JP6998422B2 - 真空システム - Google Patents

Description

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプと、少なくとも１つの真空チャンバとを備える、真空システムであって、真空ポンプは、少なくとも第１のインレットと第２のインレットと、共通のアウトレットと、少なくとも第１のポンプ段と第２のポンプ段とを有し、第１のポンプ段と第２のポンプ段とは、それぞれ少なくとも１つのロータ要素を有し、ロータ要素は、共通のロータ上に配置されていて、第１のインレットは、第１のポンプ段の上流側の端部に接続されていて、第２のインレットは、第２のポンプ段の上流側の端部に接続されていて、第１のポンプ段の下流側の端部が、第２のインレットを迂回して、第２のポンプ段の上流側の端部に接続されている、真空システムに関する。

例示的な真空用途では、特に高い排気速度で真空チャンバが排気される。そのために使用される真空ポンプ、特にターボ分子ポンプにおける使用可能な組付けスペースは著しく制限されている。特に、ロータ軸線に対して半径方向の組付けスペースが制限されている。原則的に、ポンプの組付け寸法は、可能な限りコンパクトであるべきであり、この場合、ロータ径に対する軸方向の長さはあまり大きく制限され得ないどころか、特により大きくなり得る。というのも、組付け部材が、例えば質量分析計などの特定の用途では、ある程度の組付け長さも有するからである。

したがって本発明の課題は、特に真空ポンプの構造スペースを制限すると同時に、真空チャンバにおいて、特に高い排気速度を提供することである。

この課題は、請求項１に記載の真空システムによって解決され、特に、第１のインレットと第２のインレットとが同一の真空チャンバに接続されていることによって解決される。

これにより、排気速度が大幅に増加し、ひいてはチャンバ内に特に低い圧力が生じる。しかも、この排気速度の増加は、実質的にロータ径の増大及びロータ速度の増加の必要なしに達成することができる。例示的な計算では、一定のロータ径及び一定のロータ速度で、最大５０％どころか最大８０％までの排気速度の増加が推測される。

例えば、誘導要素、付加的なポンプ段及び／又は付加的なインレットを設けるために、公知の構造と比較してロータ長さを増大させることが、場合によってはこのような背景において有利である、又は特定の構造において必要である。しかし、軸方向の長さの構造スペースは、いくつかの用途では、ポンプ直径又はロータ径よりは問題とはならない。さらに、ロータ長さの変化、特に増大によるロータの動的挙動に対する影響は、直径の変化による影響よりも小さく、これは、主に真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの高い回転数に起因する。しかも、本発明による排気速度の増加においては、特にロータ径及びロータ速度を十分に維持することができるので、ロータの動特性も同じくわずかな範囲でしか変化せず、その結果、最良の場合、公知の構造の支持構想及び構成部材を用いることもできる、又は概して比較的わずかな又は良好に実現可能な要求が支持部に課せられている。したがって、コストも範囲内に抑えることができる。

したがって、本発明は、概して簡単な手段で特に良好な真空チャンバの排気速度を提供し、しかも特に排気速度の増加のための通常のアプローチと同時に生じるような欠点を伴わない、又は実質的に伴わない。

前述の利点は、特に、第１のポンプ段からの体積流と第２のインレットからの体積流とが、第２のポンプ段の領域、特に上流側のロータ要素の領域で実質的に初めて一緒になることによって得られる。特に、第１のポンプ段から到来するガスは、第２のインレットを迂回して、直接に第２のポンプ段へガイドされる。

本発明によれば、第１のインレットと第２のインレットとの両方が同一の１つのチャンバに接続されている、つまり第１のインレットと第２のインレットとの間で、チャンバ側に、各々のインレットに接続された領域が別個のチャンバとみなされることになる構造を設けてはならない。特に、インレットは、チャンバ側で、小さな開口又は絞りを有するとしても壁のようなコンダクタンスの低い構造によって仕切られるべきではない。

本発明の好適な用途は、質量分析システムである。その質量分析システムは、通常、複数の真空チャンバを有し、この場合、第１の真空チャンバは、絞りを介して、隣り合う第２のチャンバに通じる小さな流体連通部を有する。ただし、チャンバ内の絶対圧力は、特に原則として小さな絞りに基づいてそれぞれ異なっている。絞りは、１つ又は複数の真空ポンプ及び／又はポンプ段によって形成される圧力差を維持することを可能にする。

したがって、特に、流体連通部が存在するが、しかしこれが低いコンダクタンスを有する、又はコンダクタンスに比較して排気速度が低いときにも、別々のチャンバが存在する。これに対して、単一のチャンバは、本発明の範疇で、特に、第１のインレットと第２のインレットとの間の実質的に均一な圧力及び／又はチャンバ側の高いコンダクタンスにおいて優れている。

好適には、チャンバ内において第１のインレットと第２のインレットとの間でコンダクタンスＬが規定されていて、この場合、両方のインレットにおける排気速度が一緒になって全体排気速度Ｓをなし、この場合、比Ｓ／Ｌは＜３００、特に＜１００、特に＜５０、特に＜１０である。これらの値は、特に室温でのガス状の窒素を基準とする。

本発明の一実施形態によれば、第１のポンプ段の下流側の端部から第２インレットに向かうガスの流れを阻止するための誘導要素又はガイド要素を設けることができ、この場合、誘導要素又はガイド要素は、以下、簡略化して誘導要素としか述べられないが、しかしガイド要素を意図してもよい。そのような誘導要素は、例えば壁又はプレートとして、第１のポンプ段の下流側の端部と第２のインレットとの間に形成することができる。好適には、誘導要素は、ロータ軸線に対して垂直に延在する。しかし、誘導要素は、必ずしも完璧なシール作用を発揮するわけではない。というより、誘導要素は、第１のポンプ段の下流側の端部から第２のインレットに向かうガスの流れを少なくとも実質的に妨害又は阻止しなければならない。誘導要素は、例えば、偏向要素として構成することができるが、原則的に、必ずしもガスに他の方向性を与えなくてよい。むしろ、第２のインレットに向かうガスの流れが回避される、又は少なくとも妨害されることが重要である。特定の実施形態では、チャネルの壁が誘導要素を形成しても、又はこれに接続してもよい。

誘導要素は、例えば、静的要素として構成することができる、かつ／又は真空ポンプのハウジングに取り付けることができる。そのような場合、例えば、特に運転中のロータの変位を考慮するために、偏向手段とロータとの間に間隙を設けることができる。そのような隙間があると、自然と小さな漏れ流が生じ得る。それにもかかわらず、偏向手段は、実質的にその機能を維持する。とういうのも、隙間を、排気速度と比較して特に小さく維持することができるからである。

