。

前述の実施の形態のうちの少なくとも１つによるレシピエントと、これに接続される又は接続可能な高真空ポンプとを備えるシステムについても権利が保護される。このことは、特に閉鎖要素がポンプの構成要素であってよい又は構成要素である実施の形態について適用される。

前述の課題は、本発明によれば、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプによっても解決され、この真空ポンプは、特に本発明によるレシピエントのポンプ収容部分に又はポンプ収容部分内に組付け可能であり、ステータと、モータによって回転軸線を中心に回転駆動可能なロータとを備え、ステータ及びロータは、ポンプハウジング内に配置されていて、閉鎖要素が設けられていて、閉鎖要素は、真空ポンプをポンピング方向で下流側の端部で軸方向に閉鎖し、閉鎖要素は、回転軸線の周りに分散して配置された少なくとも２つの、特に複数のポンプ排気開口を有し、ポンプ排気開口の排出開口は、真空ポンプの排気側の端面に配置されている。

ポンプ排気開口は、軸方向に延在し、したがって、ポンピングされた媒体を軸方向でポンプから吐出する開口部である。特に、ポンプ排気開口は、直線状の経過を有し、すなわちポンプ排気開口は、排気側の流れ抵抗を最小限に抑えるために、段、曲げ、折れなどを有しない。したがって、ポンプ排気開口は、真空ポンプの下流側の端部で効率的な気体ガイドを可能にし、これによりポンプ性能を向上させる。

一実施の形態によれば、閉鎖要素と少なくとも１つのハウジング構成部材とは、ポンプハウジングを形成する。

さらに、閉鎖要素の軸方向の延伸長さは、外周の領域において、ハウジング構成部材の軸方向の延伸長さの２０％よりも大きくてよい、特に３０％よりも大きくてよい又は３８％よりも大きくてよい。換言すると、閉鎖要素は、真空ポンプのかなりの部分を形成してよい。

真空ポンプの容易な組付け及び小型の構造ために、閉鎖要素の外径とハウジング構成部材の外径とは、少なくとも、閉鎖要素とハウジング構成部材とが互いに接続する領域で、ほぼ同一の大きさであってよい。

さらに、閉鎖要素が収容部分を有し、この収容部分が、真空ポンプのポンプ室の下流側の端部を形成する接続要素の底部分からハウジング構成部材の方へ延在する構成が考えられ、ここで収容部分は、モータの少なくとも一部及び／又はロータを軸支する軸受部分の少なくとも一部を収容する。

前述の少なくとも１つの実施の形態による高真空ポンプと、特にさらに前述の実施の形態の一つに従って構成された、高真空ポンプに接続される又は接続可能なレシピエントとを有するシステムについても権利が保護される。

以下、本発明を、添付の図面を参照して、有利な実施の形態に基づいて説明する。

ターボ分子ポンプの一実施の形態の斜視図を略示する。 図１のターボ分子ポンプの下面図を略示する。 図２に示された切断線Ａ－Ａに沿ったターボ分子ポンプの断面図を略示する。 図２に示された切断線Ｂ－Ｂに沿ったターボ分子ポンプの断面図を略示する。 図２に示された切断線Ｃ－Ｃに沿ったターボ分子ポンプの断面図を略示する。 高真空ポンプの一実施の形態を斜視図で略示する。 図６の高真空ポンプの断面図を略示する。 図６の高真空ポンプの断面図を略示する。 図６の高真空ポンプの断面図を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。 本発明によるレシピエントの一実施の形態を略示する。

図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、吸気フランジ１１３によって取り囲まれたポンプ吸気口１１５を有する。ポンプ吸気口１１５には、それ自体公知のように、図示されていないレシピエントを接続してよい。レシピエントから到来する気体は、ポンプ吸気口１１５を介してレシピエントから吸い込まれ、そしてポンプを通ってポンプ排気口１１７へと圧送できる。ポンプ排気口１１７には、例えばロータリベーンポンプ等の補助真空ポンプを接続してよい。

吸気フランジ１１３は、図１による真空ポンプの向きでは、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。下部分１２１には、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が配置されている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、例えば真空ポンプ内に配置された電動モータ１２５（図３も参照）を作動させるための、真空ポンプ１１１の電気的及び／又は電子的な構成要素が収容されている。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリに対する複数の接続部１２７が設けられている。さらに、データインタフェース１２９（例えばＲＳ４８５規格に準拠するもの）及び電流供給接続部１３１が、エレクトロニクスハウジング１２３に配置されている。

取り付けられたこの種のエレクトロニクスハウジングを有さずに、外部の駆動エレクトロニクスに接続されるターボ分子ポンプも存在する。

ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、通気用吸気口１３３が、特に通気弁の形態で設けられている。通気用吸気口１３３を介して、真空ポンプ１１１を通気してよい。下部分１２１の領域には、その上さらに、シールガス接続部１３５（パージガス接続部とも称される）が配置されている。シールガス接続部１３５を介して、パージガスを、ポンプによって圧送される気体に対して電動モータ１２５（例えば図３参照）を防護するために、モータ室１３７内に送り込んでよい。モータ室１３７内で、真空ポンプ１１１に、電動モータ１２５が収容されている。下部分１２１には、その上さらに２つの冷却剤接続部１３９が配置されている。この場合、一方の冷却剤接続部は、冷却剤用の吸気口として、そして他方の冷却剤接続部は、排気口として設けられている。冷却剤は、冷却目的で真空ポンプ内に導入可能である。存在する別のターボ分子真空ポンプ（図示されていない）は、専ら空冷式に運転される。

真空ポンプの下面１４１は、ベースとして使用できるので、真空ポンプ１１１は、下面１４１を基準に縦置きで運転してよい。しかも、真空ポンプ１１１は、吸気フランジ１１３を介してレシピエントに固定し、したがって、いわば懸架した状態で運転してもよい。さらに、真空ポンプ１１１は、図１に示されたのとは別の向きで整向されているときでも運転できるように構成してもよい。下面１４１を下向きではなく、横向きに又は上向きに配置できる真空ポンプの形態も実現可能である。この場合、基本的に、任意の角度が考えられる。