第１のポンプ段の下流側の端部は、第２のポンプ段の上流側の端部に、例えばチャネルによって接続することができる。すなわち、チャネルは、ガスの流路を、とりわけインレットに向けてではなく、第２のポンプ段の上流側の端部に向けて規定する。チャネルは、例えば誘導要素の一部であってよい、又はこれに特に一体に接続されてよい。特に、チャネルのアウトレット端部は、特に軸方向にかつ／又は直接に、第２のポンプ段の上流側の端部に、特に第２のポンプ段のターボロータディスクに向けられている。概して、第１のポンプ段の下流側の端部は、第２のインレットを迂回して、好適には直接に第２のポンプ段の上流側の端部に接続されている。

一実施形態によれば、チャネルがロータに対して偏心して配置されていることが想定されている。これにより、ガスが、チャネルから有利に吸い出される。特に、第２のポンプ段が少なくとも１つのターボロータディスクを有するとき、このアプローチが有利である。というのも、各々のロータブレードが、偏心して又は半径方向外側で、内側よりも高い速度を有し、ひいてはガスが特に外側で又は偏心して特に良好に吸い出されるからである。チャネルは、ロータがチャネルの外側に配置されるように配置することができる。しかも、チャネルの偏心的な配置は、ロータがチャネルを通って延在するが、ロータの回転軸線とチャネルの縦軸線または中心軸線とが一致しないことを排除しない。

チャネルは、代替的に又は付加的に、ロータに対して同心に配置してもよい、かつ／又はロータを包囲してもよい。これにより、とりわけ格別に簡単な構造が得られる。

原則的に、複数のチャネルを、例えば同心の１つのチャネルと１つの偏心のチャネルとを設けてもよい。

別の実施例では、チャネルは、ロータに関して、第２のインレットとは反対側に配置されている。これにより、チャネル、特にチャネルアウトレットと第２のインレットとの間に大きな間隔が達成され、これにより、簡単に、ガス分子がチャネルから第２のインレットを通って逃げる確率が低下される、つまりポンピング作用が向上される。

別の実施形態では、ポンプは、ハウジングを有し、ハウジングは、ポンプ室を画定し、ポンプ室内に、ポンプ段のロータ要素が配置されていて、チャネルが、ポンプ室内に配置されている。これにより、特に省スペースの、特に半径方向に小さい構造を達成することができる。ポンプ室は、好適には円筒形である。特に、チャネルは、ポンプ段の包絡線内に配置することができる。

代替的に又は付加的に、チャネルは、例えば少なくとも部分的にポンプ室の外側に配置することもできる。ゆえに、チャネルは、例えば、少なくとも部分的にハウジング体内に、別個の剛体のブロック内に、かつ／又はチューブ又はパイプ内に形成することができる。原則的に、複数のチャネル及び／又はガイド要素を設けることもでき、これらのチャネル及び／又はガイド要素は、例えばそれぞれ異なって構成することもできる。このことは、製造プロセスまたはインレットの配置に基づいて有利であり得る。

一実施形態では、第２のポンプ段は、その上流側の端部に、ターボロータディスクを有し、ターボロータディスクは、上流側に配置された第１の軸方向部分と、第１の軸方向部分の下流側に配置された第２の軸方向部分とを有し、ロータディスクは、第１の軸方向部分において、第２の軸方向部分においてよりも小さな、ポンプ作用を奏する横断面積を有し、第１のポンプ段の下流側の端部は、特にチャネルによって、第１の軸方向部分を少なくとも部分的に迂回して、第２の軸方向部分に接続されている。これにより、粒子が第１のポンプ段の下流側の端部からかつ／又はチャネルアウトレットから第２のインレットに達することが特に効果的に阻止される。この場合、第１のポンプ段から、特にチャネルから到来し、半径方向に流出する又は第２のポンプ段内で還流する粒子が、その大部分で、再びポンピング方向の移動衝撃を受けることができ、ゆえに比較的高い確率で吸い出すことができる。つまり、ポンピング作用がさらに向上される。

例えば、第２のポンプ段は、少なくとも２つのターボロータディスクを有し、上流側に配置された第１のロータディスクは、第１のロータディスクの下流側に配置された第２のロータディスクよりも小さい、ポンプ作用を奏する直径を有し、第１のポンプ段の下流側の端部は、第１のロータディスクを少なくとも部分的に迂回して、第２ロータディスクに接続されていることも想定され得る。これにより、粒子が、第１のポンプ段の下流側の端部からかつ／又は第１のチャネルアウトレットから第２のインレットに達することが同様に特に効果的に阻止され、これにより、ポンピング作用がさらに向上される。

第２のポンプ段は、例えば、第１のポンプ段よりも大きなロータ径を有することができる、又はその逆も然りであり、第１のポンプ段は、第２のポンプ段よりも小さなロータ径を有することができる。これにより、第２のポンプ段の排気速度を、有利には、一方では第２のインレットに、他方では第１のポンプ段から到来するガスに合わせて調整することができるので、総じて有利には高い排気速度を達成することができる。例えば、さらに別のポンプ段が設けられているとき、例えば、第１のポンプ段は、他の全てのポンプ段よりも小さいロータ径を有することができる、かつ／又は第２のポンプ段は、他の全てのポンプ段よりも大きいロータ径を有することができる。

第１のインレット及び第２のインレットがロータ軸線に対して軸方向に配置されているとき、より大きなロータ径を有する第２のポンプ段が特に有利であることが分かった。これにより、さらなる排気速度の増加を達成することができる。しかも、半径方向のインレットが２つのときでも、より大きな第２のポンプ段によって、第２のインレットにおいて排気速度をさらに向上させることができる。

全てのインレット、特に第１のインレット及び／又は第２のインレットは、原則的に、例えば半径方向のインレット及び／又は軸方向のインレットとして構成することができる。例えば、第１のインレット及び第２のインレットが、半径方向のインレットとして構成されていると有利であり得る。代替的に、両方のうちの少なくとも１つを軸方向のインレットとして構成することもできる。特に軸方向の配置では、より良好なコンダクタンス又は向上された排気速度を達成することができる。

第１のインレットを特に完全に囲繞する第２のインレットの配置が特に有利である。ただし、２つの半径方向のインレットでも、すでに有利な排気速度の増加を達成することができる。一般的に、第２のインレットは、例えば、軸方向のインレットであってよく、半径方向にみて第１のポンプ段を越えた側に、つまり第１のポンプ段の半径方向外側に配置することができる。これにより、特に良好なコンダクタンスが得られる。

原則的に、１つのインレットが、複数のインレット開口を有することもできる。特に軸方向の配置では、これによりより良好なコンダクタンス及びより良好な排気速度を実現することができる。

別の有利な実施形態では、第１のポンプ段及び／又は第２のポンプ段に、第１のロータ要素と、第１のロータ要素の下流側に配置された、隣り合う第２のロータ要素とが設けられていて、第２のロータ要素は、第１のロータ要素よりも小さい排気速度を有する、かつ／又は第２のロータ要素は、第１のロータ要素よりも大きい圧縮度を有する。これにより、全体排気速度をさらに向上させることができる。