特に図示されたポンプよりも大きな、存在する別のターボ分子真空ポンプ（図示されていない）は、縦置きでは運転できない。

図２に示された下面１４１には、様々なねじ１４３がさらに配置されている。これらのねじ１４３によって、ここでは詳細には特定されない真空ポンプの構成部材が互いに固定されている。例えば、軸受カバー１４５が下面１４１に固定されている。

下面１４１には、固定孔１４７がさらに配置されている。固定孔１４７を介して、ポンプ１１１を、例えば設置面に固定できる。このことは、特に図示されたポンプよりも大きな、存在する別のターボ分子真空ポンプ（図示されていない）では、不可能である。

図２から図５には、冷却剤管路１４８が示されている。冷却剤管路１４８内で、冷却剤接続部１３９を介して導入及び導出される冷却剤が循環可能である。

図３から図５の断面図に示されているように、真空ポンプは、複数のプロセスガスポンプ段を有する。プロセスガスポンプ段は、ポンプ吸気口１１５に作用するプロセスガスをポンプ排気口１１７へ圧送するためのものである。

ハウジング１１９内には、ロータ１４９が配置されている。ロータ１４９は、回転軸線１５１を中心に回転可能なロータシャフト１５３を有する。

ターボ分子ポンプ１１１は、ポンピング作用を及ぼすように互いに直列に接続された複数のターボ分子ポンプ段を有する。ターボ分子ポンプ段は、ロータシャフト１５３に固定された半径方向の複数の動翼１５５と、動翼１５５同士の間に配置され、そしてハウジング１１９内に固定された複数の静翼１５７とを有する。この場合、１枚の動翼１５５とこれに隣り合う１枚の静翼１５７とが、それぞれ１つのターボ分子ポンプ段を形成する。静翼１５７は、スペーサリング１５９によって、互いに所望の軸方向の間隔を置いて保持されている。

真空ポンプは、半径方向で互いに内外に配置され、そしてポンピング作用を及ぼすように互いに直列に接続されたホルベックポンプ段をさらに有する。ホルベックポンプ段を有しない別のターボ分子真空ポンプ（図示されていない）が存在する。

ホルベックポンプ段のロータは、ロータシャフト１５３に配置されたロータハブ１６１と、ロータハブ１６１に固定され、そしてこのロータハブ１６１によって支持される円筒側面状の２つのホルベックロータスリーブ１６３、１６５とを有する。ホルベックロータスリーブ１６３、１６５は、回転軸線１５１に対して同軸に配向されていて、そして半径方向で互いに内外に係合している。円筒側面状の２つのホルベックステータスリーブ１６７、１６９がさらに設けられている。ホルベックステータスリーブ１６７、１６９は、同様に、回転軸線１５１に対して同軸に配向されていて、そして半径方向で見て互いに内外に係合している。

ホルベックポンプ段の、ポンピング作用を奏する表面は、側面によって、つまりホルベックロータスリーブ１６３、１６５及びホルベックステータスリーブ１６７、１６９の半径方向の内側面及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータスリーブ１６７の半径方向の内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向の外側面に対向していて、そしてこの外側面と共に、ターボ分子ポンプに後続する第１のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向の内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ、内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向の外側面に対向していて、そしてこの外側面と共に、第２のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向の内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータスリーブ１６５の半径方向の外側面に対向していて、そしてこの外側面と共に、第３のホルベックポンプ段を形成する。

ホルベックロータスリーブ１６３の下端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられてよい。チャネルを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３に接続されている。内側のホルベックステータスリーブ１６９の上端部には、半径方向に延びるチャネルがさらに設けられてよい。チャネルを介して、中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５に接続されている。これにより、互いに内外に係合する複数のホルベックポンプ段が、互いに直列で接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータスリーブ１６５の下端部には、排気口１１７に通じる接続チャネル１７９がさらに設けられてよい。

ホルベックステータスリーブ１６７、１６９の、前述のポンピング作用を奏する表面は、回転軸線１５１を中心に螺旋状に周回しつつ軸方向に延びる複数のホルベック溝をそれぞれ有する。その一方で、ホルベックロータスリーブ１６３、１６５の、これに対向する側面は、滑らかに形成されていて、そして真空ポンプ１１１の運転のための気体をホルベック溝内において前方へ送り出す。

ロータシャフト１５３の回転可能な軸支のために、ポンプ排気口１１７の領域に転がり軸受１８１が設けられていて、ポンプ吸気口１１５の領域に永久磁石式の磁気軸受１８３が設けられている。

転がり軸受１８１の領域には、ロータシャフト１５３に、円錐形のスプラッシュナット１８５が設けられている。スプラッシュナット１８５は、転がり軸受１８１の方へ増大する外径を有する。スプラッシュナット１８５は、作動媒体貯蔵部の少なくとも１つの掻落とし部材と滑り接触している。存在する別のターボ分子真空ポンプ（図示されていない）では、スプラッシュナットの代わりに、スプラッシュねじが設けられてよい。これにより、様々な構成が実現可能であるので、上記関係において、「スプラッシュ尖端」との用語も用いられる。

作動媒体貯蔵部は、上下にスタックされた吸収性の複数のディスク１８７を有する。これらのディスク１８７には、転がり軸受１８１用の作動媒体、例えば潤滑剤が含浸されている。

真空ポンプ１１１の運転時、作動媒体は、毛管現象によって、作動媒体貯蔵部から掻落とし部材を介して、回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして、遠心力に基づいて、スプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット１８５の、増大していく外径の方へと、転がり軸受１８１に向かって送られる。そこでは、例えば潤滑機能が満たされる。転がり軸受１８１及び作動媒体貯蔵部は、真空ポンプ内で槽状のインサート１８９と軸受カバー１４５とによって囲繞されている。

永久磁石式の磁気軸受１８３は、ロータ側の軸受半部１９１と、ステータ側の軸受半部１９３とを有する。これらは、それぞれ１つのリングスタックを有し、リングスタックは、軸方向に上下にスタックされた永久磁石の複数のリング１９５、１９７からなる。リング磁石１９５、１９７は、互いに半径方向の軸受間隙１９９を形成しつつ、対向していて、この場合、ロータ側のリング磁石１９５は、半径方向外側に、そしてステータ側のリング磁石１９７は、半径方向内側に配置されている。軸受間隙１９９内に存在する磁界は、リング磁石１９５、１９７の間に磁気的反発力を引き起こす。その反発力は、ロータシャフト１５３の半径方向の軸支を実現する。ロータ側のリング磁石１９５は、ロータシャフト１５３の支持部分２０１によって支持されている。支持部分２０１は、リング磁石１９５を半径方向外側で取り囲む。ステータ側のリング磁石１９７は、ステータ側の支持部分２０３によって支持されている。支持部分２０３は、リング磁石１９７を通って延びていて、そしてハウジング１１９の半径方向の支材２０５に懸架されている。回転軸線１５１に対して平行に、ロータ側のリング磁石１９５が、支持部分２０３に連結されたカバー要素２０７によって固定されている。ステータ側のリング磁石１９７は、回転軸線１５１に対して平行に１つの方向で、支持部分２０３に接続された固定リング２０９と支持部分２０３に接続された固定リング２１１とによって固定されている。固定リング２１１とリング磁石１９７との間に、皿ばね２１３がさらに設けられてよい。

磁気軸受内に、非常用軸受又は安全軸受２１５が設けられている。非常軸受又は安全軸受２１５は、真空ポンプの通常運転時には、非接触で空転し、そしてロータ１４９がステータに対して相対的に半径方向に過剰に変位するとようやく係合し、これにより、ロータ側の構造とステータ側の構造との衝突が阻止されるように、ロータ１４９に対する半径方向のストッパが形成される。安全軸受２１５は、非潤滑式の転がり軸受として構成されていて、そしてロータ１４９及び／又はステータと共に半径方向の間隙を形成する。間隙によって、安全軸受２１５は、通常のポンプ運転時には係合しないようになる。半径方向の変位に際して安全軸受２１５が係合し、半径方向の変位は、十分に大きく寸法付けられているので、安全軸受２１５は、真空ポンプの通常運転時は係合せず、そして同時に十分に小さいので、ロータ側の構造とステータ側の構造との衝突があらゆる状況で阻止される。

真空ポンプ１１１は、ロータ１４９を回転駆動する電動モータ１２５を有する。電動モータ１２５の電機子は、ロータ１４９によって形成されている。ロータ１４９のロータシャフト１５３は、モータステータ２１７を通って延びる。ロータシャフト１５３の、モータステータ２１７を通って延びる部分には、半径方向外側に又は埋入して、永久磁石アセンブリが配置されてよい。モータステータ２１７と、ロータ１４９の、モータステータ２１７を通って延びる部分との間には、中間室２１９が配置されている。中間２１９は、半径方向のモータ間隙を有する。モータ間隙を介して、モータステータ２１７と永久磁石アセンブリとは、駆動トルクを伝達するために、磁気的に影響を及ぼしてよい。

モータステータ２１７は、ハウジング内で、電動モータ１２５に対して設けられたモータ室１３７内に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、シールガス（パージガスとも称され、これは例えば空気や窒素であってよい）が、モータ室１３７に到達し得る。シールガスを介して、電動モータ１２５を、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食性の部分に対して保護できる。モータ室１３７は、ポンプ排気口１１７を介して真空引きしてもよい。つまりモータ室１３７内に、少なくとも近似的に、ポンプ排気口１１７に接続された補助真空ポンプによって実現される真空圧が作用する。

ロータハブ１６１と、モータ室１３７を画成する壁部２２１との間には、それ自体公知のいわゆるラビリンスシール２２３がさらに設けられてよい。これにより、特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対するモータ室２１７のより良好なシールが達成される。

図６は、ハウジング構成部材５６と、熱交換要素４６を具備する閉鎖要素３２（図７Ａ参照）とを有する高真空ポンプ１６、ここではターボ分子ポンプの例示的な実施の形態の外観を示し、この場合、ハウジング構成部材５６と閉鎖要素３２とがポンプハウジング３０を形成する。任意選択的に、高真空ポンプ１６は、その排気側の端部に、接続フランジ７４を有し、接続フランジ７４は、例えば真空設備の管に接続可能である。したがって、高真空ポンプ１６は、直線状の管ガイドを有する設備の一部に容易に組み込める。

高真空ポンプ１６は、基本的に、本発明によるレシピエント１０のポンプ収容部分２２内に組付け可能であってよい。レシピエント１０の様々な実施の形態を、以下、図８から図２０に基づいて説明する。

熱交換要素４６は、冷却フィンの形態で構成されている。冷却フィンは、軸方向でそれぞれ互いに間隔を置いて閉鎖要素３２上に配置されている。熱交換要素４６は、閉鎖要素３２の外面の８０％以上を覆い、これによって、生成された熱がポンプから更に効率的に放出される。そのために、ハウジング構成部材５６に熱交換要素４６が設けられてもよい。

図７Ａの断面図に示されているように、高真空ポンプ１６の構成要素は、ポンプハウジング３０内に配置されている。特にポンプのステータ、モータ５２及びロータ１４９は、ポンプハウジング３０内に配置されていて、この場合、モータ５２の一部と、ロータ１４９を軸支する軸受部分とが、閉鎖要素３２の収容部分６２に配置されている。収容部分６２は、高真空ポンプ１６のポンプ室６４の下流側の端部を形成する、閉鎖要素３２の底部分６６（ここでは熱交換要素４６を有しない一形態で）からハウジング構成部材５６へ向けて延在する。