原則的に、第２のポンプ段は、第１のポンプ段とは異なる構成とすることができる。

一発展形態によれば、第２のポンプ段は、上流側で、実質的に同一の排気速度を有する少なくとも２つの、特に第１のロータ要素を有する。この場合、特に第１のロータ要素の下流側に配置された、隣り合う第２のロータ要素が設けられていて、この場合、第２のロータ要素は、第１のロータ要素よりも低い排気速度を有し、かつ／又は第２のロータ要素は、第１のロータ要素よりも大きな圧縮度を有する。

原則的に、第１のポンプ段及び／又は第２のポンプ段や別のポンプ段は、好適には、分子ポンプ段、特にターボ分子ポンプ段、ホルベックポンプ段又はジークバーンポンプ段として構成することができる。特に、全ての又は個々のロータ要素は、ターボロータ要素又はターボロータディスクとして構成することができる。ポンプは、原則的に、別のポンプ段を有することができ、特に共通のアウトレットに接続されたポンプ段及び／又は共通のロータ上に配置されたロータ要素を有するポンプ段を有することができる。ポンプは、別のポンプ段に割り当てられていて、そして好適には、第１のインレット及び第２のインレットとは別のチャンバに接続された別のインレットを有することもできる。

本発明の課題は、さらに、請求項１５に記載の、少なくとも１つの真空チャンバを排気するための真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの使用によって解決される。この場合、真空ポンプは、少なくとも第１のインレットと第２のインレットと、共通のアウトレットと、少なくとも第１のポンプ段と第２のポンプ段とを有し、第１のポンプ段と第２のポンプ段とは、それぞれ少なくとも１つのロータ要素を有し、ロータ要素は、共通のロータ上に配置されていて、第１のインレットは、第１のポンプ段の上流側の端部に接続されていて、第２のインレットは、第２のポンプ段の上流側の端部に接続されていて、第１のポンプ段の下流側の端部が、第２のインレットを迂回して、第２のポンプ段の上流側の端部に接続されている。この場合、第１のインレットと第２のインレットとは、同一の真空チャンバに接続されている。

本発明の課題は、独立した第２の観点によれば、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプにおいて、真空ポンプは、少なくとも第１のインレットと第２のインレットと、共通のアウトレットと、少なくとも第１のポンプ段と第２のポンプ段とを有し、第１のポンプ段と第２のポンプ段とは、それぞれ少なくとも１つのロータ要素を有し、ロータ要素は、共通のロータ上に配置されていて、第１のインレットは、第１のポンプ段の上流側の端部に接続されていて、第２のインレットは、第２のポンプ段の上流側の端部に接続されていて、第１のポンプ段の下流側の端部から第２のインレットに向かうガスの流れを阻止するための偏向手段と、第１のポンプ段の下流側の端部を、少なくとも第１のロータ要素の流れ方向に見て第２のポンプ段の下流側に位置する箇所に接続するチャネルとをさらに有し、チャネルは、少なくとも部分的にロータシャフト内に形成されている、真空ポンプによっても解決される。

特に有利には、真空システムは、このような真空ポンプと少なくとも１つの真空チャンバとを有し、この場合、第１のインレットと第２のインレットとは、同一の真空チャンバに接続されている。対応するそのような真空ポンプの使用も有利である。

一発展形態によれば、第２のポンプ段の第１のロータ要素、特に第１のロータディスク、特にディスクセットにおいてガスの流れを流入可能にするのではなく、特に第２のポンプ段に後置された第３のインレットに向かう、特に高真空ポートに向かう、より高い圧縮度を有する箇所においてシャフト内の適切な開放横断面を通ってガスの流れを流入可能にすることが特に有利である。

ガスは、特に、少なくとも第１のロータ要素、特に第１のロータディスクの後方まで、好適には第１のロータディスク及び第１のステータディスクの後方までガイドすることができる。

特に、ロータシャフトに形成されたチャネル内で良好なコンダクタンスを実現することができるときには、ガスは、有利には、第２の、第３の又は最後のロータディスク及び／又はステータディスクの後方に流入させることができる。

ロータシャフト内におけるチャネルは、特に溝として構成することができる。特に、複数のチャネル又は溝を設けることができる。１つ又は複数の溝は、特に軸方向に、第２のポンプ段の少なくとも第１のロータディスク、好適には全てのロータディスクの傍を通って延在する。

チャネルは、例えばシャフトの孔、特に中空孔によって形成することもできる。しかし、特にシャフトの表面に設けられた凹部としてのチャネルが製造技術的に有利である、かつ／又はより少ない手間で実現可能であり、特にこの場合、凹部が軸方向にシャフトに沿って延在する。

当然ながら、ここに記載された、様々な観点の発展形態及び個々の特徴は、有利には、技術的に有意である場合には、発展させてそれぞれ別の観点のものを作り出すために用いることができる。

以下、本発明を、例えば添付の図面を参照して、有利な実施形態に基づいて説明する。

ターボ分子ポンプの斜視図を略示する。 図１のターボ分子ポンプの下面図を略示する。 図２に示された切断線Ａ－Ａに沿ったターボ分子ポンプの断面図を略示する。 図２に示された切断線Ｂ－Ｂに沿ったターボ分子ポンプの断面図を略示する。 図２に示された切断線Ｃ－Ｃに沿ったターボ分子ポンプの断面図を略示する。 本発明に係る真空システムを略示する。 本発明に係る別の真空システムを略示する。 真空システムに用いられる誘導要素を略示する。 本発明に係る真空システムに用いられる真空ポンプの一実施形態を略示する。 本発明に係る真空システムに用いられる真空ポンプの一実施形態を略示する。 本発明に係る真空システムに用いられる真空ポンプの一実施形態を略示する。 本発明に係る真空システムに用いられる真空ポンプの一実施形態を略示する。 本発明に係る真空システムに用いられる真空ポンプの一実施形態を略示する。 本発明に係る真空システムに用いられる真空ポンプの一実施形態を略示する。 本発明に係る真空システムに用いられる真空ポンプの一実施形態を略示する。 本発明に係る真空システムに用いられる真空ポンプの一実施形態を略示する。 本発明に係る真空システムに用いられる真空ポンプの一実施形態を略示する。 本発明の第２の観点に基づく真空ポンプの実施形態を略示する。 本発明の第２の観点に基づく真空ポンプの実施形態を略示する。

図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３により包囲されたポンプインレット１１５を有する。ポンプインレット１１５には、それ自体公知の手段で、図示されていない真空容器を接続することができる。真空容器から到来するガスは、ポンプインレット１１５を介して真空容器から吸引され、そしてポンプを通ってポンプアウトレット１１７へと圧送することができる。ポンプアウトレット１１７には、例えばロータリベーンポンプなどの予真空ポンプを接続することができる。

インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの方向では、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端を形成する。ハウジング１１９は、下部１２１を有する。下部１２１には、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が配置されている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、真空ポンプ１１１の電気的なかつ／又は電子的なコンポーネントが収容されている。これらのコンポーネントは、例えば、真空ポンプ内に配置された電動モータ１２５を作動させるためのものである。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリに対する複数の接続部１２７が設けられている。さらに、データインタフェース１２９（例えばＲＳ４８５規格に準拠するもの）及び電流供給接続部１３１が、エレクトロニクスハウジング１２３に配置されている。

ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、通気インレット１３３が、特に通気バルブの形態で設けられている。通気インレット１３３を介して、真空ポンプ１１１に通気を行うことができる。下部１２１の領域には、その上さらに、パージガス接続部とも称されるシールガス接続部１３５が配置されている。シールガス接続部１３５を介して、パージガスを、ポンプによって圧送されるガスに対して電動モータ１２５（例えば図３参照）を防護するために、モータ室１３７内に送り込むことができる。モータ室１３７内で、真空ポンプ１１１に、電動モータ１２５が収容されている。ポンプ下部１２１には、その上さらに２つの冷却媒体接続部１３９が配置されている。この場合、一方の冷却媒体接続部は、冷却媒体用のインレットとして、他方の冷却媒体接続部は、アウトレットとして設けられている。冷却媒体は、冷却目的で真空ポンプ内に導入可能である。

真空ポンプの下面１４１は、ベースとして使用することができるので、真空ポンプ１１１は、下面１４１にて縦置きで運転することができる。しかも、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介して真空容器に固定することもでき、ひいてはいわば懸架した状態で運転することができる。さらに、真空ポンプ１１１は、図１に示された向きとは別の形で配向されているときにも運転することができるように構成され得る。下面１４１を下向きではなく、横向きに、又は上向きに配置することができる真空ポンプの実施形態も実現可能である。

図２に示された下面１４１には、さらに種々のねじ１４３が配置されている。これらのねじ１４３によって、ここでは詳細には特定されない真空ポンプの構成部材が互いに固定されている。例えば、軸受カバー１４５が下面１４１に固定されている。

下面１４１には、さらに固定孔１４７が配置されている。固定孔１４７を介して、ポンプ１１１を、例えば設置面に固定することができる。

図２～図５には、冷却媒体配管１４８が示されている。冷却媒体配管１４８において、冷却媒体接続部１３９を介して導入される又は導出される冷却媒体が循環可能である。

図３～図５の断面図に示されているように、真空ポンプは、複数のプロセスガスポンプ段を有する。これらのプロセスガスポンプ段は、ポンプインレット１１５に作用するプロセスガスをポンプアウトレット１１７へと圧送するためのものである。

ポンプハウジング１１９内には、ロータ１４９が配置されている。ロータ１４９は、回転軸線１５１を中心として回転可能なロータシャフト１５３を有する。

ターボ分子ポンプ１１１は、ポンピング作用を及ぼすように互いに直列に接続された複数のターボ分子ポンプ段を有する。これらのターボ分子ポンプ段は、ロータシャフト１５３に固定された半径方向の複数のロータディスク１５５と、ロータディスク１５５の間に配置され、そしてハウジング１１９内に固定されたステータディスク１５７とを有する。この場合、１つのロータディスク１５５とこれに隣り合う１つのステータディスク１５７とが、それぞれ１つのターボ分子ポンプ段を形成する。ステータディスク１５７は、スペーサリング１５９によって、互いに所望の軸方向間隔を置いて保持されている。

真空ポンプは、さらに、半径方向で互いに内外に配置され、そしてポンピング作用を及ぼすように互いに直列に接続されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のロータは、ロータシャフト１５３に配置されたロータハブ１６１と、ロータハブ１６１に固定され、そしてこのロータハブ１６１によって支持された円筒側面状の２つのホルベックロータスリーブ１６３，１６５とを有する。これらのホルベックロータスリーブ１６３，１６５は、回転軸線１５１に対して同軸に配向されていて、そして半径方向で互いに内外に組み付けられている。さらに、円筒側面状の２つのホルベックステータスリーブ１６７，１６９が設けられている。これらのホルベックステータスリーブ１６７，１６９は、同様に回転軸線１５１に対して同軸に配向されていて、そして半径方向で見て互いに内外に組み付けられている。

ホルベックポンプ段の、ポンピング作用を奏する表面は、側面によって、つまりホルベックロータスリーブ１６３，１６５及びホルベックステータスリーブ１６７，１６９の半径方向内側面及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータスリーブ１６７の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向外側面と対向していて、外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向外側面とともに、ターボ分子ポンプに後続する第１のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータスリーブ１６３の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ、内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向外側面と対向していて、内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向外側面とともに、第２のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータスリーブ１６９の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータスリーブ１６５の半径方向外側面と対向していて、内側のホルベックロータスリーブ１６５の半径方向外側面とともに、第３のホルベックポンプ段を形成する。

ホルベックロータスリーブ１６３の下端には、半径方向に延在するチャネルを設けることができる。このチャネルを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３に接続されている。さらに、内側のホルベックステータスリーブ１６９の上端には、半径方向に延在するチャネルを設けることができる。このチャネルを介して、中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５に接続されている。これにより、互いに内外に組み込まれた複数のホルベックポンプ段が、互いに直列で接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータスリーブ１６５の下端には、さらに、アウトレット１１７に通じる接続チャネル１７９を設けることができる。

ホルベックステータスリーブ１６３，１６５の、前述されポンプピング作用を奏する表面は、それぞれ、螺旋状に回転軸線１５１の周りを周回しつつ軸方向に延在する複数のホルベック溝を有する。他方、ホルベックロータスリーブ１６３，１６５の、これに対向する側面は、滑らかに形成されていて、真空ポンプ１１１を運転するためのガスをホルベック溝内にて前方へ送り出す。

ロータシャフト１５３を回転可能に軸支するために、ポンプアウトレット１１７の領域に転がり軸受１８１が設けられていて、ポンプインレット１１５の領域に永久磁石式の磁気軸受１８３が設けられている。

転がり軸受１８１の領域には、ロータシャフト１５３に円錐形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、転がり軸受１８１へ向けて増大していく外径を有する。スプラッシュナット１８５は、作動媒体貯蔵部の少なくとも１つの掻落とし部材と滑り接触している。作動媒体貯蔵部は、上下にスタックされた吸収性の複数のディスク１８７を有する。これらディスク１８７は、転がり軸受１８１のための作動媒体、例えば潤滑剤に浸漬されている。

真空ポンプ１１１の運転時、作動媒体は、毛細管現象によって、作動媒体貯蔵部から掻落とし部材を介して、回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして、遠心力に基づいてスプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット１８５の、増大していく外径の方へと、転がり軸受１８１に向かって送られる。そこでは例えば潤滑機能が発揮される。転がり軸受１８１及び作動媒体貯蔵部は、真空ポンプ内において槽状のインサート１８９と軸受カバー１４５とによって囲繞されている。