すでに前述したように、ポンプの運転時にロータ１４９に堅固に接続された動翼は、空間固定に配置された静翼と協働し、これにより、ポンピング作用が形成される。

閉鎖要素３２は、基部要素と称されてもよく、高真空ポンプ１６を、そのポンピング方向に下流側の端部で軸方向に閉鎖する。

さらに、閉鎖要素３２は、ロータ１４９の回転軸線１５１の周りに分散して配置されたポンプ排気開口又はポンプ排気チャネル５４を有する。チャネル状のポンプ排気開口５４は、例えば周方向に分散された、特に均一に分散された孔又は湾曲した長孔である（図７Ｃ参照）。ポンプ排気開口５４は、ポンプ室６４から高真空ポンプ１６の排気側３６へ向かう効率的な気体ガイドを可能にする。例えば高真空ポンプ１６の構成要素のための電気的な供給線路が閉鎖要素３２を通してガイドされる場合、ポンプ排気開口５４は、非対称に配置されてもよく（図７Ｂ参照）、これにより、供給線路に必要な構造空間を提供できる。例えば閉鎖要素３２は、湾曲した７つの長孔を有してよい。

ポンプ１６の排気側の端面で、チャネル状のポンプ排気開口が排出開口４８に開口し、これにより、ポンプ１６によって圧送された媒体がこの排出開口から吐出される。

図１から図５によるポンプ１１１とは異なり（図４の半径方向ポンプ排気口１１７参照）、ここでは要するに軸方向に直線状のポンプ排気開口又はポンプ排気チャネル５４が設けられていて、ポンプ排気開口又はポンプ排気チャネル５４は、ともにポンピングされた媒体の効率的な吐出を可能にする。

さらに、閉鎖要素３２は、ポンプハウジング３０かなりの部分を形成し、つまり閉鎖要素３２の外周の領域での閉鎖要素３２の軸方向の延伸長さ５８は、ハウジング構成部材５６の軸方向の延伸長さ６０の２０％より大きい。特に閉鎖要素３２の軸方向の延伸長さ５８は、ハウジング構成部材５６の軸方向の延伸長さ６０の３０％又は３８％より大きくてよい。

ハウジング構成部材５６と閉鎖要素３２とは、それぞれ向き合う端部で相補的に構成されている。特に、閉鎖要素３２の外径とハウジング構成部材５６の外径とは、少なくとも、閉鎖要素３２とハウジング構成部材５６とが互いに接続する領域では、ほぼ同じ大きさである。

閉鎖要素３２の前述の機能を統合することによって、真空ポンプの小型でフレキシブルな構造形態を実現できる一方で、ポンプ性能が向上する。

図８に示された、レシピエント１０の例示的な実施の形態によれば、高真空ポンプ１６の主要な部分は、レシピエント１０のポンプ収容部分２２内に配置されている。例えば、高真空ポンプ１６は、ポンプ収容部分２２内に挿入されている。高真空ポンプ１６の主要な部分は、レシピエント１０のハウジング２６、２８内に直接に組み込まれている、又はレシピエント１０の構成要素を形成する。高真空ポンプ１６は、堅固に又は着脱可能に、好適には着脱可能にポンプ収容部分２２内に配置されている。レシピエント１０と高真空ポンプ１６とは、相互に調整されているので、これらは、小型で容易に保守可能なシステムを形成する。このことは、以下にさらに記述する実施の形態にも当てはまる。

さらに、レシピエント１０は、３つの真空チャンバ１２を有する。真空チャンバ１２は、それぞれのポンプ接続部１４を介して、対応する高真空ポンプ１６（例えばスプリットフローポンプ）の吸気口に接続されている。レシピエント１０は、顧客用途に応じて、単一の、２つ又は３つ以上の真空チャンバ１２を有してもよい。真空チャンバ１２のそれぞれは、ポンプ接続部１４を介してポンプ室６４に直接に接続されているので、ポンプ室６４と真空チャンバ１２のそれぞれとの間の距離を小さく維持でき、このことは、真空チャンバ１２のそれぞれへの真空の効率的な提供を可能にする。さらに、真空ポンプの真空チャンバ１２と吸気フランジ１１３との間の接続の面倒な確立が不要となる。

レシピエント１０は、真空チャンバ１２に堅固に接続された補助真空接続部分１８をさらに有し、この場合、真空チャンバ１２と補助真空接続部分１８とは、共通のハウジング２６を有し、ハウジング２６は、ポンプ収容部分２２とポンプハウジング３０の主要部分とを同時に形成する。

補助真空接続部分１８は、補助真空接続部２０と、補助真空チャンバ２４と、閉鎖要素３２内に形成されたチャネル３４と補助真空チャンバ（図示せず）の吸気側との間の接続を確立するための補助真空接続フランジ２０ａとを有する。

小型で安定した構造形態を実現するために、補助真空接続部分１８と閉鎖要素３２とは、互いに相補的に構成されている。特に、補助真空接続部分２０と閉鎖要素３２のチャネル３４の第１の排気接続部４２とは、相補的な形状特徴３８、４０を有する。具体的には、図示の例では、軸方向に対して角度７６を有する傾斜部であり、この場合、軸方向は、回転軸線１５１に対して平行に延在する方向である。角度７６は、０度から９０度、好適には２２．５度から４７．５度であってよい（例えば０度、３０度、４５度、６０度又は９０度）。小型の構造形態を実現するために、閉鎖要素３２の下面と補助真空接続部分１８の下面とは、面一である。

したがって、チャネル３４は、排気接続部４２と補助真空接続部分２０と補助真空チャンバ２４とを介して、補助真空フランジ２０ａとの高真空ポンプ１６のポンプ室６４の接続を確立する。補助真空フランジ２０ａは、補助真空ポンプに対するインタフェースを形成する。したがって、公知のシステムとは異なり、このインタフェースは、高真空ポンプではなく、レシピエント側に提供される。