永久磁石式の磁気軸受１８３は、ロータ側の軸受半部１９１とステータ側の軸受半部１９３とを有する。これらは、それぞれ１つのリングスタックを有する。リングスタックは、軸方向に上下にスタックされた永久磁石の複数のリング１９５，１９７からなる。リング磁石１９５，１９７は、互いに半径方向の軸受間隙１９９を形成しつつ対向していて、この場合、ロータ側のリング磁石１９５は、半径方向外側に、そしてステータ側のリング磁石１９７は、半径方向内側に配置されている。軸受間隙１９９内に存在する磁界は、リング磁石１９５，１９７の間に磁気的反発力を引き起こす。その反発力は、ロータシャフト１５３の半径方向の支持を実現する。ロータ側のリング磁石１９５は、ロータシャフト１５３の支持部分２０１によって支持されている。この支持部分２０１は、リング磁石１９５を半径方向外側で取り囲む。ステータ側のリング磁石１９７は、ステータ側の支持部分２０３によって支持されている。支持部分２０３は、リング磁石１９７を通って延在し、そしてハウジング１１９の半径方向の支材２０５に懸架されている。回転軸線１５１に対して平行に、ロータ側のリング磁石１９５が、支持部分２０３に連結されたカバー要素２０７によって固定されている。ステータ側のリング磁石１９７は、回転軸線１５１に対して平行に１つの方向で、支持部分２０３に結合された固定リング２０９と支持部分２０３に結合された固定リング２１１とによって固定されている。さらに、固定リング２１１とリング磁石１９７との間には、皿ばね２１３を設けることができる。

磁気軸受内に、非常軸受又は安全軸受２１５が設けられている。非常軸受又は安全軸受２１５は、真空ポンプの通常の運転時には、非接触で空転し、そしてロータ１４９がステータに対して相対的に半径方向に過剰に変位するとようやく作用し、これにより、ロータ側の構造とステータ側の構造との衝突が阻止されるので、ロータ１４９に対する半径方向のストッパが形成される。安全軸受２１５は、非潤滑式の転がり軸受として構成されていて、そしてロータ１４９及び／又はステータとともに半径方向の間隙を形成する。この間隙によって、安全軸受２１５は、通常のポンプ運転時には作用しないようになっている。安全軸受２１５が作用することになる半径方向の変位は、十分に大きく寸法付けられているので、安全軸受２１５は、真空ポンプの通常の運転中は作用せず、そして同時に十分に小さく寸法付けられているので、ロータ側の構造とステータ側の構造との衝突があらゆる状況で阻止される。

真空ポンプ１１１は、ロータ１４９を回転駆動する電動モータ１２５を有する。電動モータ１２５の電機子は、ロータ１４９によって形成されている。ロータ１４９のロータシャフト１５３は、モータステータ２１７を通って延在する。ロータシャフト１５３の、モータステータ２１７を通って延在する部分には、半径方向外側に又は埋入して、永久磁石アセンブリを配置することができる。モータステータ２１７と、ロータ１４９の、モータステータ２１７を通って延在する部分との間には、中間室２１９が配置されている。この中空室２１９は、半径方向のモータ間隙を有する。このモータ間隙を介して、モータステータ２１７と永久磁石アセンブリとは、駆動トルクを伝達するため、磁気的に影響し合うことができる。

モータステータ２１７は、ハウジング内で、電動モータ１２５に対して設けられたモータ室１３７内に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、パージガスとも称され、例えば空気又は窒素であってよいシールガスが、モータ室１３７内へと到達可能である。シールガスを介して、電動モータ１２５を、プロセスガスに対して、例えばプロセスガスの、腐食作用を奏する部分に対して防護することができる。モータ室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介して排気することもできる。つまりモータ室１３７内に、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続された予真空ポンプによって実現される真空圧が作用する。

ロータハブ１６１と、モータ室１３７を画成する壁部２２１との間には、さらに、それ自体公知のいわゆるラビリンスシール２２３を設けることができる。これにより、特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対するモータ室２１７のより良好なシールが達成される。

図１～図５には、いわゆる単流ポンプ、つまり単一のインレットを有するポンプが記載されている。要するに、前述された真空ポンプは、それ自体が本発明に従って構成されたものではないが、有利には、本発明の意図において発展させることができる。その逆に、ここに記載された、本発明の全ての実施形態は、技術的に有意である場合には、図１～図５の真空ポンプの個々の又は複数の特徴によって発展させることができる。

図６には、本発明による例示的な真空システム１０が示されている。この真空システム１０は、複数の真空チャンバを有し、真空チャンバは、真空ポンプ１２によって排気される。具体的には、第１の真空チャンバ１４、第２の真空チャンバ１６及び第３の真空チャンバ１８が設けられていて、これらの真空チャンバは、それぞれ、真空ポンプ１２の少なくとも１つのインレットに接続されている。真空ポンプ１２の第１のインレット２０及び第２のインレット２２が、第１のチャンバ１４に接続されている。第３のインレット２４及び第４のインレット２６は、第２の真空チャンバ１６又は第３の真空チャンバ１８に接続されている。

つまり、真空ポンプ１２は、この実施例では、４つのインレットを有する。インレット２０，２２，２４，２６を介してチャンバ１４，１６，１８から吸い出されたガスは、真空ポンプ１２を通って、図示されていない共通のアウトレットに圧送される。

真空ポンプ１２は、複数のポンプ段、つまり第１のポンプ段２８と第２のポンプ段３０と第３のポンプ段３２と第４のポンプ段３４とを有する。この例では、第１、第２及び第３のポンプ段２８，３０，３２が、ターボ分子ポンプ段として構成されている。この場合、ターボロータディスク３６が、垂直の線で示唆されている。特に、各々のターボロータディスク３６に、図示されていないターボステータディスクが続く。この例では、ポンプ段２８，３０，３２が、それぞれ３つのターボロータディスクとターボステータディスクとのセットを有する。一般的に、ターボロータディスク及びターボステータディスクは、例えば図１～図５の真空ポンプによるターボロータディスク及びターボステータディスクに相応して構成することができる。ターボロータディスク３６は、その全てが共通のロータ３８上に配置されていて、運転時には同期回転する。

第４のポンプ段３４は、ホルベックポンプ段として構成されている。また、第４のポンプ段３４は、共通のロータ３８上に配置されたロータ要素、つまり、例えば図３～図５に示されたようなホルベックロータスリーブを有する。