閉鎖要素３２は、レシピエント１０の一体的な構成要素であってよいポンプ収容部分２２と補助真空接続部分１８とに着脱式に取付け可能であるので、高真空ポンプ１６の内部に容易にアクセスが可能である。このことは、高真空ポンプ１６及びレシピエント１０の保守費用の削減を可能にする。組付け状態で、閉鎖要素３２は、高真空ポンプ１６の軸方向の端部を形成する。

図９に示された、レシピエント１０の実施の形態は、図８に示されたものとは、主に、高真空ポンプ１６の、ポンプ作用を奏する特徴部が、カートリッジハウジング７２内に配置されることにおいて異なる。これにより、ポンプ収容部分２２内での高真空ポンプ１６の組付けが容易になるので、保守の場合に顧客においても真空ポンプの交換が可能である。

カートリッジハウジング７２は、適切な位置に接続手段又は接続開口を有するので、真空チャンバ１２のそれぞれが、それぞれのポンプ接続部１４を介して、ポンプ室６４に接続可能である。さらに、カートリッジハウジング７２は、高真空ポンプ１６の機能的な構成要素、特に高真空ポンプ１６のポンプ作用を奏する特徴部を形成してよい。したがって、高真空ポンプ１６は、容易に組立て可能であるカートリッジポンプを形成する。高真空ポンプ１６は、主にポンプ収容部分２２内に挿入するだけでよく、その際、接続手段又は接続開口若しくは開口１４を適切に構成すれば同時にチャンバ１２への接続も確立できる。

図１０に示された、レシピエント１０の実施の形態は、図９に示されたものとは、主に、補助真空接続部分１８の補助真空接続部２０が、軸方向に対して垂直に構成されている一方で、閉鎖要素３２のチャネル３４の排気接続部４２が、これに対して平行に、（すなわち補助真空接続部２０に対して垂直に）配置されていることにおいて異なる。第１の排気接続部４２と補助真空接続部分１８の補助真空接続部２０とは、アダプタ６８を介して互いに接続されている。アダプタは、第１の接続部分８０と第２の接続部分８２とを有し、第１の接続部分８０と第２の接続部分８２とは、補助真空接続部２０又はチャネル３４の第１の排気接続部４２に接続可能である。そのような形態は、補助真空接続部分１８の構成に関して、特に補助真空接続部２０の位置に関して高いフレキシビリティを可能にする。さらに、補助真空チャンバ２４は、空間を節約するためにより小さく構成されてよい。したがって、接続状態が変わるとき、例えば閉鎖要素３２が変更されたポンプが使用されるとき、アダプタ６８を交換するだけでよい。

図１１に示された、レシピエント１０の実施の形態は、図１０に図示されたものとは、主に、図面において述べると、閉鎖要素３２とアダプタ６８とが一体的に形成されていることにおいて異なる。アダプタ６８を介在させる代わりに、閉鎖要素３２のチャネル３４の第１の排気接続部４２は、補助真空接続部分１８の、軸方向に対して垂直に形成された補助真空接続部２０に対して相補的に構成されている。すなわち、補助真空接続部２０とチャネル３４の第１の排気接続部４２とは、軸方向に対して９０度の角度７６を有し、チャネル３４の第１の排気接続部４２が中に形成された閉鎖要素３２の表面部分は、補助真空接続部２０が形成された補助真空接続部分１８の下面の表面部分を軸方向に覆う。ここでは形成しなければならない接続部がより少数であるので、この構成は、補助真空接続部分１８への閉鎖要素３２の組付けを容易にする。

図１２に示された、レシピエント１０の実施の形態は、図１０に示されたものとは、主に、一方では真空チャンバ１２及び補助真空接続部分１８のハウジング２６と、他方ではポンプ収容部分２２とが、別個の構成部材であるということにおいて異なる。ポンプ収容部分２２は、ハウジング２６及びカートリッジハウジング７２に対して相補的に構成されているので、部分２２は、容易にハウジング２６に組付け可能であるとともに、ポンプ１６は、容易に部分２２内に組付け可能である。言及された構成要素に設けられた機械コードは、これらが正しい方法でしか組み付けられないことを保証できる。

図１３に示された実施の形態のレシピエントは、軸方向のポンプ排気開口５４を有する閉鎖要素３２を示し、その排出開口４８は、チャネル３４の吸気接続部４４に接続されている。チャネル３４は、別個のカバー８４内に形成されていて、カバー８４は、ポンプ１６のポンプ排気開口５４と補助真空接続部２０との間の接続を確立するのに用いられる。特に、チャネル３４は、ポンプ１６のポンプ排気開口５４と補助真空接続部２０との間の接続を確立する排気接続部４２を有する。

カバー８４は、熱交換要素４６、特に冷却フィンをさらに有する。最適な放熱のために、好適には、接続要素３２の表面の半分以上に熱交換要素４６が設けられている。

図１７に示されているように、熱交換要素４６を有しない形態も考えられ、これにより製造コストが削減される。

カバー８４は、接続要素及び冷却要素の機能を満たすだけでなく、同時にレシピエント１０内に又はレシピエント１０に高真空ポンプ１０を確保及び／又は固定するために用いられる。

別の例示的な実施の形態によれば、カバー８４は、１つ又は複数の取付け領域７０ａ、ｂを有してよい。図１４に示されているように、カバー８４は、取付け領域７０ａを有し、取付け領域７０ａは、高真空ポンプ１６を、側方で、すなわち軸方向に対して垂直の向きで部分的に包囲する。別の取付け領域７０ｂは、カバー８４の、補助真空接続部側の部分に位置する。取付け領域７０ａ、ｂは、バーストモーメントが高真空ポンプ１６の周辺の部分に導き出されることによって、高真空ポンプ１６の衝撃時の付加的な安全性及び安定性を提供する。

図１５に示された、レシピエント１０の実施の形態は、図１２に示されたものとは、主に、レシピエント１０が３つではなく６つの真空チャンバ１２を有することにおいて異なる。高真空ポンプ１６は、相応してより多数のポンプ段を有する。

図１６に示されているように、カバー８４が補助真空フランジ２０ａを有する構成も考えられる。閉鎖要素３２のこの形態では、チャネル３４は、補助真空フランジ２０ａとチャネル３４との間の接続を確立する第２の排気接続部７８を有する。したがって、チャネル３４の第２の排気接続部７８は、補助真空チャンバ２４と補助真空ポンプの吸気側との間の接続と、ポンプ排気開口５４と補助真空ポンプの吸気側との間の接続とを確立する。接続部４２は、ここでは吸気接続部として機能する。

カバー８４を有しない実施の形態でも相応の形態が考えられる。

補助真空フランジ２０ａは、閉鎖要素３２の下面で熱交換要素４６の傍に配置されている。この形態では、高真空ポンプ１６も補助真空チャンバ２４も、補助真空フランジ２０ａを有する必要はない。カバー８４は、他の実施の形態の場合と同様にレシピエント１０に割り当てられてよい、又はポンプ収容部分２２を閉鎖する構成要素であってよい（例えば図１４参照）。

図１８に示された、レシピエント１０の実施の形態は、図１２に示されたものとは、主に、高真空ポンプ１６がカートリッジハウジング７２を有さず、閉鎖要素３２がチャネル３４を有するカバー８４によって軸方向に覆われていて、カバー８４は、高真空ポンプ１６の排気側３６に、又は対応する形態では直接にポンプ収容部分２２に、そして補助真空接続部分１８に組付け可能であることにおいて異なる。

図１９に示されているように、別個のポンプ収容部分２２の他に、カートリッジハウジング７２と別個のカバー８４とを有するポンプも設けられた構成も考えられる。これについては、図１２の対応する記載が参照される。

図２０に示された実施の形態に対応して、レシピエント１０は、真空チャンバ１２とポンプ収容部分２２の主要な部分とを形成する共通のハウジング２８を有してもよい。

１０ レシピエント
１２ 真空チャンバ
１４ ポンプ接続部
１６ 高真空ポンプ
１８ 補助真空接続部分
２０ 補助真空接続部
２０ａ 補助真空フランジ
２２ ポンプ収容部分
２４ 補助真空チャンバ
２６ 真空チャンバと補助真空接続部分との共通のハウジング
２８ 真空チャンバとポンプ収容部分との共通のハウジング
３０ ポンプハウジング
３２ 閉鎖要素
３４ 閉鎖要素のチャネル
３６ 高真空ポンプの排気側
３８ 第１の形状特徴
４０ 第２の形状特徴
４２ 閉鎖要素のチャネルの第１の排気接続部
４４ カバーのチャネルの吸気接続部
４６ 熱交換要素
４８ ポンプ排気開口の排出開口
５２ モータ
５４ ポンプ排気開口
５６ ハウジング構成部材
５８ 閉鎖要素の軸方向の延伸長さ
６０ ハウジング構成部材の軸方向の延伸長さ
６２ 閉鎖要素の収容部分
６４ ポンプ室
６６ 底部分
６８ アダプタ
７０ａ、７０ｂ 取付け領域
７２ カートリッジハウジング
７４ 接続部分
７６ 角度
７８ 閉鎖要素／カバーのチャネルの第２の排気接続部
８０ アダプタの第１の接続部分
８２ アダプタの第２の接続部分
８４ カバー
１１１ ターボ分子ポンプ
１１３ 吸気フランジ
１１５ ポンプ吸気口
１１７ ポンプ排気口
１１９ ハウジング
１２１ 下部分
１２３ エレクトロニクスハウジング
１２５ 電動モータ
１２７ アクセサリ接続部
１２９ データインタフェース
１３１ 電流供給接続部
１３３ 通気用吸気口
１３５ シールガス接続部
１３７ モータ室
１３９ 冷却剤接続部
１４１ 下面
１４３ ねじ
１４５ 軸受カバー
１４７ 固定孔
１４８ 冷却剤管路
１４９ ロータ
１５１ 回転軸線
１５３ ロータシャフト
１５５ 動翼
１５７ 静翼
１５９ スペーサリング
１６１ ロータハブ
１６３ ホルベックロータスリーブ
１６５ ホルベックロータスリーブ
１６７ ホルベックステータスリーブ
１６９ ホルベックステータスリーブ
１７１ ホルベック間隙
１７３ ホルベック間隙
１７５ ホルベック間隙
１７９ 接続チャネル
１８１ 転がり軸受
１８３ 永久磁石式の磁気軸受
１８５ スプラッシュナット
１８７ ディスク
１８９ インサート
１９１ ロータ側の軸受半部
１９３ ステータ側の軸受半部
１９５ リング磁石
１９７ リング磁石
１９９ 軸受間隙
２０１ 支持部分
２０３ 支持部分
２０５ 半径方向の支柱
２０７ カバー要素
２０９ 支持リング
２１１ 固定リング
２１３ 皿ばね
２１５ 非常用軸受又は安全軸受
２１７ モータステータ
２１９ 中間室
２２１ 壁部
２２３ ラビリンスシール