インレット２０，２２，２４，２６は、それぞれ、対応付けられたポンプ段の上流側の端部に接続されていて、この場合、全てのポンプ段２８，３０，３２，３４は、インレットから共通の図示されていないアウトレットへ圧送を行う。第１のインレット２０は、第１のポンプ段２８の上流側の端部に接続されている一方、第２のインレット２２は、第２のポンプ段３０の上流側の端部に接続されている。両方のインレット２０，２２は、同一の１つの真空チャンバ、つまり真空チャンバ１４に接続されている。インレット２２とインレット２４との間又はインレット２４とインレット２６との間とは異なり、インレット２０とインレット２２の間には壁などが設けられていない。

真空チャンバ１４，１６，１８は、それぞれ隣に対して壁４０によって仕切られているが、この場合、壁４０には、小さな絞り４２が設けられている。小さな絞り４２を通って、それぞれ、著しく制限された量のガスが、より高い圧力のチャンバから隣り合うより低い圧力のチャンバに流れることができる。この場合、第３の真空チャンバ１８内の圧力が最高であり、第２の真空チャンバ１６内の圧力がいくぶんかより低く、そして第１の真空チャンバ１４内の圧力が最低である。その結果、絞り４２を通って、ガスは、第３の真空チャンバ１８から第２の真空チャンバ１６内に、そして第２の真空チャンバ１６から第１の真空チャンバ１４内に流れる。第１のチャンバ１４内では、ほぼ均一の圧力が作用する。

第１のポンプ段２８と第２のポンプ段３０とは、軸方向に隣り合っていて、そしてポンピング方向に見て相前後して配置されている。第１のポンプ段２８の下流側の端部と第２のインレット２２との間には、誘導要素４４が設けられている。この誘導要素４４は、ここでは実質的に半径方向に配向されたプレートとして構成されていて、プレートは、ポンプのハウジング４６に接続されている。誘導要素４４は、実質的に、第２のインレット２２に対する第１のポンプ段２８の下流側の端部のシールを形成し、またその逆も然りである。

誘導要素４４は、開口４８を有し、開口４８を通って、共通のロータ３８が延在する。ロータ３８と誘導要素４４との間の半径方向の間隙を空けておかなければならない。というのも、ロータ３８が高速で回転し、そしてある程度のロータの変位が不可避であるからである。それにもかかわらず、半径方向の間隙は、シールが十分に保証されるように小さく構成されている。この半径方向の間隙には、例えばポンプ作用を奏する構造を設けることができ、これにより、第１のポンプ段２８の下流側の端部から開口４８を通って第２のインレット２２に向かう漏れがさらに良好に回避される又は低減される。

さらに、チャネル５０が設けられている。チャネル５０は、誘導要素４４に接続し、そして第１のポンプ段２８の下流側の端部を第２のポンプ段３０の上流側の端部に接続するが、この場合、インレット２２が実質的に迂回される。そのために、チャネル５０は、第２のポンプ段３０の第１のターボロータディスク３６に直接に通じる。したがって、インレット２２から、そしてチャネル５０から又は第１のポンプ段２８から到来する体積流は、実質的に第２のポンプ段３０において初めて一緒になる。

別の真空システム１０が、図７に示されている。この真空システム１０は、単一の、第１のチャンバ１４を有し、第１のチャンバ１４は、真空ポンプ１２の第１のインレット２０と第２のインレット２２とに接続されている。真空ポンプ１２は、第１のポンプ段２８を有し、第１のポンプ段２８の上流側の端部は、第１のインレット２０に接続されていて、さらに第２のポンプ段３０を有し、第２のポンプ段３０の上流側の端部は、第２のインレット２２に接続されている。第２のポンプ段３０の下流側に、例えば図６の実施形態で当てはまるように、別のポンプ段を設けることができる。

図７の実施形態と同様に、誘導要素４４及びチャネル５０が設けられていて、これにより、ガスが第１のインレット２０及び第１のポンプ段２８から第２のインレット２２を迂回して第２のポンプ段３０に導かれる。チャネル５０は、誘導要素４４に接続されていて、特に誘導要素４４に一体に成形されている。誘導要素４４及びチャネル５０は、ハウジングによって画定されたポンプ室５１内に配置されている。

図８には、誘導要素４４が、チャネル５０とともに、ロータ軸線３２に対する横断面を見た図で示されている。誘導要素４４は、ハウジング４６によって画定された円筒状のポンプ室５１に相応して、その外周が略円形に形成されている。

ガイド要素４４の円形面の一部は、略円筒状に軸方向に延在するチャネル５０によって占められている。この例では、チャネル５０は、約１２０度の円形の誘導要素の角度範囲を占めていて、この場合、この角度範囲は、ロータ軸線３２を基準に、第２のインレット２２とは反対側に配置されている。原則的に、チャネルは、その横断面が、図示されたように例えば部分円として形成することができる。

図９には、ここでは図示されていない共通の真空チャンバに接続するための第１のインレット２０と第２のインレット２２とを有する真空ポンプ１２が示されている。ここでは、そして以下に、いくつかの実施形態による真空ポンプ１２のみが説明され、その際、第２のポンプ段及び第２のポンプ段の上流側の構造がそれぞれ説明される。原則的に、例えば図６において説明されたように、別のポンプ段、別のインレット及び／又は様々な数の真空チャンバが設けられてもよい。

図９の真空ポンプ１２は、第１のポンプ段２８を有し、第１のポンプ段２８は、第１のインレット２０に接続されていて、さらに第２のポンプ段３０を有し、第２のポンプ段３０は、第２のインレット２２に接続されている。図６～図８では、それぞれ３つのターボロータディスクとターボステータディスクとの対偶を有するポンプ段のみが示されているのに対して、ここでは、第１のポンプ段２８が、２つのターボロータディスクとターボステータディスクとの対偶しか有さず、そのうちのターボロータディスク３６のみが示唆されている。第２ポンプ段３０は、３つのターボロータディスクとターボステータディスクとの対偶を有するが、この場合、上流側のターボロータディスク５２は、段付きロータディスクとして構成されている。要するに、ターボロータディスク５２は、軸方向に見て上流側に第１の軸方向部分５４と、下流側に第２の軸方向部分５６とを有し、この場合、これらの部分は、ポンプ作用を奏するそれぞれ異なる横断面積を有する。具体的には、ここでは、第１の軸方向部分５４では、ターボロータディスク５２の直径は、第２の軸方向部分５６における直径よりも小さい。

図９の真空ポンプ１２は、チャネル５０を有し、チャネル５０によって、第１のポンプ段２８の下流側の端部が第２の軸方向部分５６に接続されていて、この場合、チャネル５０は、第１の軸方向部分５４の傍を通って軸方向に延在する。圧送されるガス粒子がチャネル５０と第２の軸方向部分５６との間で半径方向に逃げるようであるとき、これらの粒子の一部が、ターボロータディスク５２の第１の軸方向部分５４によって捕捉され、これらの粒子に、ポンプアウトレットに向かう新たな衝撃が与えられる。つまり、図示された配置によって、第１のポンプ段２８の下流側の端部とインレット２２との間のシールが改善され、排気速度がさらに高められる。