図２０に示された実施の形態に応じて、レシピエント１０は、真空チャンバ１２とポンプ収容部分２２の主要な部分とを形成する共通のハウジング２８を有してもよい。
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の態様として以下を含む。
１．
レシピエント（１０）であって、
少なくとも１つのポンプハウジングと、
高真空ポンプ（１６）、特にターボ分子ポンプの吸気側との接続を確立するポンプ接続部（１４）を有する、少なくとも１つの真空チャンバ（１２）と、
を備える、レシピエント（１０）において、
レシピエントは、真空チャンバ（１２）に堅固に接続された補助真空接続部分（１８）を有し、補助真空接続部分（１８）は、補助真空ポンプの吸気側との接続を確立する補助真空接続部（２０）を有することを特徴とする、レシピエント（１０）。
２．
レシピエント（１０）であって、
レシピエント内に高真空ポンプ（１６）を収容する少なくとも１つのポンプ収容部分（２２）と、
高真空ポンプ（１６）、特にターボ分子ポンプの吸気側との接続を確立するポンプ接続部（１４）を有する、少なくとも１つの真空チャンバ（１２）と、
を備える、レシピエント（１０）において、
レシピエントは、真空チャンバ（１２）に堅固に接続された補助真空接続部分（１８）を有し、補助真空接続部分（１８）は、補助真空ポンプの吸気側との接続を確立する補助真空接続部（２０）を有することを特徴とする、レシピエント（１０）。
３．
補助真空接続部分（１８）は、補助真空チャンバ（２４）を有する、上記１又は２のレシピエント（１０）。
４．
真空チャンバ（１２）と補助真空接続部分（１８）とは、共通のハウジング（２６）を有する、上記１から３のいずれか一つのレシピエント（１０）。
５．
真空チャンバ（１２）及び／又は補助真空接続部分（１８）のハウジング（２８）が、ポンプ収容部分（２２）を形成し、特に、ハウジング（２８）は、高真空ポンプ（１６）のポンプハウジング（３０）の少なくとも一部を形成する、上記１から４のいずれか一つのレシピエント。
６．
ポンプ収容部分（２２）は、高真空ポンプ（１６）を少なくとも部分的に包囲し、特に、ポンプ収容部分（２２）は、ハウジング（２８）及び／又は真空チャンバ（１２）及び／又は補助真空接続部分（１８）に着脱可能に接続されている、上記１から５のいずれか一つのレシピエント（１０）。
７．
組付け状態で高真空ポンプ（１６）を軸方向に少なくとも部分的に覆う閉鎖要素（３２、８４）が設けられていて、閉鎖要素（３２、８４）は、高真空ポンプ（１６）の排気側（３６）と補助真空接続部分（１８）との間の接続を確立する少なくとも１つのチャネル（３４）を有する、上記１から６のいずれか一つのレシピエント（１０）。
８．
閉鎖要素（８４）は、高真空ポンプ（１６）に対して別個の構成部材である又は高真空ポンプ（１６）に対して別個の構成部材を有し、前記構成部材は、高真空ポンプ（１６）及び／又は補助真空ポンプ（１２）及び／又は補助真空接続部分（１８）及び／又はポンプ収容部分（２２）に着脱式に取付け可能である、上記１から７のいずれか一つのレシピエント（１０）。
９．
閉鎖要素（３２、８４）は、第１の形状特徴（３８）を有し、第１の形状特徴（３８）は、第１の形状特徴（３８）に対して相補的に構成された第２の形状特徴（４０）に係合可能であり、第２の形状特徴は、高真空ポンプ（１６）及び／又は真空チャンバ（１２）及び／又は補助真空接続部分（１８）及び／又はポンプ収容部分（２２）に形成されている、上記１から８のいずれか一つのレシピエント（１０）。
１０．
閉鎖要素（３２、８４）のチャネル（３４）は、第１の排気接続部（４２）を有し、第１の排気接続部（４２）は、補助真空接続部分（１８）に接続可能であり、特に、閉鎖要素（３２、８４）のチャネル（３４）は、補助真空チャンバに接続可能な第２の排気接続部（４４）を有する、上記１から９のいずれか一つのレシピエント（１０）。
１１．
閉鎖要素（３２）には熱交換要素（４６）、特に冷却フィンが設けられている、上記１から１０のいずれか一つのレシピエント（１０）。
１２．
特に、好適には上記１から１１のいずれか一つのように構成されたレシピエント（１０）のポンプ収容部分（２２）に又はポンプ収容部分（２２）内に組付け可能である、高真空ポンプ（１６）、特にターボ分子ポンプにおいて、
ステータと、モータ（５２）によって回転軸線（１５１）を中心に回転駆動可能なロータ（１４９）とを備え、
ステータ及びロータは、ポンプハウジング（３０）内に配置されていて、
閉鎖要素（３２）が設けられていて、閉鎖要素（３２）は、高真空ポンプ（１６）をポンピング方向で下流側の端部で軸方向に閉鎖し、
閉鎖要素（３２）は、回転軸線（１５１）の周りに分散して配置された少なくとも２つのポンプ排気開口（５４）を有し、
ポンプ排気開口（５４）の排出開口（４８）が、高真空ポンプ（１６）の排気側の端面に配置されている、高真空ポンプ（１６）。
１３．
閉鎖要素（３２）と少なくとも１つのハウジング構成部材（５６）とは、ポンプハウジング（３０）を形成する、上記１２の高真空ポンプ（１６）。
１４．
閉鎖要素（３２）の軸方向の延伸長さ（５８）は、外周の領域において、ハウジング構成部材（５６）の軸方向の延伸長さ（６０）の２０％よりも大きい、特に３０％よりも大きい又は３８％よりも大きい、上記１２又は１３の高真空ポンプ（１６）。
１５．
閉鎖要素（３２）の外径とハウジング構成部材（５６）の外径とは、少なくとも、閉鎖要素（３２）とハウジング構成部材（５６）とが互いに接続する領域では、ほぼ同一の大きさである、上記１２から１４のいずれか一つの高真空ポンプ（１６）。
１６．
閉鎖要素（３２）は、収容部分（６２）を有し、収容部分（６２）は、高真空ポンプ（１６）のポンプ室（６４）の下流側の端部を形成する接続要素（３２）の底部分（６６）からハウジング構成部材（５６）の方へ延在し、
収容部分（６２）は、モータ（５２）の少なくとも一部及び／又はロータ（１４９）を軸支する軸受部分の少なくとも一部を収容する、上記１２から１５のいずれか一つの高真空ポンプ（１６）。

Claims (16)

1. レシピエント（１０）であって、
   少なくとも１つのポンプハウジングと、
   高真空ポンプ（１６）、特にターボ分子ポンプの吸気側との接続を確立するポンプ接続部（１４）を有する、少なくとも１つの真空チャンバ（１２）と、
   を備える、レシピエント（１０）において、
   レシピエントは、真空チャンバ（１２）に堅固に接続された補助真空接続部分（１８）を有し、補助真空接続部分（１８）は、補助真空ポンプの吸気側との接続を確立する補助真空接続部（２０）を有することを特徴とする、レシピエント（１０）。
2. レシピエント（１０）であって、
   レシピエント内に高真空ポンプ（１６）を収容する少なくとも１つのポンプ収容部分（２２）と、
   高真空ポンプ（１６）、特にターボ分子ポンプの吸気側との接続を確立するポンプ接続部（１４）を有する、少なくとも１つの真空チャンバ（１２）と、
   を備える、レシピエント（１０）において、
   レシピエントは、真空チャンバ（１２）に堅固に接続された補助真空接続部分（１８）を有し、補助真空接続部分（１８）は、補助真空ポンプの吸気側との接続を確立する補助真空接続部（２０）を有することを特徴とする、レシピエント（１０）。
3. 補助真空接続部分（１８）は、補助真空チャンバ（２４）を有する、請求項１又は２に記載のレシピエント（１０）。
4. 真空チャンバ（１２）と補助真空接続部分（１８）とは、共通のハウジング（２６）を有する、請求項１から３のいずれか一項に記載のレシピエント（１０）。
5. 真空チャンバ（１２）及び／又は補助真空接続部分（１８）のハウジング（２８）が、ポンプ収容部分（２２）を形成し、特に、ハウジング（２８）は、高真空ポンプ（１６）のポンプハウジング（３０）の少なくとも一部を形成する、請求項１から４のいずれか一項に記載のレシピエント。
6. ポンプ収容部分（２２）は、高真空ポンプ（１６）を少なくとも部分的に包囲し、特に、ポンプ収容部分（２２）は、ハウジング（２８）及び／又は真空チャンバ（１２）及び／又は補助真空接続部分（１８）に着脱可能に接続されている、請求項１から５のいずれか一項に記載のレシピエント（１０）。
7. 組付け状態で高真空ポンプ（１６）を軸方向に少なくとも部分的に覆う閉鎖要素（３２、８４）が設けられていて、閉鎖要素（３２、８４）は、高真空ポンプ（１６）の排気側（３６）と補助真空接続部分（１８）との間の接続を確立する少なくとも１つのチャネル（３４）を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載のレシピエント（１０）。
8. 閉鎖要素（８４）は、高真空ポンプ（１６）に対して別個の構成部材である又は高真空ポンプ（１６）に対して別個の構成部材を有し、前記構成部材は、高真空ポンプ（１６）及び／又は補助真空ポンプ（１２）及び／又は補助真空接続部分（１８）及び／又はポンプ収容部分（２２）に着脱式に取付け可能である、請求項１から７のいずれか一項に記載のレシピエント（１０）。
9. 閉鎖要素（３２、８４）は、第１の形状特徴（３８）を有し、第１の形状特徴（３８）は、第１の形状特徴（３８）に対して相補的に構成された第２の形状特徴（４０）に係合可能であり、第２の形状特徴は、高真空ポンプ（１６）及び／又は真空チャンバ（１２）及び／又は補助真空接続部分（１８）及び／又はポンプ収容部分（２２）に形成されている、請求項１から８のいずれか一項に記載のレシピエント（１０）。
10. 閉鎖要素（３２、８４）のチャネル（３４）は、第１の排気接続部（４２）を有し、第１の排気接続部（４２）は、補助真空接続部分（１８）に接続可能であり、特に、閉鎖要素（３２、８４）のチャネル（３４）は、補助真空チャンバに接続可能な第２の排気接続部（４４）を有する、請求項１から９のいずれか一項に記載のレシピエント（１０）。
11. 閉鎖要素（３２）には熱交換要素（４６）、特に冷却フィンが設けられている、請求項１から１０のいずれか一項に記載のレシピエント（１０）。
12. 特に、好適には請求項１から１１のいずれか一項に記載のように構成されたレシピエント（１０）のポンプ収容部分（２２）に又はポンプ収容部分（２２）内に組付け可能である、高真空ポンプ（１６）、特にターボ分子ポンプにおいて、
    ステータと、モータ（５２）によって回転軸線（１５１）を中心に回転駆動可能なロータ（１４９）とを備え、
    ステータ及びロータは、ポンプハウジング（３０）内に配置されていて、
    閉鎖要素（３２）が設けられていて、閉鎖要素（３２）は、高真空ポンプ（１６）をポンピング方向で下流側の端部で軸方向に閉鎖し、
    閉鎖要素（３２）は、回転軸線（１５１）の周りに分散して配置された少なくとも２つのポンプ排気開口（５４）を有し、
    ポンプ排気開口（５４）の排出開口（４８）が、高真空ポンプ（１６）の排気側の端面に配置されている、高真空ポンプ（１６）。
13. 閉鎖要素（３２）と少なくとも１つのハウジング構成部材（５６）とは、ポンプハウジング（３０）を形成する、請求項１２に記載の高真空ポンプ（１６）。
14. 閉鎖要素（３２）の軸方向の延伸長さ（５８）は、外周の領域において、ハウジング構成部材（５６）の軸方向の延伸長さ（６０）の２０％よりも大きい、特に３０％よりも大きい又は３８％よりも大きい、請求項１２又は１３に記載の高真空ポンプ（１６）。
15. 閉鎖要素（３２）の外径とハウジング構成部材（５６）の外径とは、少なくとも、閉鎖要素（３２）とハウジング構成部材（５６）とが互いに接続する領域では、ほぼ同一の大きさである、請求項１２から１４のいずれか一項に記載の高真空ポンプ（１６）。
16. 閉鎖要素（３２）は、収容部分（６２）を有し、収容部分（６２）は、高真空ポンプ（１６）のポンプ室（６４）の下流側の端部を形成する接続要素（３２）の底部分（６６）からハウジング構成部材（５６）の方へ延在し、
    収容部分（６２）は、モータ（５２）の少なくとも一部及び／又はロータ（１４９）を軸支する軸受部分の少なくとも一部を収容する、請求項１２から１５のいずれか一項に記載の高真空ポンプ（１６）。