同様の効果は、図１０に示された真空ポンプ１２の第２のポンプ段３０によって達成される。しかしここでは、この効果は、段付きターボロータディスク５２を介して得られず、その代わりに、比較的小さな直径を有する別個のターボロータディスク５８が、チャネル５０が通じるターボロータディスク３６の上流側に配置されている。

図１０の実施形態の別の特徴は、軸方向に配置された第１のインレット２０である。これに対して、第２のインレット２２は、図６～図９に示された全てのインレットにも当てはまるように、半径方向に配置されている。軸方向のインレット２０は、チャンバと第１のポンプ段２８との間に特に良好なコンダクタンスをもたらす。

図１１は、第１のポンプ段２８が第２のポンプ段３０よりも小さいロータ径を有する実施形態を具体的に示している。この場合、示唆されているように、第１のインレット２０と第２のインレット２２とを軸方向に配置することができる。本実施形態では、第２のインレット２２が、第１のインレット２０及び／又は第２のポンプ段２８を囲繞する。軸方向のインレット２０，２２は、各々のポンプ段２８又はポンプ段３０にとって特に良好なコンダクタンスを実現する。

図１１の実施形態の別の任意選択的な特徴は、チャネル５０がロータ３８に対して同心に配置されていることである。具体的には、チャネル５０がロータ３８を囲繞する、又はロータ３８が軸方向にチャネル５０を通って延在する。この場合、チャネル５０は、実質的に管状の要素によって形成されている。この場合、チャネル５０は、第１のポンプ段２８の下流側の端部の中央領域から第２ポンプ段３０の上流側の端部の中央領域に通じる。

図１２には、それぞれ異なる大きさのポンプ段２８，３０を有する別の一実施形態が示されている。さらに、ここでもインレット２０，２２が軸方向に配置されている。本実施形態では、第１のポンプ段２８の下流側の端部は、直接に、第２のポンプ段３０の上流側の端部に接し、しかも第２のインレット２２から分けられた、ここではハウジング４６によって実現された領域において接する。したがって、図示された実施形態は、付加的なガイド要素４４及び付加的なチャネル５０を設けずに構成されている。さらに、この実施形態は、小さな軸方向の構造長さを有する。

図１３には、それぞれ異なる大きさのポンプ段２８，３０を有する別の一実施形態が示されていて、この場合、同様に両方のインレット２０，２２が、軸方向に構成されている。

第２のポンプ段３０は、上流側に段付きターボロータディスク５２を有する。しかし、この場合、ここでは図９の実施形態とは異なり、流れ方向に見て第１の軸方向部分５４が、中央ではなく、周方向に延在するように形成されていて、要するに、この場合、ターボロータディスク５２は、実質的に中央の凹部を有する。第１のポンプ段２８は、ハウジング４６でもって、少なくとも部分的に第１の軸方向部分５４の傍を通って延在する、又はターボロータディスク５２の中央の凹部内に延在し、対応する半径方向領域において、ターボロータディスク５２の上流側の端部に向けて延在する。図９の実施形態と同様に、図示された配置によって、第１のポンプ段２８から半径方向にハウジング４６と第２の軸方向部分５６又はターボロータディスク５２との間で流出する粒子が、ターボロータディスク５２の第１の軸方向部分５４によって捕捉される。これによっても、排気速度がさらに向上される。

図１４及び図１５の実施形態は、とりわけ、インレット２０，２２が同心にかつ／又は同一の軸方向高さに配置されていることによって特徴付けられている。図１５では、段２８，３０のロータ径は、実質的に同一の大きさであり、特にこの場合、インレット２２が、段付きのハウジング部分によって形成されている。

図１６及び図１７は、図６の実施形態と同様の実施形態を、ただしより詳細に示している。特に、間隙４８における特に大きなシール長さを実現するために、誘導要素４４が、シャフトの凹部内に延在可能であることが描画されている。チャネル５０は、図示されているように、それぞれ異なる大きさであってもよい。ここでは、チャネル５０は、それぞれ静的に構成されている。原則的に、チャネルは、ロータと一緒に回転するように構成されてもよい。

第２の観点が、図１８及び図１９においてより詳細に説明される。ポンプは、ここでは複数のチャネル６０，６２を有し、チャネル６０とチャネル６２とが相俟って、１つのチャネルを形成し、このチャネルは、第１のポンプ段２８の下流側の端部を、第２のポンプ段の、流れ方向に見て少なくとも１つの第１のロータ要素の下流側に位置する箇所に接続する。図１８では、チャネル６０，６２は、第２のポンプ段３０の下流側の端部に通じる。図１９では、チャネル６０，６２は、軸方向で、ロータディスクとステータディスクとの第１の対偶の下流側の箇所に又はその後方に通じる。

チャネル６２は、ここでは、ロータシャフトの周にわたって分配して配置された複数の軸方向溝として構成されている。チャネル６０は、環状チャネルとして、ロータシャフトに対して同心に形成されている。誘導要素は、チャネル６０の半径方向内側に、複数の貫通開口６４を有する。

さらに、図１６～図１９は、図１～図５に関連してより詳細に説明されていて、そして単独でも組み合わせても有利である特徴を示している。

１１１ ターボ分子ポンプ
１１３ インレットフランジ
１１５ ポンプインレット
１１７ ポンプアウトレット
１１９ ハウジング
１２１ 下部
１２３ エレクトロニクスハウジング
１２５ 電動モータ
１２７ アクセサリ接続部
１２９ データインタフェース
１３１ 電流供給接続部
１３３ 通気インレット
１３５ シールガス接続部
１３７ モータ室
１３９ 冷却剤接続部
１４１ 下面
１４３ ねじ
１４５ 軸受カバー
１４７ 固定孔
１４８ 冷却媒体配管
１４９ ロータ
１５１ 回転軸線
１５３ ロータシャフト
１５５ ロータディスク
１５７ ステータディスク
１５９ スペーサリング
１６１ ロータハブ
１６３ ホルベックロータスリーブ
１６５ ホルベックロータスリーブ
１６７ ホルベックステータスリーブ
１６９ ホルベックステータスリーブ
１７１ ホルベック間隙
１７３ ホルベック間隙
１７５ ホルベック間隙
１７９ 接続チャネル
１８１ 転がり軸受
１８３ 永久磁石式の磁気軸受
１８５ スプラッシュナット
１８７ ディスク
１８９ インサート
１９１ ロータ側の軸受半部
１９３ ステータ側の軸受半部
１９５ リング磁石
１９７ リング磁石
１９９ 軸受間隙
２０１ 支持部分
２０３ 支持部分
２０５ 半径方向の支柱
２０７ カバー要素
２０９ 支持リング
２１１ 固定リング
２１３ 皿ばね
２１５ 非常軸受又は安全軸受
２１７ モータステータ
２１９ 中間室
２２１ 壁部
２２３ ラビリンスシール
１０ 真空システム
１２ 真空ポンプ
１４ 第１の真空チャンバ
１６ 第２の真空チャンバ
１８ 第３の真空チャンバ
２０ 第１のインレット
２２ 第２のインレット
２４の第３のインレット
２６ 第４のインレット
２８ 第１のポンプ段
３０ 第２のポンプ段
３２ 第３のポンプ段
３４ 第４のポンプ段
３６ ターボロータディスク
３８ ロータ
４０ 壁
４２ 絞り
４４ ガイド要素
４６ ハウジング
４８ 開口
５０ チャネル
５１ ポンプ室
５２ 段付きターボロータディスク
５４ 第１の軸方向部分
５６ 第２の軸方向部分
５８ 小さなターボロータディスク
６０ チャネル
６２ チャネル
６４ 貫通開口

Claims (15)

1. 真空ポンプ（１２）と、少なくとも１つの真空チャンバ（１４）とを備える、真空システム（１０）において、
   真空ポンプ（１２）は、
   少なくとも第１のインレット（２０）と第２のインレット（２２）と、共通のアウトレットと、
   少なくとも第１のポンプ段（２８）と第２のポンプ段（３０）とを有し、
   第１のポンプ段（２８）と第２のポンプ段（３０）とは、それぞれ少なくとも１つのロータ要素（３６）を有し、ロータ要素（３６）は、共通のロータ（３８）上に配置されていて、第１のインレット（２０）は、第１のポンプ段（２８）の上流側の端部に接続されていて、第２のインレット（２２）は、第２のポンプ段（３０）の上流側の端部に接続されていて、
   第１のポンプ段（２８）の下流側の端部が、第２のインレット（２２）を迂回して、第２のポンプ段（３０）の上流側の端部に接続されていて、
   第１のインレット（２０）と第２のインレット（２２）とは、同一の真空チャンバ（１４）に接続されている、
   真空システム（１０）。
2. 第１のポンプ段（２８）の下流側の端部から第２のインレット（２２）に向かうガスの流れを阻止するための誘導要素（４４）が設けられている、請求項１に記載の真空システム（１０）。
3. 第１のポンプ段（２８）の下流側の端部が、チャネル（５０）を通って、第２のポンプ段（３０）の上流側の端部に接続されている、請求項１又は２に記載の真空システム（１０）。
4. チャネル（５０）は、ロータ（３８）に対して偏心して配置されている、又はロータ（３８）が、チャネル（５０）の外側に配置されている、請求項３に記載の真空システム（１０）。
5. チャネル（５０）は、ロータ（３８）に対して同心に配置されていることと、ロータ（３８）を取り囲むこととの少なくともいずれか一つである、請求項３に記載の真空システム（１０）。
6. チャネル（５０）は、ロータ（３８）を基準に、第２のインレット（２２）とは反対側に配置されている、請求項３から５までのいずれか１項に記載の真空システム（１０）。
7. ポンプ（１２）は、ハウジング（４６）を有し、ハウジング（４６）は、ポンプ室（５１）を画定し、ポンプ室（５１）内に、前記ポンプ段（２８，３０）のロータ要素（３６）が配置されていて、チャネル（５０）が、ポンプ室（５１）内に配置されている、請求項３から６までのいずれか１項に記載の真空システム（１０）。
8. 第２のポンプ段（３０）は、その上流側の端部に、ターボロータディスク（５２）を有し、ターボロータディスク（５２）は、上流側に配置された第１の軸方向部分（５４）と、第１の軸方向部分（５４）の下流側に配置された第２の軸方向部分（５６）とを有し、ロータディスク（５２）は、第１の軸方向部分（５４）において、第２の軸方向部分（５６）においてよりも小さな、ポンプ作用を奏する横断面積を有し、第１のポンプ段（２８）の下流側の端部は、第１の軸方向部分（５４）を少なくとも部分的に迂回して、第２の軸方向部分（５６）に接続されている、請求項１から７までのいずれか１項に記載の真空システム（１０）。
9. 第２のポンプ段（３０）は、少なくとも２つのターボロータディスク（３６，５８）を有し、上流側に配置された第１のロータディスク（５８）は、第１のロータディスク（５８）の下流側に配置された第２のロータディスク（３６）よりも小さい、ポンプ作用を奏する直径を有し、第１のポンプ段（２８）の下流側の端部は、第１のロータディスク（５８）を少なくとも部分的に迂回して、第２ロータディスク（３６）に接続されている、請求項１から８までのいずれか１項に記載の真空システム（１０）。
10. 第２のポンプ段（３０）は、第１のポンプ段（２８）よりも大きなロータ径を有する、請求項１から９までのいずれか１項に記載の真空システム（１０）。
11. 第１のインレット（２０）と第２のインレット（２２）との少なくともいずれか一つは、半径方向のインレットと軸方向のインレットとの少なくともいずれか一つである、請求項１から１０までのいずれか１項に記載の真空システム（１０）。
12. 第２のインレット（２２）は、軸方向のインレットであり、半径方向に第１のポンプ段（２８）を越えた側に配置されている、請求項１から１１までのいずれか１項に記載の真空システム（１０）。
13. 第１のポンプ段（２８）と第２のポンプ段（３０）との少なくともいずれか一つに、第１のロータ要素（３６）と、第１のロータ要素（３６）の下流側に配置された、隣り合う第２のロータ要素（３６）とが設けられていて、第２のロータ要素（３６）は、第１のロータ要素（３６）よりも低い排気速度を有することと、第１のロータ要素（３６）よりも大きい圧縮度を有することとの少なくともいずれか一つである、請求項１から１２までのいずれか１項に記載の真空システム（１０）。
14. 第２のポンプ段（３０）は、上流側で、実質的に同一の排気速度を有する少なくとも２つのロータ要素（３６）を有する、請求項１から１３までのいずれか１項に記載の真空システム（１０）。
15. 少なくとも１つの真空チャンバ（１４）を排気するための真空ポンプ（１２）の使用において、
    真空ポンプ（１２）は、
    少なくとも第１のインレット（２０）と第２のインレット（２２）と、共通のアウトレットと、
    少なくとも第１のポンプ段（２８）と第２のポンプ段（３０）とを有し、
    第１のポンプ段（２８）と第２のポンプ段（３０）とは、それぞれ少なくとも１つのロータ要素（３６）を有し、ロータ要素（３６）は、共通のロータ（３８）上に配置されていて、第１のインレット（２０）は、第１のポンプ段（２８）の上流側の端部に接続されていて、第２のインレット（２２）は、第２のポンプ段（３０）の上流側の端部に接続されていて、
    第１のポンプ段（２８）の下流側の端部が、第２のインレット（２２）を迂回して、第２のポンプ段（３０）の上流側の端部に接続されていて、
    第１のインレット（２０）と第２のインレット（２２）とは、同一の真空チャンバ（１４）に接続されている、
    真空ポンプ（１２）の使用。

